JP4773517B2 - 煤を検出するためのセンサおよび作動方法 - Google Patents

Description

本発明は、測定ガスボリューム中の煤を検出するためのセンサおよびこのセンサの作動方法に関する。この場合、測定ガス中に煤が存在するのか否かの検出も、その濃度の測定も考慮される。

雰囲気中の二酸化炭素増加については今日、多方面にわたり議論されている。これに付随する事柄として挙げられるのは、化石エネルギー担体の利用が制限されている点である。その対応としてたとえば、燃焼プロセスの効率が改善されるようこのプロセスが熱力学的に最適化される。自動車の分野では、これはディーゼル車両をいっそう多く利用することで抑えられている。ただしこのような燃焼技術の欠点は、最適化されたオットーエンジンよりも煤の噴出が著しく増えることである。これに加えて、煤の形成は燃焼技術的な措置によってもほとんど回避することはできない。煤は殊に多環式芳香族化合物（ＰＡＫ）の蓄積により発ガン性が強く、このことに対しては様々な規則においてすでに対応がなされている。したがってたとえば欧州連合における排気ガスエミッション規準は、煤放出の上限と結びつけられている。このため、排気ガス中の煤含有量を測定する低コストのセンサ機構を提供する必要がある。

この種の煤センサの組み込みを、自動車のエンジン管理装置に対し目下の走行状況において情報を与えて制御技術的な適合調整によりエミッションを低減する目的で目下排出中の煤の測定にも利用できるし、いわゆる排気ガス煤フィルタによるアクティブな排気ガス清浄を行うこともできる。後者の事例の場合には再生可能なフィルタが用いられ、これは煤含有量の大部分をフィルタリングにより排気ガスから取り除く。この場合、煤フィルタの機能を監視する目的で、もしくはその再生サイクルを制御する目的で、煤検出用の煤センサが必要とされる。

従来技術によれば、煤を検出するための様々なアプローチがなされてきた。実験室レベルで追求され続けている１つのアプローチは、煤粒子による光の拡散を利用することである。このような手法はコストをかけた測定機器に適している。このようなセンサを可搬のセンサシステムとしても排気ガス中で用いようとするならば、低コストのセンサを自動車内で実現するためのそのようなアプローチが複雑な光学的構造によって高いコストと結びつく点に気づかざるを得ない。さらに、必要とされる光学的なウィンドウが燃焼排気ガスによって汚れてしまうという問題点も解決されていない。

DE 199 59 871 A1にはセンサおよびその作動方法について述べられており、これらはともに熱の考察に基づくものである。この場合、センサは、開放型の多孔性成形体たとえばハニカム構造のセラミックと加熱素子と温度センサとから成る。センサが測定ガスボリュームと結合されると、煤がその上に堆積する。測定のため、ある期間にわたり堆積した煤が加熱素子により着火されて燃やされる。そしてこの燃焼により生じた温度上昇が測定される。一定の周囲条件ではこれは有効なやり方であるにもかかわらず、自動車の排気ガス管において流れや排気ガス温度が著しく変動する条件のもとでは、比較的僅かな温度上昇を測定するのは非常に難しい問題となる。

基本的に、煤測定のために２つの方法を使用することができる。１つの方法は２つの電極間の電界に基づくものであり、これらの電極のところには煤を伴う測定ボリュームが存在しており、その際、煤によってイオン電流が引き起こされる。DE 102 44 702 Aにより、この原理に基づく形態が知られている。この事例によれば、排気ガス流は２つの電極を通過し、これらの電極には電気的絶縁層が設けられていて、２つの電極間に煤を含有する検査すべきガスが存在する。この場合、これらの電極は１〜１０ｋＶの交流電圧で駆動される。これらの電極間において、測定ガス中の煤濃度に依存して誘電バリア放電が生じ、発生した電流が測定される。自動車駆動についていえば上述の方法は、実現のために高い電圧と複雑な測定技術が必要とされるかぎりは、有用ではない。他方、ガス状の排気ガス成分の変動は、イオン電流の妨害ガス作用によって重大な測定の誤りを引き起こしてしまう。

したがって本発明の課題は、煤の検出が可能であり、検出を迅速かつ再現可能に実施できる煤のセンサおよびその作動方法を提供することにある。

この課題は、請求項１または請求項１２または請求項１８記載の個々の特徴の組み合わせにより解決される。従属請求項には有利な実施形態が示されている。

本発明の基礎を成す着想は、誘電性の表面導電性を測定するセンサを使用することにより、たとえば２つの電極を用いて、表面に堆積した煤の量を検出可能なことである。センサの平面的な構成により、たとえば煤の膜が表面に形成したときにわずかな導電性の変化であっても検出できる。

その際に殊に有利であるのは、細かく分散され互いに接触し合わない導電性粒子を測定電極間に設けることであり、このようにすれば、著しく低減された煤の量もしくは膜の厚さであっても測定可能な導電性が生じるようになる。

測定電極のインターディジタル構造ないしは交差指型構造によって、測定信号形成に関する利点が得られる。この種の構造はたとえば、互いにずらされて組み合わせられた櫛形形状のようにして実現される。本発明による抵抗センサを２つ以上設けて構成すれば、再生フェーズが必要であるにしても常に１つのセンサを確実に測定フェーズにおくことができるようになる。

センサたとえば測定電極を保護する目的で、あるいは温度センサもしくは加熱素子を保護する目的で、薄いコーティングが設けられる。このコーティングは、保護効果があるにもかかわらず測定ガス流を通すことができるよう、たとえば微細な多孔性のものである。あるいはコーティングは、それ自体が十分な導電性をもつように構成され、このようにすることでコーティングにより生じる電気的な抵抗によってもセンサ信号の許容できない誤りが生じないようになる。

いっそう確実に信号を形成することを考えてセンサを構成するためにきわめて有利であるのは、電気的に高い絶縁特性をもつ層を、一般にやはり絶縁性の基板に取り付けることである。高い絶縁特性をもつこのような層を、同時に排気ガスに対し耐性をもつよう形成することができる。

基板表面上に、もしくは基板表面上に設けられた層の上に、酸化触媒を配置することができる。酸化触媒は通常、分散液としてコーティングされ、したがってばらばらの形態ないしはつながりのない状態で付着される。

センサにおけるコンポーネントを節約するために、抵抗型加熱素子を同時に温度センサとしても作動させることができる。有利にはこれは単独でまたは温度センサとともに保護層によって覆われ、あるいは多層構造の場合にはセンサ基体内部に取り付けられる。

零点抵抗を抵抗測定の出発点として利用するための基礎として有利であるのは、基板表面が規定の基本導電率をもつように構成することである。零点抵抗と関連させて、センサの電気的機能が自己監視ユニットまたは自己監視問い合わせにおいて調べられる。

上述の煤センサは加熱され、測定フェーズ中、妨害信号を引き起こす可能性のある成分が煤に加えて表面に堆積しないよう、動作条件が調整される。測定が終了すると、温度が高められて再生フェーズが始まる。適用事例に応じて、少なくとも２つのそれぞれ異なる温度で作動させる実施形態を用いることができる。つまりこの場合、センサは測定と再生を別個に行うかまたは、センサは測定と再生との間でダイナミックな平衡状態が生じる温度に保持される。つまりこの場合、温度レベルに従い表面における規定の触媒活性と関連して、排気ガス中に存在する酸素により煤を連続的に燃焼させることができるとともに、ダイナミックに生じる煤の蓄積に対する抵抗測定が同時に行われる。煤に覆われることに応じて、電極間で増大した導電性が測定される。測定信号の形成は導電性ないしは導電率をじかにベースとして行ってもよいし、あるいは温度測定を介して測定信号を求めることもでき、この場合には導電率は一定の値になるよう制御される。零点抵抗を生じさせる基板表面を利用することにより、センサの自己監視を有利なやり方で行うことができる。

次に、本発明を略示した図面を参照しながら実施例について説明する。なお、それらの図面は限定を意味するものではない。

図１は、本発明による煤フィルタの実施形態を示す図である。

図２および図３は本発明による煤フィルタの横断面の概略図であり、これらの図には電気的な評価についてシンボリックに描かれている。

図４は、センサ表面上で細かく分散した導電性粒子による応答特性を向上させるための本発明による１つの実施形態を示す図である。

図５は、基板上にデポジットされた絶縁層により電気的絶縁を向上させることによって感度を高めるための配置構成を示す図である。

図６は、本発明による煤センサにおける導電性測定を示すダイアグラムである。

図１の上半分には、２つの広い面積の接続面の間に交差指型で形成されておりつまりは櫛形の電極構造３が描かれている。一般にセラミック基板である基板において、一方の側にはこのような測定構造が設けられており、他方の側には、図１の下半分に描かれている加熱素子２のメアンダ状構造が設けられている。

煤センサをセラミック基体によって構成することができ、この基体には煤含有ガスが少なくとも一方の表面に加わり、その際、電気的に絶縁性のあるいは電気的に僅かに導電性のまえもって定められた特性をもつ表面が、堆積した煤に対して触媒作用をもつ。センサのところで、温度センサによる温度測定が行われる。煤を含有する排気ガスから煤が上述の表面に堆積すると、堆積された煤により引き起こされた電極間の導電性が測定され、このようにして煤もしくは煤の膜の存在が検出される。

実現可能な第１の作動方法によれば、センサを一定の第１の温度に保持する。この温度はたとえば２５０°Ｃ〜４５０°Ｃの範囲にある。これにより、同様に表面において導電性を生じさせる可能性のある水分、窒素酸化物または二酸化硫黄といった望ましくない他の排気ガス成分が表面に蓄積するのが回避される。当然ながら煤粒子が堆積し、センサの測定フェーズは所定の時間的零点において始まり、電極間の導電率がまえもって定められた値に達したときに終了する。これは、時間が経過するにつれてセンサ表面における煤粒子の蓄積が増加することで、測定可能な導電性がセンサ表面に生じる、ということに基づいている。煤粒子を収集するこの第１のフェーズにおいて導電性の増大が生じるまでの時間が測定され、煤を伴う測定ガスの平均的な加わり方に対する尺度としてこの時間が用いられる。電極間の導電性が所定の大きさを超えると、センサ素子が規定された第２の温度まで加熱され、この第２の温度は典型的には５００°Ｃ〜８００°Ｃの間にある。この温度レベルにおいて煤粒子は排気ガス中に存在する酸素とともに燃やされ、これは再生フェーズを成す。再生フェーズに続いて次の測定フェーズが始まる。タイムインターバルの典型的な値は、測定フェーズについてはたとえば３０〜３００秒であり、再生フェーズについてはたとえば１０〜４０秒である。これらの値は煤の加わり方や加わる期間に依存する。

有利な動作形態として考えられるのは、少なくとも２つのセンサ素子を設け、その際に常に少なくとも一方のセンサ素子を測定フェーズにおくことであり、このようにすれば連続的なすなわち途切れることのない測定が確実に行われるようになる。第２の動作方法によれば、センサが３５０°Ｃ〜５００°Ｃの範囲にある一定の温度で駆動される。このように比較的高い温度レベルによって一方では、水分、酸化窒素および二酸化硫黄が蓄積して妨害信号が発生してしまう可能性が回避される。ただし煤粒子の蓄積は可能となる。第１の作動方法における第１の温度よりも温度を高めることで、まえもって定められている表面の触媒活性度と結びついて、排気ガス中に存在する酸素とともに測定フェーズ中も煤が継続的に燃やされ、その結果、ガスの煤の加わり方に応じて煤が表面をダイナミックに覆うようになる。煤が表面を覆うことに従って、２つの電極間で増大した導電性が測定される。煤の堆積と触媒作用による燃焼との間においてダイナミックなバランスで煤が表面を覆うことに関して重要となるのは、温度と触媒作用による活性度である。したがってセンサの出力信号が導電性のそのつどの増大によって形成されるか、または導電性が一定に増大するようセンサ素子の温度が制御され、その際に必要とされる温度によって測定信号が形成される。

センサは一般にセラミック基体たとえば酸化アルミニウムから成り、これはさしたる導電性を有していない。測定ガスに晒される表面上に、有利には電気的に高い絶縁性をもつ層が被覆される。この層の上に測定電極が取り付けられる。これによって電極の著しく良好な電気的絶縁性が達成され、煤が表面を覆って僅かな導電性が生じただけですでに検出できるようになる。絶縁層の材料として電気的に絶縁性のきわめて良好なセラミック層たとえば高純度のＡｌ₂Ｏ₃またはＡｌＮが設けられ、その層厚は典型的には１０〜１００μｍである。また、スパッタリングまたはＣＶＤなどのプロセスを用いて、ＳｉＯ₂またはＳｉ₃Ｎ₄から成る絶縁性の高い層を被着させることもできる。

センサまたはセンサの部分領域を保護するために、排気ガスに対し耐性のある層を取り付けることもできる。規定の基本導電性をもつセンサ表面を設けるようにすることも可能である。この場合、煤の堆積していないセンサ素子において規定の零点抵抗が測定される。測定技術的にこのことが有利である理由は、規定されていない高い抵抗はセンサ駆動中は捕捉が難しいからである。そしてこれは、煤が堆積していないときに零点抵抗の発生がセンサの電気的な能力ないしは性能を示すようにした作動方法の拡張に利用される。これによって自己監視を実現することができる。排気ガスに対し耐性のある半導体特性をもつ層の適切な材料はたとえば、Ｇａ₂Ｏ₃，ＣｅＣＯ₂，ＨｆＯ₂といった金属酸化物である。

第１の作動方法の実施形態における再生を支援する目的で、もしくは第２の作動方法の実施形態における触媒作用による煤の燃焼を支援する目的で、表面に堆積した煤を酸化させて揮発性のガス成分とするために、センサ表面に対応させて触媒活性が所期のように設けられる。これは層の表面上に酸化触媒を分散液として設けることによって行われる。一般に導電性の触媒材料によって電極間に望ましくない導電性が引き起こされて測定信号に誤りが生じないようにする目的で、分散液はばらばらの領域に供給される。この種の触媒材料はたとえばＰｔ，Ｒｈ，Ｐａもしくはそれらの合金といった白金属である。また、副族の金属から成る触媒活性酸化物たとえばＦｅ₂Ｏ₃，ＣｅＯ₂，ＭｎＯ₂，Ｃｒ₂Ｏ₃またはＨｆＯ₂などを用いることもできる。

測定電極間に細かく分散され互いに接触し合わない電気的な粒子を設けることにより、測定可能な導電性に至るまでに要する煤の量を著しく抑えることができる。

加熱素子は金属導体たとえば白金または白金属あるいはそれらの合金から成る。この場合、加熱抵抗の値はセンサ素子の温度の関数であり、着目時点での加熱素子の抵抗値を評価することによって温度を求めることができる。このケースでは加熱素子は温度センサとしてはたらく。センサ素子の動作のためには、温度の精確な把握が必要である。加熱素子および／または温度センサを周囲の影響による変動から保護する目的で、それが周囲とできるかぎり接触しないように構成される。このことはたとえばガラス、酸化アルミニウム、二酸化ケイ素またはそれらの組み合わせといった融点の高い材料から成るカバー層を設けることによって行われるか、あるいはコンポーネントが支持体内部に取り付けられ、これはたとえばそれらの素子を多層構造中に埋め込むことによって行われる。

測定電極３はたとえば、Ｐｔ，Ｒｈ，白金属から成る合金、クロムとニッケルの合金といった排気ガスに対し耐性のある金属から成り、あるいは排気ガスに対し耐性のある導電性化合物たとえば窒化チタン／ＴｉＮ、窒化ボロン／ＢＮ、炭化ケイ素／ＳｉＣ、炭化ホウ素／Ｂ₄Ｃ、またはケイ化タングステン／ＷＳｉ₂から成り、あるいはケイ化白金／ＰｔＳｉから成る。排気ガス中の安定度を高めるために、測定電極に薄いコーティングを設けることができる。このコーティングは、妨害を及ぼす電気的絶縁作用を引き起こすことがないよう、薄いけれども微細な多孔性である。ただし、電極材料に対する腐食性排気ガス成分による化学的攻撃作用が低減する。このような層のための適切な材料はたとえば、排気ガスに対し耐性があるけれども温度が上昇したときに半導体特性をもつ金属たとえば酸化ガリウムまたは酸化セリウム、あるいは酸化ケイ素または二酸化アルミニウムから成る薄い層である。

本発明の利点はたとえば、排気ガス中の煤成分を求めるためにコンパクトで簡単でありしたがって低コストの構造が相応の作動方法とともに得られることにある。この構造は、たとえば排気ガス環境などのような攻撃性および腐食性の周囲条件に対し必要とされる耐性および持続的堅牢性を与える材料によって構築されている。センサは排気ガスを連続的に監視するのに適しており、メンテナンスあるいは消耗交換部品を必要としない。周期的な形態を伴う第１の作動方法の実施形態に対応する線量計（dosimeter）方式により、この測定原理は排出ガス規制EURO 5に直接関連するものである。これによれば１００ｋｍ走行ごとの煤排出が決められる。

図１を参照すると、そこには既述のセンサの横断面が略示されており、図２および図３にも同様の概略図が描かれている。この場合、センサ表面上に測定電極が描かれている。測定フェーズ中、気相状態で存在する煤粒子が表面に蓄積し、それによって電流経路がつながると、測定可能な導電性が電極間で生じることになる。再生フェーズ中、堆積した煤粒子が酸化されて揮発性のガス成分たとえば二酸化炭素または水分となる。これについては図３を参照されたい。図２にはセンサが測定フェーズ中にあるときの様子が描かれており、図３にはセンサが再生フェーズ中にあるときの様子が描かれている。

上述の実施形態の場合、測定可能な信号を達成するためには、互いに接触し合う所定数の煤粒子の堆積が必要である。このような煤粒子の数を次のようにして低減することができる。すなわちこの場合、外側で接触する測定電極間に細かく分散された導電性粒子を付着させ、このような粒子により、煤粒子を介して橋絡される区間の全長が図４に示されているように短くされて小部分を成すようにする。このようにしてセンサの応答に必要とされる煤が表面を覆う量を著しく下げることもできるし、小さい粒子に対する感度を高めることもできる。小さい粒子に対しては、それらが健康に害を及ぼす可能性が高いことから、特に注意が払われる。これに加えてこのような導電性粒子に対する適切なセンサ材料の選択により、たとえば白金を選択することで、表面の触媒活性を高めることができ、ひいては再生プロセスの効率を高めることができる。これにより再生時間および／または再生温度を低減することができる。図５には、付加的な絶縁層を設けることにより絶縁特性を高める実施形態が描かれている。この場合、測定電極は絶縁層の上に設けられるかまたは、薄い煤膜をできるかぎり良好に測定するための平坦な表面構造が得られるよう絶縁層の中に設けられる。したがって図５の右半分に描かれている構成によっても、電極の垂直方向の辺における煤により導電性が途切れることのないようにすることができる。

図６には、図１に従って構成されたセンサによる測定の様子が示されている。最初の数分間の測定経過中、３５０°Ｃまでの加熱フェーズの間に脱着が起こることから、センサの抵抗値が上昇する。約３分後、８００°Ｃ付近で再生ステップが実施される。ここで基板の固有導電率により抵抗値が減少することになる。センサが再び３５０°Ｃという動作温度に達すると、４．３分後にセンサがディーゼルの裸火の煤に晒される。着火のわずか数秒後にセンサ抵抗が数１０という単位で急激に降下し、抵抗値はまだ煤が形成されている間に安定した値に達する。８００°Ｃ付近で９．５分間にわたり再生が行われることにより、活性のセンサ面に存在する煤が燃焼して揮発性のガス成分殊に二酸化炭素となり、これによって抵抗値は再びもとの値をとるようになる。

本発明による煤フィルタの実施形態を示す図 本発明による煤フィルタの横断面の概略図 本発明による煤フィルタの横断面の概略図 センサ表面上で細かく分散した導電性粒子による応答特性を向上させるための本発明による１つの実施形態を示す図 基板上にデポジットされた絶縁層により電気的絶縁を向上させることによって感度を高めるための配置構成を示す図 本発明による煤センサにおける導電性測定を示すダイアグラム

Claims (20)

1. 煤検出センサにおいて、
   測定ガスに晒される非導電性の表面をもつセラミック基板（１）と、
   該基板の表面に形成され導電性を測定する複数の電極（３）を備えた電極構造体と、
   前記基板に取り付けられ２５０°Ｃ〜４５０°Ｃの動作温度を生じさせる加熱素子（２）と、
   少なくとも１つの温度測定装置が設けられており、
   前記複数の電極（３）の間における導電性を測定することにより、発生した煤の堆積が検出され、
   互いに接触状態にはない複数の導電性粒子が、前記基板表面において前記複数の電極（３）間にまえもって付着されており、該複数の導電性粒子により、前記基板表面において前記複数の電極（３）間の非導電性区間の全長が低減されることを特徴とする、
   煤検出センサ。
2. 請求項１記載のセンサにおいて、
   前記基板表面は煤燃焼のための触媒特性を有することを特徴とするセンサ。
3. 請求項１または２記載のセンサにおいて、
   前記複数の電極は交差指型に配置されていることを特徴とするセンサ。
4. 請求項１から３のいずれか１項記載のセンサにおいて、
   少なくとも１つの第２の同種のセンサと同時に使用するように構成されていることを特徴とするセンサ。
5. 請求項１から４のいずれか１項記載のセンサにおいて、
   安定性を高めるため前記電極は薄い層または細かい多孔性の層により覆われていることを特徴とするセンサ。
6. 請求項１から５のいずれか１項記載のセンサにおいて、
   前記セラミック基板に電気的に良好な絶縁性の層が付加的に設けられており、該層は同時に排気ガスに対し耐性があることを特徴とするセンサ。
7. 請求項１から６のいずれか１項記載のセンサにおいて、
   前記基板または該基板の上に取り付けられた電気的に高い絶縁性の層の上に、酸化触媒が分散液としてばらばらの領域にコーティングされていることを特徴とするセンサ。
8. 請求項１から７のいずれか１項記載のセンサにおいて、
   前記加熱素子は同時に温度センサとして作動されることを特徴とするセンサ。
9. 請求項１から８のいずれか１項記載のセンサにおいて、
   前記加熱素子および／または前記温度センサは、表面実装の場合には保護層によって覆われ、または多層構造の場合にはセンサ基体内部に取り付けられていることを特徴とするセンサ。
10. 請求項１から９のいずれか１項記載のセンサにおいて、
    前記基板表面または該基板表面の上に設けられた層はまえもって定められた基本導電率を有し、該導電率により、前記基板表面に煤が堆積していないときの抵抗値が規定されていることを特徴とするセンサ。
11. 請求項１から１０のいずれか１項記載の煤検出センサの作動方法において、
    測定フェーズのためにセンサにおいて第１の動作温度を生じさせて、基板表面上に煤を堆積させることができるが煤測定を妨害する他の堆積を阻止するステップと、
    測定開始から複数の電極間の導電性が上昇するまでの時間を測定するステップと、
    再生フェーズのためにセンサにおいて第２の動作温度を生じさせて、堆積した煤を測定ガス中に存在する酸素とともに燃やすステップが設けられていることを特徴とする、
    煤検出センサの作動方法。
12. 請求項１１記載の方法において、
    少なくとも２つのセンサを使用して、互いに逆の動作を交互に行わせることにより少なくとも１つのセンサが測定フェーズにおかれることを特徴とする方法。
13. 請求項１１または１２記載の方法において、
    前記第１の動作温度は２５０〜４５０°Ｃの間にあることを特徴とする方法。
14. 請求項１１または１３記載の方法において、
    前記第２の動作温度は５００〜８００°Ｃの範囲にあることを特徴とする方法。
15. 請求項１１から１４のいずれか１項記載の方法において、
    前記第１の温度の選定により、基板表面における水分、酸化窒素または二酸化硫黄の堆積が阻止されることを特徴とする方法。
16. 請求項１１から１５のいずれか１項記載の方法において、
    前記測定フェーズの時間は３０〜３００秒の範囲にあり、前記再生フェーズの時間は１０〜４０秒の範囲にあることを特徴とする方法。
17. 請求項１から１０のいずれか１項記載の煤検出センサの作動方法において、
    センサにおいて一定の動作温度を生じさせ、煤を基板表面に堆積させて導電率を高め、基板表面におけるまえもって定められた触媒活性度により煤成分の継続的な燃焼を行わせるステップと、
    発生した導電性に基づき測定信号を形成するステップが設けられていることを特徴とする、
    煤検出センサの作動方法。
18. 請求項１７記載の方法において、
    前記一定の動作温度は３５０〜５００°Ｃの間にあることを特徴とする方法。
19. 請求項１７または１８記載の方法において、
    温度制御により導電率を一定に保持したときの温度変化に基づき、発生した煤の堆積を測定することを特徴とする方法。
20. 請求項１７から１９のいずれか１項記載の方法において、
    前記基板表面は、該基板表面に煤が堆積していないときに規定の抵抗値を有しており、該抵抗値に基づき自己監視を行うためのセンサ機能が設けられることを特徴とする方法。

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