JP2007279022A5 - - Google Patents
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Claims (4)
- 水晶からなり、前記水晶の電気軸であるＸ軸方向に振動する駆動脚と、検出脚と、を備える振動子の製造方法において、
前記駆動脚の稜線部分に、前記駆動脚の長手方向に直交する断面において前記Ｘ軸と成す角度が２５°〜３５°となる傾斜面を形成して前記振動子の漏れ振動を調整する第１の工程と、
前記傾斜面が形成された前記振動子をエッチングして前記振動子の離調度を調整する第２の工程と、を有することを特徴とする、振動子の製造方法。 - 水晶からなり、前記水晶の電気軸であるＸ軸方向に振動する駆動脚と、検出脚と、を備える振動子の製造方法において、
前記駆動脚の＋Ｘ軸側の稜線部分および−Ｘ軸側の稜線部分の少なくとも一方に傾斜面を形成して前記振動子の漏れ振動を調整する第１の工程と、
前記傾斜面が形成された前記振動子をエッチングして前記振動子の離調度を調整する第２の工程と、を有し、
前記第１の工程において前記駆動脚の＋Ｘ軸側の稜線部分に形成される前記傾斜面は、前記駆動脚の長手方向に直交する断面において前記Ｘ軸と成す角度が２５°〜４０°または５５°〜７０°であり、前記駆動脚の−Ｘ軸側の稜線部分に形成される前記傾斜面は、前記駆動脚の長手方向に直交する断面において前記Ｘ軸と成す角度が２０°〜３５°であることを特徴とする、振動子の製造方法。 - 前記第１の工程において、レーザ光を前記稜線部分に照射することによって前記稜線部分に前記傾斜面を形成することを特徴とする、請求項１又は２に記載の振動子の製造方法。
- 前記レーザ光としてフェムト秒レーザを用いることを特徴とする、請求項３に記載の振動子の製造方法。
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