JP4833028B2 - 波動歯車減速機を備えたアクチュエータ - Google Patents

Description

本発明は、波動歯車減速機が内蔵された軸長の短いアクチュエータに関するものである。

波動歯車減速機は、環状の剛性内歯歯車と、この内側に配置した可撓性外歯歯車と、この可撓性外歯歯車を半径方向に撓めて剛性内歯歯車に噛み合わせ、これら両歯車の噛み合い位置を周方向に移動させる波動発生器とを備えている。この波動歯車減速機を備えたアクチュエータでは、モータ回転軸が波動発生器に同軸状態に連結され、剛性内歯歯車あるいは可撓性外歯歯車から、両歯車の歯数差に応じて大幅に減速された回転が出力される。

この構成のアクチュエータでは、下記の特許文献１に開示されているように、モータの先端側に波動歯車減速機が同軸状に配置され、モータの後端から突出しているモータ回転軸の後端部分に磁気式の位置検出器が取り付けられた構成となっている。しかし、波動歯車減速機、モータおよび位置検出器が、アクチュエータの軸線方向に沿って同軸状態で配列された構成は、アクチュエータの偏平化には不向きである。

これに対して、特許文献２に開示のアクチュエータにおいては、磁気エンコーダを、波動歯車減速機の内側に位置するモータ回転軸の部位に取り付ける構成が提案されている。波動歯車減速機の内側空間を磁気エンコーダの配置空間として利用することにより、磁気式エンコーダの軸長分だけアクチュエータの全長を短くできる。
特開２００６−１４９１３９号公報 特開２００５−３１２２２３号公報

ここで、磁気式エンコーダの角度検出部（磁気センサ）の検出信号を処理するためのセンサ信号変換回路が搭載されている回路基板は、一般にモータの後端側に配置される。磁気エンコーダの角度検出部を波動歯車減速機の内側に組み込む場合には、角度検出部と回路基板の間を配線によって接続する必要がある。

本発明の課題は、磁気エンコーダの角度検出部が波動歯車減速機の内側に組み込まれている構成のアクチュエータにおいて、角度検出部とモータ後端側に配置されている回路基板との間の配線接続を適切に行うようにすることにある。

上記の課題を解決するために、本発明の波動歯車減速機を備えたアクチュエータは、
モータと、
このモータの先端側に同軸状態に連結した波動歯車減速機と、
モータ回転軸の回転位置を検出するための位置検出器とを有し、
前記波動歯車装置は、環状の剛性内歯歯車と、円筒状胴部を備えた可撓性外歯歯車と、波動発生器とを備えており、
前記モータ回転軸は、前記筒状胴部の内側を通って前記波動発生器に同軸状態に連結固定されており、
前記位置検出器は、前記モータ回転軸に取り付けたセンサマグネットおよび当該センサマグネットに対峙させた磁気センサを具備した角度検出部と、前記磁気センサからの検出信号を処理するためのセンサ信号変換回路とを備え、前記角度検出部は前記モータ回転軸における前記筒状胴部の内側に位置する軸部分に配置されており、前記センサ信号変換回路は、前記モータの後端側に配置されており、
前記モータは、その内部を、前記角度検出部の側から前記センサ信号変換回路の側に貫通して延びる配線穴を備えており、
前記角度検出部および前記センサ信号変換回路は、前記配線穴に通した配線によって電気的に接続されていることを特徴としている。

本発明の波動歯車減速機を備えたアクチュエータでは、モータの内部に形成した配線穴を通して引き回した配線を介して、位置検出器の磁気センサの検出信号をモータ後端側に配置したセンサ信号変換回路に供給している。このように、配線が、アクチュエータの外部に引き出されることなく、モータを挟み波動歯車減速機とは反対側に配置されているセンサ信号変換回路に接続されている。

磁気センサから引き出した配線を波動歯車減速機から外部に引き出してモータの後側に引き回す場合には、アクチュエータの取り付け工事などの際に、引き出されている配線が機械的損傷を受けやすい。また、ホール素子などの磁気センサから出力される検出信号は比較的微弱な電気信号であるので、信号線を引き伸ばすと、電磁ノイズの影響を受けやすくなるという弊害が発生する。本発明では、配線を外部に引き出してモータの外側を迂回させてその後側まで引き回す必要がないので、配線が機械的損傷を受けることがなく、また、配線が最短距離となるように引き出すことができるので電磁ノイズの影響も抑制できる。

ここで、モータのモータ回転子は、筒状のモータフレームの内周面に取り付けた円環状の固定子コアと、この固定子コアからモータ中心に向けて突出している複数の突極部と、各突極部に巻き付けられている固定子コイルとを備えた構成となっている。固定子コアの外周側部分における各突極部の中心線上の部位は、モータの磁束が集中しない部分であるので、適切な大きさの貫通穴を開けても磁気的飽和を起こすことがない。したがって、この部位に、モータ中心軸線に平行に配線穴を形成しても、磁気特性に悪影響が及ぶことがない。また、このようにすれば、モータ外径を大きくすることなく配線を行うことができる。

この代わりに、固定子コアの外周面における各突極部の中心線上の部位に、モータ中心軸線に平行な方向に延びる溝を形成し、モータフレームの内周面と各溝によって、各配線穴を形成してもよい。

次に、前記センサマグネットを、前記モータ軸の外周面に同軸状態に固定した２極着磁された円環状のものとし、前記磁気センサを、このセンサマグネットの外周面に対して、円周方向に９０度離れた位置において一定の間隔で対峙している第１および第２ホール素子とすることができる。また、前記センサ信号変換回路を、前記第１および第２ホール素子から出力されるアナログ信号をデジタル信号に変換するＡＤコンバータと、得られたデジタル信号に基づき前記モータ回転軸の回転角度を演算する演算部と、得られた回転角度をシリアルデータに変換するデータ変換部とを備えた構成とすることができる。

この構成の位置検出器では、第１および第２ホール素子から、モータ軸１回転につき１周期の９０度位相のずれた２相の正弦波状の信号が出力され、これらの信号からモータ軸の絶対値角度を求めることができる。

また、各ホール素子で検出したアナログ信号をＡＤコンバータを介してデジタル信号として取り込み、これを演算処理して角度を算出し、算出結果をシリアルデータに変換しているので、アクチュエータの駆動制御を司る上位の装置への信号線の本数を少なくすることができる。例えば、電源用リード線２本、および、シリアルデータ伝送用の２本の差動信号線の合計４本の配線のみでよく、省線化を達成できる。

なお、センサ信号変換回路に、前記第１および第２ホール素子により検出した前記モータ回転軸の回転角度位置と、当該モータ回転軸の実際の回転角度位置との差を補正するための角度誤差補正データを記憶保持している角度誤差データ記憶部を配置しておけば、上位の装置が誤差補正データを持つ必要が無い。

次に、本発明のアクチュエータにおいて、前記位置検出器は、前記モータ回転軸の外周面に同軸状態に固定した円筒状のセンサマグネット保持部材と、このセンサマグネット保持部材に同軸状態に固定されている多極着磁された円環状の前記センサマグネットと、このセンサマグネットの外周面に対して、円周方向に所定の角度離れた位置において一定の間隔で対峙している複数の前記磁気センサとを備え、前記波動歯車減速機の前記波動発生器が、前記センサマグネット保持部材を介して、同軸状態にモータ回転軸に結合されていることを特徴としている。

モータ回転軸に波動発生器を直接に締結固定する場合には、これらの間の締結固定強度を確保するために中空型の波動発生器の中空径を小さくするか、あるいは、締結固定用の別部材を取り付ける必要がある。本発明によれば、波動発生器をセンサマグネット保持部材を利用してモータ回転軸に締結固定しているので、波動発生器の中空径を小さくすることなく、また、部品点数を増やすことなく、十分な締結強度で波動発生器をモータ軸に締結固定することができる。

一方、本発明のアクチュエータでは、前記モータ回転軸にブレーキ力を付与するために、ヨークおよび励磁コイルからなる電磁石部と、当該電磁石部によって吸引可能なアーマチュアを備えた電磁ブレーキを備えており、前記電磁石部は、その外周側の部位が前記モータの筒状のモータフレームにおける後端に締結固定され、その内周側の部位が軸受を介して、前記モータ回転軸の後端側の軸部分を回転自在の状態で支持していることを特徴としている。

一般に、モータ固定子に対してモータ回転子を回転自在に支持するために、円筒状のモータフレームの両端にはエンドブラケットが配置され、これらが軸受を介して、モータ回転子の両端部分を回転自在に支持するようになっている。本発明では、モータ後端側のエンドブラケットの機能を電磁ブレーキの電磁石部に持たせるようにしている。これにより、アクチュエータの軸長を短くできる。

本発明では、位置検出器の角度検出部が波動歯車減速機の内側に組み込まれている構成のアクチュエータにおいて、モータの内部に形成した配線穴を通して引き回した配線を介して、角度検出部の磁気センサからの検出信号をモータ後端側に配置したセンサ信号変換回路に伝送している。したがって、配線を外部に引き出してモータの外側を迂回させてその後側まで引き回す必要がないので、配線が機械的損傷を受けることがなく、また、配線を最短距離となるように引き出すことができるので電磁ノイズの影響も抑制できる。

以下に、図面を参照して、本発明を適用した波動歯車減速機を備えたアクチュエータの実施の形態を説明する。

図１は本実施の形態に係る波動歯車減速機を備えたアクチュエータを示す縦断面図である。アクチュエータ１は、その中心を軸線１ａの方向に円形断面の中空部２が貫通している中空型のものであり、モータ３と、この前側に同軸状に配置されている波動歯車減速機５と、この前側に同軸状に配置されている円盤状の出力軸７を有している。この出力軸７は、中空部２を規定している中空軸８の前端側の外周面部分に同軸状に固定されている。また、モータ３の後側には電磁ブレーキ９が配置されている。

モータ３は、中空型のモータ回転軸３１と、このモータ回転軸３１に一体形成されているモータ回転子３２と、このモータ回転子３２を同軸状態で取り囲んでいるモータ固定子３３と、モータ固定子３３が取り付けられているモータフレーム３４とを備えている。モータフレーム３４は、円筒フレーム３５と、この前端に同軸状に固定した前側エンドブラケット３６と、円筒フレーム３５の後端に同軸状に固定した後側エンドブラケット３７とを備えている。円筒フレーム３５および前側エンドブラケット３６の内周面部分にモータ固定子３３が装着固定されている。前側および後側のエンドブラケット３６、３７の内周端とモータ回転軸３１の間には軸受４５、４６が装着され、これらを介して、モータ回転子３２がモータ固定子３３に対して回転自在の状態で支持されている。

モータ３の前側に配置されている波動歯車減速機５は、円環状の剛性内歯歯車５１と、この内側に同軸状に配置されている可撓性外歯歯車５２と、この内側に同軸状にはめ込まれている楕円形輪郭の波動発生器５３とを備えている。剛性内歯歯車５１と可撓性外歯歯車５２は、クロスローラベアリング５４によって相対回転自在である。

波動発生器５３は、モータ回転軸３１の先端側の外周面部分に固定されており、モータ３から高速回転が入力される。可撓性外歯歯車５２はシルクハット形状をしており、先端側の外周面部分に外歯５２ａが形成されている円筒状胴部５２ｂと、この円筒状胴部５２ｂの後端から外方に直角に広がっているダイヤフラム５２ｃと、このダイヤフラム５２ｃの外周縁に連続している円環状ボス５２ｄとを備えている。円環状ボス５２ｄは、モータフレーム３４における前側エンドブラケット３６の外周端部分３６ｂと、この前方に位置するクロスローラベアリング５４の外輪５４ａとの間に位置し、これらの部材に挟まれた状態で、これらの部材に締結固定されている。剛性内歯歯車５１はクロスローラベアリング５４の内輪５４ｂと、この前方に位置する出力軸７の外周縁部分７ａとの間に位置し、これらの部材に挟まれた状態で、これらの部材に締結固定されている。

ここで、モータ３には、そのモータ回転子３２の回転位置を検出するための磁気エンコーダが取り付けられている。磁気エンコーダは、ホール素子１１およびセンサマグネット１２からなる角度検出部１３と、この角度検出部１３から得られる検出信号を処理するためのセンサ信号変換回路が搭載されているセンサ信号変換回路基板１４とを備えている。角度検出部１３は、モータ３の前側に位置する波動歯車減速機５の内側に配置されており、センサ信号変換回路基板１４はモータ３の後側の電磁ブレーキ９の後側に配置されている。モータ３の前後に配置されている角度検出部１３とセンサ信号変換回路基板１４の間は、モータ３の内部に配置したセンサリード線によって接続されている。

図２（ａ）は磁気エンコーダの角度検出部１３の構成を示す説明図であり、図２（ｂ）は磁気エンコーダの角度検出部１３とセンサ信号変換回路基板１４の配線状態を示す説明図である。図１および図２を参照して説明すると、磁気エンコーダの角度検出部１３において、センサマグネット１２は２極着磁された円環状のものであり、円環状のセンサマグネット保持部材１５の外周面に固定されている。センサマグネット保持部材１５はモータ回転軸３１における前側エンドブラケット３６と波動発生器５３の間の部位の外周面部分に同軸状に締結固定されている。

センサマグネット１２の外周面にはホール素子１１が一定のギャップで対峙している。本例では、ホール素子１１として円周方向に９０度の角度間隔で配置した第１ホール素子１１ａおよび第２ホール素子１１ｂを備えている。これら第１および第２ホール素子１１ａ、１１ｂは、前側エンドブラケット３６の前端面に取り付けたホール素子支持板１６ａ、１６ｂによってそれぞれ保持されている。

ここで、第１および第２ホール素子１１ａ、１１ｂとセンサ信号変換回路基板１４との間は、複数本のセンサリード線１７によって接続されている。各ホール素子１１ａ、１１ｂから引き出されたセンサリード線１７は、前側エンドブラケット３６の前端面と、クロスローラベアリング５４の内輪５４ｂの後端面との間を、半径方向の外方に引き出されている。前側エンドブラケット３６の外周側部分、モータ固定子３３、円筒フレーム３５および後側エンドブラケット３７の外周側部分には、それぞれ、軸線１ａの方向に貫通している複数本の配線穴３６ａ、３３ａ、３５ａ、３７ａが形成されている。センサリード線１７はこれらの配線穴３６ａ、３３ａ、３５ａ、３７ａを通ってモータ３の後側に引き出され、センサ信号変換回路基板１４に接続されている。

ホール素子１１（１１ａ、１１ｂ）から引き出したセンサリード線１７を波動歯車減速機５から外部に引き出してモータ３の後側に引き回す場合には、アクチュエータ１の取り付け工事などの際に、引き出されているセンサリード線１７が機械的損傷を受けやすい。また、ホール素子１１から出力される検出信号は比較的微弱な電気信号であるので、センサリード線１７を引き伸ばすと、電磁ノイズの影響を受けやすくなるという弊害が発生する。本例では、センサリード線１７を外部に引き出してモータ３の外側を迂回させてその後側のセンサ信号変換回路基板１４まで引き回す必要がないので、センサリード線１７が機械的損傷を受けることがなく、また、その配線長が最短距離となるように引き出しているので、電磁ノイズの影響も抑制できる。

図３（ａ）は配線穴３３ａが形成されているモータ固定子３３を示す部分断面図である。モータ固定子３３は、モータフレーム３４の内周面に沿って円環状に配列されている分割コア３８から構成されている固定子コア３９と、各分割コア３８の内周面からモータ中心に向けて突出している突極部３８ａに巻き付けられている各相の固定子コイル４０とを備えている。各分割コア３８における外周側部分の中心線３８ｂ上の部位に、円形断面の配線穴３３ａがモータ軸線１ａに平行な方向に貫通している。

固定子コア３９の外周側部分における各突極部３８ａの中心線３８ｂ上の部位は、モータの磁束が集中しない部分であるので、適切な大きさの貫通穴を開けても磁気的飽和を起こすことがない。したがって、この部位に、モータ中心軸線に平行に配線穴３３ａを形成しても、磁気特性に悪影響を与えることがない。また、このようにすれば、モータ外径を大きくすることなく配線することができる。

なお、前側エンドブラケット３６、円筒フレーム３５、後側エンドブラケット３７に形成した配線穴３６ａ、３５ａ、３７ａは、それぞれ、モータ固定子３３に形成した各配線穴３３ａに対応した位置に形成されている。

ここで、モータ固定子３３に形成する配線穴としては、図３（ｂ）に示す構成とすることもできる。この図においては、各分割コア３８における中心線３８ｂ上に位置する外周面の部位に略Ｖ形の溝３８ｃを形成してある。この溝３８ｃと、モータフレーム３４の内周面部分３４ａとの間に、配線穴３３Ａが形成されている。

次に、図４は本例の磁気エンコーダの制御系を示す概略ブロック図である。センサ信号変換回路基板１４に搭載されているセンサ信号変換回路２１は、ＡＤコンバータ２２、演算部２３、データ変換部２４および角度誤差データ記憶部２５を備えている。各ホール素子１１ａ、１１ｂからは検出信号として、位相が９０度異なる正弦波状のアナログ信号ａ、ｂが出力され、これらのアナログ信号ａ、ｂがＡＤコンバータ２２に入力されてデジタル信号に変換されて内部に取り込まれる。デジタル信号に基づき、演算部２３はモータ回転軸３１の回転角度位置を演算する。

角度誤差データ記憶部２５には、ホール素子１１ａ、１１ｂによって検出される回転角度位置と、モータ回転軸３１の実際の回転角度位置との差を表す角度誤差補正データが、一定の角度単位毎に記憶されている。演算部２３では、演算された角度を角度誤差補正データによって補正している。演算部２３で算出された検出角度は、データ変換部２４においてシルアルデータに変換され、アクチュエータ１の駆動制御を司る上位の駆動制御装置（図示せず）の側に伝送される。

このように、検出角度をシリアルデータに変換して上位側に伝送することにより、センサ信号変換回路２１と上位側の装置との間の配線数を、電源ライン２本と、シリアルデータ伝送用の差動信号線２本の合計４本にすることができる。このように省線化を図ることにより、配線作業が簡単になる。また、本例のセンサ信号変換回路２１は誤差補正データを保持しているので、上位の装置の側において検出誤差を補正するための誤差補正データを持つ必要がない。

（波動発生器のモータ回転軸への取り付け構造）
再び、図１を参照して説明すると、本例の波動歯車減速機５の波動発生器５３は、その後側に配置されているセンサマグネット保持部材１５を介してモータ回転軸３１に取り付けられている。波動発生器５３は、その後側端面５３ａがセンサマグネット保持部材１５の前側端面１５ａに前側から当接しており、円周方向に所定角度間隔で取り付けた締結ボルト５５によって、センサマグネット保持部材１５に対して同軸状に締結固定されている。

波動発生器５３をモータ回転軸３１に直接に結合する場合には、それら結合部分の肉厚を厚くするために、それらの中空部の内径を小さくする必要がある。本例ではセンサマグネット保持部材１５を利用して波動発生器５４をモータ回転軸３１に結合しているので、その内径寸法を大きくとることができる。また、これらを結合するために別部材を必要としないので、部品点数も増加しないという利点がある。

（電磁ブレーキ）
次に、モータ３の後側に配置されている電磁ブレーキ９について説明する。電磁ブレーキ９は、ヨークおよび励磁コイルからなる電磁石部９１を備え、この電磁石部９１がモータ３の後側エンドブラケット３７に一体形成されている。換言すると、電磁ブレーキ９の電磁石部９１がモータ３の後側エンドブラケット３７として機能している。電磁石部９１の後側には、摩擦板９２を挟み、アーマチュアディスク９３が配置されている。摩擦板９２はモータ固定子３３の側に取り付けられ、アーマチュアディスク９３はモータ回転子３２の側に取り付けられている。例えば、不図示のばね部材によって常時、軸線方向に押し付けられてブレーキが作用した状態にあり、電磁ブレーキ９を励磁すると、これらがばね部材のばね力に逆らって離れブレーキが解除されるようになっている。

このように、本例では、モータ回転子３２の後側の部位を回転自在の状態で支持している後側エンドブラケット３７を、電磁ブレーキ９の電磁石部９１に兼用している。したがって、これら双方の部材を軸線１ａの方向に配置する場合に比べて、アクチュエータ１の扁平化に有利である。

本発明を適用したアクチュエータの縦断面図である。 （ａ）は磁気エンコーダの角度検出部の構成を示す説明図であり、（ｂ）は磁気エンコーダの角度検出部とセンサ信号変換回路の配線状態を示す説明図である。 （ａ）は配線穴が形成されているモータ固定子を示す部分断面図であり、（ｂ）は配線穴の別の例を示す部分断面図である。 磁気エンコーダの制御系を示す概略ブロック図である。

符号の説明

１ アクチュエータ
１ａ 軸線
２ 中空部
３ モータ
５ 波動歯車減速機
７ 出力軸
８ 中空軸
９ 電磁ブレーキ
１１、１１ａ、１１ｂ ホール素子
１２ センサマグネット
１３ 角度検出部
１４ センサ信号変換回路基板
１５ センサマグネット保持部材
１５ａ 前側端面
１６ａ、１６ｂ ホール素子支持板
１７ センサリード線
２１ センサ信号変換回路
２２ ＡＤコンバータ
２３ 演算部
２４ データ変換部
２５ 角度誤差補正データ記憶部
３１ モータ回転軸
３２ モータ回転子
３３ モータ固定子
３３ａ、３５ａ、３６ａ、３７ａ 配線穴
３３Ａ 配線穴
３４ モータフレーム
３５ 円筒フレーム
３６ 前側エンドブラケット
３７ 後側エンドブラケット
３８ 分割コア
３８ａ 突極部
３８ｂ 中心線
３８ｃ 溝
３９ 固定子コア
４０ 固定子コイル
４５、４６ 軸受
５１ 剛性内歯歯車
５２ 可撓性外歯歯車
５２ｂ 円筒状胴部
５３ 波動発生器
５３ａ 後側端面
５４ クロスローラベアリング
５４ａ 外輪
５４ｂ 内輪
５５ 締結ボルト
９１ 電磁石部
９２ 摩擦板
９３ アーマチュアディスク

Claims (7)

1. モータと、
   このモータの先端側に同軸状態に連結した波動歯車減速機と、
   モータ回転軸の回転位置を検出するための位置検出器とを有し、
   前記波動歯車装置は、環状の剛性内歯歯車と、円筒状胴部を備えた可撓性外歯歯車と、波動発生器とを備えており、
   前記モータ回転軸は、前記筒状胴部の内側を通って前記波動発生器に同軸状態に連結固定されており、
   前記位置検出器は、前記モータ回転軸に取り付けたセンサマグネットおよび当該センサマグネットに対峙させた磁気センサを具備した角度検出部と、前記磁気センサからの検出信号を処理するためのセンサ信号変換回路とを備え、前記角度検出部は前記モータ回転軸における前記筒状胴部の内側に位置する軸部分に配置されており、前記センサ信号変換回路は、前記モータの後端側に配置されており、
   前記モータは、その内部を、前記角度検出部の側から前記センサ信号変換回路の側に貫通して延びる配線穴を備えており、
   前記角度検出部および前記センサ信号変換回路は、前記配線穴に通した配線によって電気的に接続されていることを特徴とする波動歯車減速機を備えたアクチュエータ。
2. 請求項１において、
   前記モータは、筒状のモータフレームと、このモータフレームの内周面に取り付けた円環状の固定子コアと、この固定子コアからモータ中心に向けて突出している複数の突極部と、各突極部に巻き付けられている固定子コイルとを備え、
   前記固定子コアの外周側部分における各突極部の中心線上の部位には、前記配線穴が前記モータ中心軸線に平行な方向に貫通していることを特徴とする波動歯車減速機を備えたアクチュエータ。
3. 請求項１において、
   前記モータは、筒状のモータフレームと、このモータフレームの内周面に取り付けた円環状の固定子コアと、この固定子コアからモータ中心に向けて突出している複数の突極部と、各突極部に巻き付けられている固定子コイルとを備え、
   前記固定子コアの外周面における各突極部の中心線上の部位には、前記モータ中心軸線に平行な方向に延びる溝が形成されており、
   前記モータフレームの内周面と各溝によって各配線穴が形成されていることを特徴とする波動歯車装置を備えたアクチュエータ。
4. 請求項１において、
   前記センサマグネットは、前記モータ軸の外周面に同軸状態に固定した２極着磁された円環形状のものであり、
   前記磁気センサは、このセンサマグネットの外周面に対して、円周方向に９０度離れた位置において一定の間隔で対峙している第１および第２ホール素子であり、
   前記センサ信号変換回路は、前記第１および第２ホール素子から出力されるアナログ信号をデジタル信号に変換するＡＤコンバータと、得られたデジタル信号に基づき前記モータ回転軸の回転角度を演算する演算部と、得られた回転角度をシリアルデータに変換するデータ変換部とを備えていることを特徴とする波動歯車減速機を備えたアクチュエータ。
5. 請求項４において、
   前記センサ信号変換回路は、
   前記第１および第２ホール素子により検出した前記モータ軸の回転角度位置と、当該モータ軸の実際の回転角度位置との差を補正するための角度誤差補正データを記憶保持している角度誤差データ記憶部を備え、
   前記演算部は、前記角度誤差補正データを用いて、演算された回転角度を補正することを特徴とする波動歯車装置を備えたアクチュエータ。
6. 請求項１において、
   前記位置検出器は、前記モータ回転軸の外周面に同軸状態に固定した円筒状のセンサマグネット保持部材と、このセンサマグネット保持部材に同軸状態に固定されている多極着磁された円環状のセンサマグネットと、このセンサマグネットの外周面に対して、円周方向に所定の角度離れた位置において一定の間隔で対峙している複数の磁気センサとを備え、
   前記波動歯車減速機の前記波動発生器は、前記センサマグネット保持部材を介して、同軸状に前記モータ回転軸に連結されていることを特徴とする波動歯車減速機を備えたアクチュエータ。
7. 請求項１において、
   前記モータ回転軸にブレーキ力を付与するために、ヨークおよび励磁コイルからなる電磁石部と、当該電磁石部によって吸引可能なアーマチュアディスクを備えた電磁ブレーキを備えており、
   前記電磁石部は、その外周側の部位が前記モータの筒状のモータフレームにおける後端に締結固定され、その内周側の部位が軸受を介して、前記モータ回転軸の後端側の軸部分を回転自在の状態で支持していることを特徴とする波動歯車減速機を備えたアクチュエータ。

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