CN105648404A - 蒸镀坩埚 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种蒸镀坩埚，由一金属棒经机械加工去除材料得到，在对金属棒加工过程中，保留一部分能够向坩埚中部传热的导热结构，如通过增加坩埚侧壁的内表面积，或者在坩埚内部设置导热柱或导热片等导热结构，来提高蒸镀材料与坩埚本体的接触面积，使得蒸镀材料受热均匀，蒸镀速率平稳，从而提高蒸镀效果。

Description

蒸镀坩埚
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种蒸镀坩埚。
背景技术
OLED是一种极具发展前景的平板显示技术，它具有十分优异的显示性能，特别是自发光、结构简单、超轻薄、响应速度快、宽视角、低功耗及可实现柔性显示等特性，被誉为“梦幻显示器”，再加上其生产设备投资远小于TFT-LCD，得到了各大显示器厂家的青睐，已成为显示技术领域中第三代显示器件的主力军。目前OLED已处于大规模量产的前夜，随着研究的进一步深入，新技术的不断涌现，OLED显示器件必将有一个突破性的发展。
OLED有机材料的薄膜制备有两种工艺路线。对于高分子OLED材料，采用溶液成膜方式，这种工艺目前还处于试验研究阶段。对于小分子OLED材料，目前普遍采用真空热蒸镀的成膜方式，这种工艺路线被平板显示行业的大多数工厂采用，比如三星、LG等。真空热蒸镀技术是在低于5×10-5Pa的真空环境下，通过加热的方式将材料由固态变为蒸气状态，高速运动的气态分子到达玻璃基板并在基板上沉积固化，再变回为OLED材料的固体薄膜。对于熔融型材料，其受热后，会由固态变为液态，最后变为气态分子，这类型材料对于坩埚内部的形状并没有太高的要求，因为液态物质会到处流动，可以保持与坩埚内壁的充分接触。而对于升华型材料，其受热后，会直接由固态转化为气态分子。由于固态物质缺乏流动性，所以在材料受热升华的过程中极有可能发生如图1所示的情况。从图1中可以看出，材料100受热后，与坩埚内壁200接触的材料100升华，变成气态分子跑掉，剩下的固态物质无法流动，从而剩余材料100无法与坩埚内壁200充分接触，导致升华的速率不稳。如果设备运行在速率固定模式下，为保持升华速率，设备会不断加热以提高温度，这样极有可能超过材料100的裂解温度，导致材料变质。
发明内容
本发明的目的在于提供一种蒸镀坩埚，可提高蒸镀材料与坩埚本体的接触面积，使得蒸镀材料受热均匀，蒸镀速率平稳，从而提高蒸镀效果。
为实现上述目的，本发明提供一种蒸镀坩埚，包括坩埚底以及与所述坩埚底相连的侧壁，所述侧壁与所述坩埚底围成一中空腔室，所述中空腔室包括数个相连通且延伸方向与所述侧壁的延伸方向一致的盲孔，所述侧壁的内表面包括数个向侧壁内部凹陷的第一弧形表面，该数个第一弧形表面分别为所述数个盲孔的孔壁的一部分。
当所述中空腔室由至少3个盲孔组成，即所述侧壁的内表面包括至少3个第一弧形表面时，所述蒸镀坩埚还包括位于所述中空腔室内且底端部与所述坩埚底相连的一导热柱，所述导热柱的侧表面由数个向导热柱内部凹陷的第二弧形表面围成，该数个第二弧形表面分别为所述数个盲孔的孔壁的一部分，即分别与所述数个第一弧形表面位于相同的盲孔上；所述导热柱的高度不超过所述侧壁的高度的三分之二。
所述蒸镀坩埚由一金属棒经机械加工去除材料得到。
本发明还提供另一种蒸镀坩埚，包括坩埚底、与所述坩埚底相连的侧壁、以及位于所述侧壁与坩埚底围成的中空腔室内且底端部与所述坩埚底相连的导热柱。
所述导热柱的高度不超过所述侧壁的高度的三分之二；所述侧壁为圆筒形，所述导热柱为圆柱形，且位于所述侧壁的轴心位置。
所述蒸镀坩埚由一金属棒经机械加工去除材料得到。
本发明还提供又一种蒸镀坩埚，包括坩埚底、与所述坩埚底相连的侧壁、以及位于所述侧壁与坩埚底围成的中空腔室内且底端部与所述坩埚底相连的数个不连续的导热片。
所述侧壁为圆筒形，所述数个导热片为位于与所述侧壁同轴心的一圆筒上的数个弧形导热片；所述导热片的高度不超过所述侧壁的高度的三分之二。
所述侧壁为圆筒形，所述数个导热片呈平直状，所述数个导热片的一侧与所述侧壁的内表面相连接，另一侧向所述侧壁的轴心延伸；所述导热片的高度不超过所述侧壁的高度的三分之二。
所述蒸镀坩埚由一金属棒经机械加工去除材料得到。
本发明的有益效果：本发明提供的一种蒸镀坩埚，由一金属棒经机械加工去除材料得到，在对金属棒加工过程中，保留一部分能够向坩埚中部传热的导热结构，如通过增加坩埚侧壁的内表面积，或者在坩埚内部设置导热柱或导热片等导热结构，来提高蒸镀材料与坩埚本体的接触面积，使得蒸镀材料受热均匀，蒸镀速率平稳，从而提高蒸镀效果。
为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。
附图说明
下面结合附图，通过对本发明的具体实施方式详细描述，将使本发明的技术方案及其它有益效果显而易见。
附图中，
图1为现有的蒸镀坩埚中升华型材料在蒸镀过程中受热不均匀的示意图；
图2-3为本发明的蒸镀坩埚的第一实施例的剖视示意图；
图4-7为本发明的蒸镀坩埚的第一实施例的俯视示意图；
图8为本发明的蒸镀坩埚的第二实施例的剖视示意图；
图9为本发明的蒸镀坩埚的第二实施例的俯视示意图；
图10为本发明的蒸镀坩埚的第三实施例的剖视示意图；
图11为本发明的蒸镀坩埚的第三实施例的俯视示意图；
图12为本发明的蒸镀坩埚的第四实施例的剖视示意图；
图13为本发明的蒸镀坩埚的第四实施例的俯视示意图。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。
请参阅图2-7，为本发明的蒸镀坩埚的第一实施例，所述蒸镀坩埚包括坩埚底10以及与所述坩埚底10相连的侧壁20，所述侧壁20与所述坩埚底10围成一中空腔室，所述中空腔室包括数个相连通且延伸方向与所述侧壁20的延伸方向一致的盲孔23，所述侧壁20的内表面包括数个向侧壁20内部凹陷的第一弧形表面21，该数个第一弧形表面21分别为所述数个盲孔23的孔壁的一部分。
具体的，所述坩埚底10与侧壁20的材料为金属，如钛、或铝等。
请参阅图3及图5-7，当所述中空腔室由至少3个盲孔23组成，即所述侧壁20的内表面包括至少3个第一弧形表面21时，所述蒸镀坩埚还包括位于所述中空腔室内且底端部与所述坩埚底10相连的一导热柱30，所述导热柱30的侧表面由数个向导热柱30内部凹陷的第二弧形表面31围成，该数个第二弧形表面31分别为所述数个盲孔23的孔壁的一部分，即分别与所述数个第一弧形表面21位于相同的盲孔23上。
具体的，所述导热柱30的高度不超过所述侧壁20的高度的三分之二。
具体的，所述导热柱30的材料为金属，如钛、或铝等。
具体的，该第一实施例的蒸镀坩埚由一金属棒经机械加工去除材料得到。
本发明的第一实施例的蒸镀坩埚，通过在一金属棒内加工数个相连通的盲孔23后得到，从而使得该蒸镀坩埚的侧壁20的内表面由数个向侧壁20内部凹陷的第一弧形表面21围成，增大了坩埚内壁的表面积，进而增大了坩埚本体与蒸镀材料的接触面积，使得材料受热均匀，蒸镀速率平稳。进一步的，当在所述柱体内加工3个以上相连通的盲孔23时，通过调整所述数个盲孔23的位置，可得到位于侧壁20内部的一导热柱30，由于该导热柱30的侧表面由数个向导热柱30内部凹陷的第二弧形表面31围成，从而进一步增大了坩埚本体与蒸镀材料的接触面积，使材料受热更均匀，提高蒸镀效果。
请参阅图8-9，为本发明的蒸镀坩埚的第二实施例，所述蒸镀坩埚包括坩埚底10、与所述坩埚底10相连的侧壁20、以及位于所述侧壁20与坩埚底10围成的中空腔室内且底端部与所述坩埚底10相连的导热柱40。
具体的，所述导热柱40的高度不超过所述侧壁20的高度的三分之二。
具体的，所述侧壁20为圆筒形，所述导热柱40为圆柱形，且位于所述侧壁20的轴心位置。
具体的，所述坩埚底10、侧壁20、及导热柱40的材料为金属，如钛、或铝等。
具体的，该第二实施例的蒸镀坩埚由一金属棒经机械加工去除材料得到。
本发明的第二实施例的蒸镀坩埚，通过在一金属棒内挖取一圆环柱体后得到，本发明通过在蒸镀坩埚的内部设置一导热柱40，可增大坩埚本体与蒸镀材料的接触面积，使得材料受热均匀，并且由于所述导热柱40位于所述坩埚内部的中央，从而可以蒸镀材料的中心受热，提升了蒸镀材料各部分受热的均匀性，可以使蒸镀速率平稳，提高蒸镀效果。
请参阅图10-11，为本发明的蒸镀坩埚的第三实施例，所述蒸镀坩埚包括坩埚底10、与所述坩埚底10相连的侧壁20、以及位于所述侧壁20与坩埚底10围成的中空腔室内且底端部与所述坩埚底10相连的数个不连续的导热片50；
在图10-11所示的第三实施例中，所述侧壁20为圆筒形，所述数个导热片50为位于与所述侧壁20同轴心的一圆筒上的数个弧形导热片。
具体的，所述导热片50的高度不超过所述侧壁20的高度的三分之二。
具体的，所述坩埚底10、侧壁20、及导热片50的材料为金属，如钛、或铝等。
具体的，该第三实施例的蒸镀坩埚由一金属棒经机械加工去除材料得到。
本发明的第三实施例的蒸镀坩埚的制作方法为：首先在一金属棒内挖取一圆环柱体以及位于柱体中心的一圆柱体，从而得到圆筒形的侧壁20以及位于侧壁20内部的一圆筒，然后在该圆筒上加工数个竖直缝隙，从而得到数个不连续的弧形的导热片50，本发明通过在蒸镀坩埚的内部设置数个导热片50，可增大坩埚本体与蒸镀材料的接触面积，使得蒸镀材料受热均匀，从而使蒸镀速率平稳，提高蒸镀效果，同时该数个导热片50之间设有间隙，可以使坩埚内部的蒸镀材料连通，进一步增强材料内部的传热效果，提高材料的受热均匀度。
请参阅图12-13，为本发明的蒸镀坩埚的第四实施例，所述蒸镀坩埚包括坩埚底10、与所述坩埚底10相连的侧壁20、以及位于所述侧壁20与坩埚底10围成的中空腔室内且底端部与所述坩埚底10相连的数个不连续的导热片50’；
在图12-13所示的第四实施例中，所述侧壁20为圆筒形，所述数个导热片50’呈平直状，所述数个导热片50’的一侧与所述侧壁20的内表面相连接，另一侧向所述侧壁20的轴心延伸。
具体的，所述导热片50’的高度不超过所述侧壁20的高度的三分之二。
具体的，所述坩埚底10、侧壁20、及导热片50’的材料为金属，如钛、或铝等。
具体的，该第四实施例的蒸镀坩埚由一金属棒经机械加工去除材料得到。
本发明的第四实施例的蒸镀坩埚，通过在一金属棒中挖取数个不规则柱体后得到，本发明通过在蒸镀坩埚的侧壁20上设置数个向坩埚内部延伸的导热片50’，可增大坩埚本体与蒸镀材料的接触面积，使得蒸镀材料受热均匀，从而使蒸镀速率平稳，提高蒸镀效果；同时该数个导热片50’之间设有间隙，可以使坩埚内部的蒸镀材料连通，进一步增强材料内部的传热效果，提高材料的受热均匀度。
综上所述，本发明提供的一种蒸镀坩埚，由一金属棒经机械加工去除材料得到，在对金属棒加工过程中，保留一部分能够向坩埚中部传热的导热结构，如通过增加坩埚侧壁的内表面积，或者在坩埚内部设置导热柱或导热片等导热结构，来提高蒸镀材料与坩埚本体的接触面积，使得蒸镀材料受热均匀，蒸镀速率平稳，从而提高蒸镀效果。
以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。

Claims (10)

1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括坩埚底(10)以及与所述坩埚底(10)相连的侧壁(20)，所述侧壁(20)与所述坩埚底(10)围成一中空腔室，所述中空腔室包括数个相连通且延伸方向与所述侧壁(20)的延伸方向一致的盲孔(23)，所述侧壁(20)的内表面包括数个向侧壁(20)内部凹陷的第一弧形表面(21)，该数个第一弧形表面(21)分别为所述数个盲孔(23)的孔壁的一部分。
2.如权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，当所述中空腔室由至少3个盲孔(23)组成，即所述侧壁(20)的内表面包括至少3个第一弧形表面(21)时，所述蒸镀坩埚还包括位于所述中空腔室内且底端部与所述坩埚底(10)相连的一导热柱(30)，所述导热柱(30)的侧表面由数个向导热柱(30)内部凹陷的第二弧形表面(31)围成，该数个第二弧形表面(31)分别为所述数个盲孔(23)的孔壁的一部分，即分别与所述数个第一弧形表面(21)位于相同的盲孔(23)上；所述导热柱(30)的高度不超过所述侧壁(20)的高度的三分之二。
3.如权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，由一金属棒经机械加工去除材料得到。
4.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括坩埚底(10)、与所述坩埚底(10)相连的侧壁(20)、以及位于所述侧壁(20)与坩埚底(10)围成的中空腔室内且底端部与所述坩埚底(10)相连的导热柱(40)。
5.如权利要求4所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述导热柱(40)的高度不超过所述侧壁(20)的高度的三分之二；所述侧壁(20)为圆筒形，所述导热柱(40)为圆柱形，且位于所述侧壁(20)的轴心位置。
6.如权利要求4所述的蒸镀坩埚，其特征在于，由一金属棒经机械加工去除材料得到。
7.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括坩埚底(10)、与所述坩埚底(10)相连的侧壁(20)、以及位于所述侧壁(20)与坩埚底(10)围成的中空腔室内且底端部与所述坩埚底(10)相连的数个不连续的导热片(50/50’)。
8.如权利要求7所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述侧壁(20)为圆筒形，所述数个导热片(50)为位于与所述侧壁(20)同轴心的一圆筒上的数个弧形导热片；所述导热片(50)的高度不超过所述侧壁(20)的高度的三分之二。
9.如权利要求7所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述侧壁(20)为圆筒形，所述数个导热片(50’)呈平直状，所述数个导热片(50’)的一侧与所述侧壁(20)的内表面相连接，另一侧向所述侧壁(20)的轴心延伸；所述导热片(50’)的高度不超过所述侧壁(20)的高度的三分之二。
10.如权利要求7所述的蒸镀坩埚，其特征在于，由一金属棒经机械加工去除材料得到。
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