CN105039934A - 滚轮套筒 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种滚轮套筒，属于光学技术领域。该滚轮套筒包括：套筒主体，设置在所述套筒主体内部上端的上滚轮组，设置在所述套筒主体内部下端的下滚轮组，以及设置在所述套筒主体内，所述上滚轮组和所述下滚轮组之间的至少一组中间滚轮组；所述中间滚轮组与所述上滚轮组的滚轮在所述套筒主体上开口面和下开口面中任一开口面的投影不重叠；所述中间滚轮组与所述下滚轮组的滚轮在所述任一开口面的投影不重叠。本发明通过在滚轮套筒中设置中间滚轮组，提高了支撑杆与滚轮套筒的接触稳定性。

Description

滚轮套筒

技术领域

本发明涉及光学技术领域，特别涉及一种滚轮套筒。

背景技术

等离子体增强化学气相沉积(英文：PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition；简称：PECVD)是薄膜晶体管液晶显示器(英文：ThinFilmTransistor-LiquidCrystalDisplay；简称：TFT—LCD)行业以及薄膜太阳能行业中的重要工艺。图1是一种PECVD工艺腔室的示意图，如图1所示，PECVD工艺腔室内设置有喷头10，喷头支架101，气体通道12，支撑杆13，也称为支撑销(英文：pin)，滚轮套筒(英文：RollerBush)14和基板支撑件15，其中滚轮套筒套置在支撑杆13上，并安置在基板支撑件15的凹槽内。机械手将基板16送入PECVD工艺腔室进行装载时，可以将该基板16置于该多个支撑杆13的上部，该滚轮套筒14和基板支撑件15可以相对于该支撑杆13持续上下运动，以此调整该基板16和基板支撑件15之间的距离，以便于机械手装载以及卸载基板。

相关技术中，滚轮套筒包括套筒主体，在该套筒主体内壁的上端和下端，分别设置有沿该套筒的中轴线等间距圆周阵列排布的4个滚轮，每个滚轮的中轴线与套筒主体的中轴线相互垂直。当滚轮套筒上下运动时，该套筒主体内上下两端的滚轮可以与支撑杆接触，以保证该滚轮套筒可以自由上下运动，进而确保该支撑杆的稳定性，防止基板破碎。

但是，相关技术中的滚轮套筒内上下两端各设置有4个滚轮，支撑杆与滚轮套筒通过滚轮实现上下相对运动时，支撑杆与滚轮套筒容易出现相对晃动，导致支撑杆与滚轮套筒的接触稳定性较低。

发明内容

为了解决相关技术的问题，本发明提供了一种滚轮套筒。所述技术方案如下：

本发明提供了一种滚轮套筒，所述滚轮套筒包括：

套筒主体，设置在所述套筒主体内部上端的上滚轮组，设置在所述套筒主体内部下端的下滚轮组，以及设置在所述套筒主体内，所述上滚轮组和所述下滚轮组之间的至少一组中间滚轮组；

所述中间滚轮组与所述上滚轮组的滚轮在所述套筒主体上开口面和下开口面中任一开口面的投影不重叠；

所述中间滚轮组与所述下滚轮组的滚轮在所述任一开口面的投影不重叠。

可选的，所述至少一组中间滚轮组为一组中间滚轮组，

所述上滚轮组、所述下滚轮组和所述中间滚轮组中每个滚轮组的滚轮分布在所述套筒主体的同一横截面上；

所述中间滚轮组的滚轮分布的横截面与所述上滚轮组的滚轮分布的横截面的距离等于所述中间滚轮组的滚轮分布的横截面与所述下滚轮组的滚轮分布的横截面的距离。

可选的，每个所述中间滚轮组包括4个滚轮，所述4个滚轮沿所述套筒主体的中轴线等间距圆周阵列排布。

可选的，所述上滚轮组与所述下滚轮组的滚轮在所述任一开口面的投影重叠；

所述中间滚轮组与所述上滚轮组的滚轮在所述任一开口面的投影沿所述套筒主体的中轴线等间距圆周阵列排布；

所述中间滚轮组与所述下滚轮组的滚轮在所述任一开口面的投影沿所述套筒主体的中轴线等间距圆周阵列排布。

可选的，所述上滚轮组包括4个滚轮，所述4个滚轮沿所述套筒主体的中轴线等间距圆周阵列排布；

所述下滚轮组包括4个滚轮，所述4个滚轮沿所述套筒主体的中轴线等间距圆周阵列排布。

可选的，所述上滚轮组、所述下滚轮组和所述中间滚轮组中包括的滚轮为凹槽轮。

可选的，所述凹槽轮的最大直径为10mm；所述凹槽轮的凹槽处的最小直径为9.5mm。

可选的，所述套筒主体中，设置有滚轮组的位置的外径大于所述套筒主体其他位置的外径。

可选的，所述套筒主体的长度为160mm；所述上滚轮组与所述下滚轮组之间的间距为120mm。

本发明提供的技术方案带来的有益效果是：

本发明提供的一种滚轮套筒，该滚轮套筒包括套筒主体，设置在该套筒主体内部上端的上滚轮组，设置在该套筒主体内部下端的下滚轮组，以及设置在该套筒主体内，该上滚轮组和该下滚轮组之间的至少一组中间滚轮组；该中间滚轮组与该上滚轮组的滚轮在该套筒主体上开口面和下开口面中任一开口面的投影不重叠；该中间滚轮组与该下滚轮组在该任一开口面的投影不重叠。因此本发明实施例提供的滚轮套筒，套筒主体内设置的中间滚轮组与上下滚轮组交错排布，保证了支撑杆四周都能够与滚轮接触，进而提高了支撑杆与滚轮套筒的接触稳定性。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例提供的一种PECVD工艺腔室的示意图；

图2是本发明实施例提供的一种滚轮套筒的示意图；

图3是本发明实施例提供的一种中间滚轮组的滚轮在下开口面的投影示意图；

图4是本发明实施例提供的一种上滚轮组、下滚轮组和中间滚轮组的滚轮在下开口面的投影示意图；

图5是本发明实施例提供的一种滚轮的截面示意图；

图6是本发明实施例提供的另一种滚轮套筒的示意图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述。

本发明实施例提供了一种滚轮套筒，参见图2，该滚轮套筒包括：

套筒主体20，设置在该套筒主体20内部上端的上滚轮组21，设置在该套筒主体内部下端的下滚轮组22，以及设置在该套筒主体20内，该上滚轮组21和该下滚轮组22之间的至少一组中间滚轮组23。

该中间滚轮组23与该上滚轮组21的滚轮在该套筒主体20的上开口面和下开口面中任一开口面的投影不重叠；该中间滚轮组23与该下滚轮组22的滚轮在该任一开口面的投影不重叠。

在本发明实施例中，支撑杆(图中未画出)可以设置在该套筒主体20的内部，支撑杆的四周与套筒主体20内部的滚轮接触，以保证滚轮套筒和支撑杆之间可以上下相对运动。本发明实施例提供的滚轮套筒，除了设置有上滚轮组21和下滚轮组22，还包括至少一组中间滚轮组23，示例的，如图2所示，该滚轮套筒的上滚轮组21和下滚轮组22之间可以设置有一组中间滚轮组23，假设上滚轮组21、下滚轮组22和中间滚轮组23各包括4个滚轮，则该三个滚轮组的滚轮在套筒主体20下开口面201的投影图可以如图2所示，其中上滚轮组21和下滚轮组22中的滚轮在下开口面201中的投影210相互重叠，而中间滚轮组23中的滚轮在下开口面201中的投影230与该上滚轮组21和下滚轮组22的滚轮投影210均不重叠，即中间滚轮组23的滚轮与上滚轮组21以及下滚轮组22中的滚轮交错排布，因此增加了滚轮套筒与支撑杆四周的接触面积，进而提高了滚轮套筒与支撑杆的接触稳定性。

需要说明的是，在实际应用中，该滚轮套筒可以是由高密度精密加工的陶瓷件，能够在380度高温下保持其原有的特性，以保证滚轮套筒在高温真空的PECVD工艺腔室内工作时的稳定性。

综上所述，本发明实施例提供的一种滚轮套筒，该滚轮套筒包括套筒主体，设置在该套筒主体内部上端的上滚轮组，设置在该套筒主体内部下端的下滚轮组，以及设置在该套筒主体内，该上滚轮组和该下滚轮组之间的至少一组中间滚轮组；该中间滚轮组与该上滚轮组在该套筒主体上开口面和下开口面中任一开口面的投影不重叠；该中间滚轮组与该下滚轮组在该任一开口面的投影不重叠。因此本发明实施例提供的滚轮套筒，套筒主体内设置的中间滚轮组与上下滚轮组中的滚轮交错排布，保证了支撑杆四周都能够与滚轮接触，提高了支撑杆与滚轮套筒的接触稳定性，不仅可以降低支撑杆支撑的基板的破碎率，还能防止支撑杆异常停止在套筒内，进而避免更大的备件损伤。

可选的，如图2所示，该至少一组中间滚轮组23为一组中间滚轮组，该上滚轮组21、该下滚轮组22和该中间滚轮组23中每个滚轮组的滚轮分布在该套筒主体20的同一横截面上；

该中间滚轮组23的滚轮分布的横截面与该上滚轮组21的滚轮分布的横截面的距离等于该中间滚轮组23的滚轮分布的横截面与该下滚轮组22的滚轮分布的横截面的距离。

该三组滚轮组中每组滚轮组的滚轮分布在套筒主体20的同一横截面上，即每个滚轮组的滚轮的中轴线位于该同一横截面上，且中间滚轮组与上下滚轮组之间的距离相等，以保证支撑杆能够均匀受力。在本发明实施例中，虽然增加中间滚轮组的组数，可以增加滚轮套筒与支撑杆四周的接触面积，但同时也降低了滚轮套筒的整体稳定性，并且增加了滚轮套筒的成本，因此为了确保滚轮套筒的实用性，本发明实施例提供的滚轮套筒中，该至少一组中间滚轮组23可以为一组中间滚轮组，且该一组中间滚轮组与上下滚轮组的距离相等。

可选的，每个该中间滚轮组包括4个滚轮，该4个滚轮沿该套筒主体的中轴线等间距圆周阵列排布。

示例的，图3是本发明实施例提供的一种中间滚轮组的滚轮在套筒主体下开口面的投影示意图，如图3所示，该中间滚轮组23包括4个滚轮，该4个滚轮沿该套筒主体20的中轴线等间距圆周阵列排布，即在图3所示的中间滚轮组23的滚轮在下开口面201的投影230中，相邻两个滚轮投影的中轴线之间的夹角为90度。

可选的，该上滚轮组21与该下滚轮组22的滚轮在该任一开口面的投影重叠；该中间滚轮组23与该上滚轮组21的滚轮在该任一开口面的投影沿该套筒主体的中轴线等间距圆周阵列排布；该中间滚轮组23与该下滚轮组22的滚轮在该任一开口面的投影沿该套筒主体的中轴线等间距圆周阵列排布。

示例的，图4是本发明实施例提供的一种上滚轮组、下滚轮组和中间滚轮组的滚轮在套筒主体下开口面的投影示意图，假设该上滚轮组21、该下滚轮组22和中间滚轮组23中每个滚轮组各包括4个滚轮，则从图4所示的投影图中可以看出，该上滚轮组21和下滚轮组22的滚轮在该下开口面201的投影210重叠，该中间滚轮组23的滚轮投影230与该上滚轮组21(及下滚轮组22)的滚轮投影210沿该套筒主体20的中轴线等间距圆周阵列排布，即中间滚轮组23中的每个滚轮的投影与相邻的上滚轮组21(及下滚轮组22)的滚轮投影的中轴线的夹角为45度，以此保证支撑杆在滚轮套筒中的上下两端能够均匀受力，并保证支撑杆的四周也可以均匀受力，进而确保支撑杆与滚轮套筒的接触稳定性。

可选的，该上滚轮组21包括4个滚轮，该4个滚轮沿该套筒主体的中轴线等间距圆周阵列排布；该下滚轮组22包括4个滚轮，该4个滚轮沿该套筒主体的中轴线等间距圆周阵列排布。

在本发明实施例中，该上下滚轮组21和22可以各包括4个滚轮，且每个滚轮组的4个滚轮沿该套筒主体的中轴线等间距圆周阵列排布，示例的，如图4所示，上滚轮组21和下滚轮组22在套筒主体20下开口面201的滚轮投影可以重叠，该重叠的滚轮投影可以为210，即每个滚轮组包括4个滚轮时，每个滚轮组的滚轮投影中，相邻两个滚轮投影的中轴线的夹角为90度。

可选的，该上滚轮组21、该下滚轮组22和该中间滚轮组23中包括的滚轮为凹槽轮。

图5是本发明实施例提供的一种滚轮的截面示意图，如图5所示，该滚轮可以为设置有凹槽的凹槽轮，凹槽轮可以增加与支撑杆的接触面积，进而提高支撑杆与滚轮套筒的接触稳定性。如图5所示，该凹槽轮的最大直径d_max可以为10mm，该凹槽轮的凹槽处的最小直径d_min可以为9.5mm。

图6是本发明实施例提供的另一种滚轮套筒的示意图，如图6所示，该套筒主体20中，设置有滚轮组的位置的外径大于该套筒主体20其他位置的外径。且该多个滚轮组的位置的外径相等。示例的，如图6所示，该套筒主体20中，设置有中间滚轮组的位置的外径d2大于该套筒主体其他位置的外径d1，以便于该滚轮组中各个滚轮的设置。

可选的，如图6所示，该套筒主体20的长度d3可以为160mm；该上滚轮组21与该下滚轮组22之间的间距d4可以为120mm。则中间滚轮组23与该上滚轮组21之间的间距d5和下滚轮组22之间的间距d6相等，即d5和d6可以为60mm。

本发明实施例提供的技术方案带来的有益效果是：

本发明实施例提供的一种滚轮套筒，该滚轮套筒包括套筒主体，设置在该套筒主体内部上端的上滚轮组，设置在该套筒主体内部下端的下滚轮组，以及设置在该套筒主体内，该上滚轮组和该下滚轮组之间的至少一组中间滚轮组；该中间滚轮组与该上滚轮组在该套筒主体上开口面和下开口面中任一开口面的投影不重叠；该中间滚轮组与该下滚轮组在该任一开口面的投影不重叠。因此本发明实施例提供的滚轮套筒，套筒主体内设置的中间滚轮组与上下滚轮组交错排布，保证了支撑杆四周都能够与滚轮接触，进而提高了支撑杆与滚轮套筒的接触稳定性。

以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种滚轮套筒，其特征在于，所述滚轮套筒包括：

套筒主体，设置在所述套筒主体内部上端的上滚轮组，设置在所述套筒主体内部下端的下滚轮组，以及设置在所述套筒主体内，所述上滚轮组和所述下滚轮组之间的至少一组中间滚轮组；

所述中间滚轮组与所述上滚轮组的滚轮在所述套筒主体上开口面和下开口面中任一开口面的投影不重叠；

所述中间滚轮组与所述下滚轮组的滚轮在所述任一开口面的投影不重叠。

2.根据权利要求1所述的滚轮套筒，其特征在于，所述至少一组中间滚轮组为一组中间滚轮组，

所述上滚轮组、所述下滚轮组和所述中间滚轮组中每个滚轮组的滚轮分布在所述套筒主体的同一横截面上；

所述中间滚轮组的滚轮分布的横截面与所述上滚轮组的滚轮分布的横截面的距离等于所述中间滚轮组的滚轮分布的横截面与所述下滚轮组的滚轮分布的横截面的距离。

3.根据权利要求1所述的滚轮套筒，其特征在于，每个所述中间滚轮组包括4个滚轮，所述4个滚轮沿所述套筒主体的中轴线等间距圆周阵列排布。

4.根据权利要求1所述的滚轮套筒，其特征在于，

所述上滚轮组与所述下滚轮组的滚轮在所述任一开口面的投影重叠；

所述中间滚轮组与所述上滚轮组的滚轮在所述任一开口面的投影沿所述套筒主体的中轴线等间距圆周阵列排布；

所述中间滚轮组与所述下滚轮组的滚轮在所述任一开口面的投影沿所述套筒主体的中轴线等间距圆周阵列排布。

5.根据权利要求1-4任一所述的滚轮套筒，其特征在于，所述上滚轮组包括4个滚轮，所述4个滚轮沿所述套筒主体的中轴线等间距圆周阵列排布；

所述下滚轮组包括4个滚轮，所述4个滚轮沿所述套筒主体的中轴线等间距圆周阵列排布。

6.根据权利要求1-4任一所述的滚轮套筒，其特征在于，

所述上滚轮组、所述下滚轮组和所述中间滚轮组中包括的滚轮为凹槽轮。

7.根据权利要求6所述的滚轮套筒，其特征在于，

所述凹槽轮的最大直径为10mm；

所述凹槽轮的凹槽处的最小直径为9.5mm。

8.根据权利要求1所述的滚轮套筒，其特征在于，所述套筒主体中，设置有滚轮组的位置的外径大于所述套筒主体其他位置的外径。

9.根据权利要求1所述的滚轮套筒，其特征在于，所述套筒主体的长度为160mm；

所述上滚轮组与所述下滚轮组之间的间距为120mm。