CN205170963U - 一种蒸着装置及蒸着装置组 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种蒸着装置，用于加热材料并使材料变成气体状态，包括盛放装置以及设置于盛放装置外部的加热装置，所述加热装置包括：将所述盛放装置容纳于内并可拆分为两半的壳罩以及固定设置于所述壳罩下部并与壳罩之间形成密闭腔的超导液槽，所述超导液槽用于盛放超导液，所述壳罩的内部贴附于所述盛放装置的外部。一种蒸着装置组，包括至少二上述蒸着装置，所述蒸着装置的所述壳罩侧表面对齐贴合。本实用新型提供一种蒸着装置及蒸着装置组，可用于有机发光装置的有机材料蒸镀，蒸镀过程中温度易于控制，有机材料整体温度均一性好，能够防止有机材料蒸着过程中发生喷溅，避免出现堵孔现象，从而使得有机材料蒸镀速率更加稳定。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种蒸着装置及蒸着装置组。
背景技术
现代社会，OLED(有机发光二极管又称为有机电激光显示，英文名OrganicLight－EmittingDiode，简称OLED)技术飞速发展，OLED器件的有机材料成膜方法也多种多样，现阶段主流的小分子材料成膜采用真空腔室蒸镀的方式。
目前OLED真空蒸镀采用的主流技术是将mask(金属掩模板)与玻璃基板贴合，mask位于玻璃下方，有机材料通过加热蒸发、升华等方式穿过mask中制作的图形蒸着在玻璃基板上。
真空蒸镀技术中蒸着装置非常重要，蒸着装置使用桶形坩埚(点源)或长条形坩埚(线源)填装有机材料，多采用加热丝分上下多段绕线加热，从而达到对有机材料进行加热，以使有机材料变成气体状态用于蒸镀。由于加热丝与坩埚之间存在微小距离，此种加热方式只能利用电阻丝热辐射加热坩埚内有机材料，加热效果差；由于加热丝每一段电阻不可能完全一致，上下加热丝互相影响、干扰，存在加热不均，温控困难等缺点，造成材料上下段和左右段温度差异，从而会导致材料喷溅与堵孔等现象的发生，且蒸镀速率较低，稳定性较差。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服上述现有技术的不足，提供了一种蒸着装置，其能够防止材料蒸着过程中发生喷溅，避免出现堵孔现象，稳定蒸镀速率，提高加热均匀性。
本实用新型是这样实现的：一种蒸着装置，用于加热材料并使材料变成气体状态，包括盛放装置以及设置于盛放装置外部的加热装置，所述加热装置包括：
将所述盛放装置容纳于内并可拆分为两半的壳罩；
以及固定设置于所述壳罩下部并与壳罩之间形成密闭腔的超导液槽，所述超导液槽用于盛放超导液，所述壳罩的内部贴附于所述盛放装置的外部。
具体的，所述密闭腔包裹所述盛放装置。
具体的，所述盛放装置包括坩埚、设置于所述坩埚上部的防沸板和至少一设置于所述防沸板上部的喷嘴，两半所述壳罩合并后内部形成至少一用于容纳所述喷嘴的喷嘴置放孔，所述密闭腔靠近喷嘴一侧的腔体上部与所述喷嘴上部平齐。
具体的，所述坩埚呈桶状或者长条状，所述坩埚呈长条状时，所述盛放装置具有多数个所述喷嘴，每一所述喷嘴对应设置于一个所述喷嘴置放孔，多数个所述喷嘴置放孔呈一条直线。
可选的，所述壳罩与所述超导液槽之间设置有带至少一孔的通气网。
可选的，所述超导液槽采用加热丝加热。
一种蒸着装置组，包括至少二上述蒸着装置，所述蒸着装置的所述壳罩侧表面对齐贴合。
本实用新型提供一种蒸着装置，包括盛放装置设计与加热装置设计，可用于OLED有机材料蒸镀。本实用新型所述蒸着装置的加热源采用超导液，通过对超导液槽内的超导液进行加热，使超导液相变汽化，充满整个密闭腔，从而形成对盛放装置整体均匀加热，再对盛放装置内部的有机材料进行加热，采用此种方式加热，蒸镀过程中温度变得容易控制，使得有机材料整体温度均一性好，能够防止有机材料蒸着过程中发生喷溅，避免出现堵孔现象，有机材料蒸镀速率更加稳定。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型第一实施例的剖面示意图；
图2是图1的加热装置分体示意图；
图3是图2的俯视图；
图4是本实用新型第二实施例的示意图；
图5是图4剖面示意图；
图6是图5的壳罩俯视图；
图7是本实用新型第三实施例的示意图；
图8是本实用新型第四实施例的示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者可能同时存在居中元件。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。
还需要说明的是，本实用新型实施例中的左、右、上、下等方位用语，仅是互为相对概念或是以产品的正常使用状态为参考的，而不应该认为是具有限制性的。
实施例一，如图1至图3所示，图1是本实用新型第一实施例的剖面示意图，图2是图1的加热装置分体示意图，图3是图2的俯视图。本实用新型实施例一提供的一种蒸着装置，用于加热材料并使材料变成气体状态，包括盛放装置100以及设置于盛放装置外部的加热装置200，加热装置200用于给盛放装置100加热，加热装置200包括将盛放装置100容纳于内并可拆分为两半的壳罩201以及固定设置于壳罩201下部并与壳罩201之间形成密闭腔203的超导液槽202，超导液槽202用于盛放超导液，通过对超导液槽202内的超导液进行加热，使超导液相变汽化，充满整个密闭腔203，从而形成对盛放装置100整体均匀加热，再对盛放装置100内部的材料进行加热，壳罩201的内部贴附于盛放装置100的外部，使得密闭腔203内受热的超导液能够有效对盛放装置100进行加热。
密闭腔203包裹盛放装置100，将盛放装置100作为整体，使其受热均匀。
盛放装置100包括坩埚103、设置于坩埚103上部的防沸板102和一个设置于防沸板102上部的喷嘴101，坩埚103呈桶状，两半壳罩201合并后内部形成一个用于容纳喷嘴101的喷嘴置放孔2011，喷嘴101设置于喷嘴置放孔2011，由于喷嘴101呈一个点，使得喷嘴101喷出汽化材料为一个点，形成点源，密闭腔203靠近喷嘴101一侧的腔体上部与喷嘴101上部平齐，使喷嘴101处受热均匀，避免密闭腔203过低时，出现堵孔现象，同时避免密闭腔203过高时，从喷嘴101喷出的蒸气形成的弧面太小。
壳罩201与超导液槽202之间设置有带至少一孔的通气网204。
超导液槽202采用加热丝加热。
实施例二，如图4至图6所示，图4是本实用新型第二实施例的示意图，图5是图4剖面示意图，图6是图5的壳罩俯视图。本实用新型实施例二提供的一种蒸着装置，用于加热材料并使材料变成气体状态，包括盛放装置300以及设置于盛放装置外部的加热装置400，加热装置400用于给盛放装置300加热，加热装置400包括将盛放装置300容纳于内并可拆分为两半的壳罩401以及固定设置于壳罩401下部并与壳罩401之间形成密闭腔403的超导液槽402，超导液槽402用于盛放超导液，通过对超导液槽402内的超导液进行加热，使超导液相变汽化，充满整个密闭腔403，从而形成对盛放装置300整体均匀加热，再对盛放装置300内部的材料进行加热，壳罩401的内部贴附于盛放装置300的外部，使得密闭腔403内受热的超导液能够有效对盛放装置300进行加热。
密闭腔403包裹盛放装置300，将盛放装置300作为整体，使其受热均匀。
两半壳罩401合并后内部形成多数个用于容纳喷嘴301的喷嘴置放孔4011，多数个喷嘴置放孔4011呈一条直线。
盛放装置300包括坩埚303、设置于坩埚303上部的防沸板302和多个设置于防沸板302上部的喷嘴301，坩埚303呈长条状，两半壳罩401合并后内部形成多数个用于容纳喷嘴301的喷嘴置放孔4011，喷嘴301设置于喷嘴置放孔4011，由于多数个喷嘴置放孔4011呈一条直线，从而喷嘴301排列成一条直线，喷嘴301喷出汽化材料成一条直线，形成线源。密闭腔403靠近喷嘴301一侧的腔体上部与喷嘴301上部平齐，使喷嘴301处受热均匀，避免密闭腔403过低时，出现堵孔现象，同时避免密闭腔403过高时，从喷嘴301喷出的蒸气形成的弧面太小。
壳罩401与超导液槽402之间设置有带至少一孔的通气网404。
超导液槽402采用加热丝加热。
实施例三，如图7所示，图7是本实用新型第三实施例的示意图，一种蒸着装置组，包括三个如实施例二所示的蒸着装置，蒸着装置的壳罩侧表面对齐贴合，中间位置为主体蒸着装置S1，两边位置为客体蒸着装置S2，主体蒸着装置S1与客体蒸着装置S2内部盛放的材料不同，由于主体蒸着装置S1喷出的材料呈一条直线，因此形成线源。
实施例四，如图8所示，图8是本实用新型第三实施例的示意图，一种蒸着装置组，包括多数个如实施例二所示的蒸着装置，蒸着装置的壳罩侧表面对齐贴合，主体蒸着装置S1与客体蒸着装置S2间隔设置，主体蒸着装置S1与客体蒸着装置S2内部盛放的材料不同，由于主体蒸着装置S1喷出的材料呈一平面，因此形成面源。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换或改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种蒸着装置，用于加热材料并使材料变成气体状态，包括盛放装置，其特征在于，还包括设置于盛放装置外部的加热装置，所述加热装置包括：
将所述盛放装置容纳于内并可拆分为两半的壳罩；
以及固定设置于所述壳罩下部并与壳罩之间形成密闭腔的超导液槽，所述超导液槽用于盛放超导液，所述壳罩的内部贴附于所述盛放装置的外部。
2.如权利要求1所述的一种蒸着装置，其特征在于，所述密闭腔包裹所述盛放装置。
3.如权利要求1所述的一种蒸着装置，其特征在于，所述盛放装置包括坩埚、设置于所述坩埚上部的防沸板和至少一设置于所述防沸板上部的喷嘴，两半所述壳罩合并后内部形成至少一用于容纳所述喷嘴的喷嘴置放孔，所述密闭腔靠近喷嘴一侧的腔体上部与所述喷嘴上部平齐。
4.如权利要求3所述的一种蒸着装置，其特征在于，所述坩埚呈桶状或者长条状，所述坩埚呈长条状时，所述盛放装置具有多数个所述喷嘴，每一所述喷嘴对应设置于一个所述喷嘴置放孔，多数个所述喷嘴置放孔呈一条直线。
5.如权利要求1所述的一种蒸着装置，其特征在于，所述壳罩与所述超导液槽之间设置有带至少一孔的通气网。
6.如权利要求1所述的一种蒸着装置，其特征在于，所述超导液槽采用加热丝加热。
7.一种蒸着装置组，其特征在于，包括至少二如权利要求1所述蒸着装置，所述蒸着装置的所述壳罩侧表面对齐贴合。
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| CN201520832871.XU CN205170963U (zh) | 2015-10-26 | 2015-10-26 | 一种蒸着装置及蒸着装置组 |
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN107604318A (zh) * | 2017-09-27 | 2018-01-19 | 京东方科技集团股份有限公司 | 坩埚加热装置 |
| CN109023255A (zh) * | 2018-08-21 | 2018-12-18 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种蒸镀装置及蒸镀系统 |
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2015
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