JP5017442B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
[1]NAND型フラッシュメモリの構成
第1実施形態のパターンレイアウトが形成されるNAND型フラッシュメモリについて説明する。
NAND型フラッシュメモリのコア回路部、ここではセンスアンプ13に形成されるパターンレイアウトについて説明する。
図4(a)に示したコンタクトパッド30B及び第1ラインパターン30Cを含むM1配線層を製造するために用いられるフォトマスクについて説明する。
本実施形態では、コンタクトパッド周りに配置できる配線数を増やすことができ、パターンレイアウト設計の自由度を向上させることができる。すなわち、コンタクトパッドを含む所定領域内に形成できる配線数を増加させることができ、設計レイアウトの自由度を向上させることができる。以下に、図9(a)及び図9(b)を用いて詳述する。
[1]パターンレイアウトの構成
第1実施形態におけるコンタクトパッドの平面形状はH型の形状を有しているが、この第2実施形態ではコンタクトパッドの平面形状が矩形形状を有している。コンタクトパッドの平面形状を矩形にした場合でも、前述した第1実施形態と同様な作用及び効果を得ることができる。
図14に示したコンタクトパッド60B及び第1ラインパターン30Cを含むM1配線層を製造するために用いられるフォトマスクについて説明する。
Claims (4)
- 複数のメモリセルを有するメモリセルアレイと、
前記メモリセルアレイの一端に配置され、前記メモリセルに記憶されたデータを読み出すセンスアンプと、
第1方向に所定ピッチでラインとスペースが交互に配列された第1配線パターンと、
前記第1配線パターンのライン間に配置され、前記所定ピッチの3倍の幅を有し、その平面形状はH型を有するコンタクトパッドとを具備し、
前記第1配線パターンと前記コンタクトパッドは、前記センスアンプが形成される領域に配置され、
前記第1配線パターンのラインと前記コンタクトパッドとの間隔は前記所定ピッチであり、前記所定ピッチは100nm以下であり、
前記第1配線パターンは、第2方向に延伸し、第1電圧が供給される第1電源線と、前記第2方向に延伸し、前記第1電源線を挟むように配置され、第2電圧が供給される第2、第3電源線と、前記第1電源線と前記第2電源線との間に配置され、メモリセルから読み出されたデータが送信される第1信号線と、前記第1電源線と前記第3電源線との間に配置され、メモリセルから読み出されたデータが送信される第2信号線とを含み、
前記コンタクトパッドは、前記第2電源線に接続され、前記第2電源線上に配置される上層配線に電気的に接続される第1コンタクトパッドと、前記第3電源線に接続され、前記第3電源線上に配置される上層配線に電気的に接続される第2コンタクトパッドとを含むことを特徴とするパターンレイアウトを有する半導体装置。 - 複数のメモリセルを有するメモリセルアレイと、
前記メモリセルアレイの一端に配置され、前記メモリセルに記憶されたデータを読み出すセンスアンプと、
第1方向に所定ピッチでラインとスペースが交互に配列された第1配線パターンと、
前記第1配線パターンのライン間に配置され、前記所定ピッチの3倍の幅を有し、その平面形状は矩形を有するコンタクトパッドとを具備し、
前記第1配線パターンと前記コンタクトパッドは、前記センスアンプが形成される領域に配置され、
前記第1配線パターンのラインと前記コンタクトパッドとの間隔は前記所定ピッチであり、前記所定ピッチは100nm以下であり、
前記第1配線パターンは、第2方向に延伸し、第1電圧が供給される第1電源線と、前記第2方向に延伸し、前記第1電源線を挟むように配置され、第2電圧が供給される第2、第3電源線と、前記第1電源線と前記第2電源線との間に配置され、メモリセルから読み出されたデータが送信される第1信号線と、前記第1電源線と前記第3電源線との間に配置され、メモリセルから読み出されたデータが送信される第2信号線とを含み、
前記コンタクトパッドは、前記第2電源線に接続され、前記第2電源線上に配置される上層配線に電気的に接続される第1コンタクトパッドと、前記第3電源線に接続され、前記第3電源線上に配置される上層配線に電気的に接続される第2コンタクトパッドとを含むことを特徴とするパターンレイアウトを有する半導体装置。 - 前記第1配線パターンと前記コンタクトパッドは、フォトマスクを用いて製造され、
前記フォトマスクは、前記第1方向に前記所定ピッチでラインとスペースが交互に配列されたラインパターンと、
前記ラインパターンのライン間に配置され、前記所定ピッチの3倍の幅を有するコンタクトパッドパターンと、
前記コンタクトパッドパターン内の前記所定ピッチ上に配置され、前記ラインパターンと平行な前記第2方向に延び、露光によって解像されないスペース補助パターンとを具備することを特徴とする請求項1または2に記載のパターンレイアウトを有する半導体装置。 - 複数のメモリセルを有するメモリセルアレイと、
前記メモリセルアレイの一端に配置され、前記メモリセルに記憶されたデータを読み出すセンスアンプと、
第1方向に所定ピッチでラインとスペースが交互に配列された第1配線パターンと、
前記第1配線パターンのライン間に配置され、前記所定ピッチの3倍の幅を有するコンタクトパッドとを具備し、
前記第1配線パターンと前記コンタクトパッドは、前記センスアンプが形成される領域に配置され、
前記第1配線パターンのラインと前記コンタクトパッドとの間隔は前記所定ピッチであり、前記所定ピッチは100nm以下であり、
前記第1配線パターンと前記コンタクトパッドは、フォトマスクを用いて製造され、
前記フォトマスクは、前記第1方向に前記所定ピッチでラインとスペースが交互に配列されたラインパターンと、
前記ラインパターンのライン間に配置され、前記所定ピッチの3倍の幅を有するコンタクトパッドパターンと、
前記コンタクトパッドパターン内の前記所定ピッチ上に配置され、前記ラインパターンと平行な方向に延び、露光によって解像されないスペース補助パターンとを具備することを特徴とするパターンレイアウトを有する半導体装置。
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