JP5008424B2 - 振動子の製造方法 - Google Patents
振動子の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5008424B2 JP5008424B2 JP2007054469A JP2007054469A JP5008424B2 JP 5008424 B2 JP5008424 B2 JP 5008424B2 JP 2007054469 A JP2007054469 A JP 2007054469A JP 2007054469 A JP2007054469 A JP 2007054469A JP 5008424 B2 JP5008424 B2 JP 5008424B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- leg
- axis
- vibration
- vibrator
- angle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 54
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 23
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 55
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 30
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 25
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 15
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 10
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 47
- 230000008859 change Effects 0.000 description 23
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 12
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 12
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 5
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 4
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 4
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 3
- DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 5-(5-carboxythiophen-2-yl)thiophene-2-carboxylic acid Chemical compound S1C(C(=O)O)=CC=C1C1=CC=C(C(O)=O)S1 DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000003685 thermal hair damage Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5607—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating tuning forks
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/42—Piezoelectric device making
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49826—Assembling or joining
- Y10T29/4984—Retaining clearance for motion between assembled parts
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
Description
ここで、mはコリオリ力が作用する物体の質量である。
3 基部
5 脚
7 支持部
9 第1脚
11 第2脚
13 第3脚
15 駆動脚
17 検出脚
19 パッケージ
21 キャビティ
23 台座
25 駆動電極
27 検出電極
29 金線
31 アンプ
33 移相回路A
35 差動バッファ
37 乗算回路
39 移相回路B
41 コンパレータ
43 積分回路
45 XYZステージ
47 PC
49 XYZステージ駆動装置
51 回転ステージ
53 回転ステージ駆動装置
55 レーザ照射装置
57 減光フィルタ
59 カメラ
61 レーザ光
63 ミラー
65 レンズ
67 加工面
69 光束径
Claims (4)
- 水晶からなり、前記水晶の電気軸であるX軸方向に振動する駆動脚と、検出脚と、を備える振動子の製造方法において、
前記駆動脚の稜線部分に、前記駆動脚の長手方向に直交する断面において前記X軸と成す角度が25°〜35°となる傾斜面を形成して前記振動子の漏れ振動を調整する第1の工程と、
前記傾斜面が形成された前記振動子をエッチングして前記振動子の離調度を調整する第2の工程と、を有することを特徴とする、振動子の製造方法。 - 水晶からなり、前記水晶の電気軸であるX軸方向に振動する駆動脚と、検出脚と、を備える振動子の製造方法において、
前記駆動脚の+X軸側の稜線部分および−X軸側の稜線部分の少なくとも一方に傾斜面を形成して前記振動子の漏れ振動を調整する第1の工程と、
前記傾斜面が形成された前記振動子をエッチングして前記振動子の離調度を調整する第2の工程と、を有し、
前記第1の工程において前記駆動脚の+X軸側の稜線部分に形成される前記傾斜面は、前記駆動脚の長手方向に直交する断面において前記X軸と成す角度が25°〜40°または55°〜70°であり、前記駆動脚の−X軸側の稜線部分に形成される前記傾斜面は、前記駆動脚の長手方向に直交する断面において前記X軸と成す角度が20°〜35°であることを特徴とする、振動子の製造方法。 - 前記第1の工程において、レーザ光を前記稜線部分に照射することによって前記稜線部分に前記傾斜面を形成することを特徴とする、請求項1又は2に記載の振動子の製造方法。
- 前記レーザ光としてフェムト秒レーザを用いることを特徴とする、請求項3に記載の振動子の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007054469A JP5008424B2 (ja) | 2006-03-14 | 2007-03-05 | 振動子の製造方法 |
US11/716,662 US7637159B2 (en) | 2006-03-14 | 2007-03-12 | Vibration gyro and the process of producing the same |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006069234 | 2006-03-14 | ||
JP2006069234 | 2006-03-14 | ||
JP2007054469A JP5008424B2 (ja) | 2006-03-14 | 2007-03-05 | 振動子の製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007279022A JP2007279022A (ja) | 2007-10-25 |
JP2007279022A5 JP2007279022A5 (ja) | 2010-04-15 |
JP5008424B2 true JP5008424B2 (ja) | 2012-08-22 |
Family
ID=38680598
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007054469A Expired - Fee Related JP5008424B2 (ja) | 2006-03-14 | 2007-03-05 | 振動子の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7637159B2 (ja) |
JP (1) | JP5008424B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2007055133A1 (ja) * | 2005-11-08 | 2009-04-30 | パナソニック株式会社 | 角速度センサおよびその製造方法 |
WO2009020015A1 (ja) * | 2007-08-06 | 2009-02-12 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | 音叉型水晶振動子及びその周波数調整方法 |
JP2010060361A (ja) * | 2008-09-02 | 2010-03-18 | Murata Mfg Co Ltd | 音叉型振動子、音叉型振動子の製造方法および角速度センサ |
JP5652155B2 (ja) * | 2010-11-24 | 2015-01-14 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、センサーユニット、電子機器、振動片の製造方法、および、センサーユニットの製造方法 |
JP5974629B2 (ja) * | 2012-05-23 | 2016-08-23 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動片の製造方法、角速度センサー、電子機器、移動体 |
MX2017010117A (es) * | 2015-02-06 | 2018-05-17 | Univ North Carolina Chapel Hill | Casetes optimizados de expresión del gen humano del factor viii de coagulación y su uso. |
US11054259B2 (en) * | 2016-07-26 | 2021-07-06 | Kyocera Corporation | Angular velocity sensor, sensor element, and multi-axis angular velocity sensor |
JP2018162975A (ja) * | 2017-03-24 | 2018-10-18 | セイコーエプソン株式会社 | 角速度センサーの製造方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5861705A (en) * | 1994-11-01 | 1999-01-19 | Fujitsu Limited | Tuning-fork vibratory gyro and sensor system using the same |
JPH08261766A (ja) * | 1995-03-20 | 1996-10-11 | Clarion Co Ltd | 振動ジャイロスコープ |
JPH10170271A (ja) * | 1996-12-09 | 1998-06-26 | Toyota Motor Corp | 角速度検出装置 |
JPH11108667A (ja) * | 1997-10-07 | 1999-04-23 | Hitachi Ltd | 角速度検出装置 |
JP3553418B2 (ja) * | 1999-05-25 | 2004-08-11 | シャープ株式会社 | 振動型ジャイロスコープ、振動型ジャイロスコープの形成方法および調整方法 |
JP2002243451A (ja) | 2001-02-19 | 2002-08-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサおよびその特性調整方法 |
JP4068370B2 (ja) | 2001-09-07 | 2008-03-26 | シチズンホールディングス株式会社 | 振動ジャイロ |
JP2004093158A (ja) | 2002-08-29 | 2004-03-25 | Kinseki Ltd | 圧電振動式慣性センサー素子とその製造方法及びレーザー加工装置 |
JP2004294354A (ja) | 2003-03-28 | 2004-10-21 | Citizen Watch Co Ltd | 振動体の特性調整方法及びこの調整方法により形成された振動ジャイロ |
JP2005051685A (ja) * | 2003-07-31 | 2005-02-24 | Matsushita Electric Works Ltd | 超音波センサの共振周波数調整方法及び装置 |
JP2006038717A (ja) * | 2004-07-29 | 2006-02-09 | Citizen Watch Co Ltd | 圧電ジャイロとその製造方法 |
-
2007
- 2007-03-05 JP JP2007054469A patent/JP5008424B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2007-03-12 US US11/716,662 patent/US7637159B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20080022769A1 (en) | 2008-01-31 |
US7637159B2 (en) | 2009-12-29 |
JP2007279022A (ja) | 2007-10-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5008424B2 (ja) | 振動子の製造方法 | |
KR20060096363A (ko) | 진동형 자이로센서 | |
JP4658925B2 (ja) | 水晶振動子の製造方法 | |
JP2006201118A (ja) | 圧電振動ジャイロ素子およびジャイロセンサ | |
JP2007093485A (ja) | 水晶振動子及びその製造方法並びに物理量センサー | |
JP5208373B2 (ja) | 慣性力センサ | |
JP2007064662A (ja) | 振動ジャイロ | |
JP2008151633A (ja) | 角速度センサの製造方法 | |
JP2007279001A5 (ja) | ||
JP2008224627A (ja) | 角速度センサ、角速度センサの製造方法及び電子機器 | |
JP2008157856A (ja) | 角速度センサ、角速度センサの製造方法及び電子機器 | |
JP3553418B2 (ja) | 振動型ジャイロスコープ、振動型ジャイロスコープの形成方法および調整方法 | |
JP2013205027A (ja) | ジャイロ素子のレーザトリミング方法 | |
JP2007208670A (ja) | 水晶デバイスの製造方法 | |
JP2006258505A (ja) | 振動ジャイロ用音叉型振動子 | |
JP2008267983A (ja) | 圧電振動ジャイロ及びその調整方法 | |
JP2022011409A (ja) | 振動素子の製造方法、振動素子および振動デバイス | |
JP2022191646A (ja) | 振動素子、振動デバイス及び振動素子の製造方法 | |
JPH1183498A (ja) | 半導体振動子の振動調整方法 | |
JP3039625B2 (ja) | 角速度検出装置 | |
JP2013096882A (ja) | 物理量検出素子、物理量検出装置、および電子機器 | |
JP2003207338A (ja) | 振動型ジャイロスコープ用振動子および振動型ジャイロスコープ | |
JP2007057411A (ja) | 振動体及びその製造方法並びに物理量センサ | |
JP2022011408A (ja) | 振動素子の製造方法、振動素子および振動デバイス | |
JP2007163452A (ja) | 圧電振動子の漏れ振動調整装置および漏れ振動調整方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100225 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100225 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120529 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120529 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5008424 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150608 Year of fee payment: 3 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |