JP2018084268A - 電動アクチュエータ - Google Patents

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Abstract

【課題】 応答性および静粛性に優れた電動アクチュエータを提供する。
【解決手段】 電動アクチュエータは、ステータ51およびロータ52を有するモータ部5と、ロータの内径側に配置され、ロータの回転を出力する駆動源出力軸6と、駆動源出力軸に接続された減速機2とを有する。駆動源出力軸6を中空状に形成すると共に、減速機2を遊星トラクションドライブ減速機で構成する。
【選択図】 図1

Description

本発明は、電動アクチュエータに関する。
モータの出力を減速機で減速して駆動対象に伝達する回転式の電動アクチュエータとして、特開2013−169125号公報(特許文献1)に記載のものが知られている。この回転式アクチュエータでは、減速機として遊星歯車機構が用いられている。
特開2013−169125号公報
特許文献1に記載のアクチュエータのように、減速機として歯車機構を採用すると、バックラッシが不可避となるため、応答性の向上に限界を生じる。また、歯車同士の噛み合いによって騒音が発生するため、静粛性が求められる用途には不向きとなる。
電動アクチュエータとしては、特許文献1に記載のように、回転運動を出力する回転運動タイプの他に、モータで出力された回転運動を、減速機を介してボールねじに伝達することにより直線運動に変換する直線運動型も存在する。特許文献1のアクチュエータをベースとして直線運動型の電動アクチュエータを製作しようとすると、軸方向長さが長大なものとなる。
本発明は、以上の問題点に鑑み、高い応答性および静粛性を備えた電動アクチュエータを提供することを目的とする。
前述の目的を達成するための技術的手段として、本発明は、ステータおよびロータを有するモータ部と、前記ロータの内径側に配置され、ロータの回転を出力する駆動源出力軸と、駆動源出力軸に接続された減速機とを有する電動アクチュエータにおいて、前記駆動源出力軸が中空であり、前記減速機が遊星トラクションドライブ減速機であることを特徴とするものである。
このように減速機として遊星トラクションドライブ減速機を使用することにより、バックラッシが少なくなる。そのため、電動アクチュエータの応答性を向上させ、さらに静粛性を高めることが可能となる。
また、駆動源出力軸が中空であり、その内径側が空間となっているので、駆動源出力軸の内径側に、運動変換機構の直線運動する部材、例えばボールねじ軸を配置することができる。これにより、当該部材の直線運動に際して当該部材がモータ部や減速機と干渉することを防止でき、運動変換機構のボールねじ軸をモータ部および減速機の双方と半径方向で重畳させて、モータ部、減速機、およびボールねじ軸を同軸に配置することが可能となる。従って、直線運動型電動アクチュエータを小型化することができる。また、回転運動型の電動アクチュエータと直線運動型の電動アクチュエータで回転駆動源を共用化できるため、双方の低コスト化を図ることができる。
遊星トラクションドライブ減速機の遊星ローラは転がり軸受で構成することができる。トラクションドライブ減速機を採用した場合、減速機内部の転がり接触部には、トラクションを発生させるための一定荷重が作用し、遊星歯車減速機等の歯車機構のように歯車間のトルク伝達部で変動荷重が発生することはない。従って、転がり軸受の転動体として、針状ころではなく、玉を使用しても十分な荷重負荷能力を確保することができる。そのため、遊星ローラを構成する転がり軸受として、トルクが大きい針状ころ軸受ではなく、トルクが低い深溝玉軸受を使用することが可能となり、これによって電動アクチュエータの低トルク化が達成される。
遊星ローラおよび太陽ローラの何れか一方または双方にクラウニングを設けることで、減速機内の転がり接触部でのエッジロードを抑制することができる。これにより、遊星トラクションドライブ減速機の耐久性を向上させることができる。
回転運動型電動アクチュエータは、以上に述べた回転駆動源の減速機の出力側に最終出力軸を接続することで構成することができる。
また、直線運動型電動アクチュエータは、以上に述べた回転駆動源の減速機の出力側に運動変換機構を接続することで構成することができる。
本発明によれば、応答性および静粛性に優れた電動アクチュエータを提供することができる。
第一実施形態にかかる電動アクチュエータの縦断面図である。 図1中のB−B線で矢視した電動アクチュエータの横断面図である。 図1中のC−C線で矢視した電動アクチュエータの横断面図である。 図1中の領域Xの拡大断面図である。 図1中の領域Yの拡大断面図である。 第二実施形態にかかる電動アクチュエータの縦断面図である。 遊星ローラを構成する深溝玉軸受を拡大して示す縦断面図である。
本発明にかかる、電動アクチュエータの実施形態を図面に基づいて詳述する。
図1は、電動アクチュエータの第一実施形態として、回転運動型の電動アクチュエータを示す縦断面図である。図2は、図1中のB−B線断面図であり、図3は図1中のC−C線断面図である。この回転運動型の電動アクチュエータは、例えばロボットアームの駆動や、自動車等の車両におけるミッション、ステアリング、ブレーキ等の操作自動化あるいは補助等に使用することができる。
図1に示すように、本発明にかかる電動アクチュエータは、回転駆動源1と、回転駆動源1の軸方向一方側に配置され、かつ回転駆動源1の出力側に接続された減速機2と、減速機2の出力側に接続された最終出力軸3とを主要な構成要素とする。以上の各構成要素のうち、先ず回転駆動源1の構造を説明する。
回転駆動源1は、モータ部5と、駆動源出力軸6と、トルクリミッタ7とを具備する。このうち、モータ部5は、図1および図2に示すように、ケーシング8に固定されたステータ51と、ステータ51の半径方向内側に隙間をもって対向するように配置されたロータ52とを備える電動モータで構成される。本実施形態では、電動モータの一例として、ラジアルギャップ型を例示している。
ステータ51は、軸方向に積層した複数の電磁鋼板で形成されたステータコア51aと、ステータコア51aに装着された絶縁材料からなるボビン51bと、ボビン51bに巻回されたステータコイル51cとを有する。
ロータ52は、環状のロータコア52aと、ロータコア52aの外周に取り付けられた複数のマグネット52bと、ロータコア52aの内周に固定された環状のロータインナ52cとで構成される。ロータコア52aは、例えば軸方向に積層した複数の電磁鋼板で形成される。ロータインナ52cの軸方向長さはロータコア52aの軸方向長さよりも長く、ロータコア52aの軸方向両側にロータインナ52cが突出している。ロータインナ52cは、その軸方向両側で、かつロータコア52aから突出した部分に配置された軸受53,54によってケーシング8に対して回転自在に支持されている。軸受53,54としては、ラジアル荷重とスラスト荷重の双方を支持できる転がり軸受、例えば深溝玉軸受を使用することができる。
ロータインナ52cの内周面には、内径寸法を他所よりも大きくした環状凹部521が形成される。この環状凹部521は、図1に示すように、例えばロータインナ52cの軸方向他方側(減速機2側とは反対側)の端部に形成される。環状凹部521の内周面には、軸方向に延びる雌セレーション522が形成されている。
図1に示すように、駆動源出力軸6は、両端を開口した中空の円筒状に形成され、その内径側には空間が形成されている。このように駆動源出力軸6を中空にすることで、回転駆動源1は中空モータとしての構造を有することになる。駆動源出力軸6の外周面は、ロータインナ52cの内周面(環状凹部521を除く)に対して隙間嵌めで嵌合されている。そのため、駆動源出力軸6は、ロータインナ52cから独立して回転することができる。駆動源出力軸6の軸方向他方側の端部の外周面には、軸方向に延びる雄セレーション6aが形成されている。
ロータインナ52cの環状凹部521の内周面と、これに対向する駆動源出力軸6の外周面との間に、環状隙間が形成される。本実施形態では、この環状隙間にトルクリミッタ7が配置されている。
トルクリミッタ7は、モータ部5と駆動源出力軸6との間のトルク伝達経路中に配置されており、モータ部5から出力された回転動力を駆動源出力軸6に伝達する一方で、過負荷が作用した時にトルク伝達を遮断し、モータ部5と駆動源出力軸6との相対回転を許容する機能を有する。この機能を有する限り任意の構成のトルクリミッタ7を使用することができるが、本実施形態では、トルクリミッタ7の一例として、摩擦式クラッチの一種である多板クラッチを使用した場合を例示している。
図4は、図1中の領域Xを拡大して示す断面図である。図4に示すように、トルクリミッタ7としての多板クラッチは、軸方向に離間して配置された一対の第1摩擦板71,71と、一対の第1摩擦板71,71の間に配置された第2摩擦板72と、第1摩擦板71と第2摩擦板72を圧接させる波形ばね等の弾性部材73と、押圧板74とを備える。押圧板74は、ロータインナ52cの内周面の環状溝に嵌合された止め輪75により軸方向で位置決めされ、所定の押圧力(軸方向荷重)を弾性部材73に付与する。
ロータインナ52cの環状凹部521の内周面に設けられた雌セレーション522に第1摩擦板71および押圧板74が嵌合されている。また、駆動源出力軸6の外周面に設けられた雄セレーション6aに第2摩擦板72が嵌合されている。そして、弾性部材73の付勢力により、第1摩擦板71と第2摩擦板72間に摩擦力が発生する。
モータ部5と駆動源出力軸6の間に作用するトルクが両摩擦板71,72間に作用する摩擦力以下であるときは、両摩擦板71,72が一体回転するため、モータ部5の回転動力が両摩擦板71,72を介して駆動源出力軸6に伝達される。従って、モータ部5で生じたトルクがトルクリミッタ7、駆動源出力軸6、減速機2を介して最終出力軸3に伝達され、最終出力軸3に接続された駆動対象が回転駆動される。
モータ部5と駆動源出力軸6との間に作用するトルクが両摩擦板71,72間に作用する摩擦力を上回ると、一方の摩擦板が他方の摩擦板に対して滑るため、モータ部5から駆動源出力軸6へのトルク伝達が遮断される。これにより、駆動源出力軸6とロータインナ52cの相対回転を許容する事が可能となる。従って、例えば駆動対象が障害物と衝突等して、最終出力軸3の回転がロックされた場合でも、ロータインナ52cと駆動源出力軸6との間に滑りが生じてトルク伝達経路が遮断されるため、モータ部5が慣性によりそのまま回り続けようとしている状況下でも減速機2に過大な負荷が作用することを防止することができ、減速機2の破損を防止することができる。これとは逆に、何らかの理由でモータ側の回転トルクが極端に大きくなった場合にも、減速機2等への過大負荷の作用を防止することができる。
また、上記のように、ロータ52の内周面(ロータインナ52cの内周面)と、これに対向する駆動源出力軸6の外周面との間にトルクリミッタ7を配置することにより、モータ部5の軸方向隣接位置にトルクリミッタ7を配置する場合に比べ、回転駆動源1、さらには電動アクチュエータの軸方向寸法を小さくすることができる。
ケーシング8は、組み立ての都合上、軸方向の一箇所もしくは複数箇所で分割される。本実施形態では、ケーシング8を、有底円筒状の底部81と、両端を開口した筒部82と、蓋部83とに分割している。筒部82の軸方向一方側に蓋部83が配置され、筒部82の軸方向他方側に底部81が配置される。底部81、筒部82、および蓋部83は、ボルト等の締結手段を用いて一体化される。ロータインナ52cを支持する二つの軸受53,54のうち、軸方向一方側の軸受53は筒部82の内周面に固定され、軸方向他方側の軸受54は底部81の内周面に固定される。
次に、電動アクチュエータの主要構成要素である減速機2の構成を説明する。本実施形態では、減速機2として、太陽ローラ21と、外側リング22と、複数の遊星ローラ23と、キャリア24とを有する遊星トラクションドライブ減速機を使用している。なお、トラクションドライブとは、弾性流体潤滑下で油膜を介してトルクを伝達する動力伝達機構を意味する。
中空に形成された原動機出力軸6の軸方向一方側の端部は、モータ部5よりも軸方向一方側に突出した位置にある。この原動機出力軸6の軸方向一方側の端部が、減速機2を構成する中空の太陽ローラ21として機能する。原動機出力軸6のうち、太陽ローラ21を除く部分では、その内径側が他部材の存在しない空間となっている。本実施形態にかかる電動アクチュエータは、原動機出力軸6と太陽ローラ21を一体化させた構成を有するが、両者を別部材で形成し、例えば原動機出力6の外周にリング状の太陽ローラ21を圧入等の手段で固定してもよい。
減速機2の各遊星ローラ23は、転がり軸受25で構成されている。転がり軸受25は、図3に示すように、外側軌道面を有する外輪25aと、内側軌道面を有する内輪25bと、外輪25aの外側軌道面と内輪25bの内側軌道面との間に配置された複数の転動体25cとを具備する。各転動体は、図示しない保持器によって円周方向で等間隔に保持されている。各転がり軸受25の内輪25bは中空の軸26に圧入固定されている。各軸26はキャリア24によって自転可能に支持されている。転がり軸受25としては、例えば深溝玉軸受が使用される。転がり軸受25の外輪25aが、軸26に対して回転自在に支持された遊星ローラ23として機能する。
一般的な転がり軸受では、外輪25aの内周面と内輪25bの外周面との間の隙間がシール部材で密封されるが、遊星ローラ23を構成する転がり軸受25はこの種のシール部材を具備しない。従って、各転がり軸受25の内部の潤滑は、各転がり接触部での油膜形成のために減速機2内部に封入された潤滑剤(例えばグリース)によって行われる。
図5は、図1中の領域Yを拡大して示す断面図である。図5に示すように、外側リング22は、断面U字状の本体部22aと、本体部22aの軸方向両側に突出するフランジ部22bとを一体に有する。ケーシング8の筒部82と蓋部83を結合する前の状態では、図中に実線で示すように、筒部82の内周に収容された外側リング22のうち、軸方向一方側のフランジ部22bが筒部82の端面よりも突出している。その後、蓋部83を筒部82の端面に当接するまで押し込み、ボルト等を用いて両者を結合すると、蓋部83に押圧された外側リング22が二点鎖線で示すように弾性変形し、本体部22aが内径側に膨らむ(図4は、弾性変形の程度を誇張して描いている)。
外側リング22の弾性変形により、外側リング22と遊星ローラ23の間の転がり接触部、さらには遊星ローラ23と太陽ローラ21の間の転がり接触部が圧接状態となり、各転がり接触部にトラクション(予圧)が付与される。かかる構成から、太陽ローラ21、外側リング22、遊星ローラ23、およびキャリア24からなる遊星トラクションドライブ減速機2が構成される。
外側リング22のうち、軸方向他方側のフランジ部22bと筒部82の間には、リング状の調整部材28が配置される。蓋部83の組み付け前の状態で、筒部82の端面からの外側リング22のフランジ部22bの突出量tが規定範囲内となる適正厚さの調整部材28を選択して使用することで(マッチング)、外側リング22の変形程度を均一化して、減速機2の内部に付与するトラクションを均一化することができる。
減速機2の出力側となるキャリア24の中空軸部の内周面には、最終出力軸3が圧入等の手段で固定される。最終出力軸3の軸方向他方側の端部は、その内周に固定された転がり軸受31(例えば深溝玉軸受)により駆動源出力軸6に対して回転自在に支持されている。かかる構成から、モータ部5を正逆方向に駆動することで、最終出力軸3が正逆方向に回転し、駆動対象が正逆方向に回転駆動される。
次に、本発明の第二実施形態として、直線運動型の電動アクチュエータを説明する。この直線運動型の電動アクチュエータは、例えば自動車等の車両に装備される電動ブレーキ等に使用されるもので、図6に示す構成を有する。この第二実施形態の電動アクチュエータでは、モータ部5から減速機2に至るまでの構成は、第一実施形態と共通する。従って、減速機2は遊星トラクションドライブ減速機で構成され、その遊星ローラ23は転がり軸受25(深溝玉軸受)で構成されている。第二実施形態は、最終出力軸3に代えて運動変換機構9を使用した点が第一実施形態に対する主要な相違点となる。
運動変換機構9は、例えばボールねじ91で構成される。ボールねじ91は、ボールねじナット92、ボールねじ軸93、多数のボール94、および循環部材としてのこま(図示省略)を主な構成要素とする。ボールねじナット92の内周面に螺旋状溝が形成され、ボールねじ軸93の外周面に螺旋状溝が形成されている。両螺旋状溝の間にボール94が装填される。ボールねじナット92の外周面には、減速機2の出力側となるキャリア24の中空軸部が圧入等の手段で固定されている。
中空をなす駆動源出力軸6の内径側には、ケーシング8の底部81に固定された中空筒状のガイド部材95が配置される。ガイド部材95の内周には、軸方向に延びる図示しないガイド溝が形成されている。詳細な図示は省略するが、ボールねじ軸93の軸方向他端部に設けた孔93aにピンを圧入する等してボールねじ軸93に半径方向に突出する突起を設け、この突起をガイド部材95のガイド溝に嵌合させることにより、ボールねじ軸93の回り止めを行うことができる。
第二実施形態におけるケーシング8は、底部81,筒部82,蓋部83,および加圧部84で構成される。底部81および筒部82の構成や機能は、第一実施形態で説明した底部81および筒部82と共通している。加圧部84は、筒部82と蓋部83の間に挟まれている。第一実施形態と同様に、底部81、筒部82,蓋部83,および加圧部84をボルト部材86で一体に結合することで、加圧部84の端面が筒部82の端面に圧接し、加圧部84に押圧された外側リング22が内径側に弾性変形する。そのため、減速機2としての遊星トラクションドライブ減速機2の各転がり接触部にトラクション(予圧)が付与される。
ボールねじナット92は、その外周面に固定した複列の転がり軸受96(例えば複列深溝玉軸受)により、ケーシング8の蓋部83に対して回転自在に支持される。この転がり軸受96により、ボールねじ軸93に作用するアキシャル荷重を支持することが可能となる。また、ボールねじナット92を両持ち構造にして、ボールねじナット92の傾きを防止することができる。
この第二実施形態では、モータ部5のトルクが、トルクリミッタ7、駆動源出力軸6、減速機2を介してボールねじナット92に伝達される。従って、モータ部4を正逆方向に駆動することで、ボールねじナット92を正逆方向に回転させて、ボールねじ軸93を軸方向に進退移動(直線運動)させることができる。
以上に述べたように、本発明にかかる電動アクチュエータでは、減速機2として遊星トラクションドライブ減速機を使用している。そのため、減速機2として、遊星歯車減速機を使用する場合に比べ、バックラッシが少なくなる。従って、回転運動型(第1実施形態)および直線運動型(第2実施形態)を問わず、電動アクチュエータの応答性を向上させると共に、静粛性を高めることが可能となる。
遊星歯車減速機等の歯車の噛み合いを利用した動力伝達では、トルク伝達部で変動荷重が発生する。従って、高トルクを伝達する場合、歯車を支持する軸受としては、ラジアル方向に高い負荷容量を有する針状ころ軸受を使用する場合が多い。これに対し、トラクションドライブ減速機2を採用した場合、減速機2の転がり接触部には、トラクションを発生させるための定荷重(予圧)のみが作用し、変動荷重は殆ど作用しない。従って、遊星ローラ23を構成する転がり軸受25の転動体25cとして、針状ころではなく、玉を使用することができ、そのために転がり軸受25として、トルクが大きい針状ころ軸受ではなく、トルクが小さい深溝玉軸受を使用することが可能となる。従って、電動アクチュエータの低トルク化を達成することができる。深溝玉軸受は、電動アクチュエータの組立中に分解することがないので、組み立て作業性が良好になる、という利点も得られる。
遊星トラクションドライブ減速機2では、転がり接触する転がり軸受25の外輪25aと駆動源出力軸6の外周面が高面圧状態で圧接している。そのため、転がり接触部の端部でエッジロードが生じ、これが外輪25aや駆動源出力軸6の疲労寿命を低下させるおそれがある。このエッジロードを抑制するため、図7に示すように、外輪25aの外周面にクラウニングを形成するのが好ましい(なお、図7ではクラウニングのドロップ量δを誇張して描いているが、実際のドロップ量δは数十μm程度である)。クラウニングは、駆動源出力軸6の外周面に設けてもよく、外輪25aの外周面と駆動源出力軸6の外周面の双方に設けることもできる。このように転がり接触面のどちらか一方または双方にクラウニングを形成することで、エッジロードを小さくして外輪25aや駆動源出力軸6の疲労寿命を高めることができる。クラウニングとしては、図7に示すパーシャルクラウニングの他、フルクラウニングを採用してもよい。また、クラウニングとしては、母線形状を一又は複数の円弧で形成した円弧クラウニングや、母線形状を対数曲線に近似させた対数クラウニングを使用することもできる。
なお、外側リング22の内周面と転がり軸受25の外輪25aの外周面も高面圧で圧接するため、エッジロード防止の観点から、外側リング22の内周面にクラウニングを設けてもよい。しかしながら、本実施形態は、外側リング22の本体部22aが変形した際に、転がり接触部の軸方向中央部付近が高面圧となる構造であるため、転がり接触部の端部でエッジロードを生じる可能性は低い。従って、外側リング22の内周面にクラウニングを形成する必要性は乏しい。
第二実施形態として説明した直線運動型の電動アクチュエータでは、ボールねじ軸93が進退移動するスペースが必要となるため、モータ部5と減速機2とを軸方向隣接位置に配置した場合には、進退移動するボールねじ軸93とモータ部5もしくは減速機2とが干渉するおそれがある。これを回避するには、ボールねじ軸93をモータ部5および減速機2の軸心に対して偏芯させて配置せざるを得ず、電動アクチュエータが大型化する。
これに対し、第二実施形態では、中空の駆動源出力軸6を用いて回転駆動源1を中空構造とし、駆動源出力軸6の内径側にボールねじ軸93を収容するスペースを確保している。さらに減速機2を構成する太陽ローラ21も中空にしている。従って、ボールねじ軸93をモータ部5、さらには減速機部2の内径側に、これらと同軸に配置することができ、そのために直線運動型の電動アクチュエータを小型化することができる。
図1に示す第一実施形態(回転運動型)の電動アクチュエータと、図6に示す第二実施形態(直線運動型)の電動アクチュエータを対比すると、回転駆動源1および減速機2は実質的に共通した構成を有する。そのため、回転駆動源1および減速機2を、両タイプの電動アクチュエータで共用化することができる。すなわち、第一実施形態の電動アクチュエータにおいて、最終出力軸3を使用せずに、ボールねじ91を使用して、ボールねじ軸93を駆動源出力軸6の内周に配置することにより、第二実施形態の電動アクチュエータの基本構成を得ることができる。このように回転駆動源1および減速機2を共用化することで、電動アクチュエータの低コスト化を図ることができる。また、回転運動型と直線運動型の電動アクチュエータのバリエーションを多くすることが容易となり、商品展開力を強化することができる。
以上の実施形態の説明では、遊星トラクションドライブ減速機2にトラクションを与える機構として、蓋部83の取り付け時に外側リング22を内径側に変形させる構成を採用した場合を説明したが、トラクションの付与機構としては任意の構成のものが採用できる。例えば外側リング22をケーシング82の内周面に所定の締め代で圧入して外側リング22を内径側に縮径させることにより、減速機2内の転がり接触部にトラクションを付与することもできる。この場合、エッジロード防止のため、外側リング22の内周面にクラウニングを設けるのが好ましい。
また、以上の説明では、モータ部5としてラジアルギャップ型の電動モータを例示したが、任意の構成のモータを採用することができる。例えば、ケーシングに固定されたステータと、ステータの軸方向内側に隙間をもって対向するように配置されたロータとを備えるアキシャルギャップ型の電動モータであってもよい。
本発明は前述した実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、さらに種々なる形態で実施し得ることは勿論のことであり、本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲に記載の均等の意味、および範囲内のすべての変更を含む。
1 回転駆動源
2 減速機
3 最終出力軸
5 モータ部
6 駆動源出力軸
6a 雄セレーション
7 トルクリミッタ
8 ケーシング
21 太陽ローラ
22 外側リング
23 遊星ローラ
24 キャリア
25 転がり軸受(深溝玉軸受)
25a 外輪
25b 内輪
25c 転動体
51 ステータ
52 ロータ

Claims (6)

  1. ステータおよびロータを有するモータ部と、前記ロータの内径側に配置され、ロータの回転を出力する駆動源出力軸と、駆動源出力軸に接続された減速機とを有する電動アクチュエータにおいて、
    前記駆動源出力軸が中空であり、前記減速機が遊星トラクションドライブ減速機であることを特徴とする電動アクチュエータ。
  2. 遊星トラクションドライブ減速機の遊星ローラを転がり軸受で構成した請求項1に記載の電動アクチュエータ。
  3. 前記転がり軸受が深溝玉軸受である請求項2に記載の電動アクチュエータ。
  4. 遊星ローラおよび太陽ローラの何れか一方または双方にクラウニングを設けた請求項1〜3何れか1項に記載の電動アクチュエータ。
  5. 請求項1〜4何れか1項に記載した減速機の出力側に最終出力軸を接続した電動アクチュエータ。
  6. 請求項1〜4何れか1項に記載した減速機の出力側に運動変換機構を接続した電動アクチュエータ。
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