JP4887157B2 - 平坦なワークピースの湿式化学処理又は電解処理のための処理ユニット - Google Patents

Description

本発明は、平坦なワークピース、例えば、金属箔、プリント回路箔又はプリント回路基板の湿式化学処理又は電解処理のための処理ユニットと、搬送設備されたラインで、好ましくは水平ラインで平坦なワークピースを処理するための処理ユニットの使用に関するものである。

DE 32 36 545 A1 DE 102 10 538 A1

湿式化学処理又は電解処理のための様々なライン形式が周知である。原則として、それらは、ワークピースが、例えば、洗浄され、乾燥され、又は、化学的にもしくは電解で処理される処理ユニットと、処理ユニットを通って搬送経路上でワークピースを輸送するための搬送システムとを含む。これら搬送システムは、概して、搬送経路を横断して配置される搬送部材からなり、当該搬送部材は、搬送経路の両側かそれとも片側に配置される。この結果、搬送部材は、原則として、搬送部材を横切る軸を備えて成り、前記軸は、ワークピースを輸送するために利用される領域を含む。輸送されるワークピースと処理タイプ次第では、搬送部材は、異なった領域、例えば、円筒形領域又は搬送車が設けられる領域を備えうる。

ほとんどの場合、搬送部材は、搬送経路と平行になるように向けられる担体壁上で処理ユニット（例えば処理タンク）内部において、搬送部材の軸で両側面に担持される。前記担体壁は、各搬送システムの個別の仕様に作られ、処理ユニットに適合させられる。

担体壁は、複数の開口を備えて成る。搬送部材の軸受けが導入される孔は、例えば、搬送経路の下方に設けられる。ここで上述したように、搬送部材が、ワークピースのより良好な案内のために搬送経路の両側に、例えば、水平搬送経路の上方と下方に必要な場合は、担体壁の開口は、したがってより広く、例えば、上側搬送部材の軸を収容するためのＵ形状孔をフライス加工することで作られなければならない。

ワークピースの両面案内は、例えば、処理流体が下方からワークピースの上に圧力を及ぼしているところで適切である。異なった厚さのワークピースの輸送を可能にするために、上側及び下側搬送部材の軸受けは、案内が両側に設けられるときは、異なった形状に形成される。下側軸受けは、円形の軸受け孔を有し、上側軸受けは、概して、搬送経路方向に対して垂直に延在するＵ形状スロットに形成される。その長所は、上側搬送部材が、スロット内部で自由に動くことができることであり、こうして、異なった厚さのワークピースに適応することが可能となる。それによって、厚いワークピースは、搬送部材を上方に押し上げるので、それらは、上側及び下側搬送部材の間の間隙を通過することができる。

処理流体は、多くの場合、搬送経路の上方及び／又は下方に配置されたノズルを用いてプロセスに供給される。超音波振動子、吹込機器、陽極等のようなこの装置及び他の装置は、担体壁に固定され、当該担体壁は、前記装置を担持する特定の目的のために構成される。搬送部材の間隔及び形状と用いられる装置の位置とは、マッチングさせなければならない。

特許文献１は、平坦なワークピースを電気めっきするための機器を開示し、当該ワークピースは、電解浴を水平に通って搬送される。とりわけ、本機器は、ワークピースの水平流れ経路に沿って配置される側壁を備えて成る。電極機器、ノズルのような処理機器、処理機器のための搬送システム又は供給システムは、前記側壁に固定される。

特許文献２は、処理タンクを具備し、処理液を備える水平に搬送設備されたラインを開示する。プリント回路基板は、この容器を通って輸送される。フローノズルは、上側支持フレームによって担持され、その相対的な垂直位置は、作動駆動（actuating drive）によって調整される。上側支持フレームにおいて、上側搬送ロールを担持するために長孔が設けられる。下側搬送ロールが下側担体によって担持され、下側ロールのための軸受けは、そこの孔である。搬送ロールは、処理タンク内でプリント回路基板を輸送するために利用される。

ここで上述されたタイプのラインの欠点は、担体壁が各処理タンクの個別仕様で作られ、構築されなければならないことである。ここで上述されたタイプのラインでは、例えば、新しい用途を供するのに適合させるために、別の処理機器配置に適合させること、又は、同一のラインにおいて異なったタイプの搬送部材と交換することは不可能である。

別の短所は、そのようなタイプのラインの保守及び清掃に関係する費用が、ほとんどの場合、この目的のために処理ユニットを大部分分解しなければならないので、人材、材料及び労力に関係する費用と並び、ラインのかなり長い休止時間であって、その結果、高価なライン休止時間をも含む非常に高い費用になる点である。

したがって、本発明の目的は、周知の湿式化学処理ライン又は電解処理ラインの短所を回避することにあり、より具体的には、柔軟乃至フレキシブルで単純な機構を有する処理ユニットを提供することにある。より具体的には、本発明の目的は、そのようなラインの部品を製造し、組立てるコストに加え、ラインの再構築と保守に関係するコストを減少するように、そのようなタイプのラインで用いられる多数の異なった構成部品を減少するだけでなく、それとともに関連する構造及び組立てコストを減少することである。同時に、本目的は、保守及び清掃に含まれるコストと費用とに加え製造損失をも著しく減少することをねらいとする。

この目的は、請求項１に記載の処理ユニットによって、及び、請求項２３に記載の処理ユニットの使用によって、達成される。本発明の好ましい実施形態が、従属請求項に列挙される。

本発明の処理ユニットは、より具体的には、平坦なワークピースを、好ましくはプリント回路基板又は箔を湿式化学で又は電解で処理するために利用される。ワークピースは、この結果、ワークピースの輸送方向に対して好ましくは垂直に延在する搬送部材を用いて、処理タンクのような処理ユニットを通り、搬送経路が延在する方向に輸送される。処理ユニットは、担体要素を備えて成り、当該担体要素は、搬送経路に平行に向けられ、且つ、凹部に加えて、搬送部材を担持し、必要時には、処理機器を保持するための少なくとも一つのモジュールシステムを有する。各モジュールシステムは、挿入要素を備えて成り、当該挿入要素は、好ましくはペアを組んで配置され、搬送経路の両側で、担体要素に設けられた凹部のそれぞれ一つに嵌められる。挿入要素の各ペアは、搬送経路の上方及び／又は下方に配置される少なくとも二つの搬送部材を、孔及び／又は長孔及び／又はスロットに挿入されることによって担持し、又は、少なくとも一つの処理機器を保持し、又は、搬送経路の上方及び／又は下方に配置される少なくとも一つの搬送部材を、孔及び／又は長孔及び／又はスロットに挿入することによって担持し、且つ、少なくとも一つの処理機器を保持するために利用される。その結果、モジュールシステムは、それが担体要素の凹部に、ぴったりと挿入されるように、より具体的には、滑り込ませるように、最も好ましくは、スナップ嵌めされるように、構成される。搬送要素を担持すること及び／又は処理機器を保持することに関する構成が適切な所では、最も単純な場合において、モジュールシステムは、搬送部材及び／又は処理機器を一方の側だけで担持するそのような挿入要素をただ一つだけ備える。

本発明の処理ユニットは、低コストで容易に製造可能である。それは、搬送設備されたラインで、好ましくは、水平ラインで、好ましく用いられうる。本発明の機構は、処理ユニットを容易に且つすばやく設備することを可能にする。その上、処理ユニットは、非常に柔軟であり、毎回担体要素を再適合させなければならないこと無しに、且つ、多大な費用無しに、異なった輸送システムを容易に利用することを可能にする。構造技術に関して、担体要素における挿入要素は、それらが、例えば、それらの二つの端部で搬送部材を好ましくは担持するという点で、担体要素の事前の機能をこの結果実施する。孔、スロット、長孔等のような構造に関して、担体要素と挿入要素とは、大量の需要にしたがって、低コストで様々な方法で製造可能である。搬送経路に沿った搬送・処理モジュールの一様な構造のおかげで、モジュールを備えた同タイプの構造に、補助処理機器（例えば、フィルター、水中ポンプ、投与ユニット、ヒーター、クーラー）を連携させることもまた可能なので、これら要素は、更なるコスト節約をもたらす同一の固定要素及び同一の連結管・配線を備えて、常に同一の設置場所にまた設けられる。

さらに、本発明にしたがうアセンブリでは、保守、清掃及び再構築のためのコストもまた減少する。こうして、搬送部材の特定の配置（例えば、特定数の搬送部材又は搬送部材の位置）を備えたモジュールシステムは、近似した又は別のモジュールシステムによって容易に取替えられ、さらに、ラインは直ちに運転しうる。このことは、休止時間を著しく減少することを可能にする。取り外されたモジュールシステムは、その後、例えば再び使用される前に清掃され、再構築される。

処理タンクのモジュールタイプ機構は、全ての内部担体要素、例えば、担体壁又は担体アームが、同じ構造特徴を備えて成り、こうして常に同じ図面にしたがって製造される処理ユニットを設けることでもたらされる。好ましくは、担体要素の全ての凹部は、同じ寸法及び形状を備えるか、又は、対応するモジュールシステムが嵌められる異なって構成された凹部のいくつかのグループが、担体要素に設けられる。モジュールシステムは、これら凹部で担持され、各使用目的（例えば、薄い箔を輸送する）のために、エッチングや乾燥のようないくつかの用途に用いることができる。このことは、いくつかの異なるモージュールシステムだけで、多種多様な組み合わせを達成することを可能にする。この結果、特に効果的なのは、一様なパターンにしたがって担体要素に凹部を配置することであり、搬送部材に加えて、特定の所定直径（例えば、２５、３７．５、５０ｍｍ）を備えた処理のために利用される更なる機器（例えば、スプレーノズル又は駆動要素）を設けることである。

好ましくは、担体要素の凹部におけるモジュールシステムの嵌め合い位置決めを、案内を備えた各挿入要素を設けることによって達成することができ、当該案内は、担体要素の適応する形状の凹部と案内がかみ合い、位置合わせするように構成される。案内手段は、例えば、対応する嵌め合い部を備えた蟻継ぎ（dovetail）構成又はさねはぎ（groove and tongue）で形成されうる。

特に大きな力を処理中に負担することになっている場合は、モジュールシステムは、ねじ、偏心クランプ、ロッカ・レバー等のような適した固定要素を用いて担体要素に付加的に固定されうる。しかしながら、案内手段の保持力は、多くの場合、モジュールシステムを安全に担持するのに十分である。

挿入要素は、それらが搬送部材を担持するのに利用されるように構成され、当該搬送部材は、搬送経路の両側で担持され、且つ、搬送経路をわたって配置される。すなわち、搬送部材は、搬送経路に対して横断方向に又は実質的に横断方向に延在する。こうして、ワークピースが輸送される搬送経路が実質的に水平面に延在する水平に搬送設備されたラインにおいて、搬送部材は、例えば、前記水平面の下方に配置され、必要なときは、上方にも配置される。

用いられる搬送部材は、例えば、搬送ロールとして、及び／又は、搬送車、搬送ボールとして、及び／又は、らせん形状搬送部材として構成され、当該搬送車又は搬送ボールは、軸に取付けられる。例えば、異なった軸を有するそれら搬送車又は搬送ボールは、互いに対してオフセットされ、軸は、互いに非常に近くに配置されるので、搬送車又はボールは、軸方向から見たときには重なり合う。この配置において、薄い箔が搬送部材まわりに巻きつくことを前提としていないので、このことは、薄い箔を安全に案内することをも可能にする。

付加的に、モジュールシステムは、湿式化学処理又は電解処理のための処理機器を収容することも可能であり、これら機器は、挿入要素に保持される。さらに、このことは、これら処理機器もまた、本発明にしたがう方法で容易に設置されたり、取り外されたりし、非柔軟（unflexibly）には嵌らないので、本発明にしたがう処理ユニット機構の有効性を増加する。例えば、清掃などのために、いくつかのロール又は車及び処理機器を備えたモジュールシステム全体を担体要素から取り去ることができる。適用次第では、処理機器は、例えば、フローノズル、ジェットノズル、スプレーノズル、ファンノズル、超音波振動子、又は、不溶性陽極となりうる。

挿入要素に保持されるフローノズル、スプレーノズル又はジェットノズル、超音波振動子、乾燥用のファンノズル、不溶性陽極等のような処理機器は、容易に取り外すためにプラグタイプの連結部を装備され、前記連結部は、処理機器に空気等の処理流体、又は、洗浄液あるいは処理液、及び、電源を供給することを予定される。いかなる特殊工具をも、洗浄後にモジュールシステムを再取り付けするために必要とならない。担体要素の凹部にスナップ止め可能であるそのようなタイプのモジュールシステムは、保守を容易にするだけではなく、ラインの初期組立て時に含まれる費用を減少する。

さらに、搬送部材が搬送経路の両側に担持される場合は、挿入要素は、ワークピースの厚さにしたがい、且つ、ここで上記に記述した方法で、搬送部材間の前記ワークピースのための柔軟な間隙を設けるために、搬送経路の方向に対して実質的に垂直に延在する孔及び／又はスロット及び／又は長孔を備えて成る。搬送経路が、実質的に垂直面に延在する場合は、スプリング等の補助手段が、挿入要素に設けられ、前記手段は、ワークピースを損なうこと無しに、その方向にワークピースに対してスロット内で担持される搬送部材を押しやる。

処理ユニットは、さらに、搬送部材を駆動するための駆動シャフトを備えて成り、前期駆動シャフトは、搬送経路の外側で担体要素の少なくとも一つに平行に向けられる。こうして、駆動シャフトは、並列に向けられた搬送部材に対して好ましくは垂直に配置される。

力は、好ましくはそらせ車又は平歯車のような適合した歯車を用いて、駆動シャフトから搬送部材へ直接的にかそれとも間接的にかで伝達される。この目的のために、搬送部材の軸は、少なくとも一つの挿入要素の搬送経路とは逆側を向く側から突出し、歯車を装備させられる。挿入要素の一方の側から突出する搬送部材の軸は、例えば、少なくとも一つのそらせ車若しくは少なくとも一つの平歯車、又はそらせ車と平歯車とを備える組み合わせを備えて成る。

そらせ車は、搬送部材上の駆動シャフトから力を直接伝達するために利用される一方で、回転方向を変える。かさ歯車、ウォーム歯車及びはすば歯車は、この目的のために用いられる。搬送部材のそらせ車は、したがって、駆動シャフトに配置されるはめ合いそらせ車とかみ合う。搬送部材上のそらせ車と駆動シャフト上のそらせ車とは、互いにねじれで固定される。力を伝達するために、例えば、二つのかさ歯車又は歯車とウォーム歯車とが用いられる。

力は、搬送部材に取付けられた平歯車を用いて、例えば、平歯車又ははすば歯車を用いて、搬送部材に間接的に伝達されえる。技術的な理由のために、二つの搬送部材の軸間の間隔が、非常に狭くなるように選択され、駆動シャフト上のそらせ車と搬送部材上の全てのそらせ車をかみ合わせるのに空間が十分でない場合は、このことが必要となる。この場合において、そらせ車を用いて駆動シャフトから第一搬送部材へ直接伝達される力を、前記第一搬送部材に付加的に据え付けられた平歯車を介して、第二搬送部材に設けられた平歯車にさらに伝達することができる。この目的のために、挿入要素は、一つの搬送部材から別の搬送部材へ力を伝達する一つの又はいくつかの変換平歯車を備えて成り、搬送経路両側の一方に配置された搬送部材の回転方向は、いったん力が少なくとも一つの変換平歯車を介して伝達されると、変更することを予定されない。こうして、変換平歯車の助けを借りて、搬送部材の直径次第である大きめの又は小さめの間隔にわたり、駆動力を搬送部材間に伝達することができる。搬送部材間の大きめの間隔にまたがるために、いくつかの変換平歯車が取付けられる場合は、変換平歯車の数は、全ての搬送部材の回転方向が、搬送経路の下方又は上方でそれらの位置に関して同じくなるように選択される。したがって、力が一つの搬送部材から別の搬送部材まで搬送経路の同じ側で伝達される場合には、２ｎ＋１（ｎ＝０、１、２、３・・・）の変換平歯車が、搬送部材に設けられた対応する平歯車の間に必要となる。

同様に、例えば、搬送経路下方に配置された搬送部材から搬送経路上方に配置された搬送部材まで、力を間接的に伝達することができる。この場合において、搬送部材の軸の平歯車が直接かみ合わされる場合は、変換平歯車は削除される。この場合は、搬送部材の回転方向は、望ましく逆転される。

互いに重なり合う搬送部材が、変形に対して弱い抵抗を示す非常に薄いワークピースを安全に案内するために必要とされるので、搬送部材の軸間の間隔を非常に狭くなるように調整するのが必要とされる場合は、平歯車は、それら歯車リムに加えて、直径が歯車リムの直径よりも小さいカラーを備えて成る。そのより小さい直径を備えたカラーは、挿入要素の壁と平歯車の歯車リムとの間かそれとも平歯車の歯車リムと場合によって軸に配置されるそらせ車との間の間隙を形成するための空間を作り出すために利用される。隣接する搬送部材の接近して配置された平歯車は、それぞれの間隙をかみ合わせることができる。好都合にも、同一のカラー付き平歯車を両方の場合に用いることができる。担体要素から突出する軸上で前記間隙が必要とされる場所次第では、それは、カラー付き平歯車を単純に裏返すことで形成されえる。このことは、並んで一直線に配置される搬送部材の平歯車の歯車リムが接触すること、又は、互いに阻害しあうことでさえ防止する。力がこれら二つの隣接する搬送部材の間で間接的に伝達されるようになっている場合は、例えば、より広い歯車リムを備えた変換平歯車が用いられるので、搬送部材の軸にそれぞれ据え付けられるカラー付き平歯車が、前記変換平歯車を介してかみ合わされる。

カラー付き平歯車の実施形態は、搬送経路の上方と下方とに直接配置される、特に接近して配置された搬送部材をモジュールシステムに装備することをもまた可能にする。例えば、搬送経路下方に配置された搬送部材から前記搬送経路の上方に配置された搬送部材まで、いかなる力も伝達されない場合は、カラー付き平歯車をオフセットすることで形成される間隙は、搬送部材の軸にそれぞれ据え付けられるカラー付きの平歯車が互いにかみ合うことを防止する。

当然のことながら、各処理ユニットは一つの又はいくつかのモジュールシステムを備えて成り、当該モジュールシステムは、適用の用途にしたがって担体要素に挿入されることができ、且つ、同一の又は異なった方法で装備される。搬送部材を装備されただけのモジュールシステムは、例えば追加処理機器を備える他のモジュールシステムと互いから独立して例えば交互に並ぶ。したがって、モジュールシステムは、任意に交換可能であり、再使用可能である。

搬送部材と処理機器をそれぞれ担持し、保持するための既述された一様な構造と並んで、本発明の更なる長所は、駆動部の部品もまた一様な特徴を有して構成されえる点である。例えば、一種類のそらせ車だけを駆動軸のために用いることが可能であり、当該そらせ車は、したがって、担体要素のパターンにしたがって、決定された離間配置関係で配置される。挿入要素に適当に配置された変換平歯車を用いることで、駆動シャフトから搬送部材までの各挿入要素上の力の多種多様な直接伝達を、場合によっては省きえるし、その結果、駆動シャフト上の別個のそらせ車の複雑化されたそれぞれの調整はもはや必要ない。多数の同様な部品が、こうして、作り出され、本部品は、例えば、射出成形熱可塑性物質から低コストで形成されえる。

本発明は、図に図解された例示の詳細な説明を読むとよりよく理解されるであろう。

同じ数字は、全ての図にわたって同一対象を識別するために使われる。

図１は、輸送方向で見た水平に搬送設備されたラインの断面図である。プリント回路基板やプリント回路箔のような平坦なワークピースは、多くの場合、このようなタイプの水平ラインで湿式化学で又は電解で処理される。ワークピースは、このように装入および取出しを行うのがより容易だからである。この結果、ラインは処理ユニット（処理タンク）を含み、前記タンクは、側壁２、カバー１１及び底部３に加え、ここに図解されないが、ワークピースがタンクに出入りさせられる端壁からなる。処理タンクで、ワークピース１は、下側及び上側搬送部材６、７の間の水平位置でラインを通って搬送経路上を連続して輸送させられる。安定した位置決めのために、タンクは、角管から好ましくはなる支持フレーム１２の上に設置される。このベースフレームは、パイプライン、ポンプ、フィルター、処理液又は補充溶液のための集合タンクに加え、他の補助ユニットを収容しうる。

ワークピースが輸送され、場合により処理される処理区間１０が、ワークピースまわりに形成される。図解において、ワークピース１は、処理区間１０内部に位置する搬送経路上で引抜き面へ移動させられる。搬送経路と平行な引抜き面に延在し、ここでは示されない搬送部材を担持するための挿入要素を担持する担体壁４、５がさらに示される。搬送部材は、ここには図解されない駆動モータ及びやはりここには図解されず、担体壁と平行に延在する駆動シャフトによって駆動され、前記駆動シャフトは、そらせ車を適当に装備させられる。この目的のために、駆動シャフトは、かさ歯車となるように構成され、且つ、搬送部材の軸にねじれて固定されるかさ歯車（ここでは図解しない。図５参照）に力を伝達するそらせ車を備えて成る。平歯車９は、搬送部材６、７の軸に配置される。変換平歯車８もまた示され、前記変換平歯車は、担体要素４に同様に差し込まれる挿入要素に担持される。

搬送経路の下方に配置されるタンク底部３は、左側に向かって下り傾斜になるように構成され、側壁２と液密で接続する。処理区間１０で用いられた処理液は、底部３の最も低い部分へ集められ、ここには図解されないポンプを用いて処理区間１０に再循環させられる前に、排出コネクタ１８を介して排出されるか、又は、水中ポンプ３１を介してくみ出される。処理液を再生するために、ヒーター、クーラー、投入ユニット、フィルターなどのような、ここには図解されない更なる機器が、例えばタンクの底部３にさらに取付けられえる。

図２は、本発明にしたがう担体壁４の一部の側面図であり、前記担体壁は、処理ユニットの全体長さに沿って一様な外形を備えて成る。したがって、凹部２１が、同じように規則正しく配置され、形成される。例えば図３、４、８、９、１０に図解されるような挿入要素を、上部から前記凹部に挿入することができる。

図３は、搬送部材の長手方向軸の方向で見た好ましい挿入要素１３を示す。その上側部分において、挿入要素１３は、軸受け案内２２として利用されるスロット形状に相当する凹部を備えてなり、当該軸受け案内は、上側搬送部材（図示せず）を担持することができる。下側搬送部材（図示せず）のための軸受け１５は、スロットに対して垂直に整列させられる。下側搬送部材軸受け１５の間の中央に、変換平歯車（図示せず）のための軸受け２３が配置される。

図４は、図３に記載の挿入要素１３を示し、当該挿入要素において、変換平歯車８、８’及び下側搬送部材６、６’、６”は、平歯車９又はそらせ車２８をそれぞれ異なった様式で装備させられる軸を備えて概略的に示される。左側搬送部材６の軸は、平歯車９とそらせ車２８とを備えて成る一方で、中央と右側の搬送部材６’、６”の軸は、それぞれ一つの平歯車９だけを備えて成る。さらに、駆動シャフト２５のそらせ車２７が、略述される。

左側搬送部材６は、駆動シャフト２５上のそらせ車２７を用いてそらせ車２８を介して直接駆動される（その詳細だけが示される）。モジュール１３に設けられる全ての他の搬送部材６’、６”は、前記一つの搬送部材６によって間接的に回転させられる。この目的のために、変換平歯車８、８’は、力が最初に左側搬送部材６から平歯車９を介して中央搬送部材６’へ伝達するように配置され、構成される。左側搬送部材６からの力は、第一変換平歯車８から中央搬送部材６’の平歯車９へ伝達され、そこから第二変換平歯車８’を経て右側搬送部材６”の平歯車９へ伝達される。

必要ならば、上側搬送部材（図示せず）は、これら軸に配置された平歯車９を経て駆動され、前記平歯車は、下側搬送部材６、６’、６”の平歯車９とかみ合う。この場合には、上側搬送部材の回転方向は、望ましくは反対方向に逆転される。

一つのそらせ車２７だけが、図４のモジュールのために必要とされる。どこで駆動が必要であっても、そらせ車２７は、正方形材料から作られる駆動シャフト２５上に固定される。いかなるそらせ車をも必要としないところでは、スペーサースリーブ３２が代わりにシャフトに設けられる。駆動シャフト上のそらせ車２７間の間隔は、好ましくは一定であるので、いくつかの異なった構成部品だけが再び必要とされる。この場合、変換平歯車８、８’が、中央と右側搬送部材６’、６”を駆動するための平歯車９に加えて用いられる。このことは、挿入要素の異なった実施形態のための搬送部材への力伝達を柔軟に構成することを可能とする。

図５は、図３の挿入要素の詳細を示す前面図である。それは、駆動シャフト２５、かさ歯車として構成されるそらせ車２７、挿入要素１３に担持される搬送部材６、カラー付き平歯車２９とかさ歯車になるように構成されるそらせ車２８とを装備させられた挿入要素から突出する軸、かさ歯車２８の歯車リムとカラー付き平歯車２９の歯車リムとの間の間隙を形成するカラー、をさらに示している。回転動作のための力は、シャフト２５を用いて、かさ歯車２７（かさ歯車２８のはめあい部品）を介して搬送部材上のかさ歯車２８へ伝達される。カラー付き平歯車２９の後方に、図５において部分的に隠された平歯車であって、水平になるようにされた隣接する搬送部材（図示せず）に取付けられた別のカラー付き平歯車２９’が置かれ、カラーは歯車リムと挿入要素の壁間で間隙を形成する。この配置は、平歯車２９、２９’の歯車リムが互いとかみ合うこと無しに、隣接する搬送部材が共に接近して配置されることを可能にする。

この図から、かさ歯車２７、２８は、駆動シャフトから搬送部材まで力を伝達するために非常に大きな空間を必要とすることを見て取ることができる。これが、いかなるかさ歯車も隣接する搬送部材６’上に設けられない理由である。隣接する搬送部材は、ここには図解されない変換平歯車を通して駆動されることを予定される。

図６は、２つの付加カラー付き平歯車２９、２９’の断面図を図解し、当該２つの平歯車は鏡像対称を示すように配置される。原則として、この配置は図５のカラー付き平歯車２９、２９’の配置に対応する。図６において、それぞれの歯車リムが、カラーによってオフセットされる場合、平歯車の軸間の間隔は、オフセットされない歯車リムを隔てる間隔と比較して減少させられることを見て取ることができる。このことは、より近接した関係で搬送部材を配置することを可能にする。カラー付き平歯車２９、２９’は、同じ原理にしたがって組み立てられ、それは、製造コストを減少する助けになることも理解される。搬送部材の軸上に反転位置でカラー付き平歯車２９、２９’を設置することで、所望の効果が達成される。

図７は、二重幅歯車リム（double wide gear rim）付き変換平歯車の断面図を示す。それは、例えば、一つの搬送部材から搬送経路の同じ側に配置された隣接する搬送部材まで、駆動力を伝達するために用いられ、カラー付き平歯車２９、２９’が、例えば図５に図解されるように、搬送部材６上で利用される。

図８は、ワークピース１の真下に配置される搬送部材６、６’の重なり搬送車２４（点線で示される）とワークピース１の上方に配置され、軸受け案内２２に据え付けられる搬送部材７の重なり搬送車２４を備えた、図３と同様の図における挿入要素１４の別の実施形態を示す。二重幅歯車リム付き変換平歯車８、そらせ車２７、２８（明確性のためにここでは２８だけが図解される）及びカラー付き平歯車２９、２９’が付加的に用いられる。

図５に示されるように、場合によっては搬送車２４に張り付く箔が、搬送経路から上方又は下方にそらされることを防止するために、箔タイプのワークピース１を輸送するための搬送部材６、６’、７が、重なるように配置されることになっている場合は、利用可能な空間は、全ての搬送部材６、６’を直接駆動するためにもはや十分ではない。その時は、力は、１、３位置の、または、代わりに２、４位置の搬送部材６を経て伝達されるだけである。この目的のために、（図５に記述されるように）カラー付き平歯車２９とそらせ車２８との組み合わせが、１、３位置又は２、４位置で下側の搬送部材６のそれぞれに設けられる。残りの搬送部材６’は、カラー付き平歯車２９’だけをそれぞれ備えて成る。搬送部材上の平歯車が、それらが共に近接して配置されたときに、互いに阻害しあうことを防ぐために、カラー付き平歯車２９、２９’の位置は、その結果、図６における配置に対応する。力は、カラー付き平歯車２９、２９’とかみ合う広い歯車リム付き変換平歯車８（図７にしたがう）によって、１位置の搬送部材６から２位置の搬送部材６’まで伝達される。したがって、一様な中間平歯車８が、この好ましい実施形態において用いられる。

上側搬送部材７は、搬送部材６、６’の軸上に配置されたカラー付き平歯車２９
、２９’とかみ合うことによって駆動される。それぞれ搬送部材６、７又は６’、７のペアの意味することは、同じカラー配置、すなわち２９、２９又は２９’、２９’をそれぞれ有する平歯車の一組を備えるということである。

したがって、図８は、薄いワークピースを輸送するために４組の重なって配置された搬送部材を好ましく完全に装備されたモジュールシステムを示す。

図９は、図８における実施形態にしたがう異なった歯車と搬送部材の軸とを備えた挿入要素の斜視写真図解である。

これらの装備を備えた二つの上側搬送部材は、明確性を増すために取り除かれている。一つの変換平歯車８もまた、省略されている。搬送部材の軸だけが示され、搬送部材自体は示されていない。別の要素に関しては、読者は図８の図解を参照されたい。

図１０は、図３と同様な図において、挿入要素２６を図解する。この要素は、付加的に処理機器を保持する。モジュールシステムが、化学処理のために設けられる場合は、右側搬送部材６’は、原則として、図４に示されるのと近似した様式で間接的に駆動される。

図１０において、液体供給管１６、１７が、ワークピースの上側及び下側表面を処理するために設けられる。したがって、挿入要素２６の中央には、いかなる搬送部材も存在しない。左側搬送部材６の軸に一つのそらせ車及び一つの平歯車を備えて成る挿入要素２６の左側搬送部材６だけが直接駆動される一方で、一つの平歯車を装備される中央搬送部材６’は、この中央搬送部材に欠如している平歯車のために、３つの変換平歯車８を用いて間接的に駆動される。こうして、図４の挿入要素１３の場合と同じ幾何学的形状を備えたこの変形を実現することが可能である。

図１１は、図８、１０に記載の異なって構成された挿入要素１４，２６とワークピース１とを備える処理ステーションの担体壁５の詳細を示す。

詳細図は、中央挿入要素２６に配置された処理ノズル１６、１７を用いて、ワークピース１を処理するための化学処理ユニットを示す。ワークピース１が送込まれ、且つ、送り出されているときにワークピース１を案内するために、左側及び右側挿入要素１４が、輸送方向に見て挿入要素２６の前方と後方に配置される。非常に薄いワークピースの場合において、ワークピースが処理ステーションに入ったときに、液体の噴射によって、ワークピースが経路から外されるのを防止するために、モジュール間で付加案内要素３０を設けることが必要となりうる。

しかしながら、また別の方法で、挿入要素と使用目的にしたがう別個の挿入要素の異なった実施形態とを任意に組み合わせることも可能である。

ここに記述された例示、図面及び実施形態は、例示目的のためだけにあり、その観点における様々な変更態様と改変に加え、この願書に記述された特徴の組み合わせが、当業者に提案され、記述された発明の精神と範囲、及び、従属請求項の範囲内に含まれることが理解される。ここで引用された全ての特許出願、特許及び刊行物は、参照により本願に組み込まれる。

水平に搬送設備されたラインの断面図である。 挿入要素のための凹部を備えた担体壁の一部の側面図である。 搬送部材の長手方向軸の方向で見た挿入要素を示す。 搬送部材を備えた図３に記載の挿入要素を示す。 図３の挿入要素の詳細の前面図である。 ２つの交互に配置された付加カラー付きの平歯車の断面図である。 二重幅歯車リム付き変換平歯車の断面図である。 重なり搬送部材を備えた挿入要素の別の実施形態を示す図３と同様な図である。 図８に記載の搬送部材の軸と異なった歯車とを備えた挿入要素の斜視写真図解である。 付加的に処理機器を備えて成る別の挿入要素を示している図３と同様な図である。 図８と図１０にしたがう異なって構成された挿入要素とワークピースとを備えた処理ステーションの担体壁の詳細を示す。

符号の説明

１ ワークピース
２ タンクの側壁
３ タンクの底部
４ 担体壁
５ 担体壁
６ 下側搬送部材
６’ 下側搬送部材
６” 下側搬送部材
７ 上側搬送部材
８ 変換平歯車
８’ 変換平歯車
９ 平歯車
１０ 処理区間
１１ タンクのカバー
１２ ベースフレーム
１３ 挿入要素
１４ 挿入要素
１５ 搬送部材のための軸受け
１６ 処理要素底部（処理ノズル）
１７ 処理要素上部（処理ノズル）
１８ 排出コネクタ
２１ 挿入要素のための凹部
２２ 軸受け案内
２３ 変換平歯車のための軸受け
２４ 重なり搬送車
２５ 駆動シャフト
２６ ノズル配置を備えた挿入要素
２７ そらせ車（かさ歯車）
２７’ そらせ車（かさ歯車）
２８ そらせ車（かさ歯車の嵌めあい部品）
２９ カラー付き平歯車
２９’ カラー付き平歯車
３０ 案内要素
３１ 水中ポンプ
３２ スペーサースリーブ

Claims (23)

1. 平坦なワークピースを湿式化学処理又は電解処理するための処理ユニットであって、搬送経路上を処理ユニットにワークピースを輸送するための搬送部材と、ワークピース用の少なくとも一つの処理機器（１６、１７）とを備えて成る処理ユニットにおいて、処理ユニットが更に
   ａ）凹部（２１）を備えた担体要素（４、５）であって、前記搬送経路に平行に向けられる担体要素と、
   ｂ）前記搬送部材（６、６’、６”、７）を担持するための及び／又は前記少なくとも一つの処理機器を保持するための少なくとも一つのモジュールシステムであって、前記担体要素（４、５）の凹部（２１）にはまるように構成される挿入要素（１３、１４、２６）を備えて成るモジュールシステムと、
   を備えて成ることを特徴とし、且つ、
   挿入要素（１３、１４、２６）の少なくとも一つが、
   前記搬送経路の上方か下方のいずれかに配置される少なくとも二つの搬送部材を、担持できるように、構成されることを特徴とする、処理ユニット。
2. すべての挿入要素（１３、１４、２６）は、ねじ、偏心クランプ又はロッカ・レバーによって担体要素に固定されることを特徴とする請求項１に記載の処理ユニット。
3. 搬送部材（６、６’、６”、７）は、搬送経路の両側で担持され、前記搬送部材（６、６’、６”、７）が、搬送経路に対して横断方向又は実質的に横断方向に延在することを特徴とする請求項１又は２に記載の処理ユニット。
4. 搬送部材（６、６’、６”、７）は、搬送ロール、及び／又は、搬送車又は搬送ボール、及び／又は、らせん形状搬送部材であり、搬送車又は搬送ボールは、軸に取付けられることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の処理ユニット。
5. 異なった軸を有するこれら搬送車又は搬送ボールは、互いに対してオフセットされ、且つ、軸が互いに非常に近くに配置されるので、搬送車又は搬送ボールは、軸方向で見て、重なることを特徴とする請求項４に記載の処理ユニット。
6. 搬送経路は、実質的に水平面に延在することを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の処理ユニット。
7. 処理機器（１６、１７）は、フローノズル、噴射ノズル、ファンノズル、超音波振動子及び／又は不溶性陽極であることを特徴とする請求項１に記載の処理ユニット。
8. 処理機器（１６、１７）を備える挿入要素（２６）は、処理媒体又は電源を処理機器（１６、１７）に供給するためのコネクタを備えて成ることを特徴とする請求項７に記載の処理ユニット。
9. 搬送部材を担持する挿入要素（１３、１４、２６）は、搬送部材（６、６’、６”、７）を担持するための孔（１５）及び／又はスロット（２２）及び／又は長孔を備えて成り、前記スロット及び長孔は、搬送経路に実質的に垂直に延在することを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の処理ユニット。
10. 処理ユニットは、さらに、搬送経路の外側で少なくとも一つの担体要素（４、５）に平行になるように向けられ、且つ、搬送部材（６、６’、６”、７）を駆動する駆動シャフト（２５）を備えて成ることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の処理ユニット。
11. 搬送部材（６、６’、６”、７）の軸は、搬送部材を担持する挿入要素（１３、１４、２６）の搬送経路とは逆側を向く側から突出し、且つ、軸は、搬送部材（６、６’、６”、７）へ力を伝達するための歯車を装備することを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一項に記載の処理ユニット。
12. 歯車は、そらせ車（２７、２７’）及び平歯車（９、２９、２９’）の少なくとも一つであることを特徴とする請求項１１に記載の処理ユニット。
13. 搬送部材（６、６’、６”、７）の軸は、そらせ車（２７、２７’）かそれとも平歯車（９、２９、２９’）か、又は、そらせ車（２７、２７’）と平歯車（９、２９、２９’）とからなる組合わせを備えて成ることを特徴とする請求項１２に記載の処理ユニット。
14. そらせ車（２７、２７’、２８）は、かさ歯車、ウォーム歯車及びはすば歯車のいずれかであることを特徴とする請求項１２又は１３に記載の処理ユニット。
15. 駆動シャフト（２５）は、搬送部材（６、６’、６”、７）のそらせ車（２７、２７’）に対応し、且つ、かみ合うそらせ車（２８）を備えて成ることを特徴とする請求項１０〜１４のいずれか一項に記載の処理ユニット。
16. 搬送部材を担持する挿入要素（１３、１４、２６）の搬送経路とは逆側を向く側に、前記挿入要素（１３、１４、２６）は、二つの搬送部材（６、６’、６”、７）間に力を伝達するための少なくとも一つの変換平歯車（８、８’）を設けることを特徴とする請求項１〜１５のいずれか一項に記載の処理ユニット。
17. 搬送部材（６、６’、６”、７）上の平歯車（９、２９、２９’）と変換平歯車（８、８’）とは、平歯車（９、２９、２９’）の回転方向が変わらないままであるように、互いに対して配置され、且つ、かみ合わされることを特徴とする請求項１６に記載の処理ユニット。
18. 平歯車（２９、２９’）は、歯車リムに加えて、歯車リムよりも小さな直径のカラーをそれぞれ備えて成り、
    当該それぞれのカラーを、搬送部材（６、６’、６”、７）の軸方向で見て、隣接する搬送部材のそれぞれの歯車リムの前方かそれとも後方に、鏡像対象を示すように配置することにより、互いの近くに搬送部材（６、６’、６”、７）の軸を配置することが可能であることを特徴とする請求項１２〜１７のいずれか一項に記載の処理ユニット。
19. すべての挿入要素（１３、１４、２６）は、ペアを組んで配置されることを特徴とする請求項１〜１８のいずれか一項に記載の処理ユニット。
20. すべての挿入要素（１３、１４、２６）は、担体要素（４、５）の凹部（２１）へぴったりと滑り込ますことができることを特徴とする請求項１〜１９のいずれか一項に記載の処理ユニット。
21. 凹部（２１）が一様なパターンにしたがって担体要素（４、５）に配置されることを特徴とする請求項１〜２０のいずれか一項に記載の処理ユニット。
22. 全ての凹部（２１）が、同一の寸法と形状を備えて成るか、又は、異なって構成された凹部のいくつかのグループが、担体要素（４、５）に設けられることを特徴とする請求項１〜２１のいずれか一項に記載の処理ユニット。
23. 水平に搬送設備されたラインで、平坦なワークピースを処理するための請求項１〜２２のいずれか一項に記載の処理ユニットを使用する方法。

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