JP4825131B2 - 消費電流バランス回路、補償電流量調整方法、タイミング発生器及び半導体試験装置 - Google Patents
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Description
半導体集積回路(DUT:被試験デバイス)10を試験対象とする半導体試験装置1は、同図に示すように、主要な構成として、半導体試験装置1の全体の制御を行うテストプロセッサ(図示せず)、試験パターンや期待値パターンなどを生成するパターン発生器11、このパターン発生器11からの試験パターンをテスト信号波形に整形する波形整形器12、この波形整形器12で整形されたテスト信号波形をDUT10へ送るドライバ回路13、コンパレータ14を介してDUT10から送られてきた試験結果とパターン発生器11からの期待値パターンとを論理比較して一致・不一致を検出し、DUT10の良否判断を行うパターン比較器15、タイミングパルス信号を発生して波形整形器12,コンパレータ14,パターン比較器15などに与えテストのタイミングをとるタイミング発生器20、パターン発生器11やタイミング発生器20に対してトリガ信号を出力するトリガ信号出力回路40などを備えている。
このタイミング発生器20の構成及び動作について、図7、図8を参照して説明する。
なお、本説明では、図8(a),(b)に示すように、RATE4.8[ns],CLK3.3[ns]を「設定1」、RATE7.5[ns],CLK4.0[ns]を「設定2」、RATE18.0[ns],CLK11.0[ns]を「設定3」とする。
また、基本CLKの周期(REFCLK)を4[ns]とする(同図(c))。
基本周期以下のRATE設定(RATE高分解能データ)は、レートメモリ(RATE MEMORY)21に予め書き込まれており、RATE信号に同期したメモリのアドレス信号(TS信号)を受けて出力される。
なお、RATE信号は、高分解能データがリアルタイムに加算され、キャリーがでた時点で1サイクルシフト(cycle shift)して周期カウンタ(COUNTER)22に入力する。
タイミングメモリ(TIMING MEMORY)23には、REFCLK周期の整数倍の遅延データが上位に(MSB)、REFCLK周期以下の遅延データが下位に(LSB)、それぞれ書き込まれており、RATE信号に同期したメモリのアドレス信号(TS信号)を受けて出力される。
タイミングメモリ23の上位と周期カウンタ22は、全ビットの一致をとり、一致したサイクルのみ、REFCLKを打ち抜くCLKENBデータを出力する(同図(e),(f),(g))。
なお、同図中の点線の矢印は、加算することを意味する。
また、レートメモリのデータは、動作を開始してから加算しつづけ、RATE設定の端数をリアルタイムに演算する。
遅延回路25は、REFCLK周期と同じ可変量を有し、遅延回路25の制御信号にしたがって、遅延をリアルタイムに付加する。
この場合、遅延回路25の消費電力の補間を行うことで、動作モードにかかわらず、常に、最大消費電流近傍に保つことができる。
例えば、図7に示すように、遅延回路25の近傍に、同一の消費電力のダミー回路(FINE VD1(Dummy))26−1及びダミー回路(FINE VD2(Dummy))26−2(以下、併せて「ダミー回路26」という。)をレイアウトし、CLKENBデータの反転論理でREFCLKを打ち抜けば、消費電力の補間が可能となる(例えば、特許文献1参照、第一の従来技術。)。
さらに、図7に示すダミー回路26に代えて、図10に示すヒータ回路28を用いることも提案されている(図11参照、第二の従来技術)。
また、遅延回路25の入力パルス信号とダミー回路26の入力パルス信号とは非同期のため、それら遅延回路25とダミー回路26との間のばらつきにより、消費電力の消費量と補間量の和が一定とならずに、動作モードの変化で消費電流が変わり、温度変動や電源の負荷変動によって精度劣化が起こる可能性があった。
とくに、CMOSでは、微細化が進むにつれ、回路間のばらつきも(ゲート幅*ゲート長の平方根の逆数1/SQRT(L*W)に比例して)大きくなっていた。しかも、電源電圧も小さくなるため、正帰還的にばらつきが大きくなることも考えられた。したがって、消費電力の補間回路は、シミュレーションで合わせることだけでは、消費電力の消費量と補間量の不一致による精度劣化が大きくなるという問題があった。
さらに、非動作状態における発振器の出力周期と動作状態における発振器の出力周期との差分が最小となるように、ヒータ回路の電流量が調整されるため、遅延回路とヒータ回路との各回路間のばらつきを抑えて消費電力の消費量と補間量の和を一定とすることができ、これにより、温度変動や電源の負荷変動による精度劣化を抑制できる。
なお、「ステージ」とは、図1において、遅延回路のうち波形通過禁止ゲートと波形通過禁止ゲートとの間に挟まれた部分をいう。範囲をこのように定義することで、ステージは、パルス通過による消費電流をコントロールできる単位を表すことになる。
これにより、遅延回路の温度変動や電源の負荷変動による遅延時間の精度劣化を抑制できる。
テストプロセッサ(半導体試験装置のコンピュータ部)から、タイミング発生の命令を受けると、トリガ信号出力回路は、タイミング発生器に対してトリガ信号を出力し、タイミング発生器は、トリガ信号から規定の時間後からタイミング発生する。
しかも、補償用回路としてヒータ回路を備えた構成としてあるため、補償用回路としてダミー回路を備えた場合と比較して、レイアウト面積を小さくできる。
20 タイミング発生器
25 遅延回路(FINE VD)
28 ヒータ回路
29 ヒータコントロール回路
30 波形通過禁止ゲート
31 リング発振器(RING OSC)
32 出力周期カウンタ(PERIOD CTR)
同図は、本実施形態のタイミング発生器の構成を示す回路図である。
同図に示すように、タイミング発生器20aは、主な構成要素として、レートメモリ(RATE MEMORY)21と、周期カウンタ(COUNTER)22と、タイミングメモリ(TIMING MEMORY)23と、FIFO24と、遅延回路(FINE VD1)25−1と、遅延回路(FINE VD2)25−2と、ヒータ回路28−1と、ヒータ回路28−2と、波形通過禁止ゲート30−1と、波形通過禁止ゲート30−2と、リング発振器(RING OSC)31と、出力周期カウンタ(PERIOD CTR)32と、ヒータ電流量調整回路33とを有している。
また、本実施形態においては、遅延回路25−1及び遅延回路25−2(以下、併せて「遅延回路25」という。)と、ヒータ回路28−1及びヒータ回路28−2(以下、併せて「ヒータ回路28」という。)と、波形通過禁止ゲート30−1及び波形通過禁止ゲート30−2(以下、併せて「波形通過禁止ゲート30」という。)と、リング発振器31と、出力周期カウンタ32とを含んだ回路を「消費電流バランス回路」という。
この遅延回路25は、タイミングパルス信号(出力信号)に遅延時間(微少遅延)を与えているが、そのタイミングパルス信号の立ち上がり時及び立ち下がり時に消費電流iが流れる。この消費電流iは、IC内部の温度やCMOS回路の伝搬遅延量と駆動電圧に影響を与える。
なお、このヒータ回路28の補償電流を制御するため、図2に示すように、ヒータコントロール回路29−1及びヒータコントロール回路29−2(以下、併せて「ヒータコントロール回路29」という。)を設けることができる。
ヒータコントロール回路29は、図12に示すヒータコントロール回路29と同様な機能・構成を有する。
リング発振器31は、図1に示すように、n個のインバータを直列接続し、その出力信号を入力側にフィードバックさせて発振させる回路であって、遅延回路25と同じ電源領域にレイアウトされている。
出力周期カウンタ(周期カウンタ)32は、トリガ信号(TGSTART)を受けて、リング発振器31の出力信号の周期を測定する。
このヒータ電流量調整回路33は、例えば、図10に示すヒータ回路と同じ構成で良く、S0〜Snをレジスタやメモリから受けても良い。
図10に示すヒータ回路の左側のPch*2段+Nch*1段は、バイアス電圧を生成する回路、右側は、バイアス電圧を受けて、デジタルデータ(S0〜Sn)を電流に変換するDACとなっている。DACの下側のNchは、電流源として使用しているトランジスタではなく、抵抗成分として使用している。
同図は、ヒータ回路の電流量の調整の流れを示す調整イメージ図である。
(1)タイミング発生器20aが動作していない状態(Stand−by状態、非動作状態)でのリング発振器の周期を測定する(同図(c)、一つめのCTR計測期間)。
(2)着目する回路のみ動作するように設定し、トリガ信号(TGSTART)によるタイミング発生動作開始(同図(a),(b))に合わせて、リング発振器31の周期を測定する(同図(c)、二つめのCTR計測期間)。なお、タイミング発生動作開始後を「動作状態」という。
(2−1)まず、遅延回路25−1の調整を行う。図1に示すFIFO24のデータが変わらない設定、遅延回路25−1はパルス信号が通過し、遅延回路25−2はパルス信号が通過しないように、設定「ENB1=“H”」,「ENB2=“L”」とする。
(2−3)遅延回路25−1と遅延回路25−2の調整後に、FIFO24のデータが変わる設定とする。
(3) (1)と(2)の周期の差分が最小となるようにヒータの電流量を調整する(同図(d))。
なお、電源変動は、ロードレギュレーションによるROSCの発振周期の変動の平均値を計測する(Stand−by状態との差分)。
さらに、本実施形態の消費電流バランス回路を備えたタイミング発生器20は、図6に示すように半導体試験装置1に備えることができる。これにより、半導体試験装置1においては、遅延時間の精度が高められたタイミングパルス信号を用いて半導体試験が行われるため、より正確な試験結果を得ることができる。
各ステージ(STAGE1,STAGE2,STAGE3)は、波形通過禁止ゲート30(ANDゲート)で区切られている(同図(i))。
CMOS回路は、パルス通過のときのみ電流を流す。
各ステージに流れる電流は、同図に示すように、パルス通過しているときだけ電流が流れる(「パルス通過」は、同図(ii)〜(v)、「STAGE電流」は、同図(vi),(vii),(viii))。
補間電流は、遅延回路にパルスが通過しているときだけOFFし、不通過のときは、設定した電流が流れるようにコントロールされている(同図(ix),(x),(xi))。
ヒータの電流が全く流れない場合、total電流(遅延回路+ヒータに流れる電流)は、同図(xii)に示す細い実線のようになるが、ヒータを最適値に設定すると、太い実線にように、最大値近傍で一定値となる。
なお、同図は、説明をわかりやすくするため、前縁通過を基準とする電力消費のみ図示している。
電圧降下量=△V+△I・(R1+R2) ・・・(式1)
この式1で求められる値を図示すると、同図(b)のようになる。
伝播遅延時間の変動=0.11[%/mV]・(△V+△I・(R1+R2))・Tpd(伝播遅延時間) ・・・(式2)
以上から、精度を劣化させないためには、CMOSの電流値を一定に保つことが重要であることがわかる。
Claims (6)
- 出力信号に遅延時間を与える遅延回路と、この遅延回路の消費電流を補間するための補償用回路とを備えた消費電流バランス回路であって、
前記補償用回路として前記遅延回路の近傍に設けられたヒータ回路と、
前記遅延回路と同じ電源領域に設けられた発振器と、
この発振器の出力周期を測定する周期カウンタと、
非動作状態における前記発振器の出力周期と動作状態における前記発振器の出力周期との差分が最小となるように、前記ヒータ回路の電流量を調整するヒータ回路電流量調整回路とを備えた
ことを特徴とする消費電流バランス回路。 - 前記遅延回路のステージごとに波形通過を禁止する波形通過禁止ゲートを備え、
前記ヒータ回路電流量調整回路は、非動作状態における前記発振器の出力周期と、前記遅延回路の各ステージごとの各動作状態における前記発振器の出力周期との差分がそれぞれ最小となるように、前記ヒータ回路の電流量を各前記ステージごと及び/又は各回路ごとに調整する
ことを特徴とする請求項1記載の消費電流バランス回路。 - 遅延回路の消費電流を補間するためのヒータ回路に流れる補償電流量を調整する補償電流量調整方法であって、
前記遅延回路と同じ電源領域に備えられた発振器の出力周期を、非動作状態において、周期カウンタが測定する手順と、
前記遅延回路が各ステージごとに動作するように波形通過禁止ゲートを切り替える手順と、
前記遅延回路のステージごとに、それらステージの動作状態における前記発振器の出力周期を前記周期カウンタが測定する手順と、
非動作状態における前記発振器の出力周期と、前記遅延回路のステージごとの動作状態における前記発振器の出力周期との差分が最小となるように、前記ヒータ回路の電流量をヒータ回路電流量調整回路により調整する手順とを有した
ことを特徴とする補償電流量調整方法。 - タイミングパルス信号に遅延時間を与える遅延回路と、
この遅延回路の消費電流を補間する補償用回路とを備えたタイミング発生器であって、
前記補償用回路に流れる補償電流量を調整する消費電流バランス回路を有し、
この消費電流バランス回路が、前記請求項1又は2記載の消費電流バランス回路からなる
ことを特徴とするタイミング発生器。 - タイミング発生動作を行うトリガ信号を出力するトリガ信号出力回路を備え、
前記トリガ信号出力回路から前記トリガ信号が出力されて前記タイミング発生動作が開始されると、前記消費電流バランス回路の周期カウンタは、前記遅延回路と同じ電源領域に備えられた発振器の出力周期を測定する
ことを特徴とする請求項4記載のタイミング発生器。 - 基準クロック信号を所定時間遅延した遅延クロック信号を出力するタイミング発生器と、
前記基準クロック信号に同期して試験パターン信号を出力するパターン発生器と、
前記試験パターン信号を被試験デバイスに応じて整形し、当該被試験デバイスへ送る波形整形器と、
前記被試験デバイスの応答出力信号と期待値データ信号とを比較する論理比較器とを備えた半導体試験装置であって、
前記タイミング発生器が、請求項5記載のタイミング発生器からなる
ことを特徴とする半導体試験装置。
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