JP6320325B2 - 半導体製造装置および半導体デバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、全体が100で表される、本発明の実施の形態1にかかる横型熱酸化装置(横型熱酸化炉)の、長手方向(プロセスチューブの中心軸方向)に沿った断面図である。横型熱酸化装置100は、例えば石英で形成された円筒状のプロセスチューブ(反応管、熱酸化炉)1を含む。プロセスチューブ1の直径は、5インチウエハを処理する場合は、例えば200mmである。
図4は、本発明の実施の形態2にかかる、(a)全体が200で表される横型熱酸化装置の断面図と、(b)遮蔽板の平面図を示す。図4中、図1と同一符合は、同一または相当箇所を示す。
図5は、本発明の実施の形態3にかかる、(a)全体が300で表される横型熱酸化装置の断面図と、(b)遮蔽板の平面図を示す。図5中、図1と同一符合は、同一または相当箇所を示す。
図6は、本発明の実施の形態4にかかる、(a)全体が400で表される横型熱酸化装置の断面図と、(b)遮蔽板の平面図を示す。図6中、図1と同一符合は、同一または相当箇所を示す。
Claims (6)
- ウエハの表面を熱酸化するための半導体製造装置であって、
一端にガス導入口を有し、他端が蓋部で閉じられた円筒形の反応管と、
該反応管内に、該反応管の中心軸に対して垂直に複数のウエハを配置する保持手段と、
該ガス導入口と該保持手段との間に、該反応管の内壁に周囲が接するように設けられ、下方に開口部を有する遮蔽板と、
該遮蔽板と保持手段との間に、反応管の内壁に周囲が接するように設けられ、複数の貫通孔を有する整流板と、
該反応管の周囲に設けられたヒーターと、を含み、
該ガス導入部から導入されたガスは、該遮蔽板の該開口部を通った後、該整流板の該貫通孔を通って該ウエハに供給され、
該遮蔽板の開口部は、該遮蔽板の中心より下方に設けられた、矩形または半円形の切り取り孔、あるいは複数の円形の孔であり、
半円形の切り取り孔からなる該開口部が、更に、該開口部の周囲から該ガス導入口方向に水平に張り出した庇部を有することを特徴とする半導体製造装置。 - ウエハの表面を熱酸化するための半導体製造装置であって、
一端にガス導入口を有し、他端が蓋部で閉じられた円筒形の反応管と、
該反応管内に、該反応管の中心軸に対して垂直に複数のウエハを配置する保持手段と、
該ガス導入口と該保持手段との間に、該反応管の内壁に周囲が接するように設けられ、下方に開口部を有する遮蔽板と、
該遮蔽板と保持手段との間に、反応管の内壁に周囲が接するように設けられ、複数の貫通孔を有する整流板と、
該反応管の周囲に設けられたヒーターと、を含み、
該ガス導入部から導入されたガスは、該遮蔽板の該開口部を通った後、該整流板の該貫通孔を通って該ウエハに供給され、
該遮蔽板は、下方が上記ガス導入口に近づくように傾斜して配置されたことを特徴とする半導体製造装置。 - 上記整流板の貫通孔は、上記整流板の中心に対して、該中心を重心とする正三角形の頂点の位置に配置され、または該整流板の中心に対して、同心円上に均等に配置されたことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体製造装置。
- 上記ガス導入口は、第2プロセスガスを供給するための、ノズル状の第2プロセスガス導入管と、第1プロセスガスを供給するための、該第2プロセスガス導入管を囲む第1プロセスガス導入管とを有することを特徴とする請求項1または2に記載の半導体製造装置。
- 上記第1プロセスガスは酸素ガスであり、上記第2プロセスガスが水素ガスであり、上記ウエハがシリコンであり、該第1プロセスガスと該第2プロセスガスを反応させて形成した水蒸気ガスにより該ウエハの表面を酸化してシリコン酸化膜を形成することを特徴とする請求項4に記載の半導体製造装置。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の半導体製造装置を用いてウエハの表面に酸化膜を形成する工程を含む半導体デバイスの製造方法。
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