JP5087870B2 - 半導体メモリ、コントローラおよび半導体メモリの動作方法 - Google Patents

半導体メモリ、コントローラおよび半導体メモリの動作方法 Download PDF

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Description

本発明は、半導体メモリおよびこの半導体メモリをアクセスするコントローラに関する。
半導体製造技術の発達によりASIC(Application Specific IC)等のコントローラに搭載可能な素子数は、年々増加してきている。これに伴い、従来別チップで構成されていた様々な機能ブロックが、1つのASICチップに搭載可能になってきている。ASICの高機能化に伴い、外部端子の数は増える傾向にある。また、データ転送レートを上げるため、データ端子の数は増える傾向にある。外部端子であるパッドのサイズは、パッケージング技術に依存して決められるため、半導体製造技術の発達に応じて素子サイズが小さくなる場合にも、素子サイズと同じ比率では小さくできない。また、一般に、素子を静電気から保護する静電保護回路や、外部に対して信号を入出力するバッファ回路は、外部端子毎に必要である。これ等回路の素子サイズは、チップ内の機能ブロックに形成されるトランジスタのサイズに比べて大きい。このため、外部端子の数が増えると、LSIのチップサイズは大きくなり、チップコストは上昇する傾向にある。
一方、コントローラの外部端子の数を減らすために、コントローラに接続される半導体メモリにおいても、外部端子を削減することが要求されている。例えば、ロウアドレス信号とコラムアドレス信号を時分割で受けるDRAMにおいて、書き込みデータをマスクするためのデータマスク端子を削減するために、コラムアドレス信号とともにマスク信号を受ける技術が提案されている(例えば、特許文献1)。また、データマスク端子を削減するために、使用していないコラムアドレス端子を利用してデータマスク信号を受ける技術が提案されている。
特開2005−182530号公報 特開2000−132964号公報
一般に、データは、バイト単位でマスクされる。上述したように、データ端子の数は増える傾向にある。これに伴い、データマスク信号のビット数も増やす必要がある。上述した先行技術では、データマスク信号は、コラムアドレス信号の使用していないビットを用いて供給される。一般に、使用していないビットは、2ビット程度である。この場合2バイトのデータしかマスクできない。データのバイト数が増え、データマスク信号のビット数が増えたときに、外部端子の数を増やすことなくデータをマスクする技術は、提案されていない。
本発明の目的は、データマスク信号のビット数が多い場合にも、外部端子数を増やすことなくデータのマスク制御を実施することである。
本発明では、アドレス入力回路は、アドレス端子に供給される第1アドレス信号、第2アドレス信号および第1データマスク信号を、クロック信号の遷移エッジにそれぞれ同期して順次受ける。すなわち、第1データマスク信号は、第1および第2アドレス信号の受信タイミングとは別のタイミングを用いて、アドレス端子に供給される。第1アドレス信号、第2アドレス信号および第1データマスク信号は、例えば、半導体メモリをアクセスするコントローラから出力される。データ入出力回路は、データ端子を介してデータを入
出力する。データ入出力回路は、メモリセルへの書き込みデータおよびメモリセルからの読み出しデータの少なくともいずれかを、第1データマスク信号の論理に応じてマスクする。これにより、第1データマスク信号のビット数が多い場合にも、外部端子数を増やすことなくデータのマスク制御を実施できる。
本発明では、データマスク信号のビット数が多い場合にも、外部端子数を増やすことなくデータのマスク制御を実施できる。
以下、本発明の実施形態を図面を用いて説明する。図中、太線で示した信号線は、複数本で構成されている。また、太線が接続されているブロックの一部は、複数の回路で構成されている。信号が伝達される信号線には、信号名と同じ符号を使用する。先頭に”/”の付いている信号は、負論理を示している。図中の二重丸は、外部端子を示している。
図1は、本発明の第1の実施形態を示している。半導体メモリMEMは、例えば、外部クロックCLKに同期して動作するクロック同期式のFCRAM(Fast Cycle RAM)である。このFCRAMは、DRAMのメモリセルを有し、SDRAMのインタフェースを有する擬似SRAMである。メモリMEMは、クロック入力回路10、コマンドデコーダ12、モードレジスタ14、アドレス入力回路16、マスク制御回路18、データ入出力回路20およびバンクBK0、BK1を有している。各バンクBK0、BK1は、メモリコア22および動作制御回路24を有しており、互いに独立に動作する。
クロック入力回路10は、相補のクロック信号CLK、/CLKをクロック端子で受け、受けたクロックCLK、/CLKを内部クロック信号ICLK、/ICLKとして各回路ブロックに供給する。なお、クロック入力回路10にクロックイネーブル信号CKEを供給し、クロックイネーブル信号CKEが低論理レベルの間に内部クロック信号ICLK、/ICLKの生成を停止してもよい。
コマンドコーダ12は、チップセレクト信号/CS、ロウアドレスストローブ信号/RAS、コラムアドレスストローブ信号/CASおよびライトイネーブル信号/WEを、クロック信号CLKの立ち上がりエッジに同期して受ける。コマンドコーダ12は、受けた信号の論理レベルに応じて認識したコマンドを、例えば、バンクBK0−1のアクセス動作を実行するためのアクセスコマンドCMDとして出力する。以降の説明では、チップセレクト信号/CSを/CS信号、ライトイネーブル信号/WEを/WE信号のように略す場合がある。アクセスコマンドCMDとして、読み出しコマンドRD、書き込みコマンドWR、オートリフレッシュコマンドAREFおよびモードレジスタ設定コマンドMRS等がある。
モードレジスタ14は、モードレジスタ設定コマンドMRSに同期して供給されるアドレス信号AD0−7(後述するRAD0−12)に応じて設定される。モードレジスタ14には、読み出しレイテンシRCL、書き込みレイテンシWCLおよびバースト長BL等が設定される。読み出しレイテンシRCLは、読み出しコマンドRDの受け付けから読み出しデータが出力されるまでのクロックサイクル数を示す。書き込みレイテンシWCLは、書き込みコマンドWRの受け付けから書き込みデータを受けるまでのクロックサイクル数を示す。バースト長BLは、1回の書き込みコマンドまたは読み出しコマンドで入出力されるデータDQの回数を示す。
アドレス入力回路16は、バンクアドレス端子に供給されるバンクアドレス信号BAをクロック信号CLKの立ち上がりエッジに同期して受け、受けたバンクアドレス信号BA
をバンクBK0−1に出力する。また、アドレス入力回路16は、アドレス端子に供給されるアドレス信号AD0−7をクロック信号CLKの立ち上がりエッジおよび立ち下がりエッジに同期して順次に受け、受けた信号を内部アドレス信号IAD0−7として出力する。内部アドレス信号IAD0−7は、後述するように、ロウアドレス信号RAD0−12(第1アドレス信号)、コラムアドレス信号CAD0−7(第2アドレス信号)およびデータマスク信号BDM0−7(第1データマスク信号)のいずれかである。
この実施形態のメモリMEMは、ロウアドレス信号RAD0−12およびコラムアドレス信号CAD0−7を、共通のアドレス端子AD0−7で順次受けるアドレスマルチプレクスタイプの半導体メモリである。従来のSDRAMは、アドレス信号ADをクロック信号CLKの立ち上がりエッジのみに同期して受ける。これに対して、本発明のメモリMEMは、アドレス信号ADをクロック信号CLKの立ち上がりエッジおよび立ち下がりエッジの両方に同期して受ける。このため、例えば、ロウアドレス信号RAD0−12を2回に分けて受けても、アドレス信号ADの供給頻度を従来と同じにできる。また、コラムアドレス信号CAD0−7の供給頻度を従来と同じにして、さらにデータマスク信号BDM0−7を受けることができる。なお、アドレス信号RAD、CADのビット数は、この例に限定されない。
アドレス端子AD0−7のビット数は、コラムアドレス信号CAD0−7のビット数に合わせて設定されている。ロウアドレス信号RAD0−12のビット数は、コラムアドレス信号CAD0−7のビット数より多い。このため、ロウアドレス信号RADは、2回に分けてメモリMEMに供給される。一方、データマスク信号BDMの最大のビット数は、コラムアドレス信号CADのビット数まで拡張できる。このため、データマスク信号BDM0−7のビット数を従来に比べて大幅に増やすことができる。
マスク制御回路18は、書き込みコマンドWRまたは読み出しコマンドRDを受けたクロック信号CLKの立ち下がりエッジに同期してデータマスク信号BDM0−7を受け、受けた信号を、データマスク信号DQM0−7としてデータ入出力回路20に出力する。
データ入出力回路20は、読み出し動作時に、メモリセルアレイARYからデータバスDBを介して順次転送される読み出しデータを、クロック信号CLKの立ち上がりエッジおよび立ち下がりエッジに同期して、データ端子DQ0−63に出力する。データ入出力回路20は、書き込み動作時に、データ端子DQ0−63に順次供給される書き込みデータを、クロック信号CLKの立ち上がりエッジおよび立ち下がりエッジに同期して受信し、受信した書き込みデータを、データバスDBを介してメモリセルアレイARYに供給する。すなわち、この実施形態のメモリMEMは、DDR(Double Data Rate)方式の半導体メモリである。なお、読み出しデータを、メモリMEMが生成するデータストローブ信号DQSに同期して出力し、書き込みデータを、メモリMEMに供給されるデータストローブ信号DQSに同期して受けもよい。
さらに、データ入出力回路20は、メモリセルMCへの書き込みデータおよびメモリセルMCからの読み出しデータを、データマスク信号BDM0−7の論理に応じてマスクする。ここで、書き込みデータDQ0−63および読み出しデータDQ0−63は、8つのデータグループDQ0−7、DQ8−15、DQ16−23、DQ24−31、DQ32−39、DQ40−47、DQ48−55、DQ56−63で構成される。各データグループは、1バイト(8ビット)である。データマスク信号BDM0−7の各ビット(マスクビット)は、データグループDQ0−7、DQ8−15、DQ16−23、DQ24−31、DQ32−39、DQ40−47、DQ48−55、DQ56−63のデータをそれぞれマスク/非マスクするために使用される。
各バンクBK0−1のメモリコア22は、ロウアドレスデコーダRDEC、コラムアドレスデコーダCDEC、センスアンプSA、コラムスイッチCSW、リードアンプRA、ライトアンプWA、メモリセルアレイARYおよび図示しないプリチャージ回路を有している。メモリセルアレイARYは、ダイナミックメモリセルMCと、ダイナミックメモリセルMCに接続されたワード線WLおよびビット線対BL、/BLを有している。メモリセルMCは、ワード線WLとビット線対BL、/BLとの交差部分に形成される。
ロウアドレスデコーダRDECは、ワード線WLのいずれかを選択するために、ロウアドレス信号RAD0−12をデコードする。コラムアドレスデコーダCDECは、ビット線対BL、/BLを選択するために、コラムアドレス信号CAD0−7をデコードする。センスアンプSAは、読み出し動作時および書き込み動作時に、ビット線対BL、/BLに読み出されたデータの信号量の差を増幅する。
コラムスイッチCSWは、コラムアドレス信号CAD0−7に対応するビット線BL、/BLをリードアンプRAおよびライトアンプWAに接続する。リードアンプRAは、読み出し動作時に、コラムスイッチCSWを介して出力される相補の読み出しデータ信号を増幅する。ライトアンプWAは、書き込み動作時に、データバスDBを介して供給される相補の書き込みデータ信号を増幅し、増幅したデータ信号をビット線対BL、/BLに供給する。
各バンクBK0−1の動作制御回路24は、読み出しコマンドRDおよび書き込みコマンドWRに応答してメモリコア22の読み出し動作および書き込み動作を実行するための制御信号CNTを出力する。制御信号CNTは、ワード線WLの活性化タイミングを決めるワード線活性化信号、センスアンプSAの活性化タイミングを決めるセンスアンプ活性化信号、コラムスイッチCSWのオンタイミングを決めるコラム制御信号、およびビット線BL、/BLのプリチャージタイミングを決めるプリチャージ制御信号等がある。
図2は、図1に示したメモリセルアレイARYの詳細を示している。メモリセルアレイARYは、例えば、32個のメモリブロックBLK0−31で構成されている。各メモリブロックBLK0−31は、256本のワード線WLを有し、データ端子DQ0−63毎に256組のビット線対BL、/BLを有している。ロウアドレス信号RAD8−12は、メモリブロックBLK0−31のいずれかを選択するために使用される。ロウアドレス信号RAD0−7は、各メモリブロックBLK0−31のワード線WLのいずれかを選択するために使用される。コラムアドレス信号CAD0−7は、ビット線BL、/BLを選択するために使用される。
図3は、本発明が適用されるシステムの概要を示している。例えば、システムSYSは、コントローラCNTLおよびメモリMEMをパッケージ基板上に搭載して、システムインパッケージSIPとして形成されている。コントローラCNTLは、例えば、メモリMEMをアクセスするためのCPUを有するASICチップである。システムSYSに接続される外部ソースは、コントローラCNTLを介してメモリMEMをアクセスする。このため、メモリMEMの外部端子は、SIPの外部端子に接続されない。
コントローラCNTLは、アドレス出力回路AOCおよびデータ入出力回路DIOCを有している。アドレス出力回路AOCは、バンクアドレス信号BA、ロウアドレス信号RAD8−12、RAD0−7、コラムアドレス信号CAD0−7およびデータマスク信号BMD0−7を、クロック信号CLKの遷移エッジに同期してメモリMEMのアドレス端子AD0−7に順次出力する。データ入出力回路DIOCは、メモリMEMのデータ端子DQ0−63を介して書き込みデータを出力し、読み出しデータを入力する。なお、クロック信号CLK、/CLKは、コントローラCNTLで生成するのではなく、システムS
YSの外部から受けてもよい。
図4は、第1の実施形態の動作を示している。この例では、16進数で”55”を示すデータマスク信号BDM0−7が供給される。また、読み出しレイテンシRCLは”2”、書き込みレイテンシWCLは”1”、バースト長BLは”4”に設定されている。実線のクロック波形は、クロック信号CLKを示し、破線のクロック波形は、クロック信号/CLKを示す。図中のクロック番号1、2を付したクロック信号CLK、/CLKは、連続しなくてもよい。メモリMEMに供給される信号は、図3に示したコントローラCNTLから出力され、メモリMEMから出力される読み出しデータD10−D47は、コントローラCNTLに出力される。
読み出し動作RDの読み出しデータにおいて、太枠のデータは、マスクされないデータを示し、破線のデータは、マスクされるデータを示す。マスクされる読み出しデータは、図1に示したデータ入出力回路20から出力されない。このため、図3に示したSIPのデータバスDQ0−63は、破線のデータ期間に高インピーダンス状態になる。書き込み動作WRの書き込みデータにおいて、太枠のデータは、マスクされないデータを示し、網掛けのデータは、マスクされるデータを示す。マスクされる書き込みデータは、データ入出力回路20に供給されるが、メモリセルMCには書き込まれない。
まず、1番目のクロック信号CLKの立ち上がりエッジに同期して、コマンド端子CMDにアクティブコマンドACTが供給され、バンクアドレス端子BAにバンクアドレス信号BAが供給され、アドレス端子AD0−7に最初のロウアドレス信号R1(RAD8−12)が供給される。バンクアドレス信号BAに対応するバンクBKの動作制御回路24は、アクティブコマンドACTに応答してメモリコア22を活性化するために制御信号CNTを出力する。そして、例えば、ワード線WLの高レベル電圧に使用される昇圧電圧が、ロウアドレス信号RAD8−12により選択されるメモリブロックBLKに供給される。すなわち、最初のロウアドレス信号RAD8−12の供給に応答して、メモリブロックBLKのアクセス動作の準備が行われる。最初に供給されるロウアドレス信号RADの一部を用いて、メモリブロックBLKを予め選択し、アクセス動作の準備をすることにより、ロウアドレス信号RAD0−12を複数回に分けて受ける場合にも、アクセス時間が遅れることを防止できる。
次に、1番目のクロック信号CLKの立ち下がりエッジに同期して、2番目のロウアドレス信号R2(RAD0−7)が供給される。そして、ロウアドレス信号RAD0−7により予め選択されたメモリブロックBLKのワード線WLのいずれかが活性化される。すなわち、バンクBK0−1のいずれかが、アクセス可能な状態に活性化される。なお、この後、活性化されていない残りのバンクBKを活性化するために、アクティブコマンドACTを供給してもよい。
3番目のクロック信号CLKの立ち上がりエッジに同期して、コマンド端子CMDに読み出しコマンドRDまたは書き込みコマンドWRが供給され、バンクアドレス端子BAにアクセス動作を実行するバンクBKを示すバンクアドレス信号BAが供給され、アドレス端子AD0−7にコラムアドレス信号C1(CAD0−7)が供給される。動作制御回路24は、読み出しコマンドRDまたは書き込みコマンドWRに応じて、メモリコア22に読み出し動作または書き込み動作を実行するための制御信号CNTを出力する。この時点では、読み出しデータはメモリセルアレイARYから出力されず、書き込みデータもデータ端子DQ0−63に供給されない。このため、メモリMEMは、データマスク信号BDM0−7を、コラムアドレス信号CAD0−7とともに受ける必要はない。
データマスク信号BDM0−7は、3番目のクロック信号CLKの立ち下がりエッジに
同期して供給される。本発明では、全てのアドレス端子AD0−7を用いてデータマスク信号BDM0−7を供給できる。換言すれば、アドレス端子AD0−7は、3番目のクロック信号CLKの立ち下がりエッジにおいて、データマスク信号BDM0−7を受ける専用端子として機能する。このため、データ端子DQ0−63のビット数が多く、データマスク信号BDM0−7のビット数が多い場合にも、外部端子数を増やすことなくデータDQ0−63のマスク制御を実施できる。
コントローラCNTLは、データマスク信号BDM0−7を、コラムアドレス信号CAD0−7の供給から半クロック後に供給すればよい。このため、コントローラCNTL内でのデータのマスク制御を、時間的な余裕を持って実施できる。換言すれば、コントローラCNTLにおいて、データのマスク制御を実施する制御回路のタイミングマージンを大きくでき、コントローラCNTLの設計を容易にできる。
この例では、データマスク信号BDM0−7の論理は、16進数で”55”である。この実施形態では、論理1を示すビットBDMに対応するデータグループDQ0−7、DQ16−23、DQ32−39、DQ48−55のデータはマスクされる。論理0を示すビットBDMに対応するデータグループDQ8−15、DQ24−31、DQ40−47、DQ56−63のデータはマスクされない。読み出し動作RDでは、読み出しコマンドRDを受けてから2クロック後である5番目のクロック信号CLKの立ち上がりエッジに同期して最初の読み出しデータD10−D17が出力される。この後、クロック信号CLKの立ち下がりエッジ、立ち上がりエッジおよび立ち下がりエッジにそれぞれ同期して、読み出しデータD20−D27、D30−D37およびD40−47が順次出力される(但し、マスクされるデータは出力されない)。
書き込み動作WRでは、書き込みコマンドWRを受けてから1クロック後である4番目のクロック信号CLKの立ち上がりエッジに同期して最初の書き込みデータD10−D17が、メモリMEMに供給される。この後、クロック信号CLKの立ち下がりエッジ、立ち上がりエッジおよび立ち下がりエッジにそれぞれ同期して、書き込みデータD20−D27、D30−D37およびD40−47が、メモリMEMに順次供給される(但し、マスクされるデータはメモリセルMCに書き込まれない)。
以上、第1の実施形態では、メモリMEMは、クロック信号CLKの立ち上がりエッジおよび立ち下がりエッジにそれぞれ同期して、コラムアドレス信号CAD0−7およびデータマスク信号BDM0−7をそれぞれ受ける。すなわち、データマスク信号BDM0−7は、コラムアドレス信号CAD0−7の受信タイミングとは別のタイミングで、アドレス端子AD0−7に供給される。したがって、データ端子DQ0−63のビット数が多く、データマスク信号BDM0−7のビット数が多い場合にも、外部端子数を増やすことなくデータDQ0−63のマスク制御を実施できる。具体的には、ロウアドレス信号RAD8−12を供給するための端子(5本)と、データマスク信号BDM0−7を供給する端子(8本)を、従来に比べて削減できる。この結果、メモリMEMおよびコントローラCNTLのチップサイズを削減でき、システムコストを削減できる。
アドレス入力回路16は、クロック信号CLKの立ち上がりエッジおよび立ち下がりエッジに同期してロウアドレス信号RAD0−12を受け、クロック信号CLKの別の立ち上がりエッジおよび立ち下がりエッジに同期してコラムアドレス信号CAD0−7およびデータマスク信号BDM0−7を受ける。このため、ロウアドレス信号RAD0−12およびコラムアドレス信号CAD0−7の供給頻度を従来と同じにして、さらにデータマスク信号BDM0−7を受けることができる。
図5は、本発明の第2の実施形態を示している。第1の実施形態で説明した要素と同一
の要素については、同一の符号を付し、これ等については、詳細な説明を省略する。この実施形態のメモリMEMは、プログラム回路26および冗長判定回路28を有している。また、後述する図6に示すように、メモリセルアレイARYが第1の実施形態と相違している。その他の構成は、第1の実施形態と同じである。すなわち、メモリMEMは、クロック同期式のFCRAMである。メモリMEMは、図3に示したように、SIPを構成するコントローラCNTLによりアクセスされる。
プログラム回路26は、例えば、不良のメモリブロックBLKを示す不良ブロックアドレスBADがプログラムされるヒューズ回路を有しており、不良ブロックアドレスBAD8−12を出力する。不良ブロックアドレスBAD8−12は、ロウアドレス信号RAD8−12に対応する。プログラム回路26は、不良ブロックアドレスBADを記憶する不良アドレス記憶回路として機能する。
冗長判定回路28は、ロウアドレス信号RAD8−12の値が不良ブロックアドレスBAD8−12に一致するときに、冗長活性化信号RACTを高論理レベルに活性化する。メモリブロックの不良は、図4に示した1番目のクロック信号CLKの立ち上がりエッジに同期して供給される最初のロウアドレス信号RAD8−12により判定できる。
ロウアドレスデコーダRDECは、活性化された冗長活性化信号RACTを受けたときに、ロウアドレス信号RAD8−12により選択されるメモリブロックBLKのアクセスを禁止し、冗長メモリブロックRBLK(図6)をアクセスする。すなわち、不良の通常メモリブロックBLKは、冗長メモリブロックRBLKに置き換えられる。メモリブロックBLKの置き換え制御は、図4に示した1番目のクロック信号CLKの立ち上がりエッジに同期して実施できる。このため、冗長メモリブロックRBLKのアクセス動作のアクセス時間が遅くなることはない。
なお、冗長判定回路28の判定時間が、アクセス時間に影響する場合、1番目のクロック信号CLKの立ち上がりエッジに同期して、ロウアドレス信号RAD8−12により選択されるメモリブロックBLKと冗長メモリブロックRBLKの両方のアクセス動作の準備を開始し、冗長判定後に一方のアクセス動作をキャンセルしてもよい。
図6は、図5に示したメモリセルアレイARYの詳細を示している。メモリセルアレイARYは、32個の通常メモリブロックBLK0−31と、1つの冗長メモリブロックRBLKで構成されている。各メモリブロックBLK0−31は、第1の実施形態と同じ構成である。冗長メモリブロックRBLKは、各メモリブロックBLK0−31と同じ構成である。
以上、第2の実施形態においても、上述した第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。さらに、この実施形態では、2回に分けて供給されるロウアドレス信号RAD0−12のうち、最初のロウアドレス信号RAD8−12により冗長判定を実施できる。このため、不良のメモリブロックBLKに対するアクセス要求が発生したとき場合にも、冗長メモリブロックRBLKのアクセス動作を早く開始でき、アクセス時間が長くなることを防止できる。
図7は、本発明の第3の実施形態を示している。第1の実施形態で説明した要素と同一の要素については、同一の符号を付し、これ等については、詳細な説明を省略する。この実施形態では、第1の実施形態のマスク制御回路18の代わりにマスク制御回路18Aが形成されている。また、1ビットのデータマスク信号DM(第2データマスク信号)を受けるデータマスク端子DMが形成されている。その他の構成は、第1の実施形態と同じである。すなわち、メモリMEMは、クロック同期式のFCRAMである。メモリMEMは
、図3に示したように、SIPを構成するコントローラCNTLによりアクセスされる。コントローラCNTLは、データマスク信号DMを生成するマスク制御回路と、データマスク信号DMを出力するデータマスク端子DMとを有している。
マスク制御回路18Aは、データマスク信号BDM0−7の各ビットの値と、データマスク信号DMの値のOR論理を演算し、演算結果をデータマスク信号DQM0−7として出力する。データ入出力回路20は、データマスク信号DQM0−7の各ビットの論理に応じて、データグループ毎に読み出しデータおよび書き込みデータをマスクする。
図8は、第3の実施形態の動作を示している。上述した図4と同じ動作については、詳細な説明を省略する。この実施形態では、読み出し動作において、読み出しコマンドRDを受けた次のクロック信号CLKの立ち下がりエッジおよび立ち上がりエッジにそれぞれ同期して、データマスク信号DMがメモリMEMに供給される。書き込み動作において、書き込みデータの供給タイミングにそれぞれ同期してデータマスク信号DMがメモリMEMに供給される。この例では、データマスク信号DMは、1回の読み出しコマンドRDまたは1回の書き込みコマンドWRに応答して、バースト長に対応する数(この例では”4”)だけ供給される。
3番目のクロックサイクルまでの動作は、図4と同じである。読み出し動作では、読み出しデータD10−17、D20−D27、D30−D37、D40−47の出力の1クロック前にそれぞれ合わせて、低論理レベルL、高論理レベルH、高論理レベルH、低論理レベルLのデータマスク信号DMがそれぞれ供給される。書き込み動作では、書き込みデータD10−17、D20−D27、D30−D37、D40−47の入力に合わせて、低論理レベルL、高論理レベルH、高論理レベルH、低論理レベルLのデータマスク信号DMがそれぞれ供給される。
マスク制御回路18Aは、データマスク信号BDM0−7、DMのOR論理をデータマスク信号DQM0−7として出力する。このため、データマスク信号BDM0−7の高論理レベルのビットに対応するデータグループDQ0−7、DQ16−23、DQ32−39、DQ48−55のデータは、常にマスクされる。一方、データマスク信号BDM0−7の低論理レベルのビットに対応するデータグループDQ8−15、DQ24−31、DQ40−47、DQ56−63のデータは、データマスク信号DMが高論理レベルHのときのみマスクされる。
以上、第3の実施形態においても、上述した第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。さらに、この実施形態では、データマスク信号DMを受けるデータマスク端子DMを形成することにより、外部端子の増加を最小限にして、より複雑なマスク制御を実施できる。
図9は、本発明の第4の実施形態を示している。第1および第3の実施形態で説明した要素と同一の要素については、同一の符号を付し、これ等については、詳細な説明を省略する。この実施形態では、第1の実施形態のマスク制御回路18の代わりにマスク制御回路18Bが形成されている。また、1ビットのデータマスク信号DM(第2データマスク信号)を受けるデータマスク端子DMが形成されている。さらに、メモリMEMは、オートプリチャージ端子APとプリチャージ入力回路30Bを有している。その他の構成は、第1の実施形態と同じである。すなわち、メモリMEMは、クロック同期式のFCRAMである。メモリMEMは、読み出しコマンドRDおよび書き込みコマンドWRとともに高論理レベルのオートプリチャージ信号APを受けたとき、読み出し動作および書き込み動作の完了後、プリチャージ動作を自動的に実行する。
メモリMEMは、図3に示したように、SIPを構成するコントローラCNTLによりアクセスされる。コントローラCNTLは、データマスク信号DMを生成するマスク制御回路、データマスク信号DMを出力するデータマスク端子、オートプリチャージ信号APを生成するプリチャージ制御回路、およびオートプリチャージ信号APを出力するオートプリチャージ端子を有している。なお、オートプリチャージ端子APは、データマスク信号BXを受けるデータマスク端子としても機能する。
プリチャージ入力回路30Bは、オートプリチャージ端子APに供給される1ビットのオートプリチャージ信号APおよび1ビットのデータマスク信号BX(第3データマスク信号)をクロック信号CLKの立ち上がりエッジおよび立ち下がりエッジにそれぞれ同期して順次受ける。マスク制御回路18Bは、データマスク信号BDM0−7の各ビットの値と、データマスク信号DMの値と、データマスク信号BXの値の論理演算を実施し、演算結果をデータマスク信号DQM0−7として出力する。データ入出力回路20は、データマスク信号DQMの論理に応じて、データグループ毎に読み出しデータおよび書き込みデータをマスクする。
図10は、第4の実施形態の動作を示している。上述した図4および図8と同じ動作については、詳細な説明を省略する。オートプリチャージ端子APに供給される信号を除き、3番目のクロックサイクルまでの動作は、図4と同じである。プリチャージ入力回路30Bは、コラムアドレス信号C1(CAD0−7)を受けるクロック信号CLKの遷移エッジ(立ち上がりエッジ)に同期して、オートプリチャージ信号APを受け、データマスク信号BDM0−7を受けるクロック信号CLKの遷移エッジ(立ち下がりエッジ)に同期して、データマスク信号BXを受ける。この例では、データマスク信号BXは、高論理レベルHであり、データマスク信号BDM0−7は、16進数で”CC”である。データマスク信号DMの供給仕様は、第3の実施形態と同じである。
データマスク信号BXが高論理レベルHのとき、マスク制御回路18Bは、データマスク信号BDM0−7の各ビットの値と、データマスク信号DMの値とのOR論理を演算し、演算結果をデータマスク信号DQM0−7として出力する。このため、高論理レベルのデータマスク信号DMまたは高論理レベルのデータマスク信号BDM0−7に対応する読み出しデータおよび書き込みデータは、マスクされる。
図11は、第4の実施形態の別の動作を示している。上述した図4、図8および図10と同じ動作については、詳細な説明を省略する。この例では、データマスク信号BXは、低論理レベルLであり、データマスク信号BDM0−7は、16進数で”CC”である。データマスク信号DMの供給仕様は、第3の実施形態と同じである。
データマスク信号BXが低論理レベルLのとき、マスク制御回路18Bは、データマスク信号BDM0−7の各ビットの値と、データマスク信号DMの値とのOR論理を演算し、演算結果を反転してデータマスク信号DQM0−7として出力する。このため、高論理レベルのデータマスク信号DMまたは高論理レベルのデータマスク信号BDM0−7に対応する読み出しデータおよび書き込みデータは、マスクされない。換言すれば、低論理レベルのデータマスク信号DMおよび低論理レベルのデータマスク信号BDM0−7に対応する読み出しデータおよび書き込みデータのみが、マスクされる。
以上、第4の実施形態においても、上述した第1および第3の実施形態と同様の効果を得ることができる。さらに、この実施形態では、データマスク信号BXにより、さらに複雑なマスク制御を実施できる。具体的には、バースト読み出しデータおよびバースト書き込みデータの1バイトのみマスクすることができ、あるいは、バースト読み出しデータおよびバースト書き込みデータの1バイトを除きマスクすることができる。これにより、バ
イト単位でマスク/非マスクを設定することが多い画像処理データ等のマスク制御を容易に実施できる。また、データマスク信号BXを、オートプリチャージ端子APを使用して受けることにより、外部端子の増加を最小限にして、複雑なマスク制御を実施できる。
図12は、本発明の第5の実施形態を示している。第1、第3および第4の実施形態で説明した要素と同一の要素については、同一の符号を付し、これ等については、詳細な説明を省略する。この実施形態では、第4の実施形態のマスク制御回路18Bの代わりにマスク制御回路18Cが形成されている。また、1ビットのデータマスク信号/DM(第2データマスク信号)を受けるデータマスク端子/DMが新たに形成されている。その他の構成は、第4の実施形態と同じである。すなわち、メモリMEMは、クロック同期式のFCRAMである。
マスク制御回路18Cは、データマスク信号BDM0−7の各ビットの値と、データマスク信号DM、/DMの値と、データマスク信号BXの値の論理演算を実施し、演算結果をデータマスク信号DQM0−7として出力する。データ入出力回路20は、データマスク信号DQMの論理に応じて、データグループ毎に読み出しデータおよび書き込みデータをマスクする。
図13は、第5の実施形態の動作を示している。上述した図4、図8および図10と同じ動作については、詳細な説明を省略する。3番目のクロックサイクルまでの動作は、図10と同じである。この例では、データマスク信号BXは、高論理レベルHであり、データマスク信号BDM0−7は、16進数で”CC”である。データマスク信号DMの供給仕様は、第3の実施形態と同じである。データマスク信号/DMは、データマスク信号DMに同期して供給される。
マスク制御回路18Cは、データマスク信号BDM0−7の各ビットの値が低論理レベルのとき、データマスク信号DQM0−7の各ビットをデータマスク信号DMの論理と同じ論理に設定する。すなわち、マスク制御回路18Cは、データマスク信号BDM0−7の各ビットの値が低論理レベルのとき、データマスク信号DMを選択し、データマスク信号DQM0−7の各ビットとデータマスク信号DMとのOR論理を演算し、演算結果をデータマスク信号DQM0−7として出力する。
また、マスク制御回路18Cは、データマスク信号BDM0−7の各ビットの値が高論理レベルのとき、データマスク信号DQM0−7の各ビットをデータマスク信号/DMの論理と反対の論理に設定する。すなわち、マスク制御回路18Cは、データマスク信号BDM0−7の各ビットの値が高論理レベルのとき、データマスク信号/DMを選択し、データマスク信号DQM0−7の各ビットとデータマスク信号/DMとのNAND論理(負論理のOR論理)を演算し、演算結果をデータマスク信号DQM0−7として出力する。
図14は、第5の実施形態の別の動作を示している。上述した図4、図8および図11と同じ動作については、詳細な説明を省略する。3番目のクロックサイクルまでの動作は、図11と同じである。この例では、データマスク信号BXは、低論理レベルLであり、データマスク信号BDM0−7は、16進数で”CC”である。データマスク信号DM、/DMの供給仕様は、第5の実施形態と同じである。
マスク制御回路18Cは、データマスク信号BDM0−7の各ビットの値が低論理レベルのとき、データマスク信号DQM0−7の各ビットをデータマスク信号DMの論理と反対の論理に設定する。すなわち、マスク制御回路18Cは、データマスク信号BDM0−7の各ビットの値が低論理レベルのとき、データマスク信号DMを選択し、データマスク信号DQM0−7の各ビットとデータマスク信号DMとのNOR論理(負論理のAND論
理)を演算し、演算結果をデータマスク信号DQM0−7として出力する。
また、マスク制御回路18Cは、データマスク信号BDM0−7の各ビットの値が高論理レベルのとき、データマスク信号DQM0−7の各ビットをデータマスク信号/DMの論理と同じ論理に設定する。すなわち、マスク制御回路18Cは、データマスク信号BDM0−7の各ビットの値が高論理レベルのとき、データマスク信号/DMを選択し、データマスク信号DQM0−7の各ビットとデータマスク信号/DMとのAND論理を演算し、演算結果をデータマスク信号DQM0−7として出力する。
以上、第5の実施形態においても、上述した第1、第3および第4の実施形態と同様の効果を得ることができる。
なお、上述した実施形態では、本発明を、DDR方式のFCRAM(擬似SRAM)に適用する例について述べた。本発明はかかる実施形態に限定されるものではない。例えば、本発明を、DDR方式のSDRAM、あるいはSDR(Single Data Rate)方式のFCRAM、SDRAMに適用してもよい。
上述した実施形態では、本発明を、DRAMインタフェース(/RAS、/CASによるアドレスマルチプレクス方式)の半導体メモリに適用する例について述べた。本発明はかかる実施形態に限定されるものではない。例えば、本発明を、SRAMインタフェース(チップイネーブル信号/CE等によるアドレスノンマルチプレクス方式)の半導体メモリに適用しても、上述と同様の効果を得ることができる。この場合、例えば、ロウアドレス信号RAD0−12は、8ビットのロウアドレス端子を介して2回に分けて供給される。コラムアドレス信号CAD0−7は、8ビットのコラムアドレス端子を介して1回で供給される。また、コラムアドレス端子には、データマスク信号BDM0−7が供給される。
上述した実施形態では、メモリMEMが、ロウアドレス信号RAD0−12を上位の5ビット(RAD8−12)と下位の8ビット(RAD0−7)とに分けて受ける例について述べた。本発明はかかる実施形態に限定されるものではない。例えば、メモリMEMは、上位の8ビット(RAD5−12)と下位の5ビット(RAD0−4)とに分けて受けてもよい。この場合、最初のクロック信号CLKの立ち上がりエッジに同期して、より多くのロウアドレスビットを受けることができる。このため、ロウアドレス信号RADに関連する回路の動作を早く開始することが可能になる。
上述した実施形態では、メモリMEMがロウアドレス信号RAD0−12を2回に分けて受け、コラムアドレス信号CAD0−7およびデータマスク信号BDM0−7をそれぞれ1回で受ける例について述べた。本発明はかかる実施形態に限定されるものではない。例えば、メモリMEMは、ロウアドレス信号RADを3回以上に分けて受けてもよく、コラムアドレス信号CADを2回以上に分けて受けてもよい。さらに、データマスク信号BDMを2回以上に分けて受けてもよい。
上述した実施形態では、データマスク信号BDM0−7を、書き込みデータおよび読み出しデータのマスクに使用する例について述べた。本発明はかかる実施形態に限定されるものではない。例えば、データマスク信号BDM0−7を、書き込みデータのみをマスクするために使用してもよく、読み出しデータのみをマスクするために使用してもよい。
さらに、第2の実施形態における不良を救済するためのプログラム回路26、冗長判定回路28および冗長メモリブロックRBLKを、第3−第5の実施形態のメモリMEMに形成してもよい。
以上の実施形態において説明した発明を整理して、付記として開示する。
(付記1)
メモリセルと、メモリセルに接続されたワード線およびビット線とを有するメモリセルアレイと、
アドレス端子に供給される第1アドレス信号、第2アドレス信号および第1データマスク信号を、クロック信号の遷移エッジにそれぞれ同期して順次受けるアドレス入力回路と、
データ端子を介してデータを入出力するとともに、前記メモリセルへの書き込みデータおよび前記メモリセルからの読み出しデータの少なくともいずれかを、前記第1データマスク信号の論理に応じてマスクするデータ入出力回路とを備えていることを特徴とする半導体メモリ。
(付記2)
付記1記載の半導体メモリにおいて、
前記メモリセルアレイを構成する複数のメモリブロックを備え、
前記アドレス入力回路は、前記第1アドレス信号を前記クロック信号の遷移エッジにそれぞれ同期して複数回に分けて受け、
前記アドレス端子に最初に供給される前記第1アドレス信号の一部は、前記メモリブロックを選択するために使用されることを特徴とする半導体メモリ。
(付記3)
付記1記載の半導体メモリにおいて、
前記メモリセルアレイを構成する複数の通常メモリブロックおよび冗長メモリブロックと、
不良の通常メモリブロックを示す不良ブロックアドレスを記憶する不良アドレス記憶回路と、
前記第1アドレス信号のうち前記通常メモリブロックを選択するためのブロック選択アドレスが前記不良ブロックアドレスと一致するときに、不良の通常メモリブロックを冗長メモリブロックに置き換えるために冗長活性化信号を出力する冗長判定回路とを備え、
前記アドレス入力回路は、前記第1アドレス信号を前記クロック信号の遷移エッジにそれぞれ同期して複数回に分けて受け、
前記アドレス端子に最初に供給される前記第1アドレス信号の一部は、前記ブロック選択アドレスを含むことを特徴とする半導体メモリ。
(付記4)
付記1記載の半導体メモリにおいて、
前記第1アドレス信号のビット数は、前記第2アドレス信号のビット数より多く、
前記アドレス入力回路は、前記クロック信号の互いに隣接する遷移エッジに同期して前記第1アドレス信号の一部のビットと残りのビットとを受け、前記クロック信号の互いに隣接する遷移エッジに同期して前記第2アドレス信号と前記第1データマスク信号とを受けることを特徴とする半導体メモリ。
(付記5)
付記1記載の半導体メモリにおいて、
前記書き込みデータおよび前記読み出しデータは、複数のデータグループでそれぞれ構成され、
前記第1データマスク信号は、前記データグループにそれぞれ対応してマスク/非マスクを設定するための複数のマスクビットで構成されること特徴とする半導体メモリ。
(付記6)
付記1記載の半導体メモリにおいて、
前記第1データマスク信号と、データマスク端子で受ける第2データマスク信号のビット値の論理演算を実施するマスク制御回路を備え、
前記データ入出力回路は、前記マスク制御回路の演算により得られた論理に応じて、前
記書き込みデータおよび前記読み出しデータの少なくともいずれかをマスクすることを特徴とする半導体メモリ。
(付記7)
付記6記載の半導体メモリにおいて、
前記データ入出力回路は、前記第2アドレス信号に対応して前記書き込みデータを複数回受け、
前記マスク制御回路は、前記各書き込みデータに対応して前記第2データマスク信号を受け、前記書き込みデータ毎に論理演算を実施することを特徴とする半導体メモリ。
(付記8)
付記6記載の半導体メモリにおいて、
前記データ入出力回路は、前記第2アドレス信号に対応して、前記読み出しデータを複数回出力し、
前記マスク制御回路は、前記各読み出しデータに対応して前記第2データマスク信号を受け、前記読み出しデータ毎に論理演算を実施することを特徴とする半導体メモリ。
(付記9)
付記6記載の半導体メモリにおいて、
オートプリチャージ信号および第3データマスク信号をクロック信号の遷移エッジにそれぞれ同期して順次受けるプリチャージ入力回路を備え、
前記マスク制御回路は、前記第1、第2および第3データマスク信号のビット値の論理演算を実施し、
前記データ入出力回路は、前記マスク制御回路の演算により得られた論理に応じて、前記書き込みデータおよび前記読み出しデータの少なくともいずれかをマスクすることを特徴とする半導体メモリ。
(付記10)
付記1記載の半導体メモリにおいて、
前記第1アドレス信号は、前記ワード線を選択するためのロウアドレス信号であり、前記第2アドレス信号は、前記ビット線を選択するためのコラムアドレス信号であることを特徴とする半導体メモリ。
(付記11)
メモリセルを含むメモリセルアレイを有する半導体メモリのアクセスを制御するコントローラであって、
第1アドレス信号および第2アドレス信号と、前記メモリセルへの書き込みデータおよび前記メモリセルからの読み出しデータの少なくともいずれかを前記半導体メモリ内でマスクするための第1データマスク信号とを、クロック信号の遷移エッジにそれぞれ同期して前記半導体メモリのアドレス端子に順次出力するアドレス出力回路と、
前記半導体メモリのデータ端子を介して前記書き込みデータを出力し、前記読み出しデータを入力するデータ入出力回路とを備えていることを特徴とするコントローラ。
(付記12)
付記11記載のコントローラにおいて、
前記アドレス出力回路は、前記第1アドレス信号を前記クロック信号の遷移エッジにそれぞれ同期して複数回に分けて出力し、
前記アドレス端子に最初に出力する前記第1アドレス信号の一部は、前記メモリセルアレイを構成する複数のメモリブロックを選択するために使用されることを特徴とするコントローラ。
(付記13)
付記11記載のコントローラにおいて、
前記第1アドレス信号のビット数は、前記第2アドレス信号のビット数より多く、
前記アドレス出力回路は、前記クロック信号の互いに隣接する遷移エッジに同期して前記第1アドレス信号の一部のビットと残りのビットとを出力し、前記クロック信号の互いに隣接する遷移エッジに同期して前記第2アドレス信号と前記第1データマスク信号とを
出力することを特徴とするコントローラ。
(付記14)
メモリセルを選択するための第1アドレス信号および第2アドレス信号と、前記メモリセルに入出力されるデータをマスクするための第1データマスク信号とを、クロック信号の遷移エッジにそれぞれ同期してアドレス端子で順次受け、
データ端子を介してデータを入出力するとともに、前記メモリセルへの書き込みデータおよび前記メモリセルからの読み出しデータの少なくともいずれかを、前記第1データマスク信号の論理に応じてマスクすることを特徴とする半導体メモリの動作方法。
(付記15)
付記14記載の半導体メモリの動作方法において、
前記メモリセルアレイを構成する複数のメモリブロックを備え、
前記第1アドレス信号を前記クロック信号の遷移エッジにそれぞれ同期して複数回に分けて受け、
前記アドレス端子に最初に供給される前記第1アドレス信号の一部を用いて、前記メモリセルアレイを構成する複数のメモリブロックを選択することを特徴とする半導体メモリの動作方法。
(付記16)
付記14記載の半導体メモリの動作方法において、
前記クロック信号の互いに隣接する遷移エッジに同期して前記第1アドレス信号の一部のビットと残りのビットとを受け、
前記クロック信号の互いに隣接する遷移エッジに同期して前記第2アドレス信号と前記第1データマスク信号とを受け、
前記第1アドレス信号のビット数は、前記第2アドレス信号のビット数より多いことを特徴とする半導体メモリの動作方法。
(付記17)
付記14記載の半導体メモリの動作方法において、
前記第1データマスク信号と、データマスク端子で受ける第2データマスク信号のビット値の論理演算を実施し、
前記論理演算により得られた論理に応じて、前記書き込みデータおよび前記読み出しデータの少なくともいずれかをマスクすることを特徴とする半導体メモリの動作方法。
本発明は、半導体メモリおよびこの半導体メモリをアクセスするコントローラに適用可能である。
本発明の第1の実施形態を示すブロック図である。 図1に示したメモリセルアレイの詳細を示すブロック図である。 本発明が適用されるシステムの概要を示すブロック図である。 第1の実施形態の動作を示すタイミング図である。 本発明の第2の実施形態を示すブロック図である。 図5に示したメモリセルアレイの詳細を示すブロック図である。 本発明の第3の実施形態を示すブロック図である。 第3の実施形態の動作を示すタイミング図である。 本発明の第4の実施形態を示すブロック図である。 第4の実施形態の動作を示すタイミング図である。 第4の実施形態の別の動作を示すタイミング図である。 本発明の第5の実施形態を示すブロック図である。 第5の実施形態の動作を示すタイミング図である。 第5の実施形態の別の動作を示すタイミング図である。
符号の説明
10‥クロック入力回路;12‥コマンドデコーダ;14‥モードレジスタ;16‥アドレス入力回路;18‥マスク制御回路;20‥データ入出力回路;22‥メモリコア;24‥動作制御回路;BDM0−7‥データマスク信号;BK0、BK1‥バンク;BX‥データマスク信号;CAD0−7‥コラムアドレス信号;CNTL‥コントローラ;DM、/DM‥データマスク信号;MEM‥メモリ;RAD0−12‥ロウアドレス信号

Claims (9)

  1. メモリセルと、メモリセルに接続されたワード線およびビット線とを有するメモリセルアレイと、
    アドレス端子に供給される第1アドレス信号、第2アドレス信号および第1データマスク信号を、クロック信号の遷移エッジにそれぞれ同期して順次受けるアドレス入力回路と、
    データ端子を介してデータを入出力するとともに、前記メモリセルへの書き込みデータおよび前記メモリセルからの読み出しデータの少なくともいずれかを、前記第1データマスク信号の論理に応じてマスクするデータ入出力回路とを備え
    前記第1アドレス信号のビット数は、前記第2アドレス信号のビット数より多く、
    前記アドレス入力回路は、前記クロック信号の互いに隣接する遷移エッジに同期して前記第1アドレス信号の一部のビットと残りのビットとを受け、前記クロック信号の互いに隣接する遷移エッジに同期して前記第2アドレス信号と前記第1データマスク信号とを受けることを特徴とする半導体メモリ。
  2. 請求項1記載の半導体メモリにおいて、
    前記メモリセルアレイを構成する複数のメモリブロックを備え、
    前記アドレス入力回路は、前記第1アドレス信号を前記クロック信号の遷移エッジにそれぞれ同期して複数回に分けて受け、
    前記アドレス端子に最初に供給される前記第1アドレス信号の一部は、前記メモリブロックを選択するために使用されることを特徴とする半導体メモリ。
  3. 請求項1記載の半導体メモリにおいて、
    前記メモリセルアレイを構成する複数の通常メモリブロックおよび冗長メモリブロックと、
    不良の通常メモリブロックを示す不良ブロックアドレスを記憶する不良アドレス記憶回路と、
    前記第1アドレス信号のうち前記通常メモリブロックを選択するためのブロック選択アドレスが前記不良ブロックアドレスと一致するときに、不良の通常メモリブロックを冗長メモリブロックに置き換えるために冗長活性化信号を出力する冗長判定回路とを備え、
    前記アドレス入力回路は、前記第1アドレス信号を前記クロック信号の遷移エッジにそれぞれ同期して複数回に分けて受け、
    前記アドレス端子に最初に供給される前記第1アドレスの一部は、前記ブロック選択アドレスを含むことを特徴とする半導体メモリ。
  4. 請求項1記載の半導体メモリにおいて、
    前記書き込みデータおよび前記読み出しデータは、複数のデータグループでそれぞれ構成され、
    前記第1データマスク信号は、前記データグループにそれぞれ対応してマスク/非マスクを設定するための複数のマスクビットで構成されること特徴とする半導体メモリ。
  5. 請求項1記載の半導体メモリにおいて、
    前記第1データマスク信号と、データマスク端子で受ける第2データマスク信号のビット値の論理演算を実施するマスク制御回路を備え、
    前記データ入出力回路は、前記マスク制御回路の演算により得られた論理に応じて、前記書き込みデータおよび前記読み出しデータの少なくともいずれかをマスクすることを特徴とする半導体メモリ。
  6. 請求項5記載の半導体メモリにおいて、
    前記データ入出力回路は、前記第2アドレス信号に対応して前記書き込みデータを複数回受け、
    前記マスク制御回路は、前記各書き込みデータに対応して前記第2データマスク信号を受け、前記書き込みデータ毎に論理演算を実施することを特徴とする半導体メモリ。
  7. 請求項5記載の半導体メモリにおいて、
    オートプリチャージ信号および第3データマスク信号をクロック信号の遷移エッジにそれぞれ同期して順次受けるプリチャージ入力回路を備え、
    前記マスク制御回路は、前記第1、第2および第3データマスク信号のビット値の論理演算を実施し、
    前記データ入出力回路は、前記マスク制御回路の演算により得られた論理に応じて、前記書き込みデータおよび前記読み出しデータの少なくともいずれかをマスクすることを特徴とする半導体メモリ。
  8. メモリセルを含むメモリセルアレイを有する半導体メモリのアクセスを制御するコントローラであって、
    第1アドレス信号および第2アドレス信号と、前記メモリセルへの書き込みデータおよび前記メモリセルからの読み出しデータの少なくともいずれかを前記半導体メモリ内でマスクするための第1データマスク信号とを、クロック信号の遷移エッジにそれぞれ同期して前記半導体メモリのアドレス端子に順次出力するアドレス出力回路と、
    前記半導体メモリのデータ端子を介して前記書き込みデータを出力し、前記読み出しデータを入力するデータ入出力回路とを備え
    前記第1アドレス信号のビット数は、前記第2アドレス信号のビット数より多く、
    前記アドレス出力回路は、前記クロック信号の互いに隣接する遷移エッジに同期して前記第1アドレス信号の一部のビットと残りのビットとを出力し、前記クロック信号の互いに隣接する遷移エッジに同期して前記第2アドレス信号と前記第1データマスク信号とを出力することを特徴とするコントローラ。
  9. メモリセルを選択するための第1アドレス信号の一部のビットと残りのビットとをクロック信号の互いに隣接する遷移エッジに同期してアドレス端子で順次受け、第2アドレス信号と、前記メモリセルに入出力されるデータをマスクするための第1データマスク信号とを前記クロック信号の互いに隣接する遷移エッジに同期して前記アドレス端子で順次受け、
    データ端子を介してデータを入出力するとともに、前記メモリセルへの書き込みデータおよび前記メモリセルからの読み出しデータの少なくともいずれかを、前記第1データマスク信号の論理に応じてマスクし、
    前記第1アドレス信号のビット数は、前記第2アドレス信号のビット数より多いことを特徴とする半導体メモリの動作方法。
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