CN109680246B - 蒸镀组件 - Google Patents

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Abstract

一种蒸镀组件,用于蒸发待蒸镀材料，包括:坩埚、导热元件及加热单元。坩埚包括容置待蒸镀材料的容室、包围容室的壳体、及连通于容室的喷嘴。至少一个导热元件设于容室并接触壳体。加热单元设于壳体的外围，用于加热坩埚。

Description

蒸镀组件
技术领域
本发明涉及蒸镀领域，尤其涉及一种蒸镀组件。
背景技术
在有机发光二极体面板(OLED)的生产中，需将有机材料置于坩埚中进行蒸发，所形成的蒸发气体通过坩埚的喷嘴喷射到上方的基板后，冷凝于基板表面，便完成蒸镀工艺。
当坩埚被加热时，由于坩埚在其高度及宽度方向上的温度不一致，加上有机材料的热传导效率较低，使得坩埚中的有机材料无法均匀受热，导致基板上的镀膜厚度不均匀，且坩埚容易存在残留的有机材料。
因此，有必要提供一种蒸镀组件，以解决上述问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种蒸镀组件，使得坩埚中的有机材料可以均匀受热，从而提高有机材料的利用率。
为实现上述目的，本发明提供一种蒸镀组件,用于蒸发待蒸镀材料，其特征在于,包括:坩埚，包括容置所述待蒸镀材料的容室、包围所述容室的壳体、及连通于所述容室的喷嘴；至少一个导热元件，设于所述容室并接触所述壳体；以及加热单元，设于所述壳体的外围，用于加热所述坩埚。
在一些实施例中，所述导热元件系从所述容室的底部向所述容室的顶部延伸。
在一些实施例中，所述导热元件为导热棒。
在一些实施例中，所述导热元件为导热板。
在一些实施例中，所述导热板的宽度系从所述容室的底部向所述容室的顶部逐渐变宽。
在一些实施例中，所述导热板的形状为三角形、多边形或不规则形的其中一种。
在一些实施例中，所述导热板包括多个贯通孔。
在一些实施例中，所述贯通孔的形状为三角形、多边形、圆形的其中一种。
在一些实施例中，所述加热单元为加热丝或加热片。
在一些实施例中，所述导热元件的材料选自陶瓷、铝、钛、钼或金属合金的其中一种。
为让本发明的特征以及技术内容能更明显易懂，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考用，并非用来对本发明加以限制。
附图说明
图1为本发明实施例一提供的蒸镀组件的结构透视图；
图2为图1的蒸镀组件的侧视透视图；
图3为本发明实施例二提供的蒸镀组件的侧视透视图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术手段及其效果更加清楚明确，以下将结合附图对本发明作进一步地阐述。应当理解，此处所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，并不用于限定本发明。
请同时参考图1和图2，图1为本发明实施例一提供的蒸镀组件的结构透视图，图2为图1的蒸镀组件的侧视透视图。蒸镀组件1用于蒸发待蒸镀材料，包括坩埚10、至少一个导热元件12及加热单元14。如图1所示，坩埚10包括容置所述待蒸镀材料的容室100、包围容室100的壳体101、及连通于容室100的喷嘴102。
导热元件12设于容室100并接触壳体101。在本实施例中，导热元件12为导热板，所述导热板的形状为三角形，但本发明不限于上述的举例，所述导热板的形状亦可为多边形或不规则形。如图1所示，为了让坩埚10在其高度及宽度方向上的温度一致，导热元件12系从容室100的底部向容室100的顶部延伸。进一步地，导热元件12的宽度系从容室100的底部向容室100的顶部逐渐变宽。如图1及图2所示，导热元件12包括多个贯通孔120。如此，待蒸镀材料可以从中穿过。在本实施例中，贯通孔120的形状为圆形，但本发明不限于上述的举例，贯通孔120的形状还可以为三角形或多边形。另外，在一些实施例中，导热元件12的材料选自陶瓷、铝、钛、钼或金属合金的其中一种。
继续参考图1，加热单元14设于壳体101的外围，用于加热坩埚10。在本实施例中，加热单元14为加热丝，但本发明不限于上述的举例，加热单元14还可以为加热片。
图3为本发明实施例二提供的蒸镀组件的侧视透视图。蒸镀组件3用于蒸发待蒸镀材料，包括坩埚30、至少一个导热元件32及加热单元34。如图3所示，坩埚30包括容置所述待蒸镀材料的容室300、包围容室300的壳体301、及连通于容室300的喷嘴302。在本实施例中，为了更快地让坩埚30在其高度及宽度方向上的温度一致，二个导热元件32设于容室300并接触壳体301。如同本发明实施例一，各个导热元件32可以为导热板，且导热元件32包括多个贯通孔320。在其他实施例中，导热元件32亦可被导热棒所替换。
综上所述，本发明提供的蒸镀组件主要通过导热元件对坩埚中的有机材料均匀加热，从而提高有机材料的利用率。
应当理解的是，本发明的应用不限于上述的举例，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，所有这些改进和变换都应属于本发明所附权利要求的保护范围。

Claims (6)

1.一种蒸镀组件,用于蒸发待蒸镀材料，其特征在于,包括:
坩埚，包括容置所述待蒸镀材料的容室、包围所述容室的壳体、及连通于所述容室的喷嘴；
至少一个导热元件，设于所述容室并接触所述壳体，所述导热元件包括多个贯通孔，所述导热元件系从所述容室的底部向所述容室的顶部延伸，所述导热元件的宽度系从所述容室的底部向所述容室的顶部逐渐变宽，所述导热元件的形状为三角形；以及
加热单元，设于所述壳体的外围，用于加热所述坩埚。
2.如权利要求1所述的蒸镀组件，其特征在于，所述导热元件为导热棒。
3.如权利要求1所述的蒸镀组件，其特征在于，所述导热元件为导热板。
4.如权利要求1所述的蒸镀组件，其特征在于，所述贯通孔的形状为三角形、多边形、圆形的其中一种。
5.如权利要求1所述的蒸镀组件，其特征在于，所述加热单元为加热丝或加热片。
6.如权利要求1所述的蒸镀组件，其特征在于，所述导热元件的材料选自陶瓷、铝、钛、钼或金属合金的其中一种。
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