JP6141130B2 - 炭化珪素半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の炭化珪素半導体装置の製造方法を説明する前に、本発明の前提技術の炭化珪素半導体装置の製造方法を説明する。
図1は、本発明の第1の実施の形態である炭化珪素半導体装置の製造方法におけるウエハの配列を示す断面図である。本発明の第1の実施の形態による炭化珪素半導体装置の製造方法は、酸化膜形成工程を含む。酸化膜形成工程では、炭化珪素半導体装置となる製品用炭化珪素(SiC)基板、具体的にはSiC製品ウエハ11に、酸化性ガスによる酸化処理によって酸化膜を形成する。
図3は、本発明の第2の実施の形態である炭化珪素半導体装置の製造方法におけるウエハの配列を示す断面図である。本実施の形態では、前述の図1および図2に示すSiCモニタウエハ5,6に代えて、図3に示すように、裏面TEOS膜付SiCモニタウエハ21が用いられる。裏面TEOS膜付SiCモニタウエハ21は、裏面であるC面21aに、TEOS酸化膜を有する。
図4は、本発明の第3の実施の形態である炭化珪素半導体装置の製造方法におけるウエハの配列を示す断面図である。本実施の形態では、図4に示すように、TOP−SiCモニタウエハ5とSiC製品ウエハ11との間のボートスリット4aを1つ空けて、TOP−SiCモニタウエハ5と、その直下のSiC製品ウエハ11との距離dを広げるようにする。
図5は、本発明の第4の実施の形態である炭化珪素半導体装置の製造方法におけるウエハの配列を示す断面図である。図5では、理解を容易にするために、TOP−SiCモニタウエハ5およびSiC製品ウエハ11のC面5a,12側の部分を、ハッチングを付して示している。
Claims (12)
- 炭化珪素半導体装置となる製品用炭化珪素基板に、酸化性ガスによる酸化処理によって酸化膜を形成する酸化膜形成工程を含む炭化珪素半導体装置の製造方法であって、
前記酸化膜形成工程は、
前記酸化性ガスが導入される処理室内に、複数枚の前記製品用炭化珪素基板と、前記製品用炭化珪素基板の状態を確認するためのモニタ用炭化珪素基板とを配列して、前記酸化性ガスによる酸化処理を行う工程であり、
前記酸化膜形成工程では、
前記モニタ用炭化珪素基板と前記製品用炭化珪素基板との間に、カーボン面が酸化処理された炭化珪素基板を配置して、前記酸化性ガスによる酸化処理を行うことを特徴とする炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 前記カーボン面が酸化処理された炭化珪素基板は、前記カーボン面に、テトラエチルオルソシリケート(TEOS)を用いた酸化処理によって形成されたTEOS酸化膜を有することを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
- 前記カーボン面が酸化処理された炭化珪素基板は、前記カーボン面に、熱酸化によって形成された熱酸化膜を有することを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
- 炭化珪素半導体装置となる製品用炭化珪素基板に、酸化性ガスによる酸化処理によって酸化膜を形成する酸化膜形成工程を含む炭化珪素半導体装置の製造方法であって、
前記酸化膜形成工程は、
前記酸化性ガスが導入される処理室内に、複数枚の前記製品用炭化珪素基板と、前記製品用炭化珪素基板の状態を確認するためのモニタ用炭化珪素基板とを配列して、前記酸化性ガスによる酸化処理を行う工程であり、
前記酸化膜形成工程では、
前記モニタ用炭化珪素基板と前記製品用炭化珪素基板との間に、シリコン基板を配置して、前記酸化性ガスによる酸化処理を行うことを特徴とする炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 炭化珪素半導体装置となる製品用炭化珪素基板に、酸化性ガスによる酸化処理によって酸化膜を形成する酸化膜形成工程を含む炭化珪素半導体装置の製造方法であって、
前記酸化膜形成工程は、
前記酸化性ガスが導入される処理室内に、複数枚の前記製品用炭化珪素基板と、前記製品用炭化珪素基板の状態を確認するためのモニタ用炭化珪素基板とを配列して、前記酸化性ガスによる酸化処理を行う工程であり、
前記モニタ用炭化珪素基板は、カーボン面が酸化処理されていることを特徴とする炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 前記モニタ用炭化珪素基板は、前記カーボン面に、テトラエチルオルソシリケート(TEOS)を用いた酸化処理によって形成されたTEOS酸化膜を有することを特徴とする請求項5に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
- 前記モニタ用炭化珪素基板は、前記カーボン面に、熱酸化によって形成された熱酸化膜を有することを特徴とする請求項6に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
- 炭化珪素半導体装置となる製品用炭化珪素基板に、酸化性ガスによる酸化処理によって酸化膜を形成する酸化膜形成工程を含む炭化珪素半導体装置の製造方法であって、
前記酸化膜形成工程は、
前記酸化性ガスが導入される処理室内に、複数枚の前記製品用炭化珪素基板と、前記製品用炭化珪素基板の状態を確認するためのモニタ用炭化珪素基板とを配列して、前記酸化性ガスによる酸化処理を行う工程であり、
前記酸化膜形成工程では、
前記モニタ用炭化珪素基板と、前記モニタ用炭化珪素基板に隣接する前記製品用炭化珪素基板との距離が、前記製品用炭化珪素基板同士の間隔よりも広くなるように、前記モニタ用炭化珪素基板および前記製品用炭化珪素基板を配置して、前記酸化性ガスによる酸化処理を行うことを特徴とする炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 炭化珪素半導体装置となる製品用炭化珪素基板に、酸化性ガスによる酸化処理によって酸化膜を形成する酸化膜形成工程を含む炭化珪素半導体装置の製造方法であって、
前記酸化膜形成工程は、
前記酸化性ガスが導入される処理室内に、複数枚の前記製品用炭化珪素基板と、前記製品用炭化珪素基板の状態を確認するためのモニタ用炭化珪素基板とを配列して、前記酸化性ガスによる酸化処理を行う工程であり、
前記酸化膜形成工程では、
前記モニタ用炭化珪素基板のシリコン面と、前記モニタ用炭化珪素基板に隣接する前記製品用炭化珪素基板のシリコン面とが対向するように、前記モニタ用炭化珪素基板および前記製品用炭化珪素基板を配置して、前記酸化性ガスによる酸化処理を行うことを特徴とする炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 複数枚の前記製品用炭化珪素基板は、カーボン面とシリコン面とが交互に前記モニタ用炭化珪素基板側を向くように配置されることを特徴とする請求項9に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
- 前記製品用炭化珪素基板は、カーボン面が酸化処理された状態で、前記酸化性ガスによる酸化処理が行われることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1つに記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
- 前記製品用炭化珪素基板は、カーボン面が酸化処理されていない状態で、前記酸化性ガスによる酸化処理が行われることを特徴とする請求項10に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
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