JP5082845B2 - 高熱伝導性黒鉛粒子分散型複合体及びその製造方法 - Google Patents
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Description
(A) 黒鉛粒子
黒鉛粒子は、熱分解黒鉛、キッシュ黒鉛又は天然黒鉛からなるのが好ましい。熱分解黒鉛はミクロンオーダーの結晶粒が集合した多結晶体でありながら、各結晶粒のc軸方位が同一方向を向いているために、黒鉛単結晶に近い物性を示す。そのため、理想的な黒鉛粒子はa、b軸方向で約2000 W/mK近い熱伝導率を示す。また熱分解黒鉛、キッシュ黒鉛及び天然黒鉛は微小な結晶子が特定の方向に配向しており、理想的な黒鉛構造に近い構造を有するため、高い熱伝導率を有する。具体的には、熱分解黒鉛の熱伝導率は約1000 W/mKであり、キッシュ黒鉛の熱伝導率は約600 W/mKであり、天然黒鉛の熱伝導率は約400 W/mKである。
黒鉛粒子を被覆する金属は、できるだけ高い熱伝導率を有するものでなければならない。そのため、銀、銅及びアルミニウムからなる群から選ばれた少なくとも一種であるのが好ましい。なかでも銅は高い熱伝導率と優れた耐酸化性を有し、安価であるので好ましい。
黒鉛粒子の体積割合が60%より少ないと黒鉛の高熱伝導性が活かされず、少なくとも一方向の熱伝導率が150 W/mK以上にならない。一方、黒鉛粒子の体積割合が95%より多いと、黒鉛粒子間の金属層が少なすぎ、複合体の緻密化が困難となり、やはり少なくとも一方向の熱伝導率が150 W/mK以上にならない。黒鉛粒子の好ましい体積割合は70〜90%である。
本発明の黒鉛粒子分散型複合体の熱伝導率は異方性を有し、加圧方向に直交する方向で非常に大きく、加圧方向では小さい。これは、使用する黒鉛粒子が偏平形状を有し、図3に示すように加圧方向に黒鉛と金属の層が層状に配列し、黒鉛粒子の短軸方向に対し長軸方向の熱伝導率が高いためである。例えばキッシュ黒鉛自体は約600 W/mKと大きな熱伝導率を有するので、黒鉛粒子と金属の界面での熱伝導率の低下をできるだけ防げば、得られる複合体の熱伝導率は約600 W/mKに近い非常に高いものとなると予想される。そのため、黒鉛粒子の平均粒径、複合体の相対密度、熱処理等の条件を最適化する。その結果、本発明の黒鉛粒子分散型複合体の少なくとも一方向の熱伝導率は、150 W/mK以上であり、好ましくは200 W/mK以上であり、より好ましくは300 W/mK以上である。
上記の通り、高い熱伝導率を得るためには、複合体の相対密度は80%以上であるのが好ましく、90%以上であるのがより好ましく、92%以上であるのが最も好ましい。このように高い相対密度を得るためには、黒鉛粒子の平均粒径が最も重要であり、その他に熱処理温度や黒鉛粒子の種類及びアスペクト比等が重要である。上記の通り、高い相対密度を得るためには、黒鉛粒子の平均粒径の下限は20μm、好ましくは40μmであり、上限は500μm、好ましくは400μmである。また熱処理温度は、下記の通り、300℃以上であり、好ましくは300〜900℃であり、より好ましくは500〜800℃である。さらに熱処理中20 MPa以上で加圧すると、複合体の相対密度は一層高まる。
(1) X線回折による金属のピーク比
複合体中の金属部分のX線回折から第2のピーク値/第1のピーク値の比(単に「ピーク比」という)を求めることにより、金属の熱伝導性の良否を判定することができる。ここで、第1のピーク値は最も高いピークの強度値であり、第2のピーク値は二番目に高いピークの強度値である。ピーク比により被覆金属の熱伝導率を判定する基準は下記の通りである。
厚さ1 mmの圧延銅板(C1020P無酸素銅、古川電気工業株式会社製)を7 mm×7 mmに切り取り、熱処理(真空中で300℃/hrの速度で昇温し、900℃で1時間保持し、炉冷する)を施したものを銅基準片とする。銅基準片のピーク比は46%である。黒鉛/銅複合体のピーク比が46%に近づくほど、銅本来の特性が発現され、複合体の熱伝導率も高くなる。
基準片として、アルミニウム粉末(純度:4N、山石金属株式会社製)を圧力500 MPaで7 mm×7 mm×1 mmの大きさに加圧成形し、熱処理(真空中で300℃/hrの速度で昇温し、550℃で1時間保持し、炉冷する)を施したものを用いる。このアルミニウム基準片のピーク比は40%である。
基準片として、銀粉末(純度:4N、同和鉱業株式会社製)を圧力500 MPaで7 mm×7 mm×1 mmの大きさに加圧成形し、熱処理(真空中で300℃/hrの速度で昇温し、900℃で1時間保持し、炉冷する)を施したものを用いる。この銀基準片のピーク比は47%である。
複合体中の金属部分のX線回折から、金属の半価幅を求めることができる。半価幅は第1のピークの幅を表す。金属の半価幅は金属の結晶化度に比例し、金属の結晶化度が高いほど、複合体の熱伝導率も高い。例えば、被覆金属が銅の場合、銅基準片の第1ピークの半価幅を1としたとき、複合体中の銅の半価幅は4倍以下であるのが好ましい。
複合体中の金属部分の酸素濃度は低いほど、金属部分の熱伝導率が高く、従って複合体の熱伝導率も高い。従って、金属部分の酸素濃度は20000 ppm以下であるのが好ましい。
(A) 金属被覆
一般的な金属の被覆方法としては、無電解めっき法、メカニカルアロイング法、化学的気相蒸着(CVD)法、物理的気相蒸着(PVD)法等があるが、CVD法やPVD法では、大量の黒鉛粒子の表面に金属被覆を均一な厚さに形成するのが非常に困難である。大量の黒鉛粒子の表面に金属被覆を均一な厚さに形成するには、無電解めっき法及びメカニカルアロイング法が好ましく、なかでも無電解めっき法がより好ましい。無電解めっき法及びメカニカルアロイング法は単独で行っても良いが、組合せて行っても良い。メカニカルアロイング法は一般に溶解することなくボールミル等の装置を用いて合金粉末を作製する方法であるが、ここでは金属と黒鉛の合金を形成するのではなく、黒鉛粒子の表面に金属を密着させて、金属皮膜を形成する。
金属被覆黒鉛粒子は一方向に加圧することにより固化する。加圧により、黒鉛粒子を覆う金属被膜は塑性変形し、黒鉛粒子間の隙間を埋める。具体的には、金属被覆黒鉛粒子の固化は、一軸加圧成形法(プレス法)、ホットプレス(HP)法、パルス通電加圧焼結(SPS)法、又は圧延法により行うのが好ましい。
固化した複合体は、300℃以上で金属の融点より低い温度で熱処理するのが好ましい。熱処理温度が300℃未満では、黒鉛粒子分散型複合体の残留応力の除去の効果がほとんどない。熱処理温度が金属の融点以上になると、金属が黒鉛から分離し、緻密な組織の複合体とならない。金属の融点に近い温度で熱処理すると、複合体から残留応力を効果的に除去できる。熱処理の昇温速度は30℃/分以下が好ましく、降温速度は20℃/分以下が好ましい。昇温速度及び降温速度の好ましい一例は10℃/分である。昇温速度が30℃/分超か、降温速度が20℃超であると、急加熱又は急冷却のために新たな残留応力が生じる。熱処理時に加圧すると、複合体の密度及び熱伝導率はさらに向上する。熱処理時の加圧力は20〜200 MPaであるのが好ましく、50〜100 MPaであるのがより好ましい。
(1) 平均粒径
株式会社堀場製作所製のレーザ回折式粒度分布測定装置(LA-920)を用いて、エタノール中で超音波により3分間分散させた後に測定した。
(2) 平均アスペクト比
顕微鏡写真から画像解析により求めた各黒鉛粒子の長軸Lと短軸Tとの比(L/T)を平均した。
(3)(002)の面間隔
株式会社リガクのX線回折装置(RINT2500)を用いて測定した。
(4) 熱伝導率
京都電子工業製株式会社のレーザフラッシュ法熱物性測定装置(LFA-502)を用いて、JIS R 1611により測定した。
(5) 相対密度
金属被覆黒鉛粒子及び黒鉛/金属複合体の密度をそれぞれ測定し、[(黒鉛/金属複合体の密度)/(金属被覆黒鉛粒子の密度)]×100%により求めた。
(6) 複合体中の銅部分のX線回折のピーク値及びその半価幅
株式会社リガクのX線回折装置(RINT2500)を用いて測定した。
平均粒径が91.5μm、及び平均アスペクト比が3.4のキッシュ黒鉛80体積%に、20体積%の銀を無電解めっきした。得られた銀被覆黒鉛粒子を500 MPa及び室温で1分間一軸加圧成形し、黒鉛/銀複合体を得た。この黒鉛/銀複合体に対して熱処理を行わなかった。黒鉛/銀複合体の加圧方向に直交する方向での熱伝導率を測定したところ、180 W/mKであった。
平均粒径が91.5μm、(002)の面間隔が0.3355、及び平均アスペクト比が3.4のキッシュ黒鉛85体積%に15体積%の銅を無電解めっきした。得られた銅被覆黒鉛粒子を1000 MPa及び室温で1分間一軸加圧成形し、黒鉛/銅複合体を得た。この黒鉛/銅複合体に対して、600℃、真空中で1時間熱処理を行なった。黒鉛/銅複合体の加圧方向に直交する方向での熱伝導率を測定したところ、280 W/mKであった。
平均粒径が91.5μm、及び平均アスペクト比が3.4のキッシュ黒鉛85体積%に15体積%の銅を無電解めっきした。図2は得られた銅被覆黒鉛粒子の顕微鏡写真である。この銅被覆黒鉛粒子を、パルス通電加圧焼結(SPS)法により、60 MPa及び1000℃の条件で10分間焼結し、黒鉛/銅複合体を得た。この黒鉛/銅複合体に対して熱処理を行なわなかった。黒鉛/銅複合体の加圧方向に直交する方向での熱伝導率を測定したところ、420 W/mKであった。黒鉛/銅複合体の加圧方向断面の電子顕微鏡を図3(a) 及び図3(b)に示す。図中、1は銅層を示し、2は黒鉛相を示す。図3(a) 及び図3(b)に示すように、この黒鉛/銅複合体は、銅に囲まれた板状の黒鉛粒子からなる複合粒子同士の接合によって形成されており、加圧方向が積層方向の緻密な層状組織を有する。このため、この複合体は加圧方向に直交する方向で高い熱伝導率を有する。これは黒鉛/銅複合体以外の本発明の黒鉛/金属複合体についても言える。
平均粒径が91.5μm、(002)の面間隔が0.3358、及び平均アスペクト比が3.4のキッシュ黒鉛80体積%に20体積%の銅を無電解めっきした。得られた銅被覆黒鉛粒子をホットプレス(HP)法により60 MPa及び900℃で60分間焼結し、黒鉛/銅複合体を得た。この黒鉛/銅複合体に対して、900℃、真空中で1時間熱処理を行なった。黒鉛/銅複合体の加圧方向に直交する方向での熱伝導率を測定したところ、420 W/mKであった。
平均粒径が91.5μm、(002)の面間隔が0.3358、及び平均アスペクト比が3.4のキッシュ黒鉛90体積%に10体積%のアルミニウムを無電解めっきした。得られたアルミニウム被覆黒鉛粒子を、SPS法により60 MPa及び550℃で10分間焼結し、黒鉛/アルミニウム複合体を得た。この黒鉛/アルミニウム複合体に対して、500℃、大気圧の空気中で1時間熱処理を行った。黒鉛/アルミニウム複合体の加圧方向に直交する方向での熱伝導率を測定したところ、300 W/mKであった。
平均粒径が86.5μm、(002)の面間隔が0.3355、及び平均アスペクト比が5.6の熱分解黒鉛70体積%を、メカニカルアロイング法により30体積%の銀で被覆した。得られた銀被覆黒鉛粒子をHP法により80 MPa及び1000℃で60分間焼結し、黒鉛/銀複合体を得た。この黒鉛/銀複合体に対して、900℃、真空中で1時間熱処理を行なった。黒鉛/銀複合体の加圧方向に直交する方向での熱伝導率を測定したところ、320 W/mKであった。
平均粒径が86.5μm、(002)の面間隔が0.3355、及び平均アスペクト比が5.6の熱分解黒鉛65体積%を、メカニカルアロイング法により35体積%の銅で被覆した。得られた銅被覆黒鉛粒子を500 MPa及び室温で1分間一軸加圧成形し、黒鉛/銅複合体を得た。この黒鉛/銅複合体に対して、700℃、大気圧の窒素雰囲気中で1時間熱処理を行なった。黒鉛/銅複合体の加圧方向に直交する方向での熱伝導率を測定したところ、300 W/mKであった。
平均粒径が91.5μm、(002)の面間隔が0.3355、及び平均アスペクト比が3.4のキッシュ黒鉛85体積%に15体積%の銅を無電解めっきした。得られた銅被覆黒鉛粒子を1000 MPa及び室温で1分間一軸加圧成形し、黒鉛/銅複合体を得た。この黒鉛/銅複合体に対して、800℃、100 MPaのアルゴン雰囲気中で1時間熱処理を行なった。黒鉛/銅複合体の加圧方向に直交する方向での熱伝導率を測定したところ、440 W/mKであった。
平均粒径が91.5μm、及び平均アスペクト比が3.4のキッシュ黒鉛90体積%に10体積%の銀を無電解めっきした。得られた銀被覆黒鉛粒子を500 MPa及び室温で1分間一軸加圧成形し、黒鉛/銀複合体を得た。この黒鉛/銀複合体に対して、700℃、100 MPaのアルゴン雰囲気中で1時間熱処理を行なった。黒鉛/銀複合体の加圧方向に直交する方向での熱伝導率を測定したところ、460 W/mKであった。
平均粒径が91.5μm、及び平均アスペクト比が3.4のキッシュ黒鉛90体積%に、10体積%の銅を無電解めっきした。得られた銅被覆黒鉛粒子を1000 MPa及び室温で1分間一軸加圧成形し、黒鉛/銅複合体を得た。この黒鉛/銅複合体に対して熱処理を行わなかった。黒鉛/銅複合体の加圧方向に直交する方向での熱伝導率を測定したところ、220 W/mKであった。
平均粒径が98.3μm、(002)の面間隔が0.3356、及び平均アスペクト比が2.3の天然黒鉛60体積%に、40体積%の銅を無電解めっきした。得られた銅被覆黒鉛粒子を500 MPa及び室温で1分間一軸加圧成形し、黒鉛/銅複合体を得た。この黒鉛/銅複合体に対して熱処理を行わなかった。黒鉛/銅複合体の加圧方向に直交する方向での熱伝導率を測定したところ、150 W/mKであった。
平均粒径が98.3μm、(002)の面間隔が0.3356、及び平均アスペクト比が2.3の天然黒鉛95体積%に、5体積%の銅を無電解めっきした。得られた銅被覆黒鉛粒子を500 MPa及び室温で1分間一軸加圧成形し、黒鉛/銅複合体を得た。この黒鉛/銅複合体に対して熱処理を行わなかった。黒鉛/銅複合体の加圧方向に直交する方向での熱伝導率を測定したところ、250 W/mKであった。
平均粒径が91.5μm、及び平均アスペクト比が3.4のキッシュ黒鉛65体積%を、メカニカルアロイング法により35体積%のアルミニウムで被覆した。得られたアルミニウム被覆黒鉛粒子を1000 MPa及び室温で冷間圧延し、黒鉛/アルミニウム複合体を得た。この黒鉛/アルミニウム複合体に対して、500℃、大気圧の空気中で1時間熱処理を行なった。黒鉛/アルミニウム複合体の加圧方向に直交する方向での熱伝導率を測定したところ、200 W/mKであった。
平均粒径が91.5μm、及び平均アスペクト比が3.4のキッシュ黒鉛粒子55体積%と、平均粒径が10μmのアルミニウム粉末45体積%とをボールミルにより乾式混合した。得られた混合粉末を500 MPa及び室温で1分間一軸加圧し、黒鉛/アルミニウム複合体を得た。この黒鉛/アルミニウム複合体に対して熱処理を行わなかった。黒鉛/アルミニウム複合体の加圧方向に直交する方向での熱伝導率を測定したところ、120 W/mKであった。
平均粒径が6.8μm、(002)の面間隔が0.3375、及び平均アスペクト比が1.6の人造黒鉛85体積%に15体積%の銅を無電解めっきした。得られた銅被覆黒鉛粒子をHP法により60 MPa及び900℃で60分間焼結し、黒鉛/銅複合体を得た。この黒鉛/銅複合体に対して熱処理を行なわなかった。黒鉛/銅複合体の加圧方向に直交する方向での熱伝導率を測定したところ、100 W/mKであった。
平均粒径が6.8μm、(002)の面間隔が0.3378、及び平均アスペクト比が1.6の人造黒鉛70体積%を、メカニカルアロイング法により30体積%の銀で被覆した。得られた銀被覆黒鉛粒子を、SPS法により、50 MPa及び1000℃の条件で10分間焼結し、黒鉛/銀複合体を得た。この黒鉛/銀複合体に対して熱処理を行なわなかった。黒鉛/銀複合体の加圧方向に直交する方向での熱伝導率を測定したところ、120 W/mKであった。
平均粒径が91.5μm、及び平均アスペクト比が3.4のキッシュ黒鉛85体積%と、平均粒径が5.6μmの銅粉15体積%とをボールミルにより乾式混合した。得られた混合粉末を500 MPa及び室温で1分間一軸加圧し、黒鉛/銅複合体を得た。この黒鉛/銅複合体に対して熱処理を行わなかった。黒鉛/銅複合体の加圧方向に直交する方向での熱伝導率を測定したところ、80 W/mKであった。
熱処理温度を変えた以外実施例2と同様にして、黒鉛/銅複合体を作製し、加圧方向に直交する方向での熱伝導率を測定した。また黒鉛/銅複合体の相対密度及び酸素濃度を測定した。さらに黒鉛/銅複合体中の銅部分のX線回折の第1及び第2のピーク値及び第1のピークの半価幅を測定し、ピーク比及びピークの半価幅を求めた。結果を実施例2とともに表4に示す。
平均粒径及び平均アスペクト比が異なる黒鉛粒子を使用した以外実施例17と同様にして、黒鉛/銅複合体を作製し、加圧方向に直交する方向での熱伝導率及び相対密度を測定した。比較のために、平均粒径6.8μmの人造黒鉛粒子を用いた以外実施例17と同様にして作製した黒鉛/銅複合体(比較例8)についても、加圧方向に直交する方向での熱伝導率及び相対密度を測定した。結果を実施例17とともに表5に示す。また黒鉛粒子の平均粒径と複合体の熱伝導率との関係を図4に示す。
平均粒径が91.5μm、(002)の面間隔が0.3355、及び平均アスペクト比が3.4のキッシュ黒鉛88体積%に12体積%の銅を無電解めっきした。得られた銅被覆黒鉛粒子を1000 MPa及び室温で1分間一軸加圧成形し、黒鉛/銅複合体を得た。この黒鉛/銅複合体に対して、真空中で1000℃までの各温度で1時間熱処理した。熱処理温度700℃における複合体の加圧方向の断面組織を図5(a)(500倍)〜図5(d)(50,000倍)に示す。また熱処理した複合体の熱伝導率及び相対密度を測定した。熱処理温度と複合体の熱伝導率及び相対密度との関係を図6に示す。
実施例22と同じ銅被覆黒鉛粒子を、SPS法により60 MPaで、600℃及び1000℃でそれぞれ10分間焼結し、黒鉛/銅複合体を得た。各黒鉛/銅複合体の熱伝導率及び相対密度を測定した。焼結温度と複合体の熱伝導率及び相対密度との関係を図6に示す。
平均粒径が91.5μm、(002)の面間隔が0.3355、及び平均アスペクト比が3.4のキッシュ黒鉛50体積%と、平均粒径が10μmの銅粉50体積%とをボールミルにより乾式混合した。得られた混合粉末を、SPS法により60 MPa及び900℃で0.5時間焼結した。得られた黒鉛/銅複合体の熱伝導率及び相対密度を測定した。焼結温度と複合体の熱伝導率及び相対密度との関係を図6に示す。
Claims (16)
- 高熱伝導率の金属で被覆された黒鉛粒子を一方向に加圧し固化してなる黒鉛粒子分散型複合体であって、前記黒鉛粒子の平均粒径が20〜500μm且つ平均アスペクト比が2以上であり、前記黒鉛粒子と前記金属との体積比が60/40〜95/5であり、前記複合体の前記黒鉛粒子と前記金属が加圧方向に積層された層状組織を有し、前記金属が銀、銅及びアルミニウムからなる群から選ばれた少なくとも一種であり、前記加圧方向に直交する方向の熱伝導率が前記加圧方向の熱伝導率よりも高く且つ150 W/mK以上であることを特徴とする黒鉛粒子分散型複合体。
- 請求項1に記載の黒鉛粒子分散型複合体において、前記黒鉛粒子の(002)の面間隔が0.335〜0.337 nmであることを特徴とする黒鉛粒子分散型複合体。
- 請求項1又は2に記載の黒鉛粒子分散型複合体において、前記黒鉛粒子が熱分解黒鉛、キッシュ黒鉛及び天然黒鉛からなる群から選ばれた少なくとも一種からなることを特徴とする黒鉛粒子分散型複合体。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の黒鉛粒子分散型複合体において、前記黒鉛粒子の平均粒径が40〜400μmであることを特徴とする黒鉛粒子分散型複合体。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の黒鉛粒子分散型複合体において、80%以上の相対密度を有することを特徴とする黒鉛粒子分散型複合体。
- 少なくとも一方向の熱伝導率が150 W/mK以上である黒鉛粒子分散型複合体を製造する方法であって、平均粒径が20〜500μmの黒鉛粒子60〜95体積%を高熱伝導率の銀、銅及びアルミニウムからなる群から選ばれた少なくとも一種の金属40〜5体積%で被覆し、得られた金属被覆黒鉛粒子を一方向の加圧により固化することを特徴とする方法。
- 請求項6に記載の黒鉛粒子分散型複合体の製造方法において、前記黒鉛粒子として熱分解黒鉛粒子、キッシュ黒鉛粒子及び天然黒鉛粒子からなる群から選ばれた少なくとも一種を使用することを特徴とする方法。
- 請求項6又は7に記載の黒鉛粒子分散型複合体の製造方法において、前記黒鉛粒子の平均アスペクト比が2以上であることを特徴とする方法。
- 請求項6〜8のいずれかに記載の黒鉛粒子分散型複合体の製造方法において、前記金属被覆黒鉛粒子の固化を、一軸加圧成形法、圧延法、ホットプレス法、及びパルス通電加圧焼結法の少なくとも一つにより行うことを特徴とする方法。
- 請求項9に記載の黒鉛粒子分散型複合体の製造方法において、前記金属被覆黒鉛粒子を一軸加圧成形した後、300℃以上で前記金属の融点より低い温度で熱処理することを特徴とする方法。
- 請求項10に記載の黒鉛粒子分散型複合体の製造方法において、熱処理温度が300〜900℃であることを特徴とする方法。
- 請求項10又は11に記載の黒鉛粒子分散型複合体の製造方法において、前記熱処理の際20〜200 MPaの圧力で加圧することを特徴とする方法。
- 請求項6〜12のいずれかに記載の黒鉛粒子分散型複合体の製造方法において、無電解めっき法又はメカニカルアロイング法により前記黒鉛粒子を前記金属で被覆することを特徴とする方法。
- 少なくとも一方向の熱伝導率が150 W/mK以上である黒鉛粒子分散型複合体を製造する方法であって、熱分解黒鉛、キッシュ黒鉛及び天然黒鉛からなる群から選ばれた少なくとも一種からなり、平均粒径が20〜500μmの黒鉛粒子60〜95体積%に、銅40〜5体積%を無電解めっきし、得られた銅めっき黒鉛粒子を室温で一方向に加圧し、次いで300〜900℃で熱処理することを特徴とする方法。
- 請求項14に記載の黒鉛粒子分散型複合体の製造方法において、前記黒鉛粒子の平均アスペクト比が2以上であることを特徴とする方法。
- 請求項14又は15に記載の黒鉛粒子分散型複合体の製造方法において、前記熱処理の際20〜200 MPaの圧力で加圧することを特徴とする方法。
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