JP4836435B2 - 半導体メモリ装置およびこの装置のテストパターンデータ発生方法 - Google Patents

半導体メモリ装置およびこの装置のテストパターンデータ発生方法 Download PDF

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Description

本発明は、半導体メモリ装置に係り、特に並列ビットテストの際にテストパターンデータを設定するために使用されるモード設定レジスタコードを少なくすることのできる半導体メモリ装置およびこの装置のテストパターンデータ発生方法に関する。
従来の半導体メモリ装置は、並列ビットテストの際にテストパターンを書込むためにそれぞれのテストパターンに対して互いに異なるモード設定レジスタコード(以下、MRSコードと称する)を設定して入力しなければならない。
そこで、並列ビットテストの際に、従来の半導体メモリ装置が外部のテスタから印加されるMRSコードに応答して内部的に4ビットのテストパターンデータを発生し、内部的に合計16個の4ビットのテストパターンデータを発生することができれば、外部のテスタは並列ビットテストの際に16個のテストパターンデータを発生するために互いに異なった16個のMRSコードを備えなければならない。
従って、従来の半導体メモリ装置は、並列ビットテストのために使われるMRSコードの数が多すぎ、他の用途に使用するためのMRSコードの数が不足するという問題点があった。
本発明の目的は、並列ビットテストの際に、テストパターンデータを設定するために使用されるMRSコードの数を減らすことができる半導体メモリ装置を提供することにある。
本発明の他の目的は、前記目的を達成するための半導体メモリ装置のテストパターンデータ発生方法を提供することにある。
前記目的を達成するための本発明の半導体メモリ装置の第1形態は、モード設定命令に応答して外部から印加されるモード設定レジスタコードにより並列ビットテスト信号およびコードの状態を設定するモード設定レジスタ、ライト命令に応答して外部から印加される少なくとも1ビットのデータを入力して出力するデータ入力回路、および該データ入力回路から出力される少なくとも1ビットのデータに応答して前記並列ビットテスト信号および所定ビットのコードを入力してテストパターンデータを発生するテストパターンデータ発生回路を備えることを特徴とする。
前記テストパターンデータ発生回路は、前記少なくとも1ビットのデータに応答して前記並列ビットテスト信号および前記所定ビットのコードをそのまま出力することによって前記テストパターンデータを発生する転送回路、および前記少なくとも1ビットのデータに応答して前記並列ビットテスト信号および前記所定ビットのコードを反転して出力することによって前記テストパターンデータを発生する反転および転送回路を備えることを特徴とする。
前記目的を達成するための本発明の半導体メモリ装置の第2形態は、モード設定命令に応答して外部から印加されるモード設定レジスタコードにより並列ビットテスト信号を設定するモード設定レジスタ、ライト命令に応答して外部から印加される少なくとも1ビットのデータを入力して出力するデータ入力回路、ライト命令に応答して外部から印加されるアドレスを入力して出力するアドレス入力回路、およびライト命令および前記並列ビットテスト信号に応答して前記ライト命令と共に入力されるアドレスの所定ビットのアドレスおよび前記少なくとも1ビットのデータを組合せてテストパターンデータを発生するテストパターンデータ発生回路を備えることを特徴とする。
前記所定ビットのアドレスは、並列ビットテストの際にアドレスとして使用されないビットのアドレスであることを特徴とし、前記アドレスはコラムアドレスであることを特徴とする。
前記半導体メモリ装置は、前記ライト命令および並列ビットテスト信号に応答して前記所定ビットのアドレスを前記テストパターンデータ発生回路として出力するためのスイッチをさらに備えることを特徴とする。
前記目的を達成するための本発明の半導体メモリ装置の第3形態は、モード設定命令に応答して外部から印加されるモード設定レジスタコードにより並列ビットテスト信号を設定するモード設定レジスタ、ライト命令に応答して外部から印加されるデータを入力して出力するデータ入力回路、アクティブ命令に応答して外部から印加されるロウアドレスを入力して出力し、前記ライト命令に応答して外部から印加されるコラムアドレスを入力して出力するアドレス入力回路、前記ライト命令および前記並列ビットテスト信号に応答して前記アドレス入力回路から出力される所定ビットのコラムアドレスを選択して出力するスイッチ、前記ライト命令および前記並列ビットテスト信号に応答して前記スイッチを介して出力される所定ビットのアドレスおよび前記データ入力回路から出力されるデータのうち、少なくとも1ビットのデータを組合せてテストパターンデータを発生するテストパターンデータ発生回路、前記テストパターンデータまたは前記データ入力回路から出力されるデータを選択して出力するデータ選択回路、および前記アドレス入力回路から出力されるアドレスに応答して選択されたメモリセルに前記データ選択回路から出力されるデータを保存するメモリセルアレイを備えることを特徴とする。
前記所定ビットのアドレスは、並列ビットテストの際にアドレスとして使用されないビットのアドレスであることを特徴とする。
前記他の目的を達成するための本発明の半導体メモリ装置のテストパターンデータ発生方法の第1形態は、モード設定命令に応答してモード設定レジスタコードにより並列ビットテスト信号を発生する段階、前記モード設定命令に応答して前記モード設定レジスタコードにより所定ビットのコードの状態を設定する段階、ライト命令に応答して外部から印加される少なくとも1ビットのデータを入力する段階、および前記少なくとも1ビットのデータに応答して前記並列ビットテスト信号および前記所定ビットのコードを入力してテストパターンデータを発生する段階を備えることを特徴とする。
前記テストパターンデータを発生する段階は、前記少なくとも1ビットのデータに応答して前記並列ビットテスト信号および前記所定ビットのコードをそのまま出力したり、前記少なくとも1ビットのデータに応答して前記並列ビットテスト信号および前記所定ビットのコードを反転して出力することを特徴とする。
前記他の目的を達成するための本発明の半導体メモリ装置のテストパターンデータ発生方法の第2形態は、モード設定命令に応答して外部から印加されるモード設定レジスタコードにより並列ビットテスト信号を設定する段階、ライト命令に応答して外部から印加される少なくとも1ビットのデータおよびアドレスを入力する段階、およびライト命令および前記並列ビットテスト信号に応答して前記アドレスのうち、所定ビットのアドレスおよび前記少なくとも1ビットのデータを組合せてテストパターンデータを発生する段階を備えることを特徴とする。
前記所定ビットのアドレスは、並列ビットテストの際にアドレスとして使用されないビットのアドレスであることを特徴とし、前記アドレスはコラムアドレスであることを特徴とする。
本発明の半導体メモリ装置およびこの装置のテストパターンデータ発生方法は、外部からの少ない数のMRSコードを利用して多数のテストパターンデータを発生することが可能である。
また、本発明は、テストパターンデータを発生するためのMRSコードを別途の設定をすることなく、多様な形態のテストパターンデータを発生することができる。
従って、本発明の半導体メモリ装置およびこの装置のテストパターンデータ発生方法によれば、既存の並列ビットテストのために使用されていたMRSコードを他の用途で使用することができる。
以下、添付した図面を参照しながら本発明の半導体メモリ装置およびこの装置のテストパターンデータ発生方法を説明する。
図1は、本発明に係る半導体メモリ装置の並列ビットテストをするためのテストパターンデータ発生方法を説明する一実施形態の構成を示すブロック図である。命令語デコーダ10、モード設定レジスタ12、テストパターンデータ発生回路14、スイッチ16,20、データ入力バッファ18、アドレス入力バッファ22、アドレスデコーダ24、データマルチプレクサ26、データ入力ドライバ28、およびメモリセルアレイ100で構成されている。
図1で、IN1〜nはアドレス入力端子により印加されるMRSコードまたはアドレスを、COMは命令語入力端子により印加される命令語を、Din1〜mはデータ入力端子により印加されるデータをそれぞれ示す。
以下に、図1に示したブロックのそれぞれの機能を説明する。
命令語デコーダ10は、外部から印加される命令語COMに応答してモード設定命令MRS、アクティブ命令ACT、およびライト命令WRを発生する。モード設定レジスタ12は、モード設定命令MRSに応答して外部のテスタ(図示せず)から印加されるMRSコードを保存し、並列ビットテスト信号PBTX1およびコードCODEを出力する。テストパターンデータ発生回路14は、ライト命令WRおよびバッファされたデータDに応答してモード設定レジスタ12から出力される並列ビットテスト信号PBTX1およびコードCODEに対応するテストパターンデータTPDを発生する。データDは、データ入力バッファ18から出力されるバッファされたデータBDin1〜mのうちの1ビットに該当するデータである。スイッチ16は、並列ビットテスト時には並列ビットテスト信号PBTX1に応答してテストパターンデータTPDを転送し、正常ライト動作時にはテストパターンデータTPDを遮断する。
データ入力バッファ18は、ライト命令WRに応答して外部から入力されるデータDin1〜mをバッファしてバッファされたデータBDin1〜mを発生する。スイッチ20は、並列ビットテスト時に並列ビットテスト信号PBTX1に応答してバッファされたデータBDin1〜mを遮断し、正常ライト動作時にはバッファされたデータBDin1〜mを転送する。データマルチプレクサ26は、並列ビットテスト時にはスイッチ16から転送されるデータを出力し、正常ライト動作時にはスイッチ20から転送されるデータを出力する。データ入力ドライバ28は、データマルチプレクサ26から転送されるデータをメモリセルアレイ100に保存する。アドレス入力バッファ22は、アクティブ命令ACTに応答して入力されるロウアドレスをバッファし、ライト命令WRに応答して入力されるコラムアドレスをバッファしてバッファされたアドレスBADD1〜nを発生する。アドレスデコーダ24は、バッファされたアドレスBADD1〜nをデコーディングしてデコーディングされたアドレスに該当するメモリセルアレイ100のメモリセルを選択する。メモリセルアレイ100は、アドレスデコーダ24によってデコーディングされたアドレスに該当するメモリセルにデータ入力ドライバ28から出力されるデータを保存する。
図2は、図1に示すテストパターンデータ発生回路の実施形態の構成を示すブロック図であり、転送回路40、反転および転送回路42、およびインバータI1で構成されている。
図2で、信号P1BW,P2BW,P4BWは、図1のコードCODEに該当する。
次に図2に示す構成の動作を説明する。
転送回路40は、ライト命令WRおよび「1」のデータDに応答して並列ビットテスト信号PBTX1および信号P1BW,P2BW,P4BWをテストパターンデータTPDで転送する。反転および転送回路42は、ライト命令WRおよび「0」のデータDに応答して並列ビットテスト信号PBTX1および信号P1BW,P2BW,P4BWを反転してテストパターンデータTPDで転送する。
表1は、本発明に係る半導体メモリ装置のテストパターンデータ発生回路14のテストパターンデータ発生方法を説明するものである。
Figure 0004836435
表1に示すように、本発明の半導体メモリ装置のテストパターンデータ発生回路14は、並列ビットテスト信号PBTX1が「1」に設定された状態で、信号P1BW,P2BW,P4BWの状態を「000」、「001」、「010」、「011」、「100」、「101」、「110」、「111」の8個の状態に設定することができる。そして、ライト命令WRと共に「1」のデータが入力されると「1000」、「1001」、「1010」、「1011」、「1100」、「1101」、「1110」、「1111」の8個テストパターンデータTPDを発生し、「0」のデータが入力されると「0111」、「0110」、「0101」、「0100」、「0011」、「0010」、「0001」、「0000」の8個のテストパターンデータTPDを発生する。
従って、本発明の半導体メモリ装置は、8個のMRSコードに対応して合計16個のテストパターンデータTPDを発生することができる。すなわち、従来では16個のMRSコードに対応して合計16個のテストデータTPDを発生したが、本発明では8個のMRSコードに対応して合計16個のテストパターンデータTPDを発生することができる。
図3は、図1に示す本発明の半導体メモリ装置の並列ビットテスト動作を説明するための実施形態の動作タイミング図を示す。半導体メモリ装置がクロック信号CLKに同期して動作し、モード設定レジスタ12から4ビットのコードCODEが発生する場合を仮定し、外部から印加される命令語COMおよび入力信号IN1〜nのタイミングマージンを考慮せずに示したものである。
第1段階T1で、外部からモード設定命令MRSを発生するための命令語COMと共に、並列ビットテスト信号PBTX1を設定するためのMRSコードMSC1が入力されると、命令語デコーダ10はモード設定命令MRSを発生し、モード設定レジスタ12はモード設定命令MRSに応答してMRSコードMSC1を入力して並列ビットテスト信号PBTX1を発生する。そうすると、スイッチ16はオンになり、スイッチ20はオープンになる。
第2段階T2で、外部からモード設定命令MRSを発生するための命令語COMと共に、テストパターンデータTPDを設定するためのMRSコードMSC2が入力されると、命令語デコーダ10はモード設定命令MRSを発生し、モード設定レジスタ12は外部から印加されるMRSコードMSC2を保存し、コードCODEを出力する。
第3段階T3で、外部からアクティブ命令ACTを発生するための命令語COMと共に、ロウアドレスRA1〜nが印加されるとアドレス入力バッファ22がロウアドレスRA1〜nをバッファし、バッファされたロウアドレスBADD1〜nを発生する。アドレスデコーダ24はバッファされたロウアドレスBADD1〜nに該当するメモリセルアレイ100のロウ方向のメモリセルを選択する。
第4段階T4で、外部からライト命令WRを発生するための命令語COMと共に、コラムアドレスCA3〜nおよびデータDin1が印加されるとアドレス入力バッファ22がコラムアドレスCA3〜nをバッファし、バッファされたコラムアドレスBADD3〜nを発生し、データ入力バッファ18はデータDin1をバッファしてデータDを発生する。アドレスデコーダ24は、バッファされたコラムアドレスBADD3〜nに該当するメモリセルアレイ100で所定数のコラム方向のメモリセルを選択する。このとき、並列テスト動作のために下位の2ビットのコラムアドレスが印加されなくなることで、4個のコラム方向のメモリセルが同時に選択される。テストパターンデータ発生回路14は、ライト命令WRおよびデータDに応答して、表1に示すようにモード設定レジスタ12から出力される並列ビットデータ信号PBTX1およびコードCODEに対応するテストパターンデータTPDを発生する。スイッチ16は、並列ビットテスト信号PBTX1に応答してテストパターンデータTPDをデータマルチプレクサ26に出力する。データマルチプレクサ26は、スイッチ16を介して入力されるテストパターンデータTPDを出力し、データ入力ドライバ28はデータマルチプレクサ26から出力されるテストパターンデータをメモリセルアレイ100に入力する。これにより、メモリセルアレイ100の選択されたロウおよびコラム方向のメモリセルにデータ入力ドライバ28から出力されるデータが保存される。
以後、プリチャージ命令PREが印加され、半導体メモリ装置がプリチャージ動作を実行する。そして、アクティブ命令ACTと共にロウアドレスRA1〜nを印加し、ライト命令WRと共にコラムアドレスCA3〜nを印加する動作を、アドレスを変更しながら繰り返し実行して一つのテストパターンデータに対する並列ビットテスト動作を完了させる。
そして、テストパターンデータを変更するためには、第5の段階T5で、第2の段階T2と同様な動作を実行して他のテストパターンデータに該当するMRSコードを入力しなければならない。そして、第6の段階T6で、第3の段階T3と同様な動作を実行し、第7の段階T7で、第4の段階T4と同様な動作を実行することによって、他のテストパターンデータに対する並列ビットテスト動作が可能である。
すなわち、図1に示す本発明に係る半導体メモリ装置の並列ビットテスト時のテストパターンデータ発生方法は、テスト中にテストパターンデータを変更するためにはモード設定命令およびMRSコードを印加する動作を必ず実行しなければならない。
従って、図1に示す方法は少ない数のMRSコードを使用して多様なテストパターンデータを発生することはできるが、テスト時間が長くかかるという弱点がある。
図4は、本発明に係る半導体メモリ装置の並列ビットテストのためのテストパターンデータ発生方法を説明するための他の実施形態の構成を示すブロック図であり、図1に示すブロック図にスイッチ50を追加して構成されている。
次に、図4に示すブロックのそれぞれの機能を説明する。
図4で、図1に示すブロックと同一の参照番号を有するほとんどのブロックは、図1に示すブロックと同様な機能を実行するため、これらのブロックに対する説明は省略する。しかしながら、モード設定レジスタ12およびテストパターンデータ発生回路14は、図1に示すブロックと同一の参照番号を有するが、機能上に多少差がある。それで、ここではこれらのブロックの機能に関してだけ説明することにする。
モード設定レジスタ12は、モード設定命令MRSに応答して並列ビットテスト信号PBTX1を発生するためのMRSコードを保存する。テストパターンデータ発生回路14は、ライト命令WRおよびデータDに応答して並列ビットテスト信号PBTX1およびコードCODEに対応するテストパターンデータTPDを発生する。スイッチ50は、ライト命令WRおよび並列ビットテスト信号PBTX1に応答してバッファされたアドレスBADD1,2をアドレスデコーダ24に出力したり、テストパターンデータ発生回路14に出力する。
図4に示す本発明の半導体メモリ装置は、並列ビットテスト時のライト命令印加時に使用されない所定ビットのコラムアドレスにMRSコードを入力する。
表2は、図4に示す半導体メモリ装置のテストパターンデータ発生回路14のテストパターンデータ発生方法を説明するためのものである。
Figure 0004836435
表2に示すように、本発明の半導体メモリ装置のテストパターンデータ発生回路14は、並列ビットテスト信号PBTX1が「1」に設定された状態で、スイッチ50を介して出力される2ビットアドレスBADD1,BADD2とデータDとを組合せて互いに異なった8個のテストパターンデータを発生する。すなわち、並列ビットテスト信号PBTX1が「1」に設定された状態で、アドレスBADD1,BADD2およびデータDが「001」、「000」、「011」、「010」、「101」、「100」、「111」、「110」であれば、「0000」、「1111」、「0101」、「1010」、「0011」、「1100」、「0110」、「1001」のテストパターンデータTPDを発生する。
従って、本発明の半導体メモリ装置は、テストパターンデータを設定するためのMRSコードなしで合計8個のテストパターンデータTPDを発生することができる。すなわち、図1に示す本発明の半導体メモリ装置は、8個のMRSコードに対応して合計16個のテストパターンデータTPDを発生したが、図4の装置はテスト時に使用されないコラムアドレスを用いて合計8個のテストパターンデータTPDを発生することが可能である。
図5は、図4に示す本発明の半導体メモリ装置の並列ビットテスト動作を説明するための実施形態の動作タイミング図を示すものである。図3に示すタイミング図と同様に、半導体メモリ装置がクロック信号CLKに同期し動作する。なお、外部から印加される命令語COMおよび入力信号IN1〜nのタイミングマージンを考慮せずに示したものである。
第1の段階T11の動作は、図3に示した第1の段階T1の動作と同様であるため省略する。
第2の段階T12の動作は、図3に示した第3の段階T3の動作と同様であるため省略する。
第3の段階T13で、外部からライト命令WRを発生するための命令語COMと共に、コラムアドレスCA1〜nおよびデータDin1が印加されると、アドレス入力バッファ22がコラムアドレスCA1〜nをバッファし、バッファされたコラムアドレスBADD1〜nを発生し、データ入力バッファ18はデータDin1をバッファしてデータDを発生する。このとき、コラムアドレスCA1〜n中の2ビットのコラムアドレスCA1,2は、テストパターンデータTPDを発生するために使用される。スイッチ50は、ライト命令WRおよび並列ビットテスト信号PBTX1に応答してバッファされたコラムアドレスBADD1,2をテストパターンデータ発生回路14に出力する。アドレスデコーダ24は、バッファされたコラムアドレスBADD3〜nに該当するメモリセルアレイ100の4個のコラム方向のメモリセルを選択する。テストパターンデータ発生回路14は、ライト命令WRおよび並列ビットテスト信号PBTX1に応答してスイッチ50を介して出力される、バッファされたコラムアドレスBADD1,2およびデータDに該当するテストパターンデータTPDを出力する。
即ち、表2に示すようにコラムアドレスBADD1,2およびデータDに該当するテストパターンデータTPDを発生する。スイッチ16は、並列ビットテスト信号PBTX1に応答してテストパターンデータTPDをデータマルチプレクサ26に出力する。データマルチプレクサ26は、スイッチ16を介して入力されるテストパターンデータTPDを出力し、データ入力ドライバ28はデータマルチプレクサ26から出力されるテストパターンデータをメモリセルアレイ100に入力する。これにより、メモリセルアレイ100の選択されたロウおよびコラム方向のメモリセルにデータ入力ドライバ28から出力されるデータが保存される。
その後、プリチャージ命令PREが印加され、半導体メモリ装置がプリチャージ動作を実行する。そして、アクティブ命令ACTと共にロウアドレスRA1〜nを印加し、ライト命令WRと共にコラムアドレスCA3〜nを印加する動作を、アドレスを変更しながら繰り返し実行して一つのテストパターンデータに対する並列ビットテスト動作を完了する。このとき、ライト命令WRと共に印加されるコラムアドレスCA1,2は固定される。
そして、テストパターンデータを変更するためには、第4の段階T14で、第2の段階T12と同様な動作を実行し、第5の段階T15で、コラムアドレスCA1,2を変更して印加し、第3の段階T13と同様な動作を実行することによって他のテストパターンデータに対する並列ビットテスト動作が可能である。
すなわち、図4に示す本発明に係る半導体メモリ装置の並列ビットテスト時のテストパターンデータ発生方法は、テストパターンデータを変更するためにモード設定命令およびMRSコードを印加する動作を実施する必要がなく、ただライト命令と共に印加される使用されないコラムアドレスのデータを単純に変更すればよい。
従って、図4の方法はテストパターンデータのためのMRSコードを設定する必要がなくなる。また、モード設定命令と共にテストパターンデータに該当するMRSコードを入力する動作が省略されることによってテスト時間が短縮される。
上述した実施形態では、並列ビットテストのために2ビットのコラムアドレスが使用されない場合を例に挙げて説明したが、3ビット以上のコラムアドレスが使用されない場合にも本発明の発明を適用することが可能である。また、1ビットのデータが印加される場合を例に挙げて説明したが、2ビット以上のデータが印加される場合にも本発明を適用することができる。
また、上述した実施形態では、ロウおよびコラムアドレスがアクティブ命令とライト命令とに応答して順次に入力される半導体メモリ装置を用いて本発明の方法を説明したが、ロウおよびコラムアドレスがライト命令に応答して同時に入力される半導体メモリ装置の場合にも本発明の方法を適用することができる。
上述では本発明の好ましい実施形態を参照して説明したが、当該技術分野の熟練された当業者は、添付の特許請求の範囲に記載された本発明の思想および領域から逸脱されない範囲内で本発明を多様に修正および変更ができることを理解できるであろう。
本発明に係る半導体メモリ装置の並列ビットテストをするためのテストパターン発生方法を説明する一実施形態の構成を示すブロック図である。 図1に示すテストパターンデータ発生回路の実施形態の構成を示すブロック図である。 図1に示す本発明の半導体メモリ装置の並列ビットテスト動作を説明するための実施形態の動作タイミング図である。 本発明に係る半導体メモリ装置の並列ビットテストをするためのテストパターンデータ発生方法を説明する他の実施形態の構成を示すブロック図である。 図4に示す本発明の半導体メモリ装置の並列ビットテスト動作を説明するための実施形態の動作タイミング図である。
符号の説明
10:命令語デコーダ
12:モード設定レジスタ
14:テストパターンデータ発生回路
16:スイッチ
18:データ入力バッファ
20:スイッチ
22:アドレス入力バッファ
24:アドレスデコーダ
26:データマルチプレクサ
28:データ入力ドライブ
40:転送回路
42:反転および転送回路
50:スイッチ
100:メモリセルアレイ

Claims (11)

  1. モード設定命令に応答して外部から印加されるモード設定レジスタコードにより並列ビットテスト信号を設定するモード設定レジスタと、
    ライト命令に応答して外部から印加される、少なくとも1ビットのデータを入力して出力するデータ入力回路と、
    ライト命令に応答して外部から印加されるアドレスを入力して出力するアドレス入力回路と、
    前記ライト命令および前記並列ビットテスト信号に応答して前記ライト命令と共に入力される前記アドレスのうち一部の所定ビットアドレスおよび前記少なくとも1ビットのデータを組合せてテストパターンデータを発生するテストパターンデータ発生回路と、を備え、
    前記テストパターンデータは、並列ビットテスト動作中、前記アドレスのうち前記所定ビットアドレス以外のアドレスによって選択されたメモリセル内に格納されることを特徴とする半導体メモリ装置。
  2. 前記テストパターンデータ発生回路は、
    前記少なくとも1ビットのデータに応答して前記並列ビットテスト信号および前記所定ビットアドレスをそのまま出力することによって前記テストパターンデータを発生する転送回路と、
    前記少なくとも1ビットのデータに応答して前記並列ビットテスト信号および前記所定ビットアドレスを反転して出力することによって前記テストパターンデータを発生する反転および転送回路と、
    を備えることを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ装置。
  3. 前記所定ビットアドレスは、
    並列ビットテスト時に、アドレスとしては使用されないビットのアドレスであることを特徴とする請求項に記載の半導体メモリ装置。
  4. 前記アドレスは、
    コラムアドレスであることを特徴とする請求項に記載の半導体メモリ装置。
  5. 前記半導体メモリ装置は、
    前記ライト命令および並列ビットテスト信号に応答して前記所定ビットアドレスを前記テストパターンデータ発生回路に出力するためのスイッチをさらに備えることを特徴とする請求項に記載の半導体メモリ装置。
  6. モード設定命令に応答して外部から印加されるモード設定レジスタコードにより並列ビットテスト信号を設定するモード設定レジスタと、
    ライト命令に応答して外部から印加されるデータを入力して出力するデータ入力回路と、
    アクティブ命令に応答して外部から印加されるロウアドレスを入力して出力し、前記ライト命令に応答して外部から印加されるコラムアドレスを入力して出力するアドレス入力回路と、
    前記アドレス入力回路に結合され、前記ライト命令および前記並列ビットテスト信号に応答して前記アドレス入力回路から前記コラムアドレスのうち一部の所定ビットアドレスを選択して出力するスイッチと、
    前記スイッチと前記データ入力回路とに結合され前記ライト命令および前記並列ビットテスト信号に応答して、前記所定ビットアドレスと前記データ入力回路から出力されるデータのうち少なくとも1ビットのデータを組合せてテストパターンデータを発生するテストパターンデータ発生回路と、
    前記テストパターンデータ、または前記データ入力回路から出力されるデータのいずれかを選択して出力するデータ選択回路と、
    前記アドレス入力回路から出力されるアドレスのうち前記所定ビットアドレス以外のアドレスに応答して選択されたメモリセルに前記データ選択回路から出力されるデータを保存するメモリセルアレイと、
    を備えることを特徴とする半導体メモリ装置。
  7. 前記所定ビットアドレスは、
    並列ビットテスト時に、アドレスとして使用されないビットのアドレスであることを特徴とする請求項に記載の半導体メモリ装置。
  8. モード設定命令に応答して外部から印加されるモード設定レジスタコードにより並列ビットテスト信号を設定する段階と、
    ライト命令に応答して外部から印加される、少なくとも1ビットのデータおよびアドレスを入力する段階と、
    ライト命令および前記並列ビットテスト信号に応答して、前記アドレスのうち一部の所定ビットアドレスおよび前記少なくとも1ビットのデータを組合せてテストパターンデータを発生する段階と、を備え、
    前記テストパターンデータは、並列ビットテスト動作中、前記アドレスのうち前記所定ビットアドレス以外のアドレスによって選択されたメモリセル内に格納されることを特徴とする半導体メモリ装置のテストパターンデータ発生方法。
  9. 前記テストパターンデータを発生する段階は、
    前記少なくとも1ビットのデータに応答して、前記並列ビットテスト信号および前記所定ビットアドレスをそのまま出力したり、
    前記少なくとも1ビットのデータに応答して、前記並列ビットテスト信号および前記所定ビットアドレスを反転して出力することを特徴とする請求項に記載の半導体メモリ装置のテストパターンデータ発生方法。
  10. 前記所定ビットアドレスは、
    並列ビットテスト時に、アドレスとして使用されないビットのアドレスであることを特徴とする請求項に記載の半導体メモリ装置のテストパターンデータ発生方法。
  11. 前記アドレスは、
    コラムアドレスであることを特徴とする請求項に記載の半導体メモリ装置のテストパターンデータ発生方法。
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