JP4956783B2 - 炭化珪素半導体装置の製造方法 - Google Patents
炭化珪素半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4956783B2 JP4956783B2 JP2006017710A JP2006017710A JP4956783B2 JP 4956783 B2 JP4956783 B2 JP 4956783B2 JP 2006017710 A JP2006017710 A JP 2006017710A JP 2006017710 A JP2006017710 A JP 2006017710A JP 4956783 B2 JP4956783 B2 JP 4956783B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- substrate
- main surface
- silicon carbide
- oxide film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Junction Field-Effect Transistors (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Description
福田憲司ほか第63回応用物理学関係連合講演会24a-N-15(2002年9月新潟大)講演予稿集354ページ K. Fukuda et al., Materials Science Forum Vols. 433-435 (2003) p. 567
第1の実施の形態では、2端子縦型デバイスのひとつ、ショットキーダイオードに本発明を適用した例について説明する。
加速エネルギー/ドーズ
第1段 300keV/8.3×1015/cm2
第2段 190keV/3.2×1015/cm2
第3段 150keV/2.1×1015/cm2
第4段 100keV/1.9×1015/cm2
第5段 60keV/1.7×1015/cm2
第6段 30keV/9.4×1014/cm2
700℃で上記イオン注入するとき、基板裏面にもスルーSiO2膜が形成されている。この膜が保護膜となって、加熱されたプラテンあるいはサセプタ面に存在する金属がn+型単結晶SiC基板1裏面に直接接触して汚染したり、固相反応するのを防止することができる。プラテン自体が金属でない場合でも、汚染物としてプラテンに付着している金属が汚染や固相反応を起こす。従来技術においては、これら汚染や固相反応が要因となって、後に形成される裏面低温コンタクトのコンタクト抵抗を増大させていた。しかし、第1の実施の形態では、保護膜としてのスルーSiO2膜を裏面に形成してからn−型エピ層2表面に高温イオン注入することで、寄生固相反応層から誘発されるコンタクト抵抗高くなるという問題を解決している。
第1実施形態では2端子素子である縦型ショットキーダイオードを用いて本発明の実施例を説明したが、本発明はこのような単純な素子だけでなく、3端子以上で複数の不純物領域を有するもっと複雑な縦型デバイスにも何ら制限を受けることなく適用可能である。
不純物 Al+イオン
基板温度 750℃
加速電圧/ドース 360 keV/ 5×10−13 cm−3
750℃で上記のイオン注入を行うとき、基板71裏面にもスルーSiO2膜(非表示)が形成されている。この膜が保護膜となって基板71裏面に加熱されたプラテンあるいはサセプタ面に存在する金属がSiC基板71裏面と接触して寄生的固相反応するのを防止することができる。なお、プラテン自体が金属でない場合でも、汚染物としてプラテンに付着している金属が固相反応を起こす。従来技術においては基板71表面に高温イオン注入を行う際、裏側のSi面で寄生固相反応層が形成されて、ドレイン電極81のコンタクト抵抗が高くなるという問題があった。しかし、第2の実施の形態では、保護膜としてのスルーSiO2膜を裏面に形成してから基板表面に高温イオン注入することで、本工程で起きる寄生固相反応層の問題を解決している。
イオン種 P+(リン)
注入温度 500℃
加速条件 40keV 5.0×1014 /cm2
70keV 6.0×1014 /cm2
100keV 1.0×1015 /cm2
160keV 2.0×1015 /cm2
(p+型ベース領域イオン注入条件)
イオン種 Al+
注入温度 750℃
加速条件 30keV 1.0×1015 /cm2
50keV 1.0×1015 /cm2
70keV 2.0×1015 /cm2
100keV 3.0×1015 /cm2
MOSFETsの閾値電圧を制御するためにチャネルドーピングを行いたい場合、この後に、同様にして、n型不純物の選択高温イオン注入を行うようにするとよい。
上記のように、本発明は、第1及び第2の実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
2、72…エピ成長層
3a1〜an…p型電界緩和領域
5…フィールド絶縁膜
6…開口部
7…ショットキー電極
8、82…表面配線
9…オーミック電極
10、61…裏面配線
11a1〜an、93a1〜an、94a1〜an、95a1〜an…前駆体領域
11、91…イオン注入マスク(物理損傷保護膜)
12、14、31、33、77、85…熱酸化膜
13…CVD酸化膜
16、16b…結晶不整層
17…寄生エピ層
32…熱酸化防止膜・SiN膜(耐熱酸化保護膜)
34…SiN膜
70…ユニットセル(素子領域)
73a、73b…p型ベース領域
73aa,73bb…p+型ベース領域
74a,74b…n型ソース領域
75…ゲート酸化膜
76…ゲート電極
78…層間絶縁膜
79a、79b…ソース窓
80a、80b…ソース電極(加熱反応層)
81…ドレイン電極(加熱反応層)
84…多結晶シリコン膜
87a、87b…電極母材
Claims (6)
- 第1の主表面の酸化速度が、当該第1の主表面に対向する第2の主表面の酸化速度より速い炭化珪素基板の当該第2の主表面に固相反応防止膜で被覆し、
前記固相反応防止膜で被覆した後、前記第1の主表面からイオン注入により不純物領域を形成し、
不純物領域を形成した後、前記固相反応防止膜を除去し、
前記炭化珪素基板の前記第1の主表面に酸化膜を形成し、
前記酸化膜を形成した後、前記炭化珪素基板の前記第1の主表面に窒化シリコン膜を形成し、
窒化シリコン膜を形成した後、前記第2の主表面を熱酸化膜で被覆し、
前記熱酸化膜を除去し、
前記熱酸化膜を除去した後、前記第2の主表面上にオーミック電極を形成する
ことを特徴とする炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 前記第2の主表面上にオーミック電極を形成する前に、
前記炭化珪素基板の前記第1の主表面にエピ成長層を成長させ、
前記エピ成長層上に物理損傷保護膜を形成し、
その後、前記第2の主表面を熱酸化膜で被覆する前に、前記エピ成長層を成長させる際に同時に前記第2の主表面に形成された寄生エピ層を除去し、
その後、前記物理損傷保護膜を除去する
ことを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 前記第2の主表面を熱酸化膜で被覆する工程は、前記第2の主表面に形成された結晶不整層を熱酸化膜に転化させる工程であることを特徴とする請求項1又は2に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
- 前記炭化珪素基板は、前記第1の主表面を(000−1)C面、前記第2の主表面を(0001)Si面とする六方晶系炭化珪素基板であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
- 前記オーミック電極は、熱処理を施すことなく前記第2の主表面に直接載置されたチタン又はアルミニウムからなることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
- 前記オーミック電極は、前記第2の主表面上にニッケル膜又はコバルト膜を成膜した後、前記第2の主表面と固相反応させて形成された反応層からなることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に炭化珪素半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006017710A JP4956783B2 (ja) | 2006-01-26 | 2006-01-26 | 炭化珪素半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006017710A JP4956783B2 (ja) | 2006-01-26 | 2006-01-26 | 炭化珪素半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007201155A JP2007201155A (ja) | 2007-08-09 |
JP4956783B2 true JP4956783B2 (ja) | 2012-06-20 |
Family
ID=38455436
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006017710A Active JP4956783B2 (ja) | 2006-01-26 | 2006-01-26 | 炭化珪素半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4956783B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107833829A (zh) * | 2013-08-06 | 2018-03-23 | 住友电气工业株式会社 | 碳化硅半导体衬底 |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8237172B2 (en) * | 2007-10-24 | 2012-08-07 | Panasonic Corporation | Semiconductor device having a silicon carbide substrate with an ohmic electrode layer in which a reaction layer is arranged in contact with the silicon carbide substrate |
JP5087375B2 (ja) * | 2007-11-28 | 2012-12-05 | 株式会社ブリヂストン | 炭化ケイ素半導体デバイスの製造方法 |
JP5589263B2 (ja) * | 2008-05-29 | 2014-09-17 | 富士電機株式会社 | 炭化珪素半導体基板のトレンチ形成方法 |
JP5525940B2 (ja) * | 2009-07-21 | 2014-06-18 | ローム株式会社 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP2011035144A (ja) * | 2009-07-31 | 2011-02-17 | Sanyo Electric Co Ltd | ダイオードおよびその製造方法 |
JP5633328B2 (ja) * | 2010-11-18 | 2014-12-03 | 住友電気工業株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP6141130B2 (ja) * | 2013-07-16 | 2017-06-07 | 三菱電機株式会社 | 炭化珪素半導体装置の製造方法 |
JP6107526B2 (ja) * | 2013-08-08 | 2017-04-05 | 富士電機株式会社 | 炭化珪素半導体装置の製造方法 |
JP6091453B2 (ja) * | 2014-02-28 | 2017-03-08 | 三菱電機株式会社 | 炭化珪素半導体装置の製造方法および炭化珪素半導体装置 |
JP2017011060A (ja) * | 2015-06-19 | 2017-01-12 | 住友電気工業株式会社 | ショットキーバリアダイオード |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04215426A (ja) * | 1990-12-14 | 1992-08-06 | Clarion Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP3210161B2 (ja) * | 1993-12-07 | 2001-09-17 | 三菱マテリアル株式会社 | 半導体基板およびその製造方法 |
JP3322740B2 (ja) * | 1993-12-21 | 2002-09-09 | 三菱マテリアル株式会社 | 半導体基板およびその製造方法 |
JPH11121310A (ja) * | 1997-10-09 | 1999-04-30 | Denso Corp | 半導体基板の製造方法 |
US6555440B1 (en) * | 2000-06-05 | 2003-04-29 | Agilent Technologies, Inc. | Process for fabricating a top side pitted diode device |
JP2003100657A (ja) * | 2001-09-20 | 2003-04-04 | Nissan Motor Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP3559971B2 (ja) * | 2001-12-11 | 2004-09-02 | 日産自動車株式会社 | 炭化珪素半導体装置およびその製造方法 |
JP3890311B2 (ja) * | 2002-03-28 | 2007-03-07 | ローム株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2004022796A (ja) * | 2002-06-17 | 2004-01-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 炭化珪素半導体素子およびその形成方法 |
JP2004022878A (ja) * | 2002-06-18 | 2004-01-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP3870896B2 (ja) * | 2002-12-11 | 2007-01-24 | 株式会社デンソー | 半導体装置の製造方法およびそれにより製造される半導体装置 |
JP2005093816A (ja) * | 2003-09-18 | 2005-04-07 | Semiconductor Leading Edge Technologies Inc | 半導体装置の製造方法および半導体装置 |
-
2006
- 2006-01-26 JP JP2006017710A patent/JP4956783B2/ja active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107833829A (zh) * | 2013-08-06 | 2018-03-23 | 住友电气工业株式会社 | 碳化硅半导体衬底 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007201155A (ja) | 2007-08-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4956783B2 (ja) | 炭化珪素半導体装置の製造方法 | |
JP4942134B2 (ja) | 炭化珪素半導体装置の製造方法 | |
JP4793293B2 (ja) | 炭化珪素半導体装置及びその製造方法 | |
JP6222771B2 (ja) | 炭化珪素半導体装置の製造方法 | |
JP2007066944A (ja) | 炭化珪素半導体装置及びその製造方法 | |
CN104008969B (zh) | 半导体装置的制造方法 | |
JP5860580B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2009130266A (ja) | 半導体基板および半導体装置、半導体装置の製造方法 | |
JP4100652B2 (ja) | SiCショットキーダイオード | |
JP2003243654A (ja) | 炭化珪素半導体装置およびその製造方法 | |
JP3784393B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2005166930A (ja) | SiC−MISFET及びその製造方法 | |
US20160307756A1 (en) | Method of manufacturing silicon carbide semiconductor device | |
JP2005276978A (ja) | オーミック電極構造体の製造方法、オーミック電極構造体、半導体装置の製造方法および半導体装置 | |
JP5735077B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP4835117B2 (ja) | 炭化珪素半導体装置の製造方法 | |
JP2009177102A (ja) | 半導体装置の電極の製造方法 | |
JP2012160485A (ja) | 半導体装置とその製造方法 | |
CN107785250B (zh) | 碳化硅基肖特基接触制作方法及肖特基二极管制造方法 | |
EP2325872A1 (en) | Bipolar semiconductor device and method for manufacturing same | |
JP5036569B2 (ja) | 炭化珪素半導体装置およびその製造方法 | |
JP2010192872A (ja) | 半導体基板の製造方法、半導体デバイスの製造方法、半導体基板および半導体デバイス | |
CN105814693A (zh) | 半导体装置以及半导体装置的制造方法 | |
JP6395299B2 (ja) | 炭化珪素半導体素子及び炭化珪素半導体素子の製造方法 | |
US9887270B2 (en) | Silicon carbide semiconductor device and method of manufacturing silicon carbide semiconductor device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081211 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110114 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110118 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110308 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110531 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110726 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111011 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111208 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120207 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120227 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150330 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |