CN103938160A - 一种坩埚 - Google Patents

Abstract

本发明实施例公开了一种坩埚，涉及显示装置的制造技术领域，利用该坩埚能够提高蒸镀材料的受热均匀程度，防止蒸镀材料局部喷溅。该坩埚，包括坩埚本体，还包括：设置于所述坩埚本体的内侧壁上的至少一个导热薄片，所述导热薄片具有镂空。该坩埚具体用于蒸镀工艺。

Description

一种坩埚

技术领域

本发明涉及显示装置的制造技术领域，尤其涉及一种坩埚。

背景技术

有机发光二级管（Organic Light-Emitting Diode，简称OLED）显示屏由于具有薄、轻、宽视角、主动发光、发光颜色连续可调、成本低、响应速度快、能耗小、驱动电压低、工作温度范围宽、生产工艺简单、发光效率高及可柔性显示等优点，已被列为极具发展前景的下一代显示技术。

在基板上形成OLED器件通常采用蒸镀工艺，其是指在一定的真空条件下加热蒸镀材料，使蒸镀材料熔化（或升华)成原子、分子或原子团组成的蒸汽，然后凝结在基板表面成膜，从而形成OLED器件的功能层。

发明人发现，现有的蒸镀工艺中通常利用坩埚容纳蒸镀材料，在蒸镀材料的过程中，坩埚各处的温度不一致，导致蒸镀材料受热不均匀，容易发生蒸镀材料局部喷溅，影响蒸镀成品的良品率，提高了蒸镀成品的制作成本。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于提供一种坩埚，利用该坩埚能够提高蒸镀材料的受热均匀程度，防止蒸镀材料局部喷溅。

为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：

本发明提供了一种坩埚，包括坩埚本体，还包括：

设置于所述坩埚本体的内侧壁上的至少一个导热薄片，所述导热薄片具有镂空。

所述导热薄片平行于所述坩埚本体的端口放置。

所述镂空位于所述导热薄片与所述坩埚本体的内侧壁之间。

所述镂空位于所述导热薄片的中部位置。

所述导热薄片通过焊接或粘接材料设置于所述坩埚本体的内侧壁上。

所述坩埚本体的内侧壁设置有凸台，所述导热薄片架设于凸台上。

所述导热薄片与所述坩埚本体一体成型。

所述镂空为多边形、椭圆形、圆形或扇形。

所述坩埚本体的材质为金属，所述导热薄片的材质与所述坩埚本体相同。

在本发明实施例的技术方案中，提供了一种坩埚，该坩埚本体的内侧壁上内具有至少一个导热薄片。在利用该坩埚进行加热、蒸镀时，坩埚本体内的导热薄片可将热量从温度较高的区域传导至温度较低的区域，提高坩埚本体内各处的温度的均匀程度，提高蒸镀材料的受热均匀程度，防止蒸镀材料局部喷溅，保证了蒸镀成品的良品率；另外，所述导热薄片具有镂空，还可保证蒸镀材料熔化（或升华)成原子、分子或原子团组成的蒸汽能够通过导热薄片的镂空，从坩埚本体的底部抵达基板表面并凝结成膜。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例中的坩埚的结构示意图一；

图2为本发明实施例中的坩埚的结构示意图二；

图3为本发明实施例中的坩埚的结构示意图三；

图4为本发明实施例中的坩埚的结构示意图四。

附图标记说明：

1—坩埚本体；11—端口；12—凸台；

2—导热薄片；21—镂空。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明实施例提供一种坩埚，如图1所示，该坩埚包括坩埚本体1，还包括：

设置于所述坩埚本体1的内侧壁上的至少一个导热薄片2，所述导热薄片2具有镂空21。

在基板上形成OLED器件通常采用蒸镀工艺，它是将蒸镀材料在真空中加热蒸发（或升华），使蒸出的原子或原子团在温度较低的基板上析出，形成薄膜。目前，加热蒸镀材料的方法以电阻加热法和电子束加热法为主。蒸发源通常使用的是点蒸发源，即把有机材料或者是金属材料等蒸镀材料放在的坩埚中加热蒸发。

因此，若是坩埚的热传导不均匀，会使得受热较多部分的蒸镀材料相对于其余部分的蒸镀材料更快的蒸发（或升华）出原子或原子团，导致蒸镀工艺不稳定，可能会造成蒸镀材料在蒸发过程中的喷溅，影响在基板上的形成的薄膜的厚度均匀程度。

在本实施例的技术方案中，提供了一种坩埚，该坩埚本体的内侧壁上内具有至少一个导热薄片。在利用该坩埚进行加热、蒸镀时，坩埚本体内的导热薄片可将热量从温度较高的区域传导至温度较低的区域，提高坩埚本体内各处的温度的均匀程度，提高蒸镀材料的受热均匀程度，防止蒸镀材料局部喷溅，保证了蒸镀成品的良品率；另外，所述导热薄片具有镂空，还可保证蒸镀材料熔化（或升华)成原子、分子或原子团组成的蒸汽能够通过导热薄片的镂空，从坩埚本体的底部抵达基板表面并凝结成膜。

在本发明实施例中，导热薄片2优选导热率较高的材料，例如钛、钨、钽、钼等金属。

优选的，导热薄片2平行于所述坩埚本体1的端口11放置，可提高导热薄片2与坩埚本体1的内侧壁的配合程度，同时，也更便于通过调节导热薄片2的镂空21的大小，来调节坩埚本体1蒸镀出的蒸汽的流量、流速等特性，以使得基板上形成的薄膜的厚度更均匀。

进一步的，导热薄片2上的镂空21的位置可根据实际情况进行设置，例如图1所示，所述镂空21位于所述导热薄片2与所述坩埚本体1的内侧壁之间，即蒸汽自导热薄片和坩埚本体的内侧壁之间通过，此时所述镂空21为扇形等形状，使得所述导热薄片2为条形、十字形（如图1所示）或其他不规则形状等；或例如图2或3所示，所示镂空21位于所述导热薄片2的中部位置，此时镂空21可为多边形、椭圆形、圆形或扇形以及其它不规则形状等。在实际应用中，应根据实际需要设置镂空的位置、个数，并且，导体薄片2既可具有位于导体薄片2和坩埚本体1的内侧壁之间的镂空21，也可同时具有位于中部区域的镂空21，本发明实施例对此不进行限制，能够保证蒸镀材料的蒸汽通过导体薄片2到达基板的设计皆在本发明的设计构思当中。

具体的，导热薄片2可以固定设置于坩埚本体1的内侧壁上，例如，若该坩埚本体2也为金属制成，可选择为金属制成的导热薄片2，通过焊接将导热薄片2设置于所述坩埚本体1的内侧壁上，当然，也可考虑将导热薄片2与所述坩埚本体1一体成型。若该坩埚为石英坩埚或陶瓷坩埚，此时可通过粘接材料将导热薄片2固定设置于所述坩埚本体1的内侧壁上。

或者，导热薄片2和坩埚本体1也可为相对独立的两个个体，只是在坩埚本体的受热不够均匀时，才将导热薄片安置在坩埚本体内起热传导的作用。例如，如图3所示，所述坩埚本体1的内侧壁设置有凸台12，需要导热薄片2时，导热薄片2可架设于凸台1上。

在本发明实施例中，如图4所示，为了提高坩埚本体1各处温度的均匀程度，优选在坩埚本体1内放置两个以上的导体薄片2，各导体薄片2错层设置，均平行于所述坩埚本体1的端口11放置，同时，还能尽可能地保证蒸镀材料的蒸汽能够通过各导体薄片2，凝结在基板表面成膜。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (9)

1.一种坩埚，包括坩埚本体，其特征在于，还包括：

设置于所述坩埚本体的内侧壁上的至少一个导热薄片，所述导热薄片具有镂空。

2.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，

所述导热薄片平行于所述坩埚本体的端口放置。

3.根据权利要求2所述的坩埚，其特征在于，

所述镂空位于所述导热薄片与所述坩埚本体的内侧壁之间。

4.根据权利要求2所述的坩埚，其特征在于，

所述镂空位于所述导热薄片的中部位置。

5.根据权利要求3或4所述的坩埚，其特征在于，

所述导热薄片通过焊接或粘接材料设置于所述坩埚本体的内侧壁上。

6.根据权利要求3或4所述的坩埚，其特征在于，

所述坩埚本体的内侧壁设置有凸台，所述导热薄片架设于凸台上。

7.根据权利要求3或4所述的坩埚，其特征在于，

所述导热薄片与所述坩埚本体一体成型。

8.根据权利要求3或4所述的坩埚，其特征在于，

所述镂空为多边形、椭圆形、圆形或扇形。

9.根据权利要求7所述的坩埚，其特征在于，

所述坩埚本体的材质为金属，所述导热薄片的材质与所述坩埚本体相同。