JP5000660B2 - コンデンサ装置、電子部品、フィルタ装置、通信装置、およびコンデンサ装置の製造方法 - Google Patents
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Description
以下、本発明のコンデンサ装置について図面を参照しつつ詳細に説明する。
まず、容量素子21の製造方法について説明する。
なお、下部電極2は容量形成部の外側まで延在するように形成されている。
このようにして、支持基板1上に容量素子21が形成される。
図2Bにおいて、キャップ部材13は、2層となっており、支持基板1上に形成され、容量素子21側、すなわち内側に位置する第1キャップ部材13aと、支持基板1上に形成され、第1キャップ部材13aを覆う第2キャップ部材13bと、からなる。さらに、端子電極層12は、支持基板1上の第1キャップ部材13a配置位置の外側まで延在しており、その延在部上にそれぞれ第1柱状電極14aおよび第2柱状電極14bが形成されている。すなわち、第1柱状電極14aは、容量素子21の下部電極2に電気的に接続される。第2柱状電極14bは、容量素子21の上部電極5に電気的に接続される。この第1柱状電極14aおよび第2柱状電極14bは、第2キャップ部材13bの上部から端面を露出させている。
容量素子21は、図1に示すコンデンサ装置と同様にして作製する。端子電極層12は、支持基板1の上面に、下部電極2や上部電極5を形成する際に同一材料および同一工程で同時に形成すればよい。この端子電極層12と、下部電極2、上部電極5とを周知の技術により金属線11で接続する。
具体的には、支持基板1上に形成された環状電極層43と回路基板41の環状パッド部44とが対応するように配置し、リフロー炉にて240℃で5分間、リフロー溶融させて半田から成る接続体40により両者を接合して、図3Aに示すコンデンサ装置とする。
回路基板41は、図3Aに示すコンデンサ装置と同様の材料を用いることができる。
図16Bは、第1容量素子C1の下部電極2のうち、容量形成部の外側に延在しした延在部上に半田拡散防止層16を介して第1接続体9が形成されている点で、図16Aと異なる。この第1接続体9と、第2容量素子C2の上部電極5上に形成された第2接続体10とが、回路基板41に形成された配線パターン18を介して接続されることにより、第1容量素子C1と第2容量素子C2とが直列に接続される。
図17に示すコンデンサは、複数の容量素子C1〜C5が配列されており、そのうち容量素子C1および容量素子C2、容量素子C3および容量素子C4は互いに下部電極2を共有している。また、これらの容量素子C1〜C5の上部電極5上にはそれぞれ接続体40が形成されている。
容量素子C3と容量素子C4とは下部電極2を共有して、電気的に接続されている。これにより、容量素子C3,C4の一端同士を接続する工程を省略でき、作製を容易となり、生産性の高いものとすることができる。
図18Aに示すコンデンサは、支持基板1上に第1容量素子6となる容量素子C1と第2容量素子7となる容量素子C2とが形成されており、容量素子C1の上部電極5と容量素子C2の下部電極2とが電気的に接続されたものである。
図18Bに示すコンデンサは、支持基板1上に5つの容量素子C1〜C5が形成されている点で、図18Aに示すコンデンサと異なる。この容量素子C1〜C5は、隣り合う一方の容量素子の上部電極5が他方の容量素子の下部電極2に接続され、配列方向に直列に接続されている。また、容量素子C1の下部電極2のうち容量形成部の外側に延在する延在部の上面および容量素子C5の上部電極5の上面に接続体40が形成されている。この接続体40は端子用接続体を兼ねている。
図20に示すコンデンサ装置は、図19に示す構成とは封止体の構成が異なる。すなわち、図20における封止体は、回路基板41と、容量素子群8が形成された領域を取り囲むように形成され、回路基板41と支持基板1とを接合して封止する環状部材49とを有している。環状部材49は、環状電極層43と、環状パッド部44と、これらを相互に接続する接続体40とからなる。ここで、環状部材49を構成する接続体40は、支持基板1上に容量素子群8が形成された領域を取り囲むように形成された環状電極層43を介して支持基板1に接続され、回路基板41上に、環状電極層43に対応するように形成された環状パッド部44を介して回路基板41に接続される。
図21に示すコンデンサ装置は、図19に示す構成とは封止体の構成が異なる。すなわち、図21における封止体は、回路基板41のコンデンサが接続される側の主面から、支持基板1の側面と回路基板41に対向しない側の主面とにかけて被覆する樹脂部材50から成る。このような、樹脂部材50は、密閉空間への湿気の侵入を防ぐと共に、コンデンサ装置の機械的強度を高めるために設けられ、エポキシ樹脂やポリイミド樹脂等の熱硬化性樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂等の熱可塑性樹脂、紫外線硬化樹脂または低融点ガラス等を用いることができ、これらをポッティング法または印刷法により塗布した後硬化処理して形成すればよい。例えば、エポキシ樹脂からなる樹脂部材50を用いた場合には、ポッティング法により回路基板41上に接続されたコンデンサを覆うように塗布した後、乾燥炉で150℃にて5分間加熱して硬化させればよい。
図22に示すコンデンサ装置は、図21に示す構成とは封止体の構成が異なる。すなわち、図21の封止体がポッティング法等で形成された樹脂部材50であるのに対して、図22における封止体は、シート状樹脂部材51からなる。
図23は本発明の一実施形態の電子部品を示す等価回路図である。図23に示す等価回路図において、符号Ctは本発明のコンデンサ装置であり、Ttは伝送線路としてのλg/4伝送線路、Ccは高周波接地用容量を形成する高周波接地用コンデンサ、Sは信号入力端子、ここで、λgは信号入力端子Sから入力される高周波信号がλg/4可変伝送線路Ttを伝搬する際の実効波長である。
図24は、本発明の一実施形態のフィルタ装置を示す等価回路図である。
図25は、本発明の一実施形態の通信装置を示すブロック図である。
Claims (23)
- 支持基板と、
酸化物からなる薄膜誘電体層と前記薄膜誘電体層を挟持して成る上部電極および下部電極で構成される一対の電極とを含む、前記支持基板上に形成された容量素子と、
前記容量素子を間隙を介して封止する封止体と、を有し、
前記薄膜誘電体層は、その上に前記上部電極以外が接しておらず、かつ、前記間隙内において露出する露出部を有し、
前記間隙には、前記薄膜誘電体層の酸素と平衡反応を保つ酸素分圧を有している気体が導入されていることを特徴とするコンデンサ装置。 - 前記薄膜誘電体層は、少なくともBi、Sr、Tiを含むペロブスカイト型酸化物であり、
前記露出部は、前記薄膜誘電体層の側面の厚み方向全体にわたり形成されていることを特徴とする請求項1に記載のコンデンサ装置。 - 前記間隙には、乾燥空気が導入されていることを特徴とする請求項1に記載のコンデンサ装置。
- 前記封止体は、キャップ状のキャップ部材であって、前記支持基板上に覆蓋されて成ることを特徴とする請求項1に記載のコンデンサ装置。
- 前記容量素子の前記一対の電極の少なくも一方に電気的に接続された端子部と、
前記端子部と対応する位置に設けられたパッド部を含む回路基板であって、前記端子部と前記パッド部とが相互に電気的に接続するように搭載された回路基板と、をさらに含み、
前記封止体は、
前記回路基板と、
前記容量素子が形成された領域を取り囲むように形成され、前記回路基板と前記支持基板とを接合して封止する環状部材と、を含んで成ることを特徴とする請求項1に記載のコンデンサ装置。 - 前記端子部は、前記一対の電極の一方に接続された第1端子と、前記一対の電極の他方に接続された第2端子とを含み、
前記第1端子は、前記容量素子が形成された領域および前記第2端子を取り囲むように形成され、前記環状部材として機能することを特徴とする請求項5に記載のコンデンサ装置。 - 前記一対の電極の少なくとも一方と前記端子部とは、金属線により電気的に接続されていることを特徴とする請求項5に記載のコンデンサ装置。
- 前記一対の電極の一方に電気的に接続され、前記キャップ部材の上部から端面を露出させた第1柱状電極と、
前記一対の電極の他方に電気的に接続され、前記キャップ部材の上部から端面を露出させた第2柱状電極と、をさらに含むことを特徴とする請求項4に記載のコンデンサ装置。 - 前記容量素子は複数個あり、複数個の前記容量素子は、第1容量素子と、前記第1容量素子に金属線により接続された第2容量素子とを含むことを特徴とする請求項1に記載のコンデンサ装置。
- 前記薄膜誘電体層は、電圧の印加に応じて誘電率が変化し、
前記容量素子に電圧を印加するためのバイアスラインをさらに含むことを特徴とする請求項1に記載のコンデンサ装置。 - 支持基板と、前記支持基板上の厚み方向に順次積層された、下部電極、酸化物からなる薄膜誘電体層、上部電極を含む容量素子が複数個配列された容量素子群であって、第1容量素子と、第2容量素子と、を含む容量素子群と、前記第1容量素子の前記上部電極又は前記下部電極に接続され、前記第1容量素子を外部回路に電気的に接続する第1接続体と、前記第2容量素子の前記上部電極又は前記下部電極に接続され、前記第2容量素子を前記外部回路に電気的に接続する第2接続体と、を含み、前記第1接続体および前記第2接続体が、それぞれ前記外部回路に接続されて、前記第1容量素子と前記第2容量素子とを電気的に接続するコンデンサと、
導電体を有し、前記コンデンサが実装された回路基板であって、前記第1接続体および前記第2接続体が、それぞれ前記導電体を介して、前記第1容量素子と前記第2容量素子とが電気的に接続されるようにした回路基板と、
前記容量素子群を間隙を介して封止する封止体と、を含み、
前記薄膜誘電体層は、その上に前記上部電極以外と接しておらず、かつ、前記間隙内において露出された露出部を有し、
前記間隙は、前記薄膜誘電体層の酸素と平衡反応を保つ酸素分圧を有している気体が導入されていることを特徴とするコンデンサ装置。 - 前記第1容量素子と前記第2容量素子とは、前記下部電極を共有していることを特徴とする請求項11に記載のコンデンサ装置。
- 前記第1容量素子の前記上部電極と、前記第2容量素子の前記下部電極とが電気的に接続されて成ることを特徴とする請求項11に記載のコンデンサ装置。
- 前記間隙には、乾燥空気が導入されていることを特徴とする請求項11に記載のコンデンサ装置。
- 前記封止体は、前記容量素子群が形成された領域を取り囲むように形成され、前記回路基板と前記支持基板とを接合して封止する環状部材を含んで成ることを特徴とする請求項11に記載のコンデンサ装置。
- 前記封止体は、前記回路基板の前記コンデンサが接続される側の主面から、前記支持基板の側面と前記回路基板に対向しない側の主面とにかけて被覆する樹脂部材から成ることを特徴とする請求項11に記載のコンデンサ装置。
- 前記樹脂部材は、シート状樹脂部材であることを特徴とする請求項16に記載のコンデンサ装置。
- 前記薄膜誘電体層は、電圧の印加に応じて誘電率が変化し、
前記回路基板は、前記第1容量素子および第2容量素子に電圧を印加するためのバイアスラインが形成されていることを特徴とする請求項11に記載のコンデンサ装置。 - 前記第1容量素子と前記第2容量素子とは、直列に接続されていることを特徴とする請求項11に記載のコンデンサ装置。
- 共振回路を構成する電子部品であって、
請求項11に記載のコンデンサ装置を用いた電子部品。 - 入力端子と出力端子と基準電位端子とを有し、前記入力端子と前記出力端子とをつなぐ入出力ライン上、または前記入出力ラインと前記基準電位端子との間に、請求項20に記載の電子部品を設けたフィルタ装置。
- 請求項21に記載のフィルタ装置を有する、受信回路および送信回路の少なくとも一方を備える通信装置。
- 酸化物からなる薄膜誘電体層と前記薄膜誘電体層を挟持して成る上部電極および下部電極で構成される一対の電極とを含む容量素子を、前記薄膜誘電体層上に前記上部電極以外が接さないように前記支持基板上に形成する工程と、
酸素を含む雰囲気下で前記容量素子を封止体により間隙を介して封止する工程であって、前記間隙内が前記薄膜誘電体層の酸素と平衡反応を保つ酸素分圧となった状態で、前記薄膜誘電体層の一部を前記間隙内において露出させるように、前記容量素子を前記封止体により封止する工程と、を有することを特徴とするコンデンサ装置の製造方法。
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