JP2009177102A - 半導体装置の電極の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】炭化硅素基板上のコンタクトに遷移金属を蒸着し、加熱処理して、炭素高含有シリサイド電極を形成する。更に加熱処理し、炭素高含有シリサイド電極内部の炭素および炭化物を析出し炭素低含有シリサイド電極5へ転換する。析出された炭素およびグラファイト性固体53、54、複合酸化物55を除去する。更に、硝酸と硫酸の混合溶液、発煙硝酸と硫酸の混合溶液または発煙硝酸に炭素低含有シリサイド電極の表面を浸漬して、その表面に存在する残滓を除去する。この後、炭素低含有シリサイド電極の表面に配線材56を形成する。
【選択図】図3
Description
まず、本発明の第1の実施形態に係るシリサイド電極の製造方法について、図1乃至図4を参照して説明する。図1は、本発明の第1の実施形態に係る半導体装置の電極の製造方法を示す断面工程図である。図2は図1に続く断面工程図、図3は図2に続く断面工程図、図4は図3に続く断面工程図である。なお、本発明は、4H、6H、3C、15Rなど全ての晶系(Hは六方晶、Cは立方晶、Rは菱面体晶を意味する。)の基板、各晶系基板のすべての結晶面に適用できる。第1の実施形態では、便宜上、基板を4H−炭化珪素基板(以下、SiC基板とする。)として説明する。
5×1014cm−2/40keV
5×1014cm−2/70keV
1×1015cm−2/100keV
1×1015cm−2/150keV
2×1015cm−2/200keV
2×1015cm−2/250keV
次に、図1(c)に示すように、図1(b)に示したイオン注入が終了した後、SiO2のイオン注入マスク200およびイオン注入スルー膜202をフッ酸(HF)で全面除去する。更に、常圧Ar雰囲気中、1700℃、1分の急速加熱処理を行う。これにより、イオン注入された不純物、すなわち、Pが充分に活性化されて、SiC基板1の所定の領域に高いキャリア濃度を有する高濃度不純物領域2が形成される。高濃度不純物領域2はn+型領域である。上記イオン注入条件と上記活性化加熱処理条件で生成される高濃度不純物領域2の深さは、およそ350nmである。
そして、更に酸素雰囲気中で加熱処理を行うことで、炭素高含有シリサイド電極5’から析出された炭素およびグラファイト性固体53の相当部分は、酸化して二酸化炭素、一酸化炭素となって気相となり外部へ放出される(第4の工程)。なお、上記20分で表面に析出した炭素が十分に気相となって放出されない場合は、状況に応じてさらに時間を取れば良い。また、炭素低含有シリサイド電極5の表面付近のNiシリサイドは酸化されて、グラファイト性固体54と炭素低含有シリサイド電極5との間にSi(珪素)とNiの複合酸化物層55を形成する。また、酸化雰囲気炭素析出工程は、酸素原子を含むガスのプラズマ中やUV(紫外光)/オゾンなどの活性酸素雰囲気中で、図2(g)の状態のシリサイド電極を100℃以上600℃以下にして行っても良い。なお、非酸化雰囲気炭素表面析出工程と酸化雰囲気炭素析出工程を連続して行った場合のシリサイド電極は、図3(h2)の構造となる。
次に、図3(i)に示すように、硝酸と硫酸の混合溶液である濃硝酸と濃硫酸の加熱混酸溶液、発煙硝酸と硫酸の混合溶液である発煙硝酸と濃硫酸の加熱混酸容液または加熱発煙硝酸に、炭素低含有シリサイド電極5の表面を浸漬させ、炭素低含有シリサイド電極5の表面に存在する残滓を除去する(第5の工程)。ここで、残滓とは、炭素低含有シリサイド電極5の表面に存在し、従来薬液法では除去することが出来ない物質である。図5(b)は従来の薬液法により、炭素およびグラファイト性固体53の除去工程を終えた炭素低含有シリサイド電極5の表面写真である。図5(b)から明らかなように、残滓の存在が確認でき、後の工程で、炭素低含有シリサイド電極5上に配線電極を形成したとしても、炭素低含有シリサイド電極5と配線電極との間に残滓が存在するため、密着性が悪く、電極間のコンタクト特性も悪化することとなり、半導体装置の信頼性や製造歩留まりの低下の原因となる。この残滓を除去するために発明者等は、鋭意研究を重ね、硝酸と硫酸の混合溶液である濃硝酸と濃硫酸の加熱混酸溶液、発煙硝酸と硫酸の混合溶液である発煙硝酸と濃硫酸の加熱混酸容液または加熱発煙硝酸に、炭素低含有シリサイド電極5の表面を浸漬させることで、残滓を除去する方法を見出した。以下、残滓を除去する第5の工程について詳細に説明する。
まず、濃硝酸と濃硫酸の加熱混酸溶液に浸漬させるが、当該加熱混酸溶液の温度を当該加熱混酸溶液の沸点付近の温度とした場合、残滓除去性能が高くなることを見出した。そこで、当該加熱混酸溶液の温度を、当該加熱混酸溶液の沸点−50℃以上当該沸点以下の範囲に含まれる温度とすることで、短時間に析出炭素除去工程を終了することができる。同様に、発煙硝酸と濃硫酸の加熱混酸溶液の温度を当該加熱混酸溶液の沸点付近の温度とした場合、残滓除去性能が高くなることを見出した。そこで、当該加熱混酸溶液の温度を、当該加熱混酸溶液の沸点−50℃以上当該沸点以下の範囲に含まれる温度とすることで、短時間に析出炭素除去工程を終了することができる。同様に、加熱発煙硝酸の温度を当該加熱発煙硝酸の沸点付近の温度とした場合、残滓除去性能が高くなることを見出した。そこで、当該加熱発煙硝酸の温度を、当該加熱発煙硝酸の沸点−50℃以上当該沸点以下の範囲に含まれる温度とすることで、短時間に析出炭素除去工程を終了することができる。
次に、第5の工程に用いられる濃硝酸と濃硫酸の加熱混酸溶液について説明する。第1の実施形態では、一般に販売されている重量濃度96%の硫酸と重量濃度61%の硝酸を、硫酸:硝酸=1:3の混合比率で混合した混酸溶液を用いた。当該混酸溶液の温度を当該混酸容液の沸点(約125℃)とした。上記の条件で第5の工程を処理した場合、5分以内で、残滓を除去することができる。また、全体に対する硫酸の混合比率を高めると処理時間を短縮できる。例えば、硫酸:硝酸=3:1の混酸溶液の温度を、当該混酸溶液の沸点(約250℃)とし、第5の工程を処理した場合、2分以内で除去することができる。このように、全体に対する硫酸の混合比率をあげると沸点が上昇し、処理時間が短縮できるという利点がある。
これら第5の工程後の炭素低含有シリサイド電極5の表面写真が図5(a)であり、残滓が除去されていることが確認できる。
なお、図3(h2)に示したように、複合酸化物層55を有する場合、炭素低含有シリサイド電極5の表面をフッ酸含有溶液に浸漬する第7の工程を処理する。第7の工程は、第4の工程と第5の工程との間又は第5の工程と後述する第6の工程との間に少なくとも1回処理される。これにより、複合酸化物層55を除去することができる。ここで、第7の工程に用いられたフッ酸含有溶液について説明する。第1の実施形態では、重量濃度10%以下の希釈フッ酸溶液(室温)または、濃フッ化アンモニウム溶液で濃フッ酸を7倍以上に薄めた緩衝フッ酸溶液(室温)を用いた。これにより、複合酸化物層55を1分以内に除去できる。なお、複合酸化物層55を1分以内に、望ましくは、30秒以内に溶解するものなら、他の組成物を含むフッ酸含有溶液を用いても良い。例えば、10倍の濃フッ化アンモニウム溶液で濃フッ酸を薄めた緩衝フッ酸溶液(室温)を用いた場合には、15秒以上30秒以下で除去することができる。
次に、図3(j)に示すように、先の工程によってグラファイト性固体53、54および残滓が除去された炭素低含有シリサイド電極5の表面に、第2の金属層である配線材56を形成する(第6の工程)。具体的には、図3(i)の状態のシリサイド電極を充分洗浄し、乾燥させる。乾燥させたところで、絶縁膜3の表面、炭素低含有シリサイド電極5の表面およびコンタクトホール4の側面に、DCマグネトロンスパッタリングのごとき手段で、1μm厚の配線材56を形成する。ここで、配線材56は、Al−Si、Al−Cu、Al−Si−Cu共晶合金などである。なお、Al以外の材料の配線材を用いても良い。最後に、図4(k)に示すように、フォトリソグラフィとRIEを用いて、配線材56をパターニングする。これにより、配線電極6を形成する。配線電極6は、少なくともコンタクトホール4を全面被覆して、炭素低含有シリサイド電極5に接続する形状とする。上記図1(a)乃至図4(k)の工程により、第1の実施形態に係るシリサイド電極が完成する。
次に、第2の実施形態に係る電界効果トランジスタの製造方法について、図6乃至図10を参照して説明する。ここで、第2の実施形態は、縦型パワーデバイスの1つである縦型MOSFET(金属−酸化物−半導体構造の電界効果トランジスタ)に、第1の実施形態に係るシリサイド電極の製造方法を適用した例である。
p型ベース領域73a、73bのイオン注入条件
不純物:Al+イオン
基板温度:750℃
加速エネルギー/ドーズ量:360keV/5×1013cm−2
p+型ベース領域75a、75bのイオン注入条件
イオン種:Al+
注入温度:750℃
加速エネルギー/ドーズ量:
30keV/1.0×1015cm−2
50keV/1.0×1015cm−2
70keV/2.0×1015cm−2
100keV/3.0×1015cm−2
n+型ソース領域74a、74bのイオン注入条件
イオン種:p+(リン)
注入温度:500℃
加速エネルギー/ドーズ量:
40keV/5.0×1014cm−2
70keV/6.0×1014cm−2
100keV/1.0×1015cm−2
160keV/2.0×1015cm−2
また、上記活性化アニール工程では、高純度のカーボンサセプタの上に、n−型エピタキシャル層72の表面が上を向くように置く。すなわち、n+型SiC基板71の裏面がサセプタに接するように置く。次に、高純度不活性ガス(例えば、Ar)雰囲気あるいは僅かにシランを含有する高純度不活性ガス雰囲気の中で、1600℃以上の温度で1分以上数分以下の急速加熱処理を行う。
4 コンタクトホール、5 炭素低含有シリサイド電極、
5’ 炭素高含有シリサイド電極、6 配線電極、
53、54 グラファイト性固体、55 複合酸化物層、
56 第2の金属層である配線材、60 n++型ドレイン領域、
61 実装配線、70 素子領域(ユニットセル)、
71 n+型SiC基板、72 n−型エピタキシャル層、
73a、73b p型ベース領域、74a、74b n+型ソース領域、
75 ゲート酸化膜、75a、75b p+型ベース領域、76 ゲート電極、
77 多結晶シリコン酸化膜、78 層間絶縁膜、79a、79b ソース窓、
80a、80b ソース電極(炭素低含有シリサイド電極)、
81 ドレイン電極(炭素低含有シリサイド電極)、
82 第2の金属層である配線電極、84 多結晶シリコン膜、
85 多結晶シリコン酸化膜、87a、87b 第1の金属層である遷移金属、
88a、88b シリサイド電極であるソース電極、
89 ドレイン電極、97 熱酸化膜、98 熱酸化膜、
100 フィールド絶縁膜、
200 イオン注入マスク、201 注入予定領域、
202 イオン注入スルー膜、203 不純物イオン、
204 フォトレジスト、205 第1の金属層である遷移金属
Claims (9)
- 炭化珪素基板上に、第1の金属層を形成する第1の工程と、
前記第1の金属層を熱処理し、電極を形成する第2の工程と、
前記電極を更に加熱処理し、前記電極内部の炭素および炭化物を析出する第3の工程と、
前記炭素および炭化物を除去する第4の工程と、
前記炭素および炭化物を除去した後に、前記電極の表面を硝酸と硫酸の混合溶液、発煙硝酸と硫酸の混合溶液または発煙硝酸に浸漬させて、当該電極の表面に存在する残滓を除去する第5の工程と、
前記電極の表面に第2の金属層を形成する第6の工程とを含むことを特徴とする半導体装置の電極の製造方法。 - 前記第3の工程は、非酸化性雰囲気中で処理されることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の電極の製造方法。
- 前記電極の前記表面をフッ酸含有溶液に浸漬させる第7の工程を含み、
前記第3の工程は、酸化性雰囲気中で処理され、
前記第7の工程は、前記第4の工程と前記第5の工程の間または前記5の工程と前記第6の工程の間に、少なくとも1回処理されることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の電極の製造方法。 - 前記第5の工程で前記硝酸と前記硫酸の前記混合溶液を用いた場合、該混合溶液の温度は、該混合溶液の沸点−50℃以上前記沸点以下の範囲に含まれることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体装置の電極の製造方法。
- 前記第5の工程で前記発煙硝酸と前記硫酸の前記混合溶液を用いた場合、該混合溶液の温度は、該混合溶液の沸点−50℃以上前記沸点以下の範囲に含まれることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体装置の電極の製造方法。
- 前記第5の工程で前記発煙硝酸を用いた場合、該発煙硝酸の温度は、該発煙硝酸の沸点−50℃以上前記沸点以下の範囲に含まれることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体装置の電極の製造方法。
- 前記混合溶液の前記沸点が60℃以上250℃以下の範囲に含まれるように、前記混合溶液の混合比率を調整することを特徴とする請求項4または5に記載の半導体装置の電極の製造方法。
- 活性酸素または不活性ガス・プラズマで前記残滓の表面を暴露する第8の工程を含むことを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の半導体装置の電極の製造方法。
- 前記半導体装置は、電界効果トランジスタであることを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の半導体装置の電極の製造方法。
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