JP2006148009A - 半導体素子の電極形成方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】電極におけるシリサイド層と金属層(NiとPとの共析層)との間の剥がれを防止する半導体素子の電極の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の半導体素子の電極形成方法は、半導体基板1のいずれか一方又は両方の面上に、所定の金属2をメッキする第1のメッキ工程と、加熱処理を行い、半導体と前記金属とを合金化させてシリサイド層3を形成するシリサイド形成工程と、該シリサイド層表面に生成された未反応の金属を含む析出層4,5を、酸を含む第1の溶液にてエッチングする第1のエッチング工程と、前記シリサイド層上面の酸化膜9を、弗酸を含む第2の溶液にてエッチングする第2のエッチング工程と、前記シリサイド層上面に所定の金属をメッキし、金属層6を形成する第2のメッキ工程とを含んでいる。
【選択図】図1
【解決手段】本発明の半導体素子の電極形成方法は、半導体基板1のいずれか一方又は両方の面上に、所定の金属2をメッキする第1のメッキ工程と、加熱処理を行い、半導体と前記金属とを合金化させてシリサイド層3を形成するシリサイド形成工程と、該シリサイド層表面に生成された未反応の金属を含む析出層4,5を、酸を含む第1の溶液にてエッチングする第1のエッチング工程と、前記シリサイド層上面の酸化膜9を、弗酸を含む第2の溶液にてエッチングする第2のエッチング工程と、前記シリサイド層上面に所定の金属をメッキし、金属層6を形成する第2のメッキ工程とを含んでいる。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体基板表面素子の電極、特にはんだ接合用電極の形成を行う半導体素子の電極形成方法である。
半導体装置には、半導体(シリコン,ゲルマニウム,SiC,セレン等)基板表面に形成された素子を外部と接続するための電極、特に、はんだボール等を介して直接基板に半導体装置を接合させるはんだ接合用電極が設けられている。
半導体装置における素子(拡散層やゲートに対する電極)に対して、形成する電極を低抵抗のオーミック接続とするため、電極を形成する面のほぼ全域にNi(ニッケル)等の金属を一面にメッキし、所定の温度に加熱し、合金化させてシリサイドを形成している(例えば、特許文献1参照)。
半導体装置における素子(拡散層やゲートに対する電極)に対して、形成する電極を低抵抗のオーミック接続とするため、電極を形成する面のほぼ全域にNi(ニッケル)等の金属を一面にメッキし、所定の温度に加熱し、合金化させてシリサイドを形成している(例えば、特許文献1参照)。
上記ニッケルをメッキさせる手法としては、電解メッキ法があり、たとえばはんだボールを介して直接基板に半導体装置を接合させるはんだ接合用電極の形成に用いられている(例えば、特許文献2参照)。
特開2003−243654号公報
特開2000−349111号公報
しかしながら、特許文献1のような従来の電極形成方法にあっては、表面に形成される素子の電極が剥がれてしまうという問題がある。
すなわち、電極の製造方法としては、図2に示すように、半導体基板1、例えばシリコン基板のいずれか一方の面にメッキ処理を行い(図2(a))、図2(b)に示すように所定の厚さの金属層2、例えばNiの層を堆積させる。
このとき、Niメッキの工程が無電解メッキであると、還元剤に燐が含まれているため、Ni及びP(燐)の共析した金属層2として形成される。
すなわち、電極の製造方法としては、図2に示すように、半導体基板1、例えばシリコン基板のいずれか一方の面にメッキ処理を行い(図2(a))、図2(b)に示すように所定の厚さの金属層2、例えばNiの層を堆積させる。
このとき、Niメッキの工程が無電解メッキであると、還元剤に燐が含まれているため、Ni及びP(燐)の共析した金属層2として形成される。
オーミックな接続を形成するため、加熱することにより、Niとシリコンとを合金化させ、Niシリサイドの層であるシリサイド層3を形成する。
次に、Niシリサイドのシリサイド層3を形成した後、図2(c)のように、このシリサイド層3の表面に、シリコンと合金化されなかったNi及びPのNi・P高濃度層5が形成される。
また、上記Ni・P高濃度層5とシリサイド層3との間に、極く薄い界面酸化膜層4が生成される。
そして、上記界面酸化層4とNi・P高濃度層5とを、70℃程度に加熱した硝酸により、図2(d)のように除去し、その後、新たにNiメッキを行い、図2(e)に示すように、金属層6をシリサイド層3の上面に形成する。
次に、Niシリサイドのシリサイド層3を形成した後、図2(c)のように、このシリサイド層3の表面に、シリコンと合金化されなかったNi及びPのNi・P高濃度層5が形成される。
また、上記Ni・P高濃度層5とシリサイド層3との間に、極く薄い界面酸化膜層4が生成される。
そして、上記界面酸化層4とNi・P高濃度層5とを、70℃程度に加熱した硝酸により、図2(d)のように除去し、その後、新たにNiメッキを行い、図2(e)に示すように、金属層6をシリサイド層3の上面に形成する。
そして、はんだ層7を上記金属層6の上面に形成する。このとき、はんだのSnと、Niとが反応して、SnNi層8が形成される。
ところが、上述した上記Ni・P高濃度層5を除去する工程で、硝酸によりNi・P高濃度層5と界面酸化膜4の除去はできるものの、露出したシリサイド層3とこの酸との反応で新たな酸化膜が生成されるので、結局のところ酸化膜を完全に除去することができない。
これにより、従来の製造方法においては、シリサイド層3と金属層6との間の密着性が、新たな酸化膜層9の存在のため悪くなり、シリサイド層3と金属層6との剥がれが容易に生じることとなる。
ところが、上述した上記Ni・P高濃度層5を除去する工程で、硝酸によりNi・P高濃度層5と界面酸化膜4の除去はできるものの、露出したシリサイド層3とこの酸との反応で新たな酸化膜が生成されるので、結局のところ酸化膜を完全に除去することができない。
これにより、従来の製造方法においては、シリサイド層3と金属層6との間の密着性が、新たな酸化膜層9の存在のため悪くなり、シリサイド層3と金属層6との剥がれが容易に生じることとなる。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、電極におけるシリサイド層と金属層(NiとPとの共析層)との間の剥がれを防止する半導体素子の電極形成方法を提供することを目的とする。
本発明の半導体素子の電極形成方法は、半導体基板のいずれか一方又は両方の面上に、所定の金属をメッキする第1のメッキ工程と、加熱処理を行い、半導体と前記金属とを合金化させてシリサイド層を形成するシリサイド形成工程と、該シリサイド層表面に生成された未反応の金属を含む析出層を、酸を含む第1の溶液にてエッチングする第1のエッチング工程と、前記シリサイド層上面の酸化膜を、弗酸を含む第2の溶液にてエッチングする第2のエッチング工程と、前記シリサイド層上面に所定の金属をメッキし、金属層を形成する第2のメッキ工程とを含むことを特徴とする。
本発明の半導体素子の電極形成方法は、前記第2の溶液が希弗酸であることを特徴とする。
本発明の半導体素子の電極形成方法は、前記金属層の上面に、はんだ層を形成するはんだ層形成過程と有することを特徴とする。
以上説明したように、本発明によれば、第2のメッキ工程を行う前に、シリサイド層表面の酸化膜層(余分な酸化膜)を、希弗酸によるエッチングで除去するため、シリサイド層と第2メッキ工程で形成される金属層との密着性(あるいは付着性)を向上させることが可能となり、シリサイド層と金属層との剥がれを防止することができる。
これにより、本発明によれば、上述した製造方法にて電極を形成することにより、はんだボールを介して半導体素子を基板に接合する際など、半導体素子の電極が剥がれ難くなることで、半導体素子の信頼性を向上させることが可能である。
これにより、本発明によれば、上述した製造方法にて電極を形成することにより、はんだボールを介して半導体素子を基板に接合する際など、半導体素子の電極が剥がれ難くなることで、半導体素子の信頼性を向上させることが可能である。
以下、本発明の一実施形態による半導体装置における半導体素子の電極の製造方法を図面を参照して説明する。
図1は同実施形態による半導体素子の電極(たとえば、はんだボール等を介して直接基板に半導体装置を接合させるはんだ接合用電極)の製造方法の流れを説明する、各工程終了後における半導体装置の断面を示す概念図である。
この図において、図1(a)において、半導体基板1を例えばシリコン基板とすると、この半導体基板1の電極を形成する面の洗浄(例えば、RCA洗浄など)を行い、第1のメッキ工程として、清浄化した半導体基板1の上面(いずれか一方の面)に金属をメッキ、例えば、ニッケル(Ni)を無電解メッキ法によりメッキする。
図1は同実施形態による半導体素子の電極(たとえば、はんだボール等を介して直接基板に半導体装置を接合させるはんだ接合用電極)の製造方法の流れを説明する、各工程終了後における半導体装置の断面を示す概念図である。
この図において、図1(a)において、半導体基板1を例えばシリコン基板とすると、この半導体基板1の電極を形成する面の洗浄(例えば、RCA洗浄など)を行い、第1のメッキ工程として、清浄化した半導体基板1の上面(いずれか一方の面)に金属をメッキ、例えば、ニッケル(Ni)を無電解メッキ法によりメッキする。
上記半導体としては、シリコン、ゲルマニウム、SiC(炭化珪素)、セレン等をもちいることができる。
また、上記金属としては、NiだけでなくCr(クロム)等を用いることができる。
また、上記金属としては、NiだけでなくCr(クロム)等を用いることができる。
図1(b)に示すように、所定の厚さ(例えば、500nm程度)の金属層2が形成されるが、金属をNiとした場合、この金属層2は、Niと、メッキ処理に用いる還元剤に含まれるP(燐)との混晶となっている。
次に、オーミックな接続を形成するため、加熱することにより、Niとシリコンとを合金化させ、Niシリサイドであるシリサイド層3を形成する。
すなわち、所定の温度(470℃〜840℃)にて加熱して、焼鈍処理(アニーリング)を行い、金属とシリコンとを合金化して、図1(c)に示すようにシリサイド層(Niシリサイド層)3を、約500〜600nmの厚さで形成する。
次に、オーミックな接続を形成するため、加熱することにより、Niとシリコンとを合金化させ、Niシリサイドであるシリサイド層3を形成する。
すなわち、所定の温度(470℃〜840℃)にて加熱して、焼鈍処理(アニーリング)を行い、金属とシリコンとを合金化して、図1(c)に示すようにシリサイド層(Niシリサイド層)3を、約500〜600nmの厚さで形成する。
このシリサイド層3を形成する焼鈍処理のとき、合金層であるシリサイド層3の上面に、副次的に、界面酸化膜層4とNi・P高濃度層5とが形成される。
上述した温度においては、Pはシリコン内に拡散されることはなく、シリサイド層3の外部に析出されることになる。
この界面酸化膜層4とNi・P高濃度層5とは、組成がいずれも酸素,シリコン,燐及び未反応のニッケルを含んでいる。
しかしながら、界面酸化膜層4が酸素,シリコンを他に比較して多く含み、一方、Ni・P高濃度層5が燐,ニッケル(未反応)を他に比して多く含んでいるため、このように名称を定義することとした。
上述した温度においては、Pはシリコン内に拡散されることはなく、シリサイド層3の外部に析出されることになる。
この界面酸化膜層4とNi・P高濃度層5とは、組成がいずれも酸素,シリコン,燐及び未反応のニッケルを含んでいる。
しかしながら、界面酸化膜層4が酸素,シリコンを他に比較して多く含み、一方、Ni・P高濃度層5が燐,ニッケル(未反応)を他に比して多く含んでいるため、このように名称を定義することとした。
次に、第1の洗浄として、酸を含む第1の溶液、例えば硝酸を70℃程度に加熱したものをエッチング液として用い、Ni・P高濃度層5の除去を行う。
このとき、従来例に説明で述べたように、硝酸によりシリサイド層3上面の界面酸化膜4も除去できるが、酸によるシリサイド層3の酸化が進むため、新たに生成した酸化膜9が残った状態となる。
そして、第2の洗浄として、弗酸を含む第2の溶液、例えばBHF(バファード弗酸、NH4:HF=10:1)またはDHF(Dilute Hydrofuoric acid;希弗酸または希フッ酸)のいずれか、界面酸化膜層4の十分なエッチングとして、好ましくはDHFを用い、図1(d)のように界面酸化膜層4の除去を行う。
ここで、DHFは、水と弗酸との割合を、例えば、体積比において10〜100対1とし、非常に薄い弗酸の溶液を生成する。
このとき、従来例に説明で述べたように、硝酸によりシリサイド層3上面の界面酸化膜4も除去できるが、酸によるシリサイド層3の酸化が進むため、新たに生成した酸化膜9が残った状態となる。
そして、第2の洗浄として、弗酸を含む第2の溶液、例えばBHF(バファード弗酸、NH4:HF=10:1)またはDHF(Dilute Hydrofuoric acid;希弗酸または希フッ酸)のいずれか、界面酸化膜層4の十分なエッチングとして、好ましくはDHFを用い、図1(d)のように界面酸化膜層4の除去を行う。
ここで、DHFは、水と弗酸との割合を、例えば、体積比において10〜100対1とし、非常に薄い弗酸の溶液を生成する。
次に、第2のメッキ工程として、第2の洗浄により酸化膜が除去されたシリサイド層3上面に、金属をメッキ、例えば、ニッケル(Ni)を無電解メッキ法によりメッキする。
このメッキ処理により、図1(e)に示すように、所定の厚さ(例えば、600nm程度)の金属層6が形成されるが、金属をNiとした場合、この金属層6は、金属層2と同様に、Niと、メッキ処理に用いる還元剤に含まれるP(燐)との混晶となっている。
この第2のメッキ処理により、金属層6を形成する理由としては、シリサイド層3上面に、はんだ層を直接形成すると、シリサイドとはんだとの接合面における特性において、シリサイド面に対するはんだの密着性が悪いため、密着性を確保するための層として形成する。
このメッキ処理により、図1(e)に示すように、所定の厚さ(例えば、600nm程度)の金属層6が形成されるが、金属をNiとした場合、この金属層6は、金属層2と同様に、Niと、メッキ処理に用いる還元剤に含まれるP(燐)との混晶となっている。
この第2のメッキ処理により、金属層6を形成する理由としては、シリサイド層3上面に、はんだ層を直接形成すると、シリサイドとはんだとの接合面における特性において、シリサイド面に対するはんだの密着性が悪いため、密着性を確保するための層として形成する。
そして、金属層6上面をはんだ槽に浸け、金属層6上面にはんだ層7を、はんだ槽のはんだの表面張力により、所定の厚さに形成する。
このとき、はんだの溶融している温度が350℃〜400℃なので、図1(f)に示すように、はんだ層7と金属層6との面が接触した際、はんだのスズ(Sn)と金属層6のニッケル(Ni)とが反応して、合金化された層、すなわち界面金属(Sn・Ni)層8が形成される。
なお、清浄化した半導体基板1の両面にNiをメッキする場合には、第1の洗浄、第2の洗浄、第2のメッキ工程を両面に対して行う。
このとき、はんだの溶融している温度が350℃〜400℃なので、図1(f)に示すように、はんだ層7と金属層6との面が接触した際、はんだのスズ(Sn)と金属層6のニッケル(Ni)とが反応して、合金化された層、すなわち界面金属(Sn・Ni)層8が形成される。
なお、清浄化した半導体基板1の両面にNiをメッキする場合には、第1の洗浄、第2の洗浄、第2のメッキ工程を両面に対して行う。
上述した製造方法において形成した電極に対し、密着性を評価するため、半導体装置(チップ)の両面にリード線をはんだ付けして、両側から、上記電極が破壊されるまで引っ張る引っ張り試験を行う。
この試験結果を観察すると、従来の製造方法におけるように、シリサイド層3と金属層6との界面で破壊されず、半導体基板1のシリコンの面が見える、ずなわちシリサイド層3と半導体基板1との界面が破壊されているのが確認された。
したがって、上述した本発明の製造方法により、シリサイド層3と金属層6との間の密着性が向上(すなわち、密着の強度が向上)したことが確認された。
この試験結果を観察すると、従来の製造方法におけるように、シリサイド層3と金属層6との界面で破壊されず、半導体基板1のシリコンの面が見える、ずなわちシリサイド層3と半導体基板1との界面が破壊されているのが確認された。
したがって、上述した本発明の製造方法により、シリサイド層3と金属層6との間の密着性が向上(すなわち、密着の強度が向上)したことが確認された。
1…半導体基板
2,6…金属層
3…シリサイド層
4…界面酸化膜層
5…Ni・P高濃度層(析出層)
7…はんだ層
8…界面金属層
9…新たな酸化膜層
2,6…金属層
3…シリサイド層
4…界面酸化膜層
5…Ni・P高濃度層(析出層)
7…はんだ層
8…界面金属層
9…新たな酸化膜層
Claims (3)
- 半導体基板のいずれか一方又は両方の面上に、所定の金属をメッキする第1のメッキ工程と、
加熱処理を行い、半導体と前記金属とを合金化させてシリサイド層を形成するシリサイド形成工程と、
該シリサイド層表面に生成された未反応の金属を含む析出層を、酸を含む第1の溶液にてエッチングする第1のエッチング工程と、
前記シリサイド層上面の酸化膜を、弗酸を含む第2の溶液にてエッチングする第2のエッチング工程と、
前記シリサイド層上面に所定の金属をメッキし、金属層を形成する第2のメッキ工程と
を含むことを特徴とする半導体素子の電極形成方法。 - 前記第2の溶液が希弗酸であることを特徴とする請求項1記載の半導体素子の電極形成方法。
- 前記金属層の上面に、はんだ層を形成するはんだ層形成過工程とを有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体素子の電極形成方法。
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JP2004338981A JP2006148009A (ja) | 2004-11-24 | 2004-11-24 | 半導体素子の電極形成方法 |
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JP2004338981A JP2006148009A (ja) | 2004-11-24 | 2004-11-24 | 半導体素子の電極形成方法 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009177102A (ja) * | 2008-01-28 | 2009-08-06 | Nissan Motor Co Ltd | 半導体装置の電極の製造方法 |
JP2010034251A (ja) * | 2008-07-29 | 2010-02-12 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | 半導体基板の検査方法、半導体基板の検査装置および半導体基板の選別システム |
-
2004
- 2004-11-24 JP JP2004338981A patent/JP2006148009A/ja active Pending
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