CN104694883A - 一种坩埚 - Google Patents

Abstract

本发明涉及蒸镀技术领域，公开了一种坩埚，包括：坩埚本体，坩埚本体具有中空腔室，坩埚本体的第一端密封，第二端具有与其中空腔室连通的开口；还包括：至少一个导热件，每个导热件位于中空腔室内、将中空腔室划分成多个容料区域。本发明提供的坩埚，通过导热件将坩埚本体具有的中空腔室分割成多个容料区域，将有机材料放入坩埚内时，有机材料将位于多个容料区域，给坩埚加热时，热量会通过坩埚的内壁传导给导热件，坩埚将分区域的给有机材料进行加热，故有机材料能快速的预热并且热量分布的也均匀。所以，本发明提供的坩埚，可以提高坩埚内有机材料的受热均匀性，提高显示器件的显示效果。

Description

一种坩埚

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种坩埚。

背景技术

近年来，有机电致发光显示器(OLED)作为一种新型的平板显示逐渐受到更多的关注。由于其具有主动发光、发光亮度高、分辨率高、宽视角、响应速度快、低能耗以及可柔性化等特点，成为有可能代替液晶显示的下一代显示技术。

对于OLED器件，现在量产成熟的技术都采用真空物理气象沉积工艺来制备器件，就是将制作好的背板放于真空腔内利用热蒸发的方式将每一层有机材料蒸镀在背板上形成OLED器件，蒸镀工艺是生产OLED的一种重要的技术路线，使用蒸镀工艺，坩埚又是必不可少的治具。坩埚的材质和结构设计对有机材料成膜品质和生产效率有重要影响，蒸镀设备中蒸发源基本上分为两种点源和线源，对于点源的设备材料利用率较低，很容造成材料的浪费，在这种设备中基本上是将待蒸镀的有机小分子材料装入特定坩埚内，通过点源的螺旋加热丝来给坩埚加热，再利用热传导的方式将热量传递给坩埚内的有机小分子材料，待温度达到材料蒸发温度时，材料以气体的方式溢出坩埚上的开口，沉积在背板表面形成致密的薄膜。

如图1和图2所示，其中：图1为现有技术中的坩埚立体结构示意图，图2为图1所示的坩埚立体结构的A-A向剖面图，现有技术中的坩埚为一体式结构，包括坩埚本体01，坩埚本体01具有中空腔室011，坩埚本体01的一端密封，另一端具有与其中空腔室011连通的开口012。待蒸镀的材料放置于坩埚本体01的中空腔室011内，加热源对坩埚本体01的外侧表面加热，坩埚本体01的外侧表面再利用热传导作用将热量传递给坩埚本体01内的有机材料，待温度达到有机材料蒸发温度时，材料以气体的方式溢出坩埚上的开口012，沉积在背板表面形成致密的薄膜。

但随着坩埚尺寸不断变大，有机材料的导热性又没有金属好，就会造成坩埚内的有机材料受热不均匀，有机材料里外有温差，这样连续蒸镀会造成坩埚内靠近坩埚内壁的有机材料承受的温度要远远高于远离坩埚内壁的有机材料所承受的温度，长时间会造成材料部分变质，将这些变质的材料蒸镀到OLED器件中会严重影响器件的性能，例如在蒸镀有机材料小分子层时，若材料发生变质，就可能会造成载流子注入不平衡而严重影响器件的效率和寿命，也有可能会造成空穴和电子复合区域位置不同导致器件性能存在差异；另外坩埚内材料受热不均匀也会影响蒸镀过程中工艺的稳定性。

发明内容

本发明实施例提供一种坩埚，用以提高坩埚内有机材料的受热均匀性，提高显示器件的显示效果。

为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：

本发明提供了一种坩埚，包括：坩埚本体，所述坩埚本体具有中空腔室，所述坩埚本体的第一端密封，第二端具有与其中空腔室连通的开口；还包括：

至少一个导热件，每个导热件位于所述中空腔室内、将所述中空腔室划分成多个容料区域。

本发明提供的坩埚，通过导热件将坩埚本体具有的中空腔室分割成多个容料区域，将有机材料放入坩埚内时，有机材料将位于多个容料区域，给坩埚加热时，热量会通过坩埚的内壁传导给导热件，坩埚将分区域的给有机材料进行加热，故有机材料能快速的预热并且热量分布的也均匀。

所以，本发明提供的坩埚，可以提高坩埚内有机材料的受热均匀性，提高显示器件的显示效果。

在一些可选的实施方式中，所述每个导热件沿所述坩埚本体的第一端向所述坩埚本体的第二端延伸。即每个导热件在坩埚本体的周向将坩埚本体分隔成若干区域。

在一些可选的实施方式中，所述每个导热件为长方形导热板，每个长方形导热板上设有至少一个漏孔。当然导热件的形状不限于长方形，也可以为其它形状，这里就不再一一赘述。

在一些可选的实施方式中，上述导热件为四个，四个所述导热件将所述坩埚本体的中空腔室平分成四个所述容料区域。即两两导热件为一组位于一条直线上，与另外一组中两个导热件所在的直线垂直。

在一些可选的实施方式中，上述导热件为三个，三个所述导热件两两之间的连接处围成的角度为120度。

在一些可选的实施方式中，所述每个导热件为导热柱，且所述导热柱垂直于所述第一端。

在一些可选的实施方式中，所述每个导热件沿所述坩埚本体的高度方向将所述中空腔室划分为多个容料区域，其中：所述高度方向为：所述第一端指向所述第二端的方向或所述第二端指向所述第一端的方向。

在一些可选的实施方式中，所述每个导热件为板状，且与所述坩埚本体的第一端或第二端的内表面平行，每个板状的导热件上设有至少一个漏孔和一个与所述开口同心的通孔。漏孔的设计便于各个区域的连通，便于往坩埚本体内加材料，通孔的设计便于材料蒸发溢出。

在一些可选的实施方式中，每个所述导热件与所述坩埚本体为一体式成型结构或每个所述导热件焊接于所述坩埚本体的中空腔室内。

在一些可选的实施方式中，每个所述导热件的导热系数大于或等于所述坩埚本体的导热系数。更有利于热传导，有利于坩埚内有机材料的受热均匀性。

在一些可选的实施方式中，所述坩埚本体为圆柱体结构或立方体结构。

附图说明

图1为现有技术中的坩埚立体结构示意图；

图2为图1所示的坩埚立体结构的A-A向剖面图；

图3为本发明实施例提供的坩埚的第一种结构示意图；

图4a为本发明实施例提供的坩埚的第二种结构示意图；

图4b为图4a所示的本发明实施例提供的坩埚的第二种结构示意图的A向结构示意图；

图4c为图4a所示的本发明实施例提供的坩埚的第二种结构示意图的B向结构示意图；

图5a为本发明实施例提供的坩埚的第三种结构示意图；

图5b为图5a所示的本发明实施例提供的坩埚的第三种结构示意图的A向结构示意图；

图5c为图5a所示的本发明实施例提供的坩埚的第三种结构示意图的B向结构示意图；

图6为本发明实施例提供的坩埚的第四种结构示意图；

图7为本发明实施例提供的坩埚内导热件的一种结构示意图；

图8为本发明实施例提供的坩埚的立体结构示意图。

附图标记：

01-坩埚本体                        011-中空腔室

012-开口                           1-坩埚本体

11-中空腔室                        111-容料区域

12-开口                            2-导热件

21-漏孔                            22-通孔

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明专利保护的范围。

如图3所示，图3为本发明实施例提供的坩埚的第一种结构示意图，本发明提供的坩埚，包括：坩埚本体1，坩埚本体1具有中空腔室11，坩埚本体1的第一端密封，第二端具有与其中空腔室11连通的开口12；还包括：

至少一个导热件2，每个导热件2位于中空腔室11内、将中空腔室11划分成多个容料区域111。

本发明提供的坩埚，通过导热件2将坩埚本体1具有的中空腔室11分割成多个容料区域111，将有机材料放入坩埚内时，有机材料将位于多个容料区域111，给坩埚加热时，热量会通过坩埚的内壁传导给导热件2，坩埚将分区域的给有机材料进行加热，故有机材料能快速的预热并且热量分布的也均匀。

所以，本发明提供的坩埚，可以提高坩埚内有机材料的受热均匀性，提高显示器件的显示效果。

上述导热件的具体结构可以有多种：

一种具体实施方式中，如图3所示，每个导热件2沿坩埚本体1的第一端向坩埚本体1的第二端延伸。即每个导热件2在坩埚本体1的周向将坩埚本体1分隔成若干区域，上述导热件2延伸的高度本领域技术人员可以根据需要设定。

进一步的，每个导热件2为长方形导热板，每个长方形导热板上设有至少一个漏孔。当然导热件2的形状不限于长方形，也可以为其它形状，这里就不再一一赘述。

另一种具体实施方式中，如图4a～4c所示，其中：图4a为本发明实施例提供的坩埚的第二种结构示意图；图4b为图4a所示的本发明实施例提供的坩埚的第二种结构示意图的A向结构示意图；图4c为图4a所示的本发明实施例提供的坩埚的第二种结构示意图的B向结构示意图；上述导热件2为四个，四个导热件2将坩埚本体1的中空腔室11平分成四个容料区域111。即两两导热件2为一组位于一条直线上，与另外一组中的两个导热件2所在的直线垂直。

又一种具体实施方式中，如图5a～5c所示，其中：图5a为本发明实施例提供的坩埚的第二种结构示意图；图5b为图5a所示的本发明实施例提供的坩埚的第二种结构示意图的A向结构示意图；图5c为图5a所示的本发明实施例提供的坩埚的第二种结构示意图的B向结构示意图；上述导热件2为三个，三个导热件2两两之间的连接处围成的角度a为120度。

当然导热件的个数不限于四个或者三个，可以为任意数量，形状也可以任意。

又一种具体实施方式中，每个导热件2为导热柱，且导热柱垂直于第一端。导热柱的高度本领域技术人员可以根据需要设定。

再一种可选的实施方式中，如图6和图7所示，其中：图6为本发明实施例提供的坩埚的第四种结构示意图；图7为本发明实施例提供的坩埚内导热件的一种结构示意图，每个导热件2沿坩埚本体1的高度方向将中空腔室11划分为多个容料区域111，其中：高度方向为：第一端指向第二端的方向或第二端指向第一端的方向。

进一步的，每个导热件2为板状，且与坩埚本体1的第一端或第二端的内表面平行，每个板状的导热件2上设有至少一个漏孔21和一个与开口12同心的通孔22。漏孔21的设计便于各个容料区域的连通，便于往坩埚本体1内加材料，通孔22的设计便于材料蒸发溢出。

可选的，上述每个导热件2与坩埚本体1为一体式成型结构。也或者，每个导热件2焊接于坩埚本体1的中空腔室内。这里对于导热件与坩埚本体的连接方式就不再一一赘述。

优选的，每个导热件2的导热系数大于或等于坩埚本体1的导热系数。较高的导热系数，更有利于热传导，有利于坩埚内有机材料的受热均匀性。

上述坩埚本体的具体形状可以有多种，如图8所示，图8为本发明实施例提供的坩埚的立体结构示意图，坩埚本体1为圆柱体结构，当然坩埚本体1也可以为立方体结构。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (11)

1.一种坩埚，包括：坩埚本体，所述坩埚本体具有中空腔室，所述坩埚本体的第一端密封，第二端具有与其中空腔室连通的开口；其特征在于，还包括：

至少一个导热件，每个导热件位于所述中空腔室内、将所述中空腔室划分成多个容料区域。

2.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述每个导热件沿所述坩埚本体的第一端向所述坩埚本体的第二端延伸。

3.根据权利要求2所述的坩埚，其特征在于，所述每个导热件为长方形导热板，每个长方形导热板上设有至少一个漏孔。

4.根据权利要求2所述的坩埚，其特征在于，所述导热件为四个，四个所述导热件将所述坩埚本体的中空腔室平分成四个所述容料区域。

5.根据权利要求2所述的坩埚，其特征在于，所述导热件为三个，三个所述导热件两两之间的连接处围成的角度为120度。

6.根据权利要求2所述的坩埚，其特征在于，所述每个导热件为导热柱，且所述导热柱垂直于所述第一端。

7.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述每个导热件沿所述坩埚本体的高度方向将所述中空腔室划分为多个容料区域，其中：所述高度方向为：所述第一端指向所述第二端的方向或所述第二端指向所述第一端的方向。

8.根据权利要求7所述的坩埚，其特征在于，所述每个导热件为板状，且与所述坩埚本体的第一端或第二端的内表面平行，每个板状的导热件上设有至少一个漏孔和一个与所述开口同心的通孔。

9.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，每个所述导热件与所述坩埚本体为一体式成型结构或每个所述导热件焊接于所述坩埚本体的中空腔室内。

10.根据权利要求1～9任一项所述的坩埚，其特征在于，每个所述导热件的导热系数大于或等于所述坩埚本体的导热系数。

11.根据权利要求10所述的坩埚，其特征在于，所述坩埚本体为圆柱体结构或立方体结构。