JP4777345B2 - 摩擦を減らすための、ローラグライドを備えたリフトピン - Google Patents
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Description
この発明は、一般に真空チャンバにおいて用いられ、特にプラズマ化学気相成長(PECVD)リアクタにおいて用いられるピンシステムに取組んでいる。これらのピンは、リアクタにおいて基板を持上げたり支持したりするのに用いられる。リアクタが開いているとき、当該ピンは、ロボットフォークによって挿入される基板を受けるよう上げられる。基板が当該ピン上に配置された後、当該ピンは、基板が処理されるべき位置に到達するまで下げられる。リアクタ底部を当該ピンと相対的に上昇させるシステムも当該技術において公知である。当該ピンは、リアクタ底部に機械加工された案内穴に延びている。典型的には、リアクタの内部につながる案内穴の上方単部は、さら穴にされている。加えて、ピン頭部は、当該ピンが案内穴を通って落ちるのを防ぐよう漏斗状に広げられている。当該ピンシステムの後者の2つの特徴は、ピン頭部をリアクタ底部と同一平面になるよう近接して位置決めすることを可能にする。通常、エレベータシステムは、リフトアームおよびエレベータ機構を含み、所望の位置で当該ピンを持上げる。
US 2004/0045509は、ピンとその案内穴との間の摩擦を如何に低減させるかを教示する。その解決策はピンの設計に基づいており、ピンは、当該ピンとその案内穴との間の接触面積を小さくする少なくとも1つのより大きな直径をもつ肩部を有しており、これにより、ピンのスクラッチ、粒子の発生および構成要素の摩耗を低減させる。
決策は、上述の技術的な問題を部分的にしか解決しない。第1の解決策は、ピン移動方向への摩擦を減らすよう設計されており、第2の解決策は、エレベータシステムによって引起されるピンシステムに対する横方向の力を減らすよう設計されている。
この発明は、上昇移動中における、ピンに作用する横方向の力と案内摩擦とを減らすことを目的とする。横方向の力は、リフトアームおよび基板によって引起こされる可能性がある。エレベータシステムは、リフトアームと、当該アームに取付けられた台板とを含む。ピンは、台板上で緩んだ状態であり、リアクタ底部上に装着されたブッシングに備わっている。したがって、主に重要なのは、ピン/基板、ピン/台板およびピン/ブッシングの接触面積である。
図1aはピンシステムのアセンブリを示す。ピン1は、ローラグライド2によって案内され、リフトアーム3aに装着された台板3によって作動させられる。これらのピンシステムのうちの少なくとも3つは、基板4を支持しかつ持上げるのに適用される。当該ピンは、上昇しているピン上に基板を配置するロボットフォーク(図1には図示せず)から基板4を受けることになっている。次いで、当該ピンが基板4をリアクタ底部2a上に配置する(図1b)。これは、コーティングプロセスが始まる前の基板の最後の位置となる。コーティングプロセスが終了した後、当該ピンが上昇位置において基板を持上げて(図1c)から、ロボットフォークが当該基板をコーティングチャンバから取出す。
耗の低減を可能にする材料でできており、プロセスガスに対し化学的に耐性があり、処理温度でその特性を維持する。ローラ自体は、このような材料でできたブッシング(5)によって保持される。
この発明のピン設計では、自動ロックのリスクが大幅に低減される。案内摩擦が少なくなることに加えて横方向の力が分断されるといった新しい解決策の特徴により、歩留り率が高くなり、コーティング装置のダウンタイムが短くなる。さらなる好ましい影響は、リアクタ内の粒子が減り、基板をスクラッチするリスクが減ることである。ピンの摩擦が少なくなるので、ピンとその案内との間、およびピンと基板との間における研摩力が最小限にされる。粒子の混入や、リアクタの基板をスクラッチするリスクが低減する。
ングボール。
Claims (10)
- 基板を持上げ、支持するためのピンアセンブリであって、
− 上端部および底端部を有するリフトピン(1)を含み、
− 前記上端部は基板(4)を受け、支持するように構成され、
− 前記底端部はエレベータシステム(3a)によって作動させられるように構成され、
− 前記リフトピン(1)はガイドによって移動可能に支えられ、
前記ガイドは、垂直軸におけるピン移動の摩擦を減らすためのローラグライド(2)を含み、
前記リフトピン(1)の底端部は、少なくとも持上げ動作中に、台板(3)を介してエレベータシステム(3a)と接触し、
台板(3)は、前記エレベータシステム(3a)に対して横方向に移動可能である上板(7)と、前記上板(7)を越えて配置されているボール(9)を備えたボール保持板(8)とを含む、ピンアセンブリ。 - ローラグライドは、ブッシング(5)に配置された6個のローラ(6)を含む、請求項1に記載のピンアセンブリ。
- ローラグライド(2)は、リアクタ底部(2a)上に装着されている、請求項1または2に記載のピンアセンブリ。
- ローラグライド(2)は、低摩耗および低摩擦を可能にする材料でできたローラ(6)を含む、請求項1から3に記載のピンアセンブリ。
- ローラグライド(2)およびブッシング(5)は同じ材料でできている、請求項2に記載のピンアセンブリ。
- ボール保持板(8)は、前記エレベータシステムに対して横方向に移動可能である、請求項1に記載のピンアセンブリ。
- 上板(7)および保持板(8)の横方向の移動は、弾性軸受(7a、8a)によって容易にされる、請求項1または6に記載のピンアセンブリ。
- リフトピン(1)の上端部はさらに、ローリングボール(14)を保持するように構成されるクリアランスを含む、請求項1に記載のピンアセンブリ。
- ローリングボール(14)はボール軸受(13)によって支持される、請求項8に記載のピンアセンブリ。
- さらに、保持リング(12)で、部分的にクリアランスを覆い、リフトピンがローラグライドを通って落ちるのを防ぐ、請求項8または9に記載のピンアセンブリ。
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