JP2008500709A5 - - Google Patents

Claims (13)

1. 基板を持上げ、支持するためのピンアセンブリであって、
   − 上端部および底端部を有するリフトピン（１）を含み、
   − 前記上端部は基板（４）を受け、支持するものと解釈され、
   − 前記底端部はエレベータシステム（３ａ）によって作動させられるものと解釈され、
   − 前記リフトピン（１）はガイドによって移動可能に支えられ、
   前記ガイドは、垂直軸におけるピン移動の摩擦を減らすためのローラグライド（２）を含む、ピンアセンブリ。
2. ローラグライドは、ブッシング（５）に配置された６個のローラ（６）を含む、請求項１に記載のピンアセンブリ。
3. ローラグライド（２）は、リアクタ底部（２ａ）上に装着されている、請求項１または２に記載のピンアセンブリ。
4. ローラグライド（２）は、低摩耗および低摩擦を可能にする材料でできたローラ（６）を含む、請求項１から３に記載のピンアセンブリ。
5. ローラグライド（２）およびブッシング（５）は同じ材料でできている、請求項２に記載のピンアセンブリ。
6. リフトピン（１）の底端部は、少なくとも持上げ動作中に、台板（３）を介してエレベータシステム（３ａ）と接触する、請求項１に記載のピンアセンブリ。
7. 台板（３）は、前記エレベータシステム（３ａ）に対して横方向に移動可能である上板（７）を含む、請求項６に記載のピンアセンブリ。
8. 台板（３）はさらに、上板（７）を越えて配置されているボール（９）を備えたボール
   保持板（８）を含む、請求項６または７に記載のピンアセンブリ。
9. ボール保持板（８）は、前記エレベータシステムに対して横方向に移動可能である、請求項８に記載のピンアセンブリ。
10. 上板（７）および保持板（８）の横方向の移動は、弾性軸受（７ａ、８ａ）によって容易にされる、請求項７または９に記載のピンアセンブリ。
11. リフトピン（１）の上端部はさらに、ローリングボール（１４）を保持するものと解釈されるクリアランスを含む、請求項１に記載のピンアセンブリ。
12. ローリングボール（１４）はボール軸受（１３）によって支持される、請求項１１に記載のピンアセンブリ。
13. さらに、保持リング（１２）で、部分的にクリアランスを覆い、リフトピンがローラグライドを通って落ちるのを防ぐ、請求項１１または１２に記載のピンアセンブリ。