KR100680152B1 - 감속기 일체형 액츄에이터 - Google Patents

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Abstract

하모닉 감속기(14)와 전동기(7)와 회전위치 검출기(26)를 구비한 감속기 일체형 액츄에이터에 있어서, 회전자(11)를 컵 모양의 회전요크(12)로 구성함과 동시에 영구자석(13)을 회전요크(12)의 외주에 고착하며, 원형 스플라인(15)은 일단에 플랜지를 가지는 중공의 원통 모양으로 형성되어 플랜지부(15a)를 액츄에이터 프레임(2)의 한쪽 단부에 고정하고 원통부(15b)를 회전요크(12)의 내주와 간극을 사이에 두고 대향 배치하고 있다. 출력축(5)과 회전축(6) 사이에 신축 스플라인(16)의 내주측에 출력축(5)과 연결한 컵 모양의 하우징(18)을 설치하고 회전축(6)을 지지하는 베어링과의 사이에 예압을 주는 탄성부재(25)를 설치하고 있다. 이로써 액츄에이터의 축방향 길이를 단축할 수 있어 소형·경량화에 상반되지 않고 구동토오크를 증대시킬 수 있는 저렴한 감속기 일체형 액츄에이터를 제공할 수 있다.

Description

감속기 일체형 액츄에이터{Reduction gears-integrated actuator}
본 발명은 액츄에이터 전체의 축방향 길이를 단축함과 동시에 소형·경량화에 상반되지 않고 구동 토오크를 증대시킬 수 있는 저렴한 감속기 일체형 액츄에이터에 관한 것이다.
종래 로봇이나 공작기계 등에 이용되어 하모닉 감속기와 전동기를 일체화한 액츄에이터는 도 3과 같이 되어 있다.
도 3은 종래의 감속기 일체형 액츄에이터의 측단면도이다.
도면에 있어서, 30은 액츄에이터, 31a는 부하측 브라켓, 31b, 31c, 31d는 액츄에이터 프레임, 31e는 반(反)부하측 브라켓, 32는 출력축, 33은 회전축, 34는 전동기, 35는 고정자, 36은 고정자 철심, 37은 전기자 권선, 38은 회전자, 39는 요크, 40은 영구자석, 41은 하모닉 감속기, 42는 원형 스플라인, 43은 신축 스플라인, 44는 웨이브 제너레이터, 45, 46, 47, 48 및 49는 베어링, 50 및 51은 탄성부재, 52는 회전위치 검출기, 53은 회전 디스크, 54는 고정 슬릿, 55는 발광소자, 56은 수광소자, Lo은 액츄에이터(30)의 축방향 길이를 나타낸다.
이와 같은 감속기 일체형 액츄에이터(30)는, 부하측에서 반부하측을 향해 하모닉 감속기(41), 전동기(34), 회전위치 검출기(52)의 순서대로 축방향으로 직렬로 연결된 구조로 되어 있다. 또한 이들 장치는 각각 중공 원통형의 액츄에이터 프레임(31b, 31c, 31d)의 안쪽에 고정되어 있으며 양 단부는 부하측 브라켓(31a)과 반부하측 브라켓(31e)에 의해 덮혀 있다.
이 중에서 하모닉 감속기(41)는 액츄에이터 프레임(31b)의 내주에 고정됨과 동시에, 환형으로 내치(內齒)를 갖는 원형 스플라인(42)과, 원형 스플라인(42) 안쪽에 장착되고 출력축(32)에 연결됨과 동시에 컵 모양으로 외치(外齒)를 가진 가요성이 있는 신축 스플라인(43)과, 신축 스플라인(43) 안쪽에 베어링(47)을 사이에 두고 장착되고, 또 회전축(33)에 연결됨과 동시에 타원형인 웨이브 제너레이터(44)로 구성되어 있다. 베어링(45, 46)은 출력축(32)을 지지함과 동시에 탄성부재(50)에 의해 예압(豫壓)이 주어져 있다. 그리고 베어링(48, 49)은 회전축(33)을 지지함과 동시에 탄성부재(51)에 의해 예압이 주어져 있다.
또 전동기(34)는 회전축(33)에 감합된 요크(39)와, 자극이 되는 영구자석 (40)으로 이루어진 회전자(38)를 구비함과 동시에, 회전자(38)의 외주측과 간극을 사이에 두고 대향시켜서 설치한 고정자 철심(36)과, 고정자 철심(36)에 회전자계를 발생시키는 전기자 권선(37)을 구비한 고정자(35)로 구성되어 있다.
또한 회전위치 검출부(52)는, 회전축(33)에 고정한 회전부가 되는 회전디스크(53)와, 이 회전부에 대향하는 회전위치 검출기의 고정부가 되는 고정슬릿(54)과, 발광소자(55)와, 수광소자(56)로 이루어진 광학 인코더로 구성되어 있다. 발광소자(55)로부터의 광이 회전디스크(53)에 투광되면 고정 슬릿(54)을 사이에 두고 수광소자(56)가 수광·불수광을 반복하고, 수광·불수광을 온·오프의 전기신호로 서 검출한다. 이후 연산회로(미도시)에 의해 회전자의 각도를 연산하도록 되어 있다.
다음에 동작을 설명하기로 한다.
고정자(35)의 전기자 권선(37)에 구동회로(미도시)에서 통전하면 회전자(38)의 영구자석(40)에 구동토오크가 발생하고 그 구동토오크에 의해 회전자(38)가 고속회전한다. 다음에 회전자의 회전축(33)과 결합된 웨이브 제너레이터(44)가 회전함으로써 신축 스플라인(43)이 베어링(47)을 사이에 두고 타원형으로 휘어지고 웨이브 제너레이터(44)에 있어서 타원의 장축방향 양단 위치에서 원형 스플라인(42)과 맞물린다. 이 때 신축 스플라인(43)과 원형 스플라인(42) 사이에 상대회전이 발생하여 신축 스플라인(43)에서 대폭 감속된 회전력이 출력축(32)으로 전달되어 출력된다.
그런데, 종래의 기술에서는 하모닉 감속기, 전동기 및 회전위치 검출부를 직렬로 나열하여 연결하고 있어서, 특히 하모닉 감속기와 전동기 사이, 전동기와 회전위치 검출기 사이를 결합했을 때의 축방향 길이가 길어짐과 동시에 축방향으로 배치한 회전위치 검출기의 공간이 커져 액츄에이터의 소형·경량화를 꾀하는 데 있어서 문제가 되어 왔다.
또한 하모닉 감속기, 전동기 및 회전위치 검출부는 3개의 액츄에이터 프레임에 각각 고정되어 있기 때문에, 부품점수가 많고, 조립공정수도 증가하여 비용이 높아진다는 문제가 있었다.
더욱이 액츄에이터의 소형·경량화를 꾀하는 요구와 별도로 액츄에이터의 토 오크성능을 향상시킬 필요가 있으며, 여기에는 회전자의 영구자석을 장착한 위치에서의 외경을 크게 하여, 회전자의 구동토오크를 증대시킬 필요가 있다. 그러나, 종래 기술의 구조에서는 회전자의 외경을 크게 하면 고정자 및 액츄에이터 프레임의 외경도 커지기 때문에, 전동기 전체적으로 부피·중량이 커져 액츄에이터의 소형·경량화와 고(高)토오크화는 상반된다는 문제가 있었다.
본 발명은 상기 문제를 해결하기 위해 이루어진 것으로서 액츄에이터의 축방향 길이를 단축할 수 있음과 동시에 소형·경량화에 상반되지 않고 구동 토오크를 증대시킬 수 있는 저렴한 감속기 일체형 액츄에이터를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해 본 발명은 다음과 같은 구성으로 한 것이다.
청구항 1의 본 발명은, 중공원통형 액츄에이터 프레임과, 상기 액츄에이터 프레임에 고정되고 또 내주에 내치를 갖는 원형 스플라인과, 상기 원형 스플라인의 내치와 맞물리는 외치를 가지며 또 단면에 액츄에이터의 출력축을 연결한 원통형 신축 스플라인과, 상기 신축 스플라인의 내주에 장착된 타원형 웨이브 제너레이터와, 상기 웨이브 제너레이터를 회전구동하는 회전축과, 영구자석으로 이루어진 자극을 구비한 회전자와 상기 회전자의 외주측과 간극을 사이에 두고 대향시킨 고정자 철심에 회전 자계를 발생시키는 전기자 권선을 구비한 고정자로 이루어진 전동기와, 상기 회전축에 고정한 회전위치 검출기의 회전부와, 이 회전위치 검출기의 회전부에 대향하는 회전위치 검출기의 고정부를 구비한 감속기 일체형 액츄에이터에 있어서, 상기 회전자는, 중심에 상기 회전축을 관통하도록 일체로 설치된 컵 모양의 회전요크를 구성함과 동시에 상기 영구자석을 상기 회전요크의 외주에 고착하며, 상기 원형 스플라인은 일단에 플랜지를 가지는 중공의 원통 모양으로 형성됨과 동시에 플랜지부를 상기 액츄에이터 프레임의 한쪽 단부에 고정하고 원통부를 상기 회전요크의 내주와 간극을 사이에 두고 대향하도록 배치하고 있으며, 상기 출력축과 상기 회전축 사이에는, 상기 신축 스플라인의 내주측에 상기 출력축과 연결한 컵 모양의 하우징과, 상기 하우징 내부에 끼워맞춰져 상기 회전축을 지지하는 베어링과, 상기 하우징과 상기 베어링의 축방향 간극부에 설치되어 상기 베어링에 예압을 주는 탄성부재를 구비하고 있다.
또한 청구항 2의 본 발명은, 청구항 1에 기재된 감속기 일체형 액츄에이터에 있어서, 상기 회전위치 검출기의 회전부는 상기 회전축과 수직인 일방향으로 자화된 원판형 각도 검출용 마그넷으로 구성되며, 상기 회전위치 검출기의 고정부는, 상기 회전위치 검출기의 회전부 외주측에 설치한 고정링과, 이 고정링의 둘레방향으로 적어도 2개 장착한 자기센서로 구성되어 있다.
또한 청구항 3의 본 발명은, 중공 원통형의 액츄에이터 프레임과, 상기 액츄에이터 프레임에 고정되고 또 내주에 내치를 갖는 원형 스플라인과, 상기 원형 스플라인의 내치와 맞물리는 외치를 가지며 또한 단면에 액츄에이터의 출력축을 연결한 원통형 신축 스플라인과, 상기 신축 스플라인의 내주에 장착된 타원형 웨이브 제너레이터와, 상기 웨이브 제너레이터를 회전구동하는 회전축과, 영구자석으로 이루어진 자극을 구비한 회전자와 상기 회전자의 내주측과 간극을 사이에 두고 대향시킨 고정자 철심에 회전자계를 발생시키는 전기자 권선을 구비한 고정자로 이루어진 전동기와, 상기 회전축에 고정한 회전위치 검출기의 회전부와, 이 회전위치 검출기의 회전부에 대향하는 회전위치 검출기의 고정부를 구비한 감속기 일체형 액츄에이터에 있어서, 상기 회전자는 중심에 상기 회전축을 관통하도록 일체로 설치된 컵 모양의 회전요크를 구성함과 동시에 상기 영구자석을 상기 회전요크의 내주에 고착하며, 상기 원형 스플라인은 일단에 플랜지를 가지는 중공의 원통 모양으로 형성됨과 동시에 플랜지부를 상기 액츄에이터 프레임의 한쪽 단부에 고정하고 원통부를 상기 고정자의 내주측과 고착하도록 배치하고 있으며 상기 출력축과 상기 회전축 사이에는 상기 신축 스플라인의 내주측에 상기 출력축과 연결한 컵 모양의 하우징과, 상기 하우징 내부에 끼워맞춰져 상기 회전축을 지지하는 베어링과, 상기 하우징과 상기 베어링의 축방향 간극부에 설치되어 상기 베어링에 예압을 주는 탄성부재를 구비하고 있다.
청구항 4의 본 발명은, 청구항 3에 기재된 감속기 일체형 액츄에이터에 있어서, 상기 회전위치 검출기의 회전부는, 상기 회전축과 수직인 일방향으로 자화된 원판형 각도 검출용 마그넷으로 구성되며 상기 회전위치 검출기의 고정부는 상기 회전위치 검출기의 회전부 외주측에 설치한 고정링과, 이 고정링의 둘레방향으로 적어도 2개 장착한 자기센서로 구성되어 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예를 도시한 감속기 일체형 액츄에이터의 측단면도이고,
도 2는 본 발명의 제2실시예를 도시한 감속기 일체형 액츄에이터의 측단면도 이고,
도 3은 종래의 감속기 일체형 액츄에이터를 도시한 측단면도이다.
이하 본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 제1실시예를 도시한 감속기 일체형 액츄에이터의 측단면도이다.
도면에 있어서, 1은 액츄에이터, 2는 액츄에이터 프레임, 3은 부하측 브라켓, 4는 반부하측 브라켓, 5는 출력축, 6은 회전축, 7은 전동기, 8은 고정자, 9는 고정자 철심, 10은 전기자 권선, 11은 회전자, 12는 회전요크, 13은 영구자석, 14는 하모닉 감속기, 15는 원형 스플라인, 16은 신축 스플라인, 17은 웨이브 제너레이터, 18은 하우징, 19, 20, 21, 22 및 23은 베어링, 24 및 25는 탄성부재, 26은 회전위치 검출기, 27은 각도 검출 마그넷, 28은 고정링, 29는 자기센서, L1은 액츄에이터(1)의 축방향 길이이다.
본 발명의 액츄에이터의 기본 구성, 즉 하모닉 감속기(14), 전동기(7), 회전위치 검출기(26)를 구비한 구성, 및 부하측에 배치된 출력축(5)을 베어링(19, 20)에 의해 지지하고, 탄성부재(24)에 의해 예압을 주도록 한 구성은 종래 기술과 동일하지만 본 발명은 다음의 4가지 점에서 다르다. 즉,
(1) 회전자(11)를 중심으로 회전축(6)을 관통하도록 설치한 컵 모양의 회전요크(12)를 일체로 구성하고 영구자석(13)을 회전요크(12)의 외주에 고착한 점,
(2) 원형 스플라인(15)을 일단에 플랜지를 가지는 중공의 원통 모양으로 형성함과 동시에 원형 스플라인(15)의 플랜지부(15a)를 액츄에이터 프레임(2)의 한쪽 단부에 고정하고, 또 원형 스플라인(15)의 원통부(15b)를 회전요크(12)의 내주와 간극을 사이에 두고 대향하도록 배치한 점,
(3) 출력축(5)과 회전축(6) 사이에 있어서, 신축 스플라인(16)의 내주측에 출력축(5)과 연결한 컵 모양의 하우징(18)을 설치함과 동시에 하우징(18) 내부에 회전축(6)을 지지하는 베어링(21)을 회전축(6)에 끼워맞추고 하우징(18)과 베어링 (21)의 축방향 간극부에는 베어링(21)에 예압을 주는 탄성부재(25)를 삽입한 점,
(4) 회전위치 검출기(26)의 회전부로서, 회전축(6)과 수직인 일방향으로 자화된 원판형 각도 검출용 마그넷(27)을 설치함과 동시에, 각도 검출용 마그넷(27)의 외주측에 회전위치 검출기(26)의 고정부로서 고정링(28)을 설치하고, 이 고정링 (28)의 둘레방향으로 자기센서(29)를 적어도 2개 설치하여 즉 회전위치 검출기를 자기식 인코더로 구성한 점,
이다. 여기에서 회전위치 검출기(26)의 자기센서(29)는 홀 효과소자를 이용한 것이다.
이와 같은 구성에 있어서, 전동기(7)와 하모닉 감속기(14)가 동일한 액츄에이터 프레임(1)의 내주에 설치되어 있기 때문에 종래에 하모닉 감속기와 전동기를 축방향으로 직렬로 나열하여 접속하는데 필요했던 각각의 공간이 하나의 공간으로 충분하게 된다. 또한 회전위치 검출기를 종래의 회전부와 고정부를 축방향으로 배치한 것으로 바꾸어 직경방향으로 배치함으로써, 그것을 수납하는 공간이 작아지므로 액츄에이터 전체의 축방향 길이를 단축할 수 있다. 이로써 도 1에 있어서 액츄에이터의 축방향 길이(L1)는 도 3에 도시한 종래의 액츄에이터의 축방향 길이(L0)와 비교하면 약 40% 정도 짧아져 훨씬 소형화되어 있다.
다음에 동작을 설명하기로 한다.
고정자(8)의 전기자 권선(10)에 구동회로(미도시)에서 통전하면 회전자(11)의 영구자석(13)에 구동토오크가 발생하고 그 구동토오크에 의해 회전자(11)가 고속회전한다. 다음에 회전자의 회전축(6)과 결합된 웨이브 제너레이터(17)가 회전함으로써 신축 스플라인(16)이 베어링(22)을 끼워 타원형으로 휘어지며 웨이브 제너레이터(17)에서의 타원의 장축방향 양단 위치에서 원형 스플라인(15)과 맞물린다. 이 때 신축 스플라인(16)과 원형 스플라인(15) 사이에 상대 회전이 발생하여 신축 스플라인(16)에서 대폭 감속된 회전력이 출력축(5)에 전달되어 출력된다. 이 때 회전축(6)에 장착한 각도 검출용 마그넷(27)에 대향하는 자기센서(29)가, 회전하는 각도 검출용 마그넷(27)의 자극위치를 전기신호로서 검출하기 때문에 그 전기신호에서 연산회로(미도시)에 의해 회전축의 회전각도위치가 연산된다.
다음에 본 발명의 제2실시예를 설명하기로 한다.
도 2는 제2실시예를 도시한 감속기 일체형 액츄에이터의 측단면도이다. 제2실시예는 제1실시예와 같은 구성요소이기 때문에 동일부호를 붙였다. 또한 액츄에이터의 출력축과 회전축 사이에 설치한 하우징부, 회전위치 검출기의 구성과 효과에 대해서는 제1실시예와 동일하기 때문에 그 설명을 생략한다.
제2실시예는, 제1실시예에 대해 다음 두가지 점에서 다르다. 즉,
(1) 회전자(11)를 컵 모양으로 형성된 회전요크(12)로 구성하고 영구자석 (13)을 회전요크(12)의 내주에 고착함과 동시에 영구자석(13)과 간극을 사이에 두고 그 안쪽에 고정자(8)를 배치한 점(아우터 로터 방식),
(2) 원형 스플라인(15)을 일단에 플랜지를 가지는 중공의 원통 모양으로 형성함과 동시에 플랜지부(15a)를 액츄에이터 프레임(1)의 한쪽 단부에 고정하고 원통부(15b)를 고정자(8)의 내주측과 고착하도록 배치한 점,
이다.
이와 같은 구성에 있어서, 제1실시예와 마찬가지로 전동기(7)와 하모닉 감속기(14)가 동일 액츄에이터 프레임(1) 내주에 설치되어 있으므로 액츄에이터 전체의 축방향 길이를 단축할 수 있다. 이로써 도 2에 있어서 액츄에이터의 축방향 길이(L2)는 도 3에 도시한 종래의 액츄에이터의 축방향 길이(L0)와 비교하면 약 40% 정도 짧아져서 훨씬 소형화되어 있다. 제2실시예의 동작에 대해서는 제1실시예와 동일하기 때문에 설명을 생략한다.
따라서 제1 및 제2실시예는, 회전자를 구성하는 회전요크를 컵 모양으로 하여 컵 모양의 회전요크의 내주측과 회전축 사이에 형성되는 공간부를 이용하여 하모닉 감속기를 배치함과 동시에 고정자와 회전자로 이루어진 전동기를 하모닉 감속기의 외주측에 설치하는 구성으로 했기 때문에 하모닉 감속기 및 전동기의 축방향 길이가 직경방향에 대해 거의 동심원 형태로 겹쳐져 배치된다. 그리고 종래 하모닉 감속기와 전동기를 축방향으로 직렬로 접속하는데 필요했던 각각의 공간이 불필요해짐과 동시에 이들 두 개의 장치를 수납하는 공간을 하나의 공간으로 공유할 수 있게 되어 전동기와 하모닉 감속기를 동일한 액츄에이터 프레임의 내주에 설치할 수 있다. 나아가 회전위치 검출기를 직경방향으로 설치하는 구성으로 함으로써 액츄에이터 전체의 축방향 길이를 단축할 수 있다. 이로써 소형·경량의 액츄에이터를 제공할 수 있다.
또한 그 결과 본 실시예에 따른 액츄에이터는, 종래에 액츄에이터 프레임을 3개의 부품으로 구성했던 액츄에이터와 비교하면 부품점수를 하나로 축소할 수 있기 때문에 조립공정수의 감소로 이어짐과 동시에 저렴한 액츄에이터를 제공할 수 있다.
나아가, 회전자의 회전요크는 외경이 크고 중공부를 가진 컵 모양이어서 회전자의 중량을 작게 하여 경량화 할 수 있기 때문에 액츄에이터를 축방향으로 소형화하고 또 고토오크가 요구되는 경우에도 소형화·경량화에 상반되지 않고 구동토오크를 증대시킬 수 있다.
각 실시예에서는 고정자측에 전기자 권선을 설치하고 회전자측에 영구자석을 설치한 구성의 자기회로를 갖는 전동기의 예로 설명했는데, 본 실시예의 형태에 한정되지 않고 고정자측 또는 회전자측의 적어도 어느 하나를 다른 자기회로로 구성해도 좋다.
또한 베어링 사이에 예압을 주는 탄성부재는, 예컨대 판스프링, 코일스프링을 이용해도 좋고 이를 대신할 수 있는 것이라면 한정되지 않는다.
또한 회전위치 검출기의 자기센서는, 홀 효과소자를 대신해 자기저항소자를 이용한 것 또는 자기임피던스효과를 이용한 아모르퍼스 와이어를 이용한 것이어도 상관없다.
이상과 같이 본 발명에 따른 전동기와 하모닉 감속기를 일체화하여 구성되는 감속기 일체형 액츄에이터는, 예컨대 로봇이나 공작기계 등에 이용되는 것으로서 유용하다.

Claims (4)

  1. 중공원통형 액츄에이터 프레임과, 상기 액츄에이터 프레임에 고정되고 또 내주에 내치를 갖는 원형 스플라인과, 상기 원형 스플라인의 내치와 맞물리는 외치를 가지며 또 단면에 액츄에이터의 출력축을 연결한 원통형 신축 스플라인과, 상기 신축 스플라인의 내주에 장착된 타원형 웨이브 제너레이터와, 상기 웨이브 제너레이터를 회전구동하는 회전축과, 영구자석으로 이루어진 자극을 구비한 회전자와 상기 회전자의 외주측과 간극을 사이에 두고 대향시킨 고정자 철심에 회전 자계를 발생시키는 전기자 권선을 구비한 고정자로 이루어진 전동기와, 상기 회전축에 고정한 회전위치 검출기의 회전부와, 이 회전위치 검출기의 회전부에 대향하는 회전위치 검출기의 고정부를 구비한 감속기 일체형 액츄에이터에 있어서,
    상기 회전자는, 중심에 상기 회전축을 관통하도록 일체로 설치된 컵 모양의 회전 요크를 구성함과 동시에 상기 영구자석을 상기 회전요크의 외주에 고착하며,
    상기 원형 스플라인은, 일단에 플랜지를 가지는 중공의 원통 모양으로 형성됨과 동시에 플랜지부를 상기 액츄에이터 프레임의 한쪽 단부에 고정하고 원통부를 상기 회전요크의 내주와 간극을 사이에 두고 대향하도록 배치하고 있으며,
    상기 출력축과 상기 회전축 사이에는 상기 신축 스플라인의 내주측에 상기 출력축과 연결한 컵 모양의 하우징과, 상기 하우징 내부에 끼워맞춰져 상기 회전축을 지지하는 베어링과, 상기 하우징과 상기 베어링의 축방향 간극부에 설치되어 상기 베어링에 예압을 주는 탄성부재를 구비한 것을 특징으로 하는 감속기 일체형 액츄에이터.
  2. 제1항에 있어서, 상기 회전위치 검출기의 회전부는 상기 회전축과 수직인 일방향으로 자화된 원판형 각도 검출용 마그넷으로 구성되며,
    상기 회전위치 검출기의 고정부는, 상기 회전위치 검출기의 회전부 외주측에 설치한 고정링과, 이 고정링의 둘레방향으로 적어도 2개 장착한 자기센서로 구성된 감속기 일체형 액츄에이터.
  3. 중공원통형의 액츄에이터 프레임과, 상기 액츄에이터 프레임에 고정되고 또 내주에 내치를 갖는 원형 스플라인과, 상기 원형 스플라인의 내치와 맞물리는 외치를 가지며 또한 단면에 액츄에이터의 출력축을 연결한 원통형 신축 스플라인과, 상기 신축 스플라인의 내주에 장착된 타원형 웨이브 제너레이터와, 상기 웨이브 제너레이터를 회전구동하는 회전축과, 영구자석으로 이루어진 자극을 구비한 회전자와 상기 회전자의 내주측과 간극을 사이에 두고 대향시킨 고정자 철심에 회전자계를 발생시키는 전기자 권선을 구비한 고정자로 이루어진 전동기와, 상기 회전축에 고정한 회전위치 검출기의 회전부와, 이 회전위치 검출기의 회전부에 대향하는 회전위치 검출기의 고정부를 구비한 감속기 일체형 액츄에이터에 있어서,
    상기 회전자는, 중심에 상기 회전축을 관통하도록 일체로 설치된 컵 모양의 회전요크를 구성함과 동시에 상기 영구자석을 상기 회전요크의 내주에 고착하며,
    상기 원형 스플라인은, 일단에 플랜지를 가지는 중공의 원통 모양으로 형성됨과 동시에 플랜지부를 상기 액츄에이터 프레임의 한쪽 단부에 고정하고 원통부를 상기 고정자의 내주측과 고착하도록 배치하고 있으며,
    상기 출력축과 상기 회전축 사이에는 상기 신축 스플라인의 내주측에 상기 출력축과 연결한 컵 모양의 하우징과, 상기 하우징 내부에 끼워맞춰져 상기 회전축을 지지하는 베어링과, 상기 하우징과 상기 베어링의 축방향 간극부에 설치되어 상기 베어링에 예압을 주는 탄성부재를 구비한 것을 특징으로 하는 감속기 일체형 액츄에이터.
  4. 제3항에 있어서, 상기 회전위치 검출기의 회전부는 상기 회전축과 수직인 일방향으로 자화된 원판형 각도검출용 마그넷으로 구성되며,
    상기 회전위치 검출기의 고정부는, 상기 회전위치 검출부의 회전부 외주측에 설치한 고정링과, 이 고정링의 둘레방향으로 적어도 2개 장착한 자기센서로 구성된 감속기 일체형 액츄에이터.
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