JPH0222159B2 - - Google Patents
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- JPH0222159B2 JPH0222159B2 JP57176939A JP17693982A JPH0222159B2 JP H0222159 B2 JPH0222159 B2 JP H0222159B2 JP 57176939 A JP57176939 A JP 57176939A JP 17693982 A JP17693982 A JP 17693982A JP H0222159 B2 JPH0222159 B2 JP H0222159B2
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- electrolyte
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- along
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D17/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D21/00—Processes for servicing or operating cells for electrolytic coating
- C25D21/02—Heating or cooling
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D21/00—Processes for servicing or operating cells for electrolytic coating
- C25D21/10—Agitating of electrolytes; Moving of racks
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D7/00—Electroplating characterised by the article coated
- C25D7/06—Wires; Strips; Foils
- C25D7/0614—Strips or foils
- C25D7/0621—In horizontal cells
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
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- C25D7/06—Wires; Strips; Foils
- C25D7/0614—Strips or foils
- C25D7/0657—Conducting rolls
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/22—Secondary treatment of printed circuits
- H05K3/24—Reinforcing the conductive pattern
- H05K3/241—Reinforcing the conductive pattern characterised by the electroplating method; means therefor, e.g. baths or apparatus
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
背景技術
従来技術においてプリント回路基板として使用
するパネル及びプレートを含む対象物及び一般に
種々な被加工片を、バツチ型の液槽に浸漬する技
術によつて電気めつきすることがよく知られてい
る。作業時間についての考慮及び製造の連続性の
問題が重要でないときにはこのような技術はきわ
めて望ましい。
するパネル及びプレートを含む対象物及び一般に
種々な被加工片を、バツチ型の液槽に浸漬する技
術によつて電気めつきすることがよく知られてい
る。作業時間についての考慮及び製造の連続性の
問題が重要でないときにはこのような技術はきわ
めて望ましい。
電解液溶液を通して移動させる個別の物体を、
電解液溶液から外に延びたプレートの端すなわち
タブによつて、上から手動的に把持する手段が一
般的であるめつき方法も知られている。この方法
は手動的な動作を必要とする欠点があり、かつ突
出するタブが電気めつきされないという欠点も有
する。
電解液溶液から外に延びたプレートの端すなわち
タブによつて、上から手動的に把持する手段が一
般的であるめつき方法も知られている。この方法
は手動的な動作を必要とする欠点があり、かつ突
出するタブが電気めつきされないという欠点も有
する。
例えば実質的に連続する長いシート状の材料を
連続的に電気めつきする技術も開発されている。
これによれば電気めつきすべき材料と電気的な接
続したり解除したりする問題は起きないであろ
う。このような技術は個々の、すなわち個別の液
状の被加工片を、手動的な連結及び取外しをする
ことなく、自動的に供給して被加工片が通路を移
送される時に電気的及び機械的な連結を良好に得
る、電解液浴中で連続的に電気めつきする問題に
は、実際に触れていない。
連続的に電気めつきする技術も開発されている。
これによれば電気めつきすべき材料と電気的な接
続したり解除したりする問題は起きないであろ
う。このような技術は個々の、すなわち個別の液
状の被加工片を、手動的な連結及び取外しをする
ことなく、自動的に供給して被加工片が通路を移
送される時に電気的及び機械的な連結を良好に得
る、電解液浴中で連続的に電気めつきする問題に
は、実際に触れていない。
発明の目的
本発明は電解液を適用する領域(以下、浴とも
いう)を通して水平に移送することによつて、一
般に偏平な被加工片を連続的及び自動的に電気め
つきする装置及び方法を提供することであつて、
電気的な接続及び解除の問題をさけることがで
き、かつ浴を通して物体を信頼性をもつて機械的
に移送する装置及び方法に関する。
いう)を通して水平に移送することによつて、一
般に偏平な被加工片を連続的及び自動的に電気め
つきする装置及び方法を提供することであつて、
電気的な接続及び解除の問題をさけることがで
き、かつ浴を通して物体を信頼性をもつて機械的
に移送する装置及び方法に関する。
発明の概要
本発明は被加工片を浴を通して機械的に移送
し、個別の被加工片を自動的に電気めつきする連
続電気めつき方法を提供する。この方法は被加工
片を常に駆動しながら、順次、駆動要素を機械的
に係合したり解除したし、被加工片を浴を通して
移送する時に、被加工片と常に電気的接続を保
ち、被加工片を順次電気的に係合したり解除した
りして、被加工片を常に電極として電気的に接続
することによる。種々な補足的特徴はこの一般的
なアプローチを助ける。
し、個別の被加工片を自動的に電気めつきする連
続電気めつき方法を提供する。この方法は被加工
片を常に駆動しながら、順次、駆動要素を機械的
に係合したり解除したし、被加工片を浴を通して
移送する時に、被加工片と常に電気的接続を保
ち、被加工片を順次電気的に係合したり解除した
りして、被加工片を常に電極として電気的に接続
することによる。種々な補足的特徴はこの一般的
なアプローチを助ける。
したがつて本発明の主要な目的は個別の被加工
片を浴を通して水平に移送し、手動的に連結した
り解除したりする問題なしに電気めつきすること
ができる新しい装置を提供することである。
片を浴を通して水平に移送し、手動的に連結した
り解除したりする問題なしに電気めつきすること
ができる新しい装置を提供することである。
本発明の他の目的は連続的かつ自動的に被加工
片を電気めつきする方法を提供することである。
片を電気めつきする方法を提供することである。
本発明のまた他の目的は被加工片が浴の中に浸
漬して移動する時に、接触ホイールによつて自動
的かつ順次、被加工片と係合し、被加工片が浴を
通過する時にホイールが被加工片を集合体として
浴を通して駆動すること、及び被加工片が電極と
して作用するように電気エネルギーを連続的に供
給することを維持し、しかし同時に被加工片が浴
を通して移動する時に、被加工片との機械的な駆
動接触、及び被加工片との電気的接触をホイール
が個別にかつ順次行なつたり解除することによつ
て上記目的を達成する手段を提供することであ
る。
漬して移動する時に、接触ホイールによつて自動
的かつ順次、被加工片と係合し、被加工片が浴を
通過する時にホイールが被加工片を集合体として
浴を通して駆動すること、及び被加工片が電極と
して作用するように電気エネルギーを連続的に供
給することを維持し、しかし同時に被加工片が浴
を通して移動する時に、被加工片との機械的な駆
動接触、及び被加工片との電気的接触をホイール
が個別にかつ順次行なつたり解除することによつ
て上記目的を達成する手段を提供することであ
る。
本発明のまた別の目的は電解質溶液において乱
流をおこさせ、かつ溶液を補給する手段を提供す
ることである。
流をおこさせ、かつ溶液を補給する手段を提供す
ることである。
本発明のまた他の目的は被加工片に電気的接続
を行なう接触ホイールから電解液のスプレーを遮
蔽する手段を供給することである。
を行なう接触ホイールから電解液のスプレーを遮
蔽する手段を供給することである。
本発明のさらに別の目的はサイズの異なる被加
工片をサイズに応じて単純な調節を行なつて電気
めつきすることができる手段を提供することであ
る。
工片をサイズに応じて単純な調節を行なつて電気
めつきすることができる手段を提供することであ
る。
本発明のさらに他の目的は電極の間に必要な電
位を発生させる効果的な手段を提供することであ
る。
位を発生させる効果的な手段を提供することであ
る。
本発明のまたまた他の目的は浴の端において電
解液を過剰に損失することなく、浴の各終りに被
加工片のための適当な新しい入口及び出口を提供
することである。
解液を過剰に損失することなく、浴の各終りに被
加工片のための適当な新しい入口及び出口を提供
することである。
本発明のその他の目的は上記説明及び次の図面
の簡単な説明、好ましい実施態様の詳細な説明及
び特許請求の範囲を参照すれば容易に理解するこ
とができるであろう。
の簡単な説明、好ましい実施態様の詳細な説明及
び特許請求の範囲を参照すれば容易に理解するこ
とができるであろう。
好ましい実施態様の説明
まず第1図を参照し、装置は全体として参照数
字20で示す。
字20で示す。
この装置20はその下端において下壁22によ
つて規定される液溜21、左壁23及び右壁2
4、正面及び背面の壁25を有する。液溜21は
電解液溶液26の貯槽である。複数の熱交換器2
7が水循環型として設けられ、図示しない適当な
水入口及び出口連結を有し、これによつて温度調
節された図示しない冷水を熱交換器27の配管を
通して送り、電解液溶液26と液体対液体の接触
をすることなしに冷却することができる。
つて規定される液溜21、左壁23及び右壁2
4、正面及び背面の壁25を有する。液溜21は
電解液溶液26の貯槽である。複数の熱交換器2
7が水循環型として設けられ、図示しない適当な
水入口及び出口連結を有し、これによつて温度調
節された図示しない冷水を熱交換器27の配管を
通して送り、電解液溶液26と液体対液体の接触
をすることなしに冷却することができる。
複数の電気的に駆動されるポンプ28が液溜2
1の中に配置され、各ポンプは浸漬された入口3
0及び上方の出口31を有する。
1の中に配置され、各ポンプは浸漬された入口3
0及び上方の出口31を有する。
電解液ポンプの出口は上方及び下方の電解液マ
ニホールド32に連結されている。マニホールド
32は上方及び下方の送液管33及び34にそれ
ぞれ連結され、これは上方及び下方の電解液導管
35及び36とそれぞれ連結され、これらの導管
は組みになつたマニホールド32に連結される。
マニホールド32は、全体として37と記す上方
の貯槽のなかで担持され、この貯槽は入口及び出
口の端壁38及び40を有し、これらの端壁はそ
れぞれ組みになつた被加工片が通る入口スロツト
孔41及び出口スロツト孔42を有し、Wと記す
被加工片が入口41から出口42に通過して、第
1図の右端の矢印44の方向に移送される。
ニホールド32に連結されている。マニホールド
32は上方及び下方の送液管33及び34にそれ
ぞれ連結され、これは上方及び下方の電解液導管
35及び36とそれぞれ連結され、これらの導管
は組みになつたマニホールド32に連結される。
マニホールド32は、全体として37と記す上方
の貯槽のなかで担持され、この貯槽は入口及び出
口の端壁38及び40を有し、これらの端壁はそ
れぞれ組みになつた被加工片が通る入口スロツト
孔41及び出口スロツト孔42を有し、Wと記す
被加工片が入口41から出口42に通過して、第
1図の右端の矢印44の方向に移送される。
貯槽37は壁39及び43の間に底45を有
し、これは電解液適用領域(以下浴領域ともい
う)の底を形成し、その端は入口及び出口の浴領
域壁46及び47によつてそれぞれ形成され、そ
れぞれに組みになつた入口及び出口のダム48及
び50を有する。これについてはのちに詳細に説
明する。浴領域の側壁は壁39及び43である。
側壁39及び43はそれぞれ多数の溢流口53を
設けて、第1図に示す浴液水準54を維持する。
し、これは電解液適用領域(以下浴領域ともい
う)の底を形成し、その端は入口及び出口の浴領
域壁46及び47によつてそれぞれ形成され、そ
れぞれに組みになつた入口及び出口のダム48及
び50を有する。これについてはのちに詳細に説
明する。浴領域の側壁は壁39及び43である。
側壁39及び43はそれぞれ多数の溢流口53を
設けて、第1図に示す浴液水準54を維持する。
前述から明らかなように、電解液はポンプ28
によつて液溜め21から排出管31を通つてマニ
ホールド32に行き、次に導管35及び36によ
つて排出管33に、高い補給速度で送られ、これ
が液水準54を保持して電解液に撹拌をおこさせ
る。これについてはのちに詳細に説明する。被加
工片が浴領域に入つたり出たりする時に、ダム4
8及び50における入口及び出口を通る電解液の
損失を好ましくは最小とし、電解液が壁39及び
43の孔53を通して、いくらか流れ、さらに貯
槽37の下方の壁に設けた付加的な出口56を通
して、電解液がいくらか通過するように補給速度
は十分に高くしておき、水準54を維持する。留
意すべきことは液溜め21の上方の壁57はその
なかに大きな受入れ口58を有し、孔56、排出
孔53からなど電解液を容易に受入れるようにす
る。
によつて液溜め21から排出管31を通つてマニ
ホールド32に行き、次に導管35及び36によ
つて排出管33に、高い補給速度で送られ、これ
が液水準54を保持して電解液に撹拌をおこさせ
る。これについてはのちに詳細に説明する。被加
工片が浴領域に入つたり出たりする時に、ダム4
8及び50における入口及び出口を通る電解液の
損失を好ましくは最小とし、電解液が壁39及び
43の孔53を通して、いくらか流れ、さらに貯
槽37の下方の壁に設けた付加的な出口56を通
して、電解液がいくらか通過するように補給速度
は十分に高くしておき、水準54を維持する。留
意すべきことは液溜め21の上方の壁57はその
なかに大きな受入れ口58を有し、孔56、排出
孔53からなど電解液を容易に受入れるようにす
る。
さらに明らかなように、貯槽37は液溜めから
分離した一つのユニツトとして構成され、液溜め
21の上方の壁57によつて担持される支柱60
の上に支持される。貯槽37の底45は省いて貯
槽37及び液溜め21を一つのユニツトとして構
成することを望むならば、液溜め21の上方の壁
57と同様に省くことができる。据付け直しなど
のために周期的に装置を分解することが望ましい
場合には、図示のようにユニツトを構成すること
が好ましい。又比較的長期間構造を保とうとする
時には、部材45及び57をなくしてユニツト3
7及び21を単一のユニツトとして構成すること
ができる。いずれにしても壁39及び43の孔5
3からの溢流は、液溜め21に戻る。貯槽37に
底45を設ける時は側壁51,52及び端壁6
2,63によつて規定される下方にある一般に角
型な枠55のために適当な支持体61を設ける。
壁51,52,62及び63の上端を形成する枠
部材49は適当な支持体65によつて側壁64か
ら支持する。支持体65は図示しない壁51に固
定する。分配管33及び34は枠49及び55の
間にある流れ通路の開口において、特に示さない
適当な手段によつて枠49及び55に担持され
る。これには通常の取付け部材で十分である。
分離した一つのユニツトとして構成され、液溜め
21の上方の壁57によつて担持される支柱60
の上に支持される。貯槽37の底45は省いて貯
槽37及び液溜め21を一つのユニツトとして構
成することを望むならば、液溜め21の上方の壁
57と同様に省くことができる。据付け直しなど
のために周期的に装置を分解することが望ましい
場合には、図示のようにユニツトを構成すること
が好ましい。又比較的長期間構造を保とうとする
時には、部材45及び57をなくしてユニツト3
7及び21を単一のユニツトとして構成すること
ができる。いずれにしても壁39及び43の孔5
3からの溢流は、液溜め21に戻る。貯槽37に
底45を設ける時は側壁51,52及び端壁6
2,63によつて規定される下方にある一般に角
型な枠55のために適当な支持体61を設ける。
壁51,52,62及び63の上端を形成する枠
部材49は適当な支持体65によつて側壁64か
ら支持する。支持体65は図示しない壁51に固
定する。分配管33及び34は枠49及び55の
間にある流れ通路の開口において、特に示さない
適当な手段によつて枠49及び55に担持され
る。これには通常の取付け部材で十分である。
下方の陽極支持バー70は、第2図に示すが、
垂直なプレート51及び52の間に担持され、図
示のように下方の陽極ホルダ71を担持する。長
手方向に配置したホルダ71を横切つて配置した
下方の陽極72を担持する。同様に上方支持バー
73はこれから懸垂する支持部材74を有し、こ
の支持体は上方の陽極ホルダ75を担持する。こ
れらは長手方向に配置され、その上を横切つて配
置した上方の陽極76を担持する。陽極72及び
76は一般に銅であつて、これについてはのちに
さらに詳細に説明する。陽極ホルダ71及び7
5、支持バー70及び73、支持部材74は種々
な壁部材39,43,51,62,63,47及
び46、ダム48及び50、管33及び34、な
らびに陽極又は陰極として作用することが必須で
ない他のすべての部材と同様に、経済的に可能で
あれば非導電性材料又は誘電被覆材で被覆し、こ
の発明の動作において陽極又は陰極として作用さ
せない。
垂直なプレート51及び52の間に担持され、図
示のように下方の陽極ホルダ71を担持する。長
手方向に配置したホルダ71を横切つて配置した
下方の陽極72を担持する。同様に上方支持バー
73はこれから懸垂する支持部材74を有し、こ
の支持体は上方の陽極ホルダ75を担持する。こ
れらは長手方向に配置され、その上を横切つて配
置した上方の陽極76を担持する。陽極72及び
76は一般に銅であつて、これについてはのちに
さらに詳細に説明する。陽極ホルダ71及び7
5、支持バー70及び73、支持部材74は種々
な壁部材39,43,51,62,63,47及
び46、ダム48及び50、管33及び34、な
らびに陽極又は陰極として作用することが必須で
ない他のすべての部材と同様に、経済的に可能で
あれば非導電性材料又は誘電被覆材で被覆し、こ
の発明の動作において陽極又は陰極として作用さ
せない。
陽極72及び76は適当な電気接続を有し、導
電体80及び81はそれぞれ上述のように被覆す
ることが好ましいが、適当な電気的接続82によ
つて適当な電源に接続する。
電体80及び81はそれぞれ上述のように被覆す
ることが好ましいが、適当な電気的接続82によ
つて適当な電源に接続する。
第3図及び第4図において留意すべきことは、
分配管33及び34はそのなかに排出口83を有
し、被加工片Wの上面及び下面に電解液を送つて
撹拌作用を行なう。
分配管33及び34はそのなかに排出口83を有
し、被加工片Wの上面及び下面に電解液を送つて
撹拌作用を行なう。
分配管33及び34を通して流れる電解液溶液
の高い流量は、所望の水準54に補給することの
他に、溶液を十分に撹拌して均一な組成及び荷電
密度を実質的に維持する。あるいは、管33及び
34は水平方向、すなわち図示しないが第1図に
おいて左から右へ振動させて、所望であれば溶液
に乱流をおこさせる分離した手段又は付加的な手
段として設けることができる。
の高い流量は、所望の水準54に補給することの
他に、溶液を十分に撹拌して均一な組成及び荷電
密度を実質的に維持する。あるいは、管33及び
34は水平方向、すなわち図示しないが第1図に
おいて左から右へ振動させて、所望であれば溶液
に乱流をおこさせる分離した手段又は付加的な手
段として設けることができる。
第5図に示すように、浴領域に入口ダム48を
壁46の上端の溝59に滑り接触させることをわ
かりやすく説明する。ダム48は上方及び下方の
ロール84及び85を必ず有し、これらはそれぞ
れ垂直な側壁すなわち枠部材39及び43の間に
延在し、シリンダー84及び85はそれぞれシヤ
フト突出部86及び88と組みになつており、こ
れらと組みになつた滑車(以下プレーともいう)
90及び91はこの部分の上に担持されている。
プレー91はこれにつけた傘車92によつて駆動
され、これはこれとかみあう傘車93によつて駆
動され、この傘車はスプロケツト94に担持さ
れ、このスプロケツトはスプロケツト鎖95によ
つて駆動され、この鎖はスプロケツト96によつ
て駆動され、これは装置20の長さに実質的に沿
つてその一つの側にある主要駆動ロツド97によ
つて駆動される。プレー91は第6図に示すよう
に8字形に配置した、引張ることができるゴムの
ような駆動ベルト98によつてプレー90に連結
する。そしてシリンダ84を駆動し、シリンダ8
4及び85の間にある締まり間隙100において
被加工片をシリンダの間に運ぶように駆動する。
シヤフト86は側壁39の垂直なスロツト孔10
1に滑動可能に担持され、このなかにシヤフト8
6を上方に動かすことができる、そして締まり間
隙100を通して厚みの異なる被加工片Wが通過
する時に、シリンダロール84を上方に動かすこ
とができる。したがつてシリンダ84は第6図に
示すように二つの矢先を有する矢印102の方向
に垂直な制限された移動を行なうことができる。
さらに弾発性部材98はロール84及び85を相
互に押圧して、締まり間隙100において回転し
ながら封止係合することができる。これによつて
この間を電解液溶液が通過することを防ぐ。した
がつて弾発性駆動部材98はこれらの目的を達成
するためにゴムバンドのようなものとする。第5
図に示す装置の右端において、シヤフトの端10
3及び104を同様に設け、これらはプレー10
5及び106とそれぞれ組みになつており、ゴム
バンド107のように同じく8字形に配置したゴ
ムバンド107のような部材によつて駆動可能に
相互に連結されている、シヤフトの端103は傘
車のようなものによつて別に駆動する必要はな
い。
壁46の上端の溝59に滑り接触させることをわ
かりやすく説明する。ダム48は上方及び下方の
ロール84及び85を必ず有し、これらはそれぞ
れ垂直な側壁すなわち枠部材39及び43の間に
延在し、シリンダー84及び85はそれぞれシヤ
フト突出部86及び88と組みになつており、こ
れらと組みになつた滑車(以下プレーともいう)
90及び91はこの部分の上に担持されている。
プレー91はこれにつけた傘車92によつて駆動
され、これはこれとかみあう傘車93によつて駆
動され、この傘車はスプロケツト94に担持さ
れ、このスプロケツトはスプロケツト鎖95によ
つて駆動され、この鎖はスプロケツト96によつ
て駆動され、これは装置20の長さに実質的に沿
つてその一つの側にある主要駆動ロツド97によ
つて駆動される。プレー91は第6図に示すよう
に8字形に配置した、引張ることができるゴムの
ような駆動ベルト98によつてプレー90に連結
する。そしてシリンダ84を駆動し、シリンダ8
4及び85の間にある締まり間隙100において
被加工片をシリンダの間に運ぶように駆動する。
シヤフト86は側壁39の垂直なスロツト孔10
1に滑動可能に担持され、このなかにシヤフト8
6を上方に動かすことができる、そして締まり間
隙100を通して厚みの異なる被加工片Wが通過
する時に、シリンダロール84を上方に動かすこ
とができる。したがつてシリンダ84は第6図に
示すように二つの矢先を有する矢印102の方向
に垂直な制限された移動を行なうことができる。
さらに弾発性部材98はロール84及び85を相
互に押圧して、締まり間隙100において回転し
ながら封止係合することができる。これによつて
この間を電解液溶液が通過することを防ぐ。した
がつて弾発性駆動部材98はこれらの目的を達成
するためにゴムバンドのようなものとする。第5
図に示す装置の右端において、シヤフトの端10
3及び104を同様に設け、これらはプレー10
5及び106とそれぞれ組みになつており、ゴム
バンド107のように同じく8字形に配置したゴ
ムバンド107のような部材によつて駆動可能に
相互に連結されている、シヤフトの端103は傘
車のようなものによつて別に駆動する必要はな
い。
第7図において明らかなように、被加工部材W
は矢印108の方向に、左から右に向かつて移送
され、複数の上方接触ホイール110及び下方接
触ホイール111に同時に接触することにより移
送され、これらのホイールは第7図に示すように
それぞれ逆時計方向及び時計方向に駆動される。
接触ホイール110及び111は図に示すように
段つき歯車であつてこの間を通る被加工片との電
気的接触を良好にする。ホイール110及び11
1はその間に被加工片Wを直線運動をするように
駆動して、矢印108の方向に流れ通路のなかを
移動し、さらに被加工片Wと電気的接触を行な
い、Wを陰極として作用させて陽極から溶液を通
して陽極的電荷を捕集する。ホイール110及び
111はそれぞれ上方及び下方の囲み部材113
及び114のなかに囲まれている。囲み部材11
3及び114は図示しない適当な手段によつて連
結された垂直の壁39の内面に担持される。第2
図に示すように、これによつて担持されるワイパ
ブレード115及び116を有する。したがつて
ワイパーは被加工部材Wの流れの方向に浴領域の
端から端まで延在し、導管開口83から放出され
る溶液が乱流となつてホイール110及び111
の被加工片Wとの接触位置に撥ね上ることを防止
する。したがつて明らかなように囲み部材113
及び114は、この目的を達成するために、浴領
域の長さにわたつて同様に延在する。さらに明ら
かなようにホイール110及び111はこれらの
間を通過する被加工片との電気的導電性が良好な
物質で作る。
は矢印108の方向に、左から右に向かつて移送
され、複数の上方接触ホイール110及び下方接
触ホイール111に同時に接触することにより移
送され、これらのホイールは第7図に示すように
それぞれ逆時計方向及び時計方向に駆動される。
接触ホイール110及び111は図に示すように
段つき歯車であつてこの間を通る被加工片との電
気的接触を良好にする。ホイール110及び11
1はその間に被加工片Wを直線運動をするように
駆動して、矢印108の方向に流れ通路のなかを
移動し、さらに被加工片Wと電気的接触を行な
い、Wを陰極として作用させて陽極から溶液を通
して陽極的電荷を捕集する。ホイール110及び
111はそれぞれ上方及び下方の囲み部材113
及び114のなかに囲まれている。囲み部材11
3及び114は図示しない適当な手段によつて連
結された垂直の壁39の内面に担持される。第2
図に示すように、これによつて担持されるワイパ
ブレード115及び116を有する。したがつて
ワイパーは被加工部材Wの流れの方向に浴領域の
端から端まで延在し、導管開口83から放出され
る溶液が乱流となつてホイール110及び111
の被加工片Wとの接触位置に撥ね上ることを防止
する。したがつて明らかなように囲み部材113
及び114は、この目的を達成するために、浴領
域の長さにわたつて同様に延在する。さらに明ら
かなようにホイール110及び111はこれらの
間を通過する被加工片との電気的導電性が良好な
物質で作る。
第2図に示すように、ホイールは周辺がぎざぎ
ざな円盤118及び120の対からなり、これら
は直径が同一であつて、図示のようにこれよりも
直径の小さい導電性なワツシヤ121によつて連
結されている。
ざな円盤118及び120の対からなり、これら
は直径が同一であつて、図示のようにこれよりも
直径の小さい導電性なワツシヤ121によつて連
結されている。
ホイール111は、図示のように壁39の上に
回転可能に取付けたシヤフト117に取付けて回
転可能に担持され、かつ適当なブシユ126で壁
125に取付けて回転することができる。
回転可能に取付けたシヤフト117に取付けて回
転可能に担持され、かつ適当なブシユ126で壁
125に取付けて回転することができる。
回転するシヤフト117によつて接触子127
が担持されており、これは適当な非導電性のハウ
ジング部材128及び130のなかにある。第9
図に示すように、シヤフト117の外のもつとも
左の端はこの上に傘車130を有し、この傘車は
これと係合する傘車131と咬合い係合し、この
傘車は主要駆動ロツド97によつて担持され、こ
れとともに回転する。こうして主要駆動ロツド9
7が回転すると、接触子127を回転し、接触ホ
イール111を回転させる。接触子127の構造
は種々な通常な型とすることができ、ブラツシ1
32及び133を通して回転し、このブラツシは
支持部材130に配置されたばね手段134によ
つて、ばね取付けされているが、接触子の回転に
よつてホイール111に陰極的電荷を送り、ブラ
ツシ132及び133は適当な導線135によつ
て適当な電源に適当に電気的接続してある。平歯
車136はシヤフト117に担持され、これとと
もに回転するが平歯車137と係合してこれを駆
動する。この歯車は接触子138及びそのシヤフ
ト140とともにこの上に取付けた接触ホイール
110も駆動する。接触子138は同様にばね負
荷されたブラツシを設け、図示のように適当に電
気的接続され、ホイール110を回転させてホイ
ールに電荷を送つて陰極として作用させる。
が担持されており、これは適当な非導電性のハウ
ジング部材128及び130のなかにある。第9
図に示すように、シヤフト117の外のもつとも
左の端はこの上に傘車130を有し、この傘車は
これと係合する傘車131と咬合い係合し、この
傘車は主要駆動ロツド97によつて担持され、こ
れとともに回転する。こうして主要駆動ロツド9
7が回転すると、接触子127を回転し、接触ホ
イール111を回転させる。接触子127の構造
は種々な通常な型とすることができ、ブラツシ1
32及び133を通して回転し、このブラツシは
支持部材130に配置されたばね手段134によ
つて、ばね取付けされているが、接触子の回転に
よつてホイール111に陰極的電荷を送り、ブラ
ツシ132及び133は適当な導線135によつ
て適当な電源に適当に電気的接続してある。平歯
車136はシヤフト117に担持され、これとと
もに回転するが平歯車137と係合してこれを駆
動する。この歯車は接触子138及びそのシヤフ
ト140とともにこの上に取付けた接触ホイール
110も駆動する。接触子138は同様にばね負
荷されたブラツシを設け、図示のように適当に電
気的接続され、ホイール110を回転させてホイ
ールに電荷を送つて陰極として作用させる。
厚みの異なる被加工片Wを収容するために、ホ
イール110は垂直方向に制限された範囲で運動
することができるように取付けてある。この目的
のためにシヤフト140は垂直なプレート39の
なかのブシユに担持されていないで、大きな許容
孔114が設けられ、シヤフト140をこのなか
で上方に限られた範囲で垂直運動させる。ブシユ
142はシヤフト140に担持され、このなかで
シヤフト140を回転させるが、ブシユ142は
ばね手段143によつて下方に向けてばねで押圧
される。このばね手段はその上端を垂直側壁39
に担持された剛性支持体145の盲穴144に固
定されている。同様にブシユ147は図示しない
が、ややゆるく締められていてシヤフト140の
もつとも右の端を上方に角運動させることができ
るようにして、厚みの異なる被加工片を収容する
ことができる。
イール110は垂直方向に制限された範囲で運動
することができるように取付けてある。この目的
のためにシヤフト140は垂直なプレート39の
なかのブシユに担持されていないで、大きな許容
孔114が設けられ、シヤフト140をこのなか
で上方に限られた範囲で垂直運動させる。ブシユ
142はシヤフト140に担持され、このなかで
シヤフト140を回転させるが、ブシユ142は
ばね手段143によつて下方に向けてばねで押圧
される。このばね手段はその上端を垂直側壁39
に担持された剛性支持体145の盲穴144に固
定されている。同様にブシユ147は図示しない
が、ややゆるく締められていてシヤフト140の
もつとも右の端を上方に角運動させることができ
るようにして、厚みの異なる被加工片を収容する
ことができる。
さらに明らかなように各接触ホイール110又
は111は、この実施態様においてそれぞれの電
源を有する。さらに留意すべきことは導線135
はブラツシ132及び133を適当な連結部に電
気的接続するが、適当な導線150によつて電源
に連結する。このような電源としては一般に交流
電源であつて整流器を通して交流電圧を直流に変
換する。
は111は、この実施態様においてそれぞれの電
源を有する。さらに留意すべきことは導線135
はブラツシ132及び133を適当な連結部に電
気的接続するが、適当な導線150によつて電源
に連結する。このような電源としては一般に交流
電源であつて整流器を通して交流電圧を直流に変
換する。
第8図において明らかなように適当な電動機1
51が歯車131を取付けた駆動ロツド97を駆
動する。この駆動ロツドは153に取付けたブシ
ユ152によつて機械の枠125にはめこむ。留
意すべきことは、歯車131は適当なスペーサ部
材154を有する。これらのスペーサ部材、歯車
131及び駆動ロツド97は米国特許第4015706
号の教示する駆動方法によつて構成することが好
ましい。これは装置20の種々なモジユールを相
互に連結してモジユールユニツトとすることを容
易にする。この目的のために取付けブロツク15
5を第1図に示すように、装置のもつとも最右端
に設け、所望であればこのなかに複数のタツプ孔
156をあけて、図示しないねじ接続材を使用し
て取付け、ブロツク155を、図示しない隣接モ
ジユールの取付け孔に連結する。同様に第1図の
装置の左端において取付け孔157を示すが、こ
れが隣接モジユールの図示しない取付けブロツク
からねじ連結部材を受入れる。また第1図に示す
ように、装置の右端及び左端は125のような外
部の垂直な枠部材にダウエルピン158及び穴部
材160をそれぞれ設け、これらは雄型及び雌型
の接合ピンとして隣接するモジユールを相互に整
合することができる。この目的のために米国特許
第4015706号の教示を所望であれば利用すること
ができる。
51が歯車131を取付けた駆動ロツド97を駆
動する。この駆動ロツドは153に取付けたブシ
ユ152によつて機械の枠125にはめこむ。留
意すべきことは、歯車131は適当なスペーサ部
材154を有する。これらのスペーサ部材、歯車
131及び駆動ロツド97は米国特許第4015706
号の教示する駆動方法によつて構成することが好
ましい。これは装置20の種々なモジユールを相
互に連結してモジユールユニツトとすることを容
易にする。この目的のために取付けブロツク15
5を第1図に示すように、装置のもつとも最右端
に設け、所望であればこのなかに複数のタツプ孔
156をあけて、図示しないねじ接続材を使用し
て取付け、ブロツク155を、図示しない隣接モ
ジユールの取付け孔に連結する。同様に第1図の
装置の左端において取付け孔157を示すが、こ
れが隣接モジユールの図示しない取付けブロツク
からねじ連結部材を受入れる。また第1図に示す
ように、装置の右端及び左端は125のような外
部の垂直な枠部材にダウエルピン158及び穴部
材160をそれぞれ設け、これらは雄型及び雌型
の接合ピンとして隣接するモジユールを相互に整
合することができる。この目的のために米国特許
第4015706号の教示を所望であれば利用すること
ができる。
第2図に示すように、被加工片の最右端につい
て明かなように全体として参照数字161で示す
被加工片支持体を使用し、この支持体は第2図に
示すように被加工片Wの最右端に滑動可能に係合
し、この被加工片Wはレール又は溝163を通し
て滑動することができる。溝163は長い部材1
64のなかに配置し、これはダム48及び50の
間で浴領域の入口端から出口端に実質的に延在
し、被加工片の流れ通路に平行して配置する。長
い支持部材164は所望の位置において垂直支持
部材165によつて垂直に支持し、この支持部材
は上方プレート167のスロツト孔168に取付
けた水平支持体166から懸垂する。適当なちよ
うねじ及びねじ部材170がスロツト孔168に
係合して支持部材161を調節可能に位置ぎめす
ることを容易にし、スロツト168の端170及
び171の間で狭い幅の基板又はプレート用部材
から広い幅の基板まで扱うことができる。
て明かなように全体として参照数字161で示す
被加工片支持体を使用し、この支持体は第2図に
示すように被加工片Wの最右端に滑動可能に係合
し、この被加工片Wはレール又は溝163を通し
て滑動することができる。溝163は長い部材1
64のなかに配置し、これはダム48及び50の
間で浴領域の入口端から出口端に実質的に延在
し、被加工片の流れ通路に平行して配置する。長
い支持部材164は所望の位置において垂直支持
部材165によつて垂直に支持し、この支持部材
は上方プレート167のスロツト孔168に取付
けた水平支持体166から懸垂する。適当なちよ
うねじ及びねじ部材170がスロツト孔168に
係合して支持部材161を調節可能に位置ぎめす
ることを容易にし、スロツト168の端170及
び171の間で狭い幅の基板又はプレート用部材
から広い幅の基板まで扱うことができる。
留意すべきことは、駆動される接触ホイールは
第2図に示すように機械の入口端にあつて入口ス
ロツト41とダム48との間にあり、この機械の
出口端はダム50とスロツト42との間にある。
又同様に前記説明から明らかなようにダム48と
ダム50との間にある。留意すべきことは、場合
によつては機械の入口端及び出口端において接触
ホイールに供給する電気エネルギーは浴領域にお
いて接触ホイールに供給する電気エネルギーと異
なつていることも望ましい。これは例えば第8図
に示すように各接触ホイールに別々な電力源を設
けることであり、こうして個別の接触ホイールに
対して個別な処理を行なう。しかし多くの場合は
浴領域において接触ホイールに供給する電力は、
浴領域におけるすべての接触ホイールに同一の電
流密度を与えるように設定する。同様に装置の入
口端における接触ホイールに流す入口領域の電流
密度は異なるように設定することができ又適当な
電源を設けることによつて出口領域においては異
なる電流密度を与えることもできる。
第2図に示すように機械の入口端にあつて入口ス
ロツト41とダム48との間にあり、この機械の
出口端はダム50とスロツト42との間にある。
又同様に前記説明から明らかなようにダム48と
ダム50との間にある。留意すべきことは、場合
によつては機械の入口端及び出口端において接触
ホイールに供給する電気エネルギーは浴領域にお
いて接触ホイールに供給する電気エネルギーと異
なつていることも望ましい。これは例えば第8図
に示すように各接触ホイールに別々な電力源を設
けることであり、こうして個別の接触ホイールに
対して個別な処理を行なう。しかし多くの場合は
浴領域において接触ホイールに供給する電力は、
浴領域におけるすべての接触ホイールに同一の電
流密度を与えるように設定する。同様に装置の入
口端における接触ホイールに流す入口領域の電流
密度は異なるように設定することができ又適当な
電源を設けることによつて出口領域においては異
なる電流密度を与えることもできる。
図示しない濾材を液溜め21に設けることがで
好ましい。これによつて汚濁物質などを濾過す
る。適当な型の濾材の例としては米国特許第
3776800号に開示する取脱し可能な濾材を使用す
る。又留意すべきことは冷却液は一般に水である
が、水に限らない。これは熱交換器コイル27を
通して送り、図示しない適当な温度制御を所望で
あれば設けることができる。
好ましい。これによつて汚濁物質などを濾過す
る。適当な型の濾材の例としては米国特許第
3776800号に開示する取脱し可能な濾材を使用す
る。又留意すべきことは冷却液は一般に水である
が、水に限らない。これは熱交換器コイル27を
通して送り、図示しない適当な温度制御を所望で
あれば設けることができる。
電解液溶液と接触する装置の種々な部分を誘電
材料によつて構成するか、又は非導電性被覆物で
装置のこれらの要素を被覆することについては始
めに望ましいことを指摘した。理解されるように
このようなことは本発明の目的を得ることができ
るのであれば好ましくは陽極から陰極被加工片に
至る間において前記の構成を行なうことができ
る。同様に駆動ロツドなどの非金属要素はできる
ところであれば使用することができる。
材料によつて構成するか、又は非導電性被覆物で
装置のこれらの要素を被覆することについては始
めに望ましいことを指摘した。理解されるように
このようなことは本発明の目的を得ることができ
るのであれば好ましくは陽極から陰極被加工片に
至る間において前記の構成を行なうことができ
る。同様に駆動ロツドなどの非金属要素はできる
ところであれば使用することができる。
又、留意すべきことは、第7図に示すように上
方の接触ホイール110に弾発性取付け具を設け
ることを前述のように記載したが、これは基板又
はその他の被加工片Wが厚みを異にする場合にの
み役立つのではなくて、接触ホイール110及び
111の接触部分の周辺に金属が電着した時にお
いても連続的に操作を行なうことに役立つ。
方の接触ホイール110に弾発性取付け具を設け
ることを前述のように記載したが、これは基板又
はその他の被加工片Wが厚みを異にする場合にの
み役立つのではなくて、接触ホイール110及び
111の接触部分の周辺に金属が電着した時にお
いても連続的に操作を行なうことに役立つ。
留意すべきことは、ここに開示した陽極は銅の
バー72及び76であつて、この機械を横切つて
いるが、陽極を構成するために他の方法を用いて
もよい。例えば陽極として銅球を入れたバスケツ
トを使用することが知られており、このバスケツ
トに適当な電源に連結して、相互に接触する銅球
の間に電気エネルギーを送り、銅球がこれによつ
て陽極として作用する。例えばチタンのバスケツ
トに銅球を数層つめてバー72の代りに使用し、
被加工片の下に置き加工片の上方には銅バー76
の代りにボールをつめた他のチタンのバスケツト
を置く。この方法の一つの利益は電気めつき工程
の間に陽極が劣化した時に単にバスケツトのなか
にボールをさらに加えて、銅ボールを置きかえる
ことが容易にできる。これは陽極バー76及び7
2を取替えることが恐らくは不便であるのに比べ
て有利といえる。
バー72及び76であつて、この機械を横切つて
いるが、陽極を構成するために他の方法を用いて
もよい。例えば陽極として銅球を入れたバスケツ
トを使用することが知られており、このバスケツ
トに適当な電源に連結して、相互に接触する銅球
の間に電気エネルギーを送り、銅球がこれによつ
て陽極として作用する。例えばチタンのバスケツ
トに銅球を数層つめてバー72の代りに使用し、
被加工片の下に置き加工片の上方には銅バー76
の代りにボールをつめた他のチタンのバスケツト
を置く。この方法の一つの利益は電気めつき工程
の間に陽極が劣化した時に単にバスケツトのなか
にボールをさらに加えて、銅ボールを置きかえる
ことが容易にできる。これは陽極バー76及び7
2を取替えることが恐らくは不便であるのに比べ
て有利といえる。
さらに評価すべきことは、電気めつき工程を最
良にするために種々な最適な操作条件を用いるこ
とができる。例えば接触ホイールが被加工片に焼
付くことを防止することを望むのであれば、電気
めつきはできるだけ均一に行なつて被加工片の上
に銅を浸着させる。これを行なうために電解液を
速い補給速度で、かつ速い流量で流す。さらに本
発明の本質は一般にプリント回路基板などを銅で
めつきする一般の電気めつきに関することを理解
できるであろうが、陽極が銅であることを理解で
きるであろう。銅の電気めつきを行なう時は、浴
を一般に硫酸銅、硫酸及び適当なかつ好ましい添
加物を加えた溶液として、銅めつきの好ましいア
ンペア/面積すなわち電流密度を達成することで
ある。又種々な他の条件、例えば循環速度及び浴
の温度も制御することによつて電気めつきを最良
にすることができる。さらに他のパラメータ例え
ば陽極と陰極との極間距離なども考慮すべきであ
り、被加工片を所望のように配置することによつ
て達成される。さらに陽極対陰極の相対的な面積
も考慮して最適にすることが必要である。
良にするために種々な最適な操作条件を用いるこ
とができる。例えば接触ホイールが被加工片に焼
付くことを防止することを望むのであれば、電気
めつきはできるだけ均一に行なつて被加工片の上
に銅を浸着させる。これを行なうために電解液を
速い補給速度で、かつ速い流量で流す。さらに本
発明の本質は一般にプリント回路基板などを銅で
めつきする一般の電気めつきに関することを理解
できるであろうが、陽極が銅であることを理解で
きるであろう。銅の電気めつきを行なう時は、浴
を一般に硫酸銅、硫酸及び適当なかつ好ましい添
加物を加えた溶液として、銅めつきの好ましいア
ンペア/面積すなわち電流密度を達成することで
ある。又種々な他の条件、例えば循環速度及び浴
の温度も制御することによつて電気めつきを最良
にすることができる。さらに他のパラメータ例え
ば陽極と陰極との極間距離なども考慮すべきであ
り、被加工片を所望のように配置することによつ
て達成される。さらに陽極対陰極の相対的な面積
も考慮して最適にすることが必要である。
以上の説明から明かなように、本発明は特許請
求の範囲に規定される精神の範囲において本発明
の装置の使用及び動作におけると同様に詳細な構
造においても種々な変化を行なうことができる。
求の範囲に規定される精神の範囲において本発明
の装置の使用及び動作におけると同様に詳細な構
造においても種々な変化を行なうことができる。
第1図は本発明の装置を示す、第2図の−
線縦断面図であり、第2図は特に電解液供給管、
被加工片移送手段および非駆動側の調節可能な被
加工片の支持部材を示す、第1図の−線拡大
部分横断面図であり、第3図は被加工片の一部分
を上方より見て示す、第2図の−線拡大部分
平面図であり、第4図は被加工片の通路の上方お
よび下方において乱流をおこす電解液供給管を示
す、第3図の−線拡大横断面図であり、第5
図は浴領域の入口端のダムを示す、第1図の−
線拡大部分横断面図であり、第6図は上方およ
び下方のダムロールの間の駆動連結を示す、第5
図の−線拡大部分横断面図であり、第7図は
被加工片と接触する接触ホイールの上方にある囲
み手段を通した、第2図の−線拡大部分縦断
面図であり、第8図は接触ホイール駆動部材を示
す、第2図の−線拡大部分縦断面図であり、
第9図は接触ホイールのバネ負荷、囲まれたワイ
パおよびワイパホイールの電気的接続を示す、第
8図の−線部分横断面図である。 20……めつき装置、21……液溜め手段、2
6……電解液、41,42……スロツト孔、4
8,50……ダム手段、53……溢流手段、W…
…被加工片、72,76……陽極、84,85…
…ロール、98……弾発的押圧手段、110,1
11……接触ホイール、113,114……囲み
手段、115,116……ワイパ。
線縦断面図であり、第2図は特に電解液供給管、
被加工片移送手段および非駆動側の調節可能な被
加工片の支持部材を示す、第1図の−線拡大
部分横断面図であり、第3図は被加工片の一部分
を上方より見て示す、第2図の−線拡大部分
平面図であり、第4図は被加工片の通路の上方お
よび下方において乱流をおこす電解液供給管を示
す、第3図の−線拡大横断面図であり、第5
図は浴領域の入口端のダムを示す、第1図の−
線拡大部分横断面図であり、第6図は上方およ
び下方のダムロールの間の駆動連結を示す、第5
図の−線拡大部分横断面図であり、第7図は
被加工片と接触する接触ホイールの上方にある囲
み手段を通した、第2図の−線拡大部分縦断
面図であり、第8図は接触ホイール駆動部材を示
す、第2図の−線拡大部分縦断面図であり、
第9図は接触ホイールのバネ負荷、囲まれたワイ
パおよびワイパホイールの電気的接続を示す、第
8図の−線部分横断面図である。 20……めつき装置、21……液溜め手段、2
6……電解液、41,42……スロツト孔、4
8,50……ダム手段、53……溢流手段、W…
…被加工片、72,76……陽極、84,85…
…ロール、98……弾発的押圧手段、110,1
11……接触ホイール、113,114……囲み
手段、115,116……ワイパ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 電解液適用領域を規定する手段と、一般に水
平に配置した一般に平板状な個別の被加工片を、
電解液適用領域に浸漬して一般に水平な流れ通路
にそつて移送する手段と、 電解液適用領域のなかの陽極手段と、 電解液適用領域のなかの陰極手段と、 これらの陽極および陰極手段の間に電位を発生
させる手段と、 前記移送手段が流れ通路にそつて配置した駆動
される複数の接触ホイールを有し、このホイール
が前記電極手段の一つを含み、かつ (a) 被加工片を通路にそつて移送するときに自動
的かつ順次被加工片に係合して移送を行ない、
および自動的かつ順次被加工片を解放し、 (b) 自動的かつ順次被加工片を電気的に接続し、
および自動的かつ順次被加工片を電気的に解放
する手段をさらに含む、電気めつき装置。 2 ホイールが陰極である、特許請求の範囲第1
項記載の装置。 3 ホイールが、移動する被加工片を挾んで係合
するように相互に対向して押圧して取付けられた
上方ホイールおよび下方ホイールからなり、被加
工片を受入れるときに相互に離れる運動をおこす
手段を有する、特許請求の範囲第1項記載の装
置。 4 ホイールが前記通路の一つの側にのみ配置さ
れ、かつ被加工片がこの通路を移動するときに、
被加工片の他の側を支持するように、被加工片支
持手段がこの通路の他の側にそつて配置された、
特許請求の範囲第1項記載の装置。 5 幅の異なる被加工片を収容するために、前記
通路にそつてホイールから異なる位置に支持手段
を調節可能に位置決めする手段を有する、特許請
求の範囲第4項記載の装置。 6 被加工片支持手段が被加工片の縁を滑動可能
に受入れるチヤンネル構造の滑動部材を有する、
特許請求の範囲第4項記載の装置。 7 電解液を連続的に撹拌し、かつ補給する複合
手段を電解液適用領域のなかに設けた、特許請求
の範囲第4項記載の装置。 8 前記複合手段が被加工片通路の上方および下
方において電解液適用領域のなかに電解液供給管
を有し、この管にそつて前記通路に面する開口を
有する、特許請求の範囲第7項記載の装置。 9 前記複合手段が流れ通路にそつて電解液適用
領域のなかに電解液供給管を有し、この管にそつ
て設けた電解液排出口と、過剰の電解液を排出す
るために電解液適用領域に上方制限を規定するよ
うに配置した電解液溢流手段と、この電解液適用
領域から排出された過剰な電解液を受入れる電解
液捕集手段と、液溜め手段から電解液適用領域に
電解液を循環させる手段とを有する、特許請求の
範囲第7項記載の装置。 10 電解液を冷却するために液溜めのなかに設
けた熱交換手段を有する、特許請求の範囲第9項
記載の装置。 11 電解液適用領域に電解液を供給するため
に、電解液適用領域に電解液供給手段を設け、被
加工片の流れ通路の一つの側にそつて接触ホイー
ルを配置し、被加工片を通過させるスロツト孔手
段を除いて電解液適用領域の主要部分に接触しな
いように接触ホイールを実質的に完全に囲み、液
溜め手段から供給される電解液に接触ホイールが
接触することを制限する囲み手段を設け、流れ通
路にそつて移送される被加工片にそつて僅かに係
合して掃拭するためにワイパ手段を前記囲み手段
に担持してスロツト孔手段に設けた、特許請求の
範囲第1項記載の装置。 12 電解液適用領域に、被加工片の流れ通路の
入口端および出口端においてダム手段を設け、ダ
ム手段は、回転可能なロール対の間に被加工片を
収容して通過させるように、少なくとも一つの端
において回転可能なロール対を流れ通路に対して
横方向に設け、このロール対の間に電解液の通過
を制限するために、ロール対の間に被加工片を封
止係合させるようにロール対を相互に弾発的に押
圧する手段を設けた、特許請求の範囲第1項記載
の装置。 13 前記ロール対に駆動手段を設け、このロー
ル対の一つのロールのための駆動手段がロール対
を相互に押圧する手段を有する、特許請求の範囲
第12項記載の装置。 14 流れ通路の一つの側にそつてこの通路の上
方および下方に配置した接触ホイールと、接触ホ
イール駆動部材と、この駆動部材を電解液適用領
域において電解液から物理的に隔離する手段と、
前記駆動部材を機械的に連続する共通の駆動手段
と、各接触ホイールのために別々な電位発生手段
とを有する特許請求の範囲第1項記載の装置。 15 電解液適用領域において、流れ通路に実質
的に完全にそつて、この通路の上方および下方に
陽極手段を配置した、特許請求の範囲第2項記載
の装置。 16 陽極が流れ通路に対して横方向に配置した
銅バーからなる、特許請求の範囲第15項記載の
装置。 17 一般に平板状の被加工片を一つづつ順次電
気めつきする方法であつて、 電解液適用領域を設け、 電位を発生して、この電解液のなかの電極を通
して電解液に電位を供給し、 一般に水平に配置した被加工片を、一般に水平
な運動をさせて電解液適用領域を通して移送し、 被加工片を電解液適用領域を通して移送する
間、流れ通路の一つの側にそつて、被加工片を、
対向する接触ホイールの間に接触させ、 自動的かつ順次通路にそつて移送される被加工
片をホイールと係合させながら、自動的かつ順次
ホイールを被加工片と電気的に接続させ、 被加工片を通路にそつて移送するときに、自動
的かつ順次ホイールを被加工片から解放し、かつ
被加工片を通路にそつて移送しながら、自動的か
つ順次ホイールから被加工片を電気的接続から解
放する 工程を有する電気めつき方法。 18 電位発生工程が、電位を発生して、接触ホ
イールを陰極とし、電解液適用領域のなかの銅を
陽極とする、特許請求の範囲第17項記載の方
法。 19 電解液を、連続的に撹拌しながら、電解液
適用領域を通る被加工片の通路の上方および下方
の電解液適用領域のなかの位置において、電解液
適用領域に連続的に供給し、電解液を連続的に電
解液適用領域から溢流させ、溢流した電解液を再
び循環して供給する工程を含む、特許請求の範囲
第17項記載の方法。 20 電極間に電位を発生させる工程が、各接触
ホイールに一つの電荷を別々に供給する工程を含
む、特許請求の範囲第17項記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US309180 | 1981-10-07 | ||
US06/309,180 US4385967A (en) | 1981-10-07 | 1981-10-07 | Electroplating apparatus and method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58136797A JPS58136797A (ja) | 1983-08-13 |
JPH0222159B2 true JPH0222159B2 (ja) | 1990-05-17 |
Family
ID=23197043
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57176939A Granted JPS58136797A (ja) | 1981-10-07 | 1982-10-07 | 電気めつき装置および方法 |
Country Status (13)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4385967A (ja) |
JP (1) | JPS58136797A (ja) |
AT (1) | AT378009B (ja) |
CA (1) | CA1190888A (ja) |
CH (1) | CH652758A5 (ja) |
DE (1) | DE3236545C2 (ja) |
ES (1) | ES516287A0 (ja) |
FR (1) | FR2514037B1 (ja) |
GB (1) | GB2107357B (ja) |
IE (1) | IE54263B1 (ja) |
IT (1) | IT1196672B (ja) |
NL (1) | NL8203845A (ja) |
SE (1) | SE8205713L (ja) |
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