CN211112187U - 一种面蒸镀源结构和设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种面蒸镀源结构和设备，包括坩埚、扩散腔和分散板，扩散腔设置在坩埚开口上，所述扩散腔底部开口坩埚顶部开口等大，扩散腔内设置有扩散板，扩散板上面设置有多个蒸汽扩散孔，扩散腔的开口由下往上依次增大，分散板盖在扩散腔的上开口处，分散板为平面板状结构，分散板上设置有多个喷嘴，所述喷嘴贯通分散板的上下面，所述喷嘴在分散板上均匀排列。上述技术方案通过在坩埚上的整个开口上设置扩散腔，可以减少扩散腔的侧壁面积，可以有效改善有机材料的利用率，降低蒸镀制程生产成本。可以缩小蒸镀设备整体的体积，降低设备采购成本。且通过扩散板的喷嘴，可以改善蒸镀成膜均匀性，可以提升蒸镀良率，降低生产成本。

Description

一种面蒸镀源结构和设备

技术领域

本实用新型涉及蒸镀设备技术领域，尤其涉及一种面蒸镀源结构和设备。

背景技术

AMOLED技术具有高亮度，高对比度，高色彩饱和度等技术优势，在目前的消费电子领域，尤其是智能手机领域已经是高端的代名词。AMOLED显示屏幕制造技术有蒸镀制备法和热转印制备法及打印制备法等。其中蒸镀制备法是目前唯一量产的生产工艺，其主要是利用坩埚将有机材料加热至气态，进而通过FMM与背板的精确对位，将有机材料蒸镀在背板的发光区域。现有的蒸镀机量产应用的source(蒸镀源)有两种，一种是Point source(点源)，另一种是linear source(线源)。两种source相比较，linear source的材料利用率相对较高，20％左右，Point source为5％左右，所以目前的量产工厂大部分均采用Linearsource进行生产。Linear source的结构是一个下部为一个条形的坩埚用来承装有机材料，上部为有机蒸汽喷射Nozzle(喷嘴)，通过Nozzle来定义蒸镀角，linear source的长度与背板的宽度相当，所以在制程中是将linear source固定在机械手臂上，沿着背板的方向进行扫描移动来完成镀膜的，其在运动过程中大部分有机材料会附着在蒸镀腔壁上。Linersource对于有机材料的利用率依然比较低，80％的有机材料被蒸镀在蒸镀腔壁上，形成巨大的浪费。

实用新型内容

为此，需要提供一种面蒸镀源结构和设备，解决现有蒸镀材料浪费的问题。

为实现上述目的，发明人提供了一种面蒸镀源结构，包括坩埚、扩散腔和分散板，扩散腔设置在坩埚开口上，所述扩散腔底部开口坩埚顶部开口等大，扩散腔内设置有扩散板，扩散板上面设置有多个蒸汽扩散孔，扩散腔的开口由下往上依次增大，分散板盖在扩散腔的上开口处，分散板为平面板状结构，分散板上设置有多个喷嘴，所述喷嘴贯通分散板的上下面，所述喷嘴在分散板上均匀排列。

进一步地，所述坩埚底部为弧形底部。

进一步地，所述坩埚壁、扩散腔壁或者分散板内置有电热丝。

进一步地，所述坩埚、扩散腔或者分散板为陶瓷材质。

进一步地，所述扩散板的数量为多个，多个的扩散板由上往下依次设置在扩散腔内，扩散板上的蒸汽扩散孔的大小由下往上依次变小且数量由下往上依次变多。

进一步地，所述扩散板上的蒸汽扩散孔的总面积占扩散板面积的50％-60％。

进一步地，所述喷嘴的顶端往分散板四周倾斜。

进一步地，所述喷嘴的直径为1mm-2mm的圆孔，喷嘴间距为3mm-5mm。

本实用新型提供一种具有面蒸镀源结构的蒸镀设备，所述面蒸镀源结构为上述任意一项实施例所述的面蒸镀源结构。

区别于现有技术，上述技术方案通过在坩埚上的整个开口上设置扩散腔，可以减少扩散腔的侧壁面积，可以有效改善有机材料的利用率，降低蒸镀制程生产成本。可以缩小蒸镀设备整体的体积，降低设备采购成本。且通过扩散板的喷嘴，可以改善蒸镀成膜均匀性，可以提升蒸镀良率，降低生产成本。

附图说明

图1为具体实施方式所述的面蒸镀源结构示意图；

图2为具体实施方式所述扩散腔的结构示意图；

图3为具体实施方式多个扩散板的结构示意图；

图4为具体实施方式多个扩散板的结构示意图。

具体实施方式

为详细说明技术方案的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。

请参阅图1到图4，本实施例提供一种面蒸镀源结构，包括坩埚1、扩散腔2和分散板3，扩散腔设置在坩埚开口上，所述扩散腔底部开口坩埚顶部开口等大，扩散腔内设置有扩散板20，扩散板上面设置有多个蒸汽扩散孔21，扩散腔的开口由下往上依次增大，分散板盖在扩散腔的上开口处，分散板为平面板状结构，分散板上设置有多个喷嘴30，所述喷嘴贯通分散板的上下面，所述喷嘴在分散板上均匀排列。本实用新型在使用的时候，由于坩埚和扩散腔和分散板为一个大的开口的设备，这样形成面蒸镀源，大大提高蒸镀面积。蒸镀材料首先在坩埚内形成蒸汽，而后蒸汽通过扩散腔扩散，通过扩散板可以使得蒸汽扩散，使得整体的密度变均匀，最后再由分散板进行分散，使得蒸汽进一步变均匀。本实用新型的分散板可以与被蒸镀的基板等大，这样整个蒸镀源在蒸镀制程中无需再进行扫描移动，可以在固定位置进行蒸镀制程，因此可以缩小蒸镀腔体积，减少有机材料的浪费。

在某些实施例中，坩埚可以采用圆弧形底部设计，其优势在于可以承装更多的有机材料，延长材料更换的周期。以及坩埚的材质采用陶瓷材质，并在陶瓷内部预先埋入电热丝，电热丝的加热功率有蒸镀机(蒸镀设备)电脑进行控制，利用陶瓷受热均匀的特性可以对有机材料进行均匀加热，消除由于坩埚过大造成的坩埚局部温度差异，从而造成有机分布不均匀的状况，改善成膜均匀性。

在某些实施例中，扩散腔可以采用倒梯形设计，内部优选的扩散板为多个，如图2和3所示，有三层有机蒸汽扩散板，由下往上依次包含有扩散板20、22和23。扩散腔和扩散板整体材质可采用陶瓷材质，并在陶瓷内部内置电热丝，电热丝的加热功率由蒸镀机电脑进行控制，使有机蒸汽扩散板及有机蒸汽扩散腔壁的温度与有机蒸汽分散板的温度相同。扩散板上的蒸汽扩散孔的大小由下往上依次变小且数量由下往上依次变多。具体一实施例中，最下一层的有机蒸汽扩散板20设计有9个有机蒸汽扩散孔，中间的有机蒸汽扩散板22设计有25个有机蒸汽扩散孔，最上层的有机蒸汽扩散板23设计有100个有机蒸汽扩散孔，每一层的有机蒸汽扩散孔可以根据有机真气分散板的大小进行设计调整，每一层有机蒸汽扩散孔的总面积约占有机蒸汽扩散板总面积的50％～60％，用以使有机蒸汽能够在进入有机蒸汽分散板前能够均匀分布在蒸镀前室24内，如图2和图3所示。

对于有机蒸汽的分散板，可以采用陶瓷材质并在陶瓷内部内置电热丝，电热丝的加热功率利用蒸镀机电脑进行控制，使有机蒸汽分散板的温度高于有机材料坩埚的温度，如可以高10℃-20℃，用于防止有机材料凝结在喷嘴内造成塞孔，造成局部区域无法喷射有机蒸汽或者影响蒸镀均匀性。喷嘴的直径设计为1mm-2mm的圆孔，其间距设计为3mm-5mm，如图4所示，通过将喷嘴的直径和间距缩小，利用极高的喷嘴密度来改善成膜均匀性。进一步地，所述喷嘴的顶端往分散板四周倾斜，可以进一步提高蒸镀的面积。

本实用新型提供一种具有面蒸镀源结构的蒸镀设备，所述面蒸镀源结构为上述任意一项实施例所述的面蒸镀源结构。采用上述蒸镀源的蒸镀设备，可以有效改善有机材料的利用率，降低蒸镀制程生产成本。可以缩小蒸镀设备整体的体积，降低设备采购成本。且通过扩散板的喷嘴，可以改善蒸镀成膜均匀性，可以提升蒸镀良率，降低生产成本。

需要说明的是，尽管在本文中已经对上述各实施例进行了描述，但并非因此限制本实用新型的专利保护范围。因此，基于本实用新型的创新理念，对本文所述实施例进行的变更和修改，或利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，直接或间接地将以上技术方案运用在其他相关的技术领域，均包括在本实用新型专利的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种面蒸镀源结构，其特征在于：包括坩埚、扩散腔和分散板，扩散腔设置在坩埚开口上，所述扩散腔底部开口坩埚顶部开口等大，扩散腔内设置有扩散板，扩散板上面设置有多个蒸汽扩散孔，扩散腔的开口由下往上依次增大，分散板盖在扩散腔的上开口处，分散板为平面板状结构，分散板上设置有多个喷嘴，所述喷嘴贯通分散板的上下面，所述喷嘴在分散板上均匀排列。

2.根据权利要求1所述的一种面蒸镀源结构，其特征在于：所述坩埚底部为弧形底部。

3.根据权利要求1所述的一种面蒸镀源结构，其特征在于：所述坩埚壁、扩散腔壁或者分散板内置有电热丝。

4.根据权利要求1所述的一种面蒸镀源结构，其特征在于：所述坩埚、扩散腔或者分散板为陶瓷材质。

5.根据权利要求1所述的一种面蒸镀源结构，其特征在于：所述扩散板的数量为多个，多个的扩散板由上往下依次设置在扩散腔内，扩散板上的蒸汽扩散孔的大小由下往上依次变小且数量由下往上依次变多。

6.根据权利要求1所述的一种面蒸镀源结构，其特征在于：所述扩散板上的蒸汽扩散孔的总面积占扩散板面积的50％-60％。

7.根据权利要求1所述的一种面蒸镀源结构，其特征在于：所述喷嘴的顶端往分散板四周倾斜。

8.根据权利要求1所述的一种面蒸镀源结构，其特征在于：所述喷嘴的直径为1mm-2mm的圆孔，喷嘴间距为3mm-5mm。

9.一种具有面蒸镀源结构的蒸镀设备，其特征在于：所述面蒸镀源结构为权利要求1到8任意一项的面蒸镀源结构。

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