JPS58136797A - 電気めつき装置および方法 - Google Patents

電気めつき装置および方法

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JPS58136797A
JPS58136797A JP57176939A JP17693982A JPS58136797A JP S58136797 A JPS58136797 A JP S58136797A JP 57176939 A JP57176939 A JP 57176939A JP 17693982 A JP17693982 A JP 17693982A JP S58136797 A JPS58136797 A JP S58136797A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 背景技術 従来技術においてノリント回路基板として使用するΔネ
ル及びプレートを含む対象物及び一般に種々な被加工片
を、パッチ型の液槽に浸漬する技術によって電気めっき
することがよく知られている。作業時間についての考慮
及び製造の連続性の問題が重要でないときにはこのよう
な技術はきわめて望ましい・ 電解液溶液を通して移動させる個別の物体を、電解液溶
液から外に延びたプレートの端すなわちタブによって、
上から手動的に把持する手段が一般的であるめっき方法
も知られている０この方法は手動的な動作を必要とする
欠点があり、かつ突出するタブが電気めっきされないと
いう欠点も有する。
例えば実質的に連続する長いシート状の材料を連続的に
電気めっきする技術も開発されている。
これによれば電気めっきすべき材料と電気的な接続した
り解除したシする問題は起きないであろう。
このような技術は個々の、すなわち個別の板状の被加工
片を、手動的な連結及び取外しをすることなく、自動的
に供給して被加工片が通路を移送される時に電気的及び
機械的な連結を良好に得る、電解液浴中で連続的に電気
めっきする問題には１実際に触れていない。
発明の目的 本発明は浴を通して水平に移送することによって、一般
に偏平な被加工片を連続的及び自動的に電気めっきする
装置及び方法を提供することであって、電気的な接続及
び解除の問題をさけることができ、かつ浴を通して物体
を信頼性をもって機械的に移送する装置及び方法に関す
る。
発明の概要 本発明は被加工片を浴を通して機械的に移送し、個別の
被加工片を自動的に電気めっきする連続電気めっき方法
を提供する。この方法は被加工片を常に駆動しながら、
順次、駆動要素を機械的に係合したり解除したし、被加
工片を浴を通して移送する時に、被加工片と常に電気的
接続を保ち、被加工片を順次電気的に係合したり解除し
たりして、被加工片を常に電極として電気的に接続する
ことによる。種々な補足的特徴はこの一般的なアプロー
チを助ける。
したがって本発明の主要な目的は個別の被加工片を浴を
通して水平に移送し、手動的に連結したり解除したシす
る問題なしに電気めっきすることができる新しい装置を
提供することである。
本発明の他の目的は連続的かつ自動的に被加工片を電気
めっきする方法を提供することである。
本発明のまた他の目的は被加工片が浴の中に浸漬して移
動する時に、接触ホイールによって自動的かつ１１次、
被加工片と係合し、被加工片が浴を通過する時にホイー
ルが被加工片を集合体として浴を通して連続的に駆動す
ること、及び被加工片が電極として作用するように電気
エネルギーを連続的に供給することを維持し、しかし同
時に被加工片が浴を通して移動する時に、被加工片との
機械的な駆動接触、及び被加工片との電気的接触をホイ
ールが個別にかつ順次行なったυ解除することによって
上記目的を達成する手段を提供することである。
本発明のまた別の目的は電解質溶液において乱流をおこ
させ、かつ溶液を補給する手段を提供することである。
本発明のまた他の目的は被加工片に電気的接続を行なう
接触ホイールから電解液のスプレーを遮蔽する手段を供
給することである。
本発明のさらに別の目的はサイズの異なる被加工片をサ
イズに応じて単純な調節を行なって電気めっきすること
ができる手段を提供することである。
本発明のさらに他の目的は電極の間に必要な電位を発生
させる効果的な手段を提供することである。
本発明のまたまた他の目的は浴の終りにおいて電解液を
過剰に損失することなく、浴の各終シに被加工片のため
の適当な新しい入口及び出口を提供することである。
本発明のその他の目的は上記説明及び次の図面の簡単な
説明、好ましい実施態様の詳細な説明及び特許請求の範
囲を参照すれば容易に理解することができるであろう。
好ましい実施態様の説明 まず第１図を瓢照し、装置は全体として参照数字２０で
示す。
この装置２０はその下端において下壁２２によって規定
される液溜２１、左壁２３及び右壁２４、正面及び背面
の壁２５含有する。液溜２１は電解液溶液２６の貯槽で
ある。複数の熱交換器２７が水循環型として設けられ、
図示しない適当な水入口及び出口連結含有し、これによ
って温度調節された図示しない冷水を熱交換器２７の配
管を通して送シ、電解液溶液２６と液体対液体の接触を
することなしに冷却することができる。
複数の電気的に駆動される。Ｊｒンプ２８が液溜２１の
中に配置され、各Ｉンゾは浸漬された入口３０及び上方
の出口３１を有する。
電解液ポンプの出口は上方及び下方の電解液マニホール
ド３２に連結されている。マニホールド３２は上方及び
下方の送液管３３及び３４にそれぞれ連結され、これは
上方及び下方の電解液導管３５及び３６とそれぞれ連結
され、これらの導管は組みになったマニホールド３２に
連結される。
マニホールド３２は、全体として３７と記す上方の貯槽
のなかで担持され、この貯槽は入口及び出口の端壁３Ｂ
及び４０を有し、これらの端壁はそれぞれ組みになった
被加工片が通る入口スロット孔４１及び出口スロットル
４２を有し、Ｗと記す被加工片が入口４１から出口４２
に通過して、第１図の右端の矢印４４の方向に移送され
る。
貯槽３７は壁３９及び４３の間に底４５を有し、これは
浴領域の底を形成し、その端は入口及び出（１１） 口の浴領域壁４６及び４７によってそれぞれ形成され、
それぞれに組みになった入口及び出口のダム４８及び５
０を有する。これについてはのちに詳細に説明する。浴
領域の側壁は壁３９及び４３である。側壁３９及び４３
はそれぞれ多数の溢流口５３を設けて、第１図に示す浴
液水準５４を維持する。
前述から明らかなように、電解液はボン！２Ｂによって
液溜め２１から排出管３１を通ってマニホールド３２に
行き、次に導管３５及び３６によって排ｍ管３３に、高
い補給速度で送られ、これが液水準５４を保持して電解
液に攪拌をおζさせる。これについてはのちに詳細に説
明する。被加工片が浴領域に入−）たシ出たシする時に
、ダム４８及び５０における入口及び出口を通る電解液
の損失を好ましくは最小とし、電解液が壁３９及び４３
の）ム５３會通して〜いくらか流れ、さらに貯槽３７の
下方の壁に設けた付加的な出口５６全通して、電解液が
いくらか通過するように補給速度は十分に高くしておき
、水準５４ｆｔ維持する。留意すべ（１２） きことは液溜め２１の上方の壁５７はそのなかに大きな
受入れ口５８を有し、孔５６、排出孔５３からなど電解
液を容易に受入れるようにする。
さらに明らかなように、貯槽３７は液溜めから分離した
一つのユニットとして構成され、液溜め２１の上方の壁
５７によって担持される支柱６０の上に支持される。貯
槽３７の底４５は省いて貯４曹３７及び液溜め２１を一
つのユニットとして構成することを望むならば、液溜め
２１の上方の壁５７と同様に省くことができる。据付は
直しなどのために周期的に装置を分解することが望まし
い場合には、図示のようにユニッ）１−構成することが
好ましい。又比較的長期間構造を保とうとする時には、
部材４５及ル５７をなくしてユニット３７及び２１を単
一のユニットとして構成することができる。いずれにし
ても壁３９及び４３の孔５３からの溢流は、液溜め２１
に戻る。貯槽３７に底４５を設ける時は側壁５１．５２
及び端壁６２゜６３によって規定される下方におる一般
に角型な枠５５のために適当な支持体６１ｆ：設ける。
壁５１１５２．６２及び６３の上端を形成する枠部材４
９は適当な支持体６５によって側壁６４から支持する。
支持体６５は図示しない壁５１に固定する。
分配管３３及び３４は枠４９及び５５の間にある流れ通
路の開口において、特に示さない適当な手段によって枠
４９及び５５に担持される。これには通常の取付は部材
で十分である。
下方の陽極支持バー７０は、第２図に示すが、垂直なグ
レート５１及び５２の間に担持され、図示のように下方
の陽極ホルダ７１を担持する。長手方向に配置したホル
ダ７１を横切って配置した下方の陽極７２を担持する。
同様に上方支持バー７３はこれから懸垂する支持部材７
４を有し、この支持体は上方の陽極ホルダ７５７に担持
する。これらは長手方向に配置され、その上を横切って
配置した上方の陽極７６を担持する・陽極７２及び７６
は一般に銅であって、これについてはのちにさらに詳細
に説明する。陽極ホルダ７１及び７５、支持バー７０及
び７３、支持部材７４は檜々な壁部材３９，４３．５１
．６２．６３．４７及び４６１ダム４８及び５０、管３
３及び３４、ならびに陽極又は陰極として作用すること
が必須でない他のすべての部材と同様に、経済的に可能
でおれば非導電性材料又は誘電被覆材で被覆し、この発
明の動作において陽極又は陰極として作用させない。
陽極７２及び７６は適当な電気接続を有し、導電体８０
及び８１はそれぞれ上述のように被覆することが好まし
いが、適当な電気的接続８２によって適当な電源に接続
する。
第３図及び第４図において留意すべきことは、分配管３
３及び３４はそのなかに排出口８３を有し、被加工片Ｗ
の上面及び下面に電解液を送って攪伴作用を行なう◎ 分配管３３及び３４を通して流れる電解液溶液の高い流
量は、所望の水準５４に補給することの他に、溶液を十
分に攪伴して均一な組成及び荷電密度を実質的に維持す
る。あるいは、管３３及び３４は水平方向、すなわち図
示しないが第１図において左から右へ振動させて、所望
であれば溶液に乱流をおこさせる分離した手段又は付加
的な手（１５） 段として設けることができる０ 第５図に示すように、浴領域に入口ダム４８を壁４６の
上端の溝５９に滑り接触させることをわかりやすく説明
する。ダム４８は上方及び下方のロール８４及び８５を
必ず有し、これらはそれぞれ垂直な側壁すなわち枠部材
３９及び４３の間に延在し、シリンダー８４及び８５は
それぞれシャフト突出部８６及び８８と組みになってお
り、これらと組みになったグレー９０及び９１はこの部
分の上に担持されている。プレー９１はこれにつけた傘
車９２によって駆動され、これはこれとかみあう傘車９
３によって駆動され、この傘車はスプロケット９４に担
持され、このスゲロケットはスジロケット鎖９５によっ
て駆動され、この鎖はスゲロケット９６によって駆動さ
れ、これは装置２０の長さに実質的に沿ってその一つの
側にある主要駆動ロッド９７によって駆動される。シレ
ー９１は第６図に示すように８字形に配置した、引張る
ことができるゴムのような駆動ベルト９８によってｆノ
ー９０に連結する。そしてシリンダ８４（１６） を駆動し、シリンダ８４及び８５０間Ｖｒ−ある締ま多
間隙１００において被加工片をシリンダの間に運ぶよう
に駆動する。シャフト８６は側壁３９の垂直なスロット
孔１０１に滑動可能に担持され、このなかにシャフト８
６奢上方に動かすことができる、そして締まり間隙１０
０を通して厚みの異なる被加工片Ｗが通過する時に、シ
リンダロール８４を上方に動かすことができる。したが
ってシリンダ８４は第６図に示すように二つの矢先を有
する矢印１０２の方向に垂直な制限された移動を行なう
ことができる。さらに弾発性部材９８はロール８４及び
８５を相互に押圧して、締まり間隙１００において回転
しながら封止保合することができる・これによってこの
間を電解液溶液が通過することを防ぐ。したがって弾発
性駆動部材９８はこれらの目的を達成するためにゴムバ
ンドのようなものとする・第５図に示す装置の右端にお
いて、シャフトの端１０３及び１０４を同様に設け、こ
れらはプレー１０５及び１０６とそれぞれ組みになって
おシ、ゴムバンド１０７のように同じく８字形に配置し
たゴムバンド１０７のような部材によって駆動可能に相
互に連結されている、シャフトの端１０３は傘車のよう
なものによって別に駆動する必要はない・ 第７図において明らかなように、被加工部材Ｗは矢印１
０８の方向に、左から右に向かって移送され、複数の上
方接触ホイール１１０及び下方接触ホイール１１１に同
時に接触することにより移送され、これらのホイールは
第７図に示すようにそれぞれ逆時計方向及び時計方向に
駆動される。
接触ホイール１１０及び１１１は図に示すように段つき
歯車であってこの間を通る被加工片との電気的接触を良
好にする。ホイール１１０及び１１１はその間に被加工
片Ｗを直線運動をするように駆動して、矢印１０８の方
向に流れ通路のなかを移動し、さらに被加工片Ｗと電気
的接触を行ない１Ｗを陰極として作用させて陽極から溶
液を通して陽極的電荷を捕集する。ホイール１１０及び
１１１はそれぞれ上方及び下方の囲み部材１１３及び１
１４のなかに囲まれている。囲み部材１１３及び１１４
は図示しない適当な手段によって連結された垂直の壁３
９の内面に担持される。第２図に示すように、これによ
って担持されるワイ・やブレード１１５及び１１６′ｔ
ｌ″有する。したがってワイノ９−は被加工部材Ｗの流
れの方向に浴領域の端から端まで延在し、導管開口８３
から放出される溶液が乱流となってホイール１１０及び
１１１の被加工片Ｗとの接触位置に撥ね上ることを防止
する。
したがって明らかなように囲み部材１１３及び１１４は
、この目的を達成するために、浴領域の長さにわたって
同様に延在する。さらに明らかなようにホイール１１０
及び１１１はこれらの間を通過する被加工片との電気的
導電性が良好な物質で作る・ 第２図に示すように、ホイールは周辺がぎざぎざな円盤
１１８及び１２０の対からなシ、これらは直径が同一で
ろって、図示のようにこれよりも直径の小さい導電性な
ワッシャ１２１によって連結されている。
ホイール１１１は、図示のように壁３９の上に回転可能
に取付けたシャフト１１７に取付けて回転可能に担持さ
へかつ適当なブシュ１２６で壁１２５に取付けて回転す
ることができる。
回転するシャフト１１７によって接触子１２７が担持さ
れており、これは適当な非導電性の・・ウノング部材１
２Ｂ及び１３０のなかにある。第９図に示すように、シ
ャフト１１７の外のもっとも左の端はこの上に傘車１３
０を有し、この傘車はこれと係合する傘車１３１と咬合
い係合し、この傘車は主要駆動ロッド９７によって担持
され、これとともに回転する。こうして主要駆動ロッド
９７が回転すると、接触子１２７を回転し、接触ホイー
ル１１１を回転させる・接触子１２７の構造は種々な通
常な型とすることができ、ブラシノ１３２及び１３３ｔ
−通して回転し、このブラシノは支持部材１３０に配置
されたばね手段１３４によって、はね取付けされている
が、接触子の回転によってホイール１１１に陰極的電荷
を送シ、ブラシノ１３２及び１３３は適当な導線１３５
によって適当な電源に適当に電気的接続しである。平歯
車１３６はシャフト１１７に担持され、これとともに回
転するが平歯車１３７と係合してこれを駆動する。この
歯車は接触子１３８及びそのシャフト１４０とともにこ
の上に取付けた接触ホイール１１０も駆動する。接触子
１３８は同様にばね負荷されたブラシノを設け、図示の
ように適当に電気的接続され、ホイール１１０を回転さ
せてホイールに電荷を送って陰極として作用させる。
厚みの異なる被加工片Ｗを収容するために、ホイール１
１０は垂直方向に制限された範囲で運動することができ
るように取付けである。この目的のためにシャフト１４
０は垂直なプレート３９のなかのブシュに担持されてい
ないで、大きな許容孔１１４が設けられ、シャフト１４
０をこのなかで上方に限られた範囲で垂直運動させる・
ブシュ１４２はシャフト１４０に担持され、このなかで
シャフト１４０を回転させるが、ブシ、１４２はばね手
段１４３によって下方に向けてばねで押圧される。この
ばね手段はその上端を垂直側壁３９に担持された剛性支
持体１４５の盲穴１４４に固定されている０同様にプシ
ａ１４７は図示しないが、ややゆるく締められていてシ
ャフト１４０のもっとも右の端を上方に角運動させるこ
とができるようにして、厚みの異なる被加工片を収容す
ることができる。
さらに明らかなように各接触ホイール１１０又は１１１
は、この実施態様においてそれぞれの電源を有する。さ
らに留意すべきことは導′ｆｌＡ１３５はプラック１３
２及び１３３を適当な連結部に電気的接続するが、適当
な導線１５０によって電源に連結する。このような電源
としては一般に交流電源であって整流器を通して交流電
圧を直流に変換する。
第８図において明らかなように適当な電動機１５１が歯
車１３１を取付けた駆動ロッ）ｌ”９７ｅ駆動する＠こ
の駆動ロッドは１５３に取付けたブシュ１５２によって
機械の枠１２５にはめこむ。
留意すべきことは、歯車１３１は適当なスペーサ部材１
５４を有する。これらのスペーサ部材、歯車１３１及び
駆動ロッド９７は米国特許第４，０１５，７０６号の教
示する駆動方法によって構成することが好ましい。これ
は装置２０の種々なモジュールを相互に連結してモジュ
ールユニットとすることを容易にする。この目的のため
に取付はブロック１５５を第１図に示すように、装置の
もっとも最右端に設け、所望であればこのなかに複数の
タップ孔１５６をあけて、図示しないねじ接続材を使用
して取付け、ブロック１５５を、図示しない隣接モノー
−ルの取付は孔に連結する。
同様に第１図の装置の左端において取付は孔１５７を示
すが、これが隣接モジュールの図示しない取付はブロッ
クからねじ連結部材を受入れる。また第１図に示すよう
に、装置の右端及び左端は１２５のような外部の垂直な
枠部材にダウェルピン１５８及び穴部材１６０をそれぞ
れ設け、これらは雄型及び雌型の接合ビンとして隣接す
るモジュールを相互に整合することができる。この目的
のために米国特許第４，０１５，７０６号の教示を所望
であれば利用することができる。
第２図に示すように、被加工片の最右端につい（２３） て明かなように全体として参照数字１６１で示す被加工
片支持体を使用し、この支持体は第２図に示すように被
加工片Ｗの最右端に滑動可能に係合し、この被加工片Ｗ
はレール又は溝１６３を通して滑動することができる。
溝１６３は長い部材１６４のなかに配置し、これはダム
４８及び５００間で面領域の入口端から出口端に実質的
に延在し、被加工片の流れ通路に平行して配置する。長
い支持部材１６４は所望の位置において垂直支持部材１
６５によって垂直に支持し、この支持部材は上方グレー
ト１６７のスロット孔１６８に取付けた水平支持体１６
６から懸垂する。適当なちょうねじ及びねじ部材１７０
がスロット孔１６８に係合して支持部材１６１１に調節
可能に位置ぎめすることを容易にし、スロット１６８の
端１７０及び１７１の間で狭い幅の基板又はプレート用
部材から広い幅の基板まで扱うことができる。
留意すべきことは、駆動される接触ホイールは第２図に
示すように磯城の入口端にあって入口スロット４１とダ
ム４８との間にあり、この機械の（２４） 出口端はダム５０とスロット４２との間にある。
又同様に前記説明から明かなようにダム４８とダム５０
との間にある。留意すべきことは、場合によっては機械
の入口端及び出口端において接触ホイールに供給する電
気エネルギーは面領域において接触ホイールに供給する
電気エネルギーと異なっていることも望ましい。これは
例えば第８図に示すように各接触ホイールに・別々な電
力源を設けることであり、こうして個別の接触ホイール
に対して個別な処理を行なう。しかし多くの場合は面領
域において接触ホイールに供給する電力は、面領域にお
けるすべての接触ホイールに同一の電流密度を与えるよ
うに設定する。同様に装置の入口端における接触ホイー
ルに流す入口領域の電流密度は異なるように設定するこ
とができ又適当ｆｘ１１Ｌ源を設けることによって出口
領域においては異なる電流密度金与えることもできる。
図示しない濾材を液溜め２１に設けることが好ましい。
これに工って汚濁物質などを濾過する。
適当な型の濾材の例としては米国特許 第３，７７６，８００号に開示する取脱し可能な濾材を
使用する。又留意すべきことは冷却液は一般に水である
が、水に限らない。これは熱交換器コイル２７を通して
送り、図示しない適当な温度制御を所望であれば設ける
ことができる。
電解液溶液と接触する装置の種々な部分を誘電材料によ
って構成するか、又は非導電性被覆物で装置のこれらの
要素を被覆することについては始めに望ましいことを指
摘した・理解されるようにこのようなことは本発明の目
的を得ることができるのであれば好ましくは陽極から陰
極被加工片に至る間において前記の構成を行なうことが
できる。
同様に駆動ロッドなどの非金属要素はできるところであ
れば使用することができる。
又、留意すべきことは、第７図に示すように上方の接触
ホイール１１０に弾発性取付は具を設けること全前述の
ように記載したか、これは基板又はその他の被加工片Ｗ
が厚みを異にする場合にのみ役立つのではなくて、接触
ホイール１１０及び１１１の接触部分の周辺に金属が電
着した時においても連続的に操作を行なうことに役立つ
。
留意すべきことは、ここに開示した陽極は銅のバー７２
及び７６であって、この機械を横切っているが、陽極を
構成するために他の方法を用いてもよい。例えば陽極と
して銅球を入れたバスケットを使用することが知られて
おり、このバスケットに適当な電源に連結して、相互に
接触する銅球の間に電気エネルギーを送シ、銅球がこれ
によって陽極として作用する。例えばチタンのバスケッ
トに銅球を数層つめてバー７２の代りに使用し、被加工
片の下に置き加工片の上方には銅パー７６ノ代シにポー
ルをつめた他のチタンのバスケットを置く。この方法の
一つの利益は電気めっき工程の間に陽極が劣化した時に
単にバスケットのなかに？−ルをさらに加えて、銅ボー
ルを置きかえることが容易にできる。これは陽極バー７
６及び７２を取替えることが恐らくは不便であるのに比
べて有利といえる。
さらに評価すべきことは、電気めっき工程を最良にする
ために種々な最適な操作条件を用いるこ（２７〕 とができる。例えば接触ホイールが被加工片に焼付くこ
とを防止することを望むのであれば、電気めっきはでき
るだけ均一に行なって被加工片の上に銅を電着させる。
これを行なうために電解液を速い補給速度で、かつ速い
流量で流す。さらに本発明の本質は一般にシリンド回路
基板などを銅でめっきする一般の電気めっきに関するこ
とを理解できるであろうが、陽極が銅であることを理解
できるであろう。銅の電気めっきを行なう時は、浴を一
般に硫酸銅、硫酸及び適当なかつ好ましい添加物を加え
た溶液として、銅めっきの好ましいアンペア／面積すな
わち電流密度を達成することである。又棟々な他の条件
、例えば循環速度及び浴の温度も制御することによって
電気めっきを最良にすることができる。さらに他のノ’
？ラメータ例えば陽極と陰惨との極間距離なども考慮す
べきであシ、被加工片全所望のように配置することによ
って達成される。さらに陽極対陰極の相対的な面積も考
慮して最適にすることが必要である。
以上の説明から明かなように、本発明は特許請（２８） 求の範囲に規定される精神の範囲において本発明の装置
の使用及び動作におけると同様に詳細な構造においても
種々な変化を行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の装置を示す、第２図のＩ−１線縦断面
図であり、 第２図は特に電解液供給管、被加工片移送手段および非
駆動側の調節可能な被加工片の支持部材を示す、第１図
の■−ｎ線拡線部大部分横断面図り、 第３図は被加工片の一部分を上方より見て示す、第２図
のＩＩ　−Ｉｎ　ｉ拡大部分平面図であ）、第４図は被
加工片の通路の上方および下方において乱流をおこす電
解液供給管を示す、第３図のＩＶ−ＩＶ線拡大横断面図
であシ、 第５図は浴領域の入口端のダムを示す、第１図の■−Ｖ
線拡線部大部分横断面図り、 第６図は上方および下方のダムロールの間の駆動連結を
示す、第５図のＶｌ−Ｖｌ線拡大部分横断面図であシ、 第７図は被加工片と接触する接触ホイールの上方にある
囲み手段を通した、第２図の■−■線拡犬部分縦断面図
であり、 第８図は接触ホイール駆動部材を示す、第２図の■−■
線拡太部分縦断面図であり、 嬉９図は接触ホイールのバネ負荷、囲まれたワイ・平お
よびワイパホイールの電気的接続を示す、第８図のｆＫ
−■線部分横断面図である。 ２０・・・めっき装置、２１・・・液溜め手段、２６・
・・電解液、４１．４２・・・スロット孔、４８．５０
・・・ダム手段、５３・・・溢流手段、Ｗ・・・被加工
片、７２゜７６・・・陽極、８４．８５・・・ロール、
９８・・・弾発的押圧手段、１１０，１１１・・・接触
ホイール、１１３゜１１４・・・囲み手段、１１５．１
１６・・・ワイパ。 以下余白 畳２図 ＩＩ　（？ｔｒ 第１頁の続き （塑発　　明　者　ダニエル・エル・ゴフルッドアメリ
カ合衆国ニュージャージ ０８０７７リバートン・メイン・ス トリート１０４ （う発　明　者　ワルター・メイヤー ドイツ連邦共和国ベルリン２８デ ィー−１０００クロスチルハイデル ・ベグ１８ （ヰ発　明　者　コンラッド・ディー・シャークレイ アメリカ合衆国ペンシルバニア １６８７５スプリング・ミルズ・ア ール・ディー１ 手続補正書動却 昭和５８年３月ロー３日 特許庁長官　若　杉　和　夫　殿 １、　事件の表示 昭和５７年特許願第１７６９３９号 ２、　発明の名称 電気めっき装置および方法 ３、補正をする者 事件との関係　　　特許出願人 名称　　ケムカソト　コーポレイション４、代理人 住所　〒１０５東京都港区虎］門−丁目８番１０号５、
補正命令の日イ；ｊ ６、補正の対象 ＋１１　　願書の「出願人の代表者」の欄（２）委任状 （３）図面 ７、補正の内容 （ＩＮ２＋　　別紙の通り （３）図面の浄書（内容に変更なし） ８、添付書類の目録 （１）訂正願書　　　　１通 （２）委任状及び訳文　　　　　　　　各１通（３）浄
書図面　　　　１通

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、電解液溶液の浴領域を規定する手段と、−一般に水
    平に配置した一般に平板状な個別の被加工片を、浴領域
    に浸漬して一般に水平な流れ通路にそって連続的に移送
    する手段と、 浴領域のなかの陽極手段と、 浴領域のなかの陰極手段と、 これらの陽極および陰極手段の間に電位を発生させる手
    段と１ 前記移送手段が流れ通路にそって配置した連続的に駆動
    される複数の接触ホイールを有し、このホイールが前記
    電極手段の一つを含み、かつ（ａ）　　被加工片を通路
    にそって移送するときに自動的かつ順次被加工片に係合
    して移送を行ない、および自動的かつ順次被加工片を解
    放し、（ｂ）　　自動的かつ順次被加工片を電気的に接
    続し、および自動的かつ順次被加工片を電気的に解放す
    る手段をさらに含む、電気めっき装置。 ２、ホイールが陰極である、特許請求の範囲第１項記載
    の装置。 ３、ホイールが、移動する被加工片を挾んで係合するよ
    うに相互に対向して押圧して取付けられた上方ホイール
    および下方ホイールからなり、被加工片を受入れるとき
    に相互に離れる運動をおこす手段を有する、特許請求の
    範囲第１項記載の装置。 ４、ホイールが前記通路の一つの側にのみ配置され、か
    つ被加工片がこの通路を移動するときに、被加工片の他
    の側を支持するように、被加工片支持手段がこの通路の
    他の側にそって配置された、特許請求の範囲第１項記載
    の装置。 ５、幅の異なる被加工片を収容するために、前記通路に
    そってホイールから異なる位置に支持手段を調節可能に
    位置決めする手段を有する、特許請求の範囲第４項記載
    の装置。 ６、被加工片支持手段が被加工片の縁を滑動可能に受入
    れるチャンネル構造の滑動部材を有する、特許請求の範
    囲第４項記載の装置。 ７．電解液溶液を連続的に攪拌し、かつ補給する複合手
    段を静領域のなかに設けた、特許請求の範囲第４項記載
    の装置。 ８、前記複合手段が被加工片通路の上方および下方にお
    いて静領域のなかに電解液供給管を有し、この管にそっ
    て前記通路に面する開口を有する、特許請求の範囲第７
    項記載の装置。 ９、前記複合手段が流れ通路にそって静領域のなかに電
    解液供給管を有し、この管にそって設けた電解液排出口
    と、過剰の電解液を排出するために静領域に上方制限を
    規定するように配置した電解液溢流手段と、この静領域
    から排出された過剰な電解液を受入れる電解液捕集手段
    と、液掴め手段から静領域に電解液を循環させる手段と
    を有する、特許請求の範囲第７項記載の装置・１０、電
    解ｇ、ヲ冷却するために液溜めのなかに設けた熱交換手
    段を有する、特許請求の範囲第９項記載の装置。 １１、静領域に電解液を供給するために、静領域に電解
    液供給手段を設け、被加工片の流れ通路の一つの側にそ
    って接触ホイールを配置し、被加工片を通過させるスロ
    ット孔手段を除いて静領域の主要部分に接触しないよう
    に接触ホイールを実質的に完全に囲み、液溜め手段から
    供給される電解液に接触ホイールが接触することを制限
    する囲み手段を設け、流れ通路にそって移送さｔする被
    加工片にそって僅かに保合して掃拭するために９４７４
    手段を前記囲み手段に担持してスロット孔手段に設けた
    、特許請求の範囲第１項記載の装置。 １２、　　静領域に、被加工片の流れ通路の入口端およ
    び出口端においてダム手段を設け、ダム手段は、回転回
    能なロール対の間に被加工片を収容して通過させるよう
    に、少なくとも一つの端において回転可能なロール対を
    流れ通路に対して横方向に設け、このロール対の間に電
    解液の通過を制限するために、ロール対の間に被加工片
    を封止保合させるようにロール対を相互に弾発的に押圧
    する手段を設けた、特許請求の範囲第１項記載の装置。 １３、前記ロール対に駆動手段を設け、このロール対の
    一つのロールのための駆動手段がロール対を相互に押圧
    する手段を有する、特許請求の範囲第１２項記載の装置
    。 ゴール駆動部材と、この駆動部材τ府領域において電解
    液から物理的に隔離する手段と、前記駆動部材を機械的
    に連続する共通の駆動手段と、各接触ホイールのために
    別々な電位発生手段とを有する、特許請求の範囲第１項
    記載の装置。 １５、静領域において、流れ通路に実質的に完全にそっ
    て、この通路の上方および下方に陽極手段を配置した、
    特許請求の範囲第２項記載の装置。 １６、陽極が流れ通路に対して横方向に配置した銅パー
    からなる、特許請求の範囲第１５項記載の装置。 １７、一般に平板状の被加工片を一つづつ順次連続的に
    電気めっきする方法であって、電解液溶液の浴を設け・ 電位を発生して、この溶液のなかの電極を通して溶液に
    電位を供給し、 一般に水平に配置した被加工片を、一般に水平な連続的
    の運動をさせて浴を通して移送し、被加工片を浴を通し
    て連続的に移送する間、流れ通路の一つの側にそって、
    被加工片を、対向する接触ホイールの間に接触させ、 自動的かつ順次Ｉ通路にそって移送される被加工片をホ
    イールと係合させながら、自動的かつ順次ホイールを被
    加工片と電気的に接続させ、被加工片を通路にそって移
    送するときに、自動的かつ順次ホイールを被加工片から
    解放し、かつ被加工片を通路にそって移送しながら、自
    動的かつ順次ホイールから被加工片を電気的接続から解
    放する 工程を有する電気めっき方法。 １８、電位発生工種が電位を発生して、接触ホイールを
    陰極とし、浴のなかの銅を特徴とする特許請求の範囲第
    １７項記載の方法。 １９、　　電解液溶液を連続的に攪拌しながら、浴を通
    る被加工片の通路の上方および下方の浴のなかの位置に
    おいて、電解液を浴に連続的に供給し、電解液を連続的
    に浴から溢流させ、溢流した電解液を再び循環して供給
    する工程を含む、特許請求の範囲第１７項記載の方法・ ２０、電極間に電位を発生させる工程が、各接触ホイー
    ルに一つの電荷を別々に供給する工程を含む、特許請求
    の範囲第１７項記載の方法。
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