CN112030113A - 一种蒸镀坩埚 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体、加热组件、盖板和用于均匀扩散气体的分散组件；所述盖板具有多个均匀分布的出料孔；所述坩埚本体内具有用于盛装有机材料的容置腔，所述容置腔顶部具有与基板尺寸相匹配的开口；所述加热组件、所述分散组件和所述盖板由下至上依次装设于所述容置腔内。本发明采用面源蒸镀的方式，利用分散组件实现气体分子的均匀扩散，达到提高有机材料利用率的目的。
Description
技术领域
本发明涉及显示屏制造领域，尤其是指一种蒸镀坩埚。
背景技术
有机发光二极管(OLED)具有对比度更高、色域广、视角广、低功耗、体积更小等优点，在曲面屏、可穿戴式显示等领域具有更广泛的应用及更显著的优势，因此在显示技术中备受关注。
OLED显示屏有机发光层的主要工艺流程为将装在坩埚内的有机材料进行加热升华成气体分子，进而附着在TFT基板的指定区域上；上述制作过程中，有机发光层的附着状态、均一性皆影响着OLED屏的显示效果。
现有蒸镀源分点源和线源两种，采用点源蒸镀时，TFT基板会在蒸镀源上方旋转，以达到材料尽可能均一附着的效果，而采用线源蒸镀时，线源坩埚会在TFT基板下来回移动以将材料镀满整个TFT基板，这两种方式都是通过基板或者蒸镀源移动的方式来蒸镀，这将会影响到有机材料气体氛围，导致镀膜均一性不佳；并且点源材料利用率在5％左右，线源材料利用率约20％，两种设计均存在材料利用率低，材料存在严重浪费的现象；而有机材料价格昂贵，在目前OLED屏的生产成本上材料支出占了较高比例。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是：提供一种蒸镀坩埚，提高有机材料利用率。
为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为：
一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体、加热组件、盖板和用于均匀扩散气体的分散组件；
所述盖板具有多个均匀分布的出料孔；
所述坩埚本体内具有用于盛装有机材料的容置腔，所述容置腔顶部具有与基板尺寸相匹配的开口；
所述加热组件、所述分散组件和所述盖板由下至上依次装设于所述容置腔内。
本发明的有益效果在于：本发明在容置腔内设置加热组件，用于对有机材料进行均匀加热，使有机材料升华；设置有分散组件，用于使有机材料升华后的气体分子在分散组件内均匀扩散；设置盖板，用于使经过分散组件均匀扩散后的气体分子经过盖板上的出料孔，均匀附着于基板的一侧；而容置腔的开口与基板的尺寸相匹配，实现对基板的面源蒸镀，减少了有机材料的浪费，并且改善基板表面有机膜的均一性。
附图说明
图1为本发明实施例的一种蒸镀坩埚的结构示意图；
图2为本发明实施例的一种蒸镀坩埚的爆炸图；
图3为图2的正视图；
图4为本发明实施例的一种蒸镀坩埚的剖视图。
标号说明：
1、坩埚本体；
2、加热组件；21、第一加热板；22、第二加热板；
3、盖板；31、出料孔；
4、分散组件；41、第一分散板；42、第二分散板；
5、基板；6、容置腔；61、开口；7、流通腔；8、加热空间；9、分散腔。
具体实施方式
为详细说明本发明的技术内容、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。
请参照图1-图4，一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体、加热组件、盖板和用于均匀扩散气体的分散组件；
所述盖板具有多个均匀分布的出料孔；
所述坩埚本体内具有用于盛装有机材料的容置腔，所述容置腔顶部具有与基板尺寸相匹配的开口；
所述加热组件、所述分散组件和所述盖板由下至上依次装设于所述容置腔内。
本发明的工作原理在于：
在坩埚本体上方设置基板，基板与盖板相互平行，并使基板的投影覆盖容置腔的开口，有机材料在容置腔底部进行加热升华后，扩散至分散组件内，并在分散组件内进行均匀扩散，后通过盖板上均匀分布的出料孔上升而均匀附着位于盖板上方的基板一侧，减少了有机材料的浪费。
从上述描述可知，本发明的有益效果在于：本发明在容置腔内设置加热组件，用于对有机材料进行均匀加热，使有机材料升华；设置有分散组件，用于使有机材料升华后的气体分子在分散组件内均匀扩散；设置盖板，用于使经过分散组件均匀扩散后的气体分子经过盖板上的出料孔，均匀附着于基板的一侧；而容置腔的开口与基板的尺寸相匹配，实现对基板的面源蒸镀，减少了有机材料的浪费，并且改善基板表面有机膜的均一性。
进一步的，所述加热组件包括第一加热板和第二加热板；
所述第二加热板与所述第一加热板相互交叉地连接，用于将所述容置腔分隔出多个加热空间。
由上述描述可知，将第一加热板和第二加热板相互交叉地连接，并将容置腔分隔出多个加热空间，能够使有机材料在多个加热空间内被均匀加热，保持蒸镀率的稳定。
进一步的，所述第一加热板的厚度小于1mm。
进一步的，所述第二加热板的厚度小于1mm。
进一步的，所述第一加热板和所述第二加热板均具有多个；
多个所述第二加热板相互平行地设置，多个所述第一加热板相互平行地设置；所述第二加热板与所述第一加热板相互垂直地设置。
由上述描述可知，第一加热片和第二加热片的厚度均小于1mm，且第一加热片和第二加热片均设置有多个，使有机材料更加均匀地受热，确保蒸镀率的稳定，进而确保基板上的有机膜的均一性。
进一步的，所述开口呈矩形、圆形或椭圆形。
由上述描述可知，坩埚本体的开口设置为各种形状，能够与不同形状的基板相配合，使有机材料升华后的气体分子均匀并全面覆盖于基板一侧，大大减少了有机材料的浪费。
进一步的，所述容置腔的横截面面积由下至上逐渐增大。
由上述描述可知，由于有机材料受热升华后充满了容置腔并经过均匀扩散后能够全面覆盖于基板一侧，而容置腔的横截面面积由下至上逐渐增大，使容置腔底部的空间小于容置腔顶部的空间，能够减少有机材料的使用量，即采用较少的有机材料实现全面覆盖基板，提高了有机材料的使用率。
进一步的，所述分散组件包括第一分散板和第二分散板；
所述第一分散板和所述第二分散板由上至下依次装设于所述容置腔内；
所述第一分散板与所述第二分散板间具有间距，用于在所述第一分散板、所述第二分散板和所述容置腔内壁间形成分散腔；
所述第一分散板沿X轴方向开设有多个第一狭缝开口；
所述第二分散板沿Y轴方向开设有多个第二狭缝开口；
所述第一狭缝开口与所述第二狭缝开口相互垂直。
由上述描述可知，第一分散板和第二分散板间形成分散腔，且第一狭缝开口与第二狭缝开口相互垂直地设置，能够使气体分子从第二狭缝开口进入分散腔并均匀扩散后从第一狭缝开口流出，确保了气体分子的均匀扩散，进而使在基板表面形成的有机膜确保了均一性和平整度。
进一步的，所述出料孔竖直向上设置。
由上述描述可知，出料孔竖直向上设置，使气体分子垂直上升而附着于基板上，减少有机膜的重叠面积，而减小了混色的风险。
进一步的，所述出料孔为圆形通孔。
由上述描述可知，圆形通孔能够确保气体分子流出时更加均匀。
实施例一
参照图1-图4，一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体1、加热组件2、盖板3和用于均匀扩散气体的分散组件4；盖板3具有多个均匀分布的出料孔31；坩埚本体1内具有用于盛装有机材料的容置腔6，容置腔6顶部具有与基板5尺寸相匹配的开口61；加热组件2、分散组件4和盖板3由下至上依次装设于容置腔6内。优选的，出料孔31竖直向上设置；优选的，出料孔31为圆形通孔。
其中，盖板3与开口61相匹配，盖板3与分散组件4间具有流通腔7。
参照图2，加热组件2包括第一加热板21和第二加热板22；第二加热板22与第一加热板21相互交叉地连接，用于将容置腔6分隔出多个加热空间8。优选的，第一加热板21的厚度小于1mm；优选的，第二加热板22的厚度小于1mm。
参照图2，第一加热板21和第二加热板22均具有多个；多个第二加热板22相互平行地设置，多个第一加热板21相互平行地设置；第二加热板22与第一加热板21相互垂直地设置。优选的，第一加热板21设置有四个，第二加热板22设置有十个。
可选的，开口61呈矩形、圆形或椭圆形。优选的，开口61呈矩形。
参照图4，容置腔6的横截面面积由下至上逐渐增大。具体的，容置腔6的剖面呈梯形，而坩埚本体1为圆台或削去顶部的倒置四棱锥，以及其他下大上小的规则立方体。
参照图4，分散组件4包括第一分散板41和第二分散板42；第一分散板41和第二分散板42由上至下依次装设于容置腔6内；第一分散板41与第二分散板42间具有间距，用于在第一分散板41、第二分散板42和容置腔6内壁间形成分散腔9；第一分散板41沿X轴方向开设有多个第一狭缝开口61；第二分散板42沿Y轴方向开设有多个第二狭缝开口61；第一狭缝开口61与第二狭缝开口61相互垂直。
具体实施过程为：将基板5设置于容置腔6上方基板5放置于mask(mask为金属掩膜板，金属掩膜版上开有小孔，用于对Pixel的位置定位，以便有机材料蒸镀在基板上)上，使基板5位于坩埚本体1上方50cm的位置，容置腔6内盛装的有机材料的液面应低于第一加热板21和第二加热板22的高度，第一加热板21和第二加热板22对容置腔6内的有机材料进行加热，有机材料后升华的气体分子依次进入分散腔9和流通腔7内并同时通过多个出料孔31竖直上升而附着于基板5表面形成有机膜。
综上所述，本发明提供的一种蒸镀坩埚，在容置腔内设置分散组件，用于使有机材料升华后的气体分子在分散组件内的分散空间中进行均匀扩散，确保气体分子的均一性以及气体分子附着于基板表面后形成的有机膜的平整度，容置腔的横截面由下至上逐渐增大，且容置腔的开口设置成与基板尺寸相匹配的形状，能够仅用少量的有机材料经过加热后升华成气体分子，而气体分子能够在分散腔内均匀扩散，扩大了气体分子的覆盖面积，进而实现面源蒸镀，气体分子穿过盖板的出料孔后能够全面覆盖于基板表面而形成均匀、平整的有机膜。本发明大大减少了有机材料的浪费，采用相比于传统工艺中更少的有机材料即可实现对基板的全面覆盖，提高有机材料的利用率，降低了生产成本。
以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等同变换，或直接或间接运用在相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。
Claims (10)
1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括坩埚本体、加热组件、盖板和用于均匀扩散气体的分散组件；
所述盖板具有多个均匀分布的出料孔；
所述坩埚本体内具有用于盛装有机材料的容置腔，所述容置腔顶部具有与基板尺寸相匹配的开口；
所述加热组件、所述分散组件和所述盖板由下至上依次装设于所述容置腔内。
2.根据权利要求1所述的一种蒸镀坩埚，其特征在于，所述加热组件包括第一加热板和第二加热板；
所述第二加热板与所述第一加热板相互交叉地连接，用于将所述容置腔分隔出多个加热空间。
3.根据权利要求2所述的一种蒸镀坩埚，其特征在于，所述第一加热板的厚度小于1mm。
4.根据权利要求2所述的一种蒸镀坩埚，其特征在于，所述第二加热板的厚度小于1mm。
5.根据权利要求2所述的一种蒸镀坩埚，其特征在于，所述第一加热板和所述第二加热板均具有多个；
多个所述第二加热板相互平行地设置，多个所述第一加热板相互平行地设置；所述第二加热板与所述第一加热板相互垂直地设置。
6.根据权利要求1所述的一种蒸镀坩埚，其特征在于，所述开口呈矩形、圆形或椭圆形。
7.根据权利要求1所述的一种蒸镀坩埚，其特征在于，所述容置腔的横截面面积由下至上逐渐增大。
8.根据权利要求1所述的一种蒸镀坩埚，其特征在于，所述分散组件包括第一分散板和第二分散板；
所述第一分散板和所述第二分散板由上至下依次装设于所述容置腔内；
所述第一分散板与所述第二分散板间具有间距，用于在所述第一分散板、所述第二分散板和所述容置腔内壁间形成分散腔；
所述第一分散板沿X轴方向开设有多个第一狭缝开口；
所述第二分散板沿Y轴方向开设有多个第二狭缝开口；
所述第一狭缝开口与所述第二狭缝开口相互垂直。
9.根据权利要求1所述的一种蒸镀坩埚，其特征在于，所述出料孔竖直向上设置。
10.根据权利要求1所述的一种蒸镀坩埚，其特征在于，所述出料孔为圆形通孔。
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