JP4768259B2 - 電力用半導体装置 - Google Patents
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Description
特許文献5は、n型第2ドリフト層とp型リサーフ層とで形成される縦型スーパージャンクション構造を有するパワーMOSFETを開示する。ここに開示される1つのタイプの装置では、ドレイン側にn型層よりも不純物濃度度が低いn−型ドリフト層が挿入される。また、開示される別のタイプの装置では、n−型ドリフト層を設けずに、p型リサーフ層の内部構造や深さが様々に変更される。
深さ方向の上下に第1面及び第2面を有する第1導電型の第1半導体層と、
前記第1半導体層の前記第1面上に、前記深さ方向と直交する横方向において間隔をおいて配設された、第1導電型の複数の第2半導体層と、
前記第2半導体層間に夫々配設された第2導電型の複数の第3半導体層と、
前記第2半導体層間で前記第3半導体層の上部と夫々接するように配設された第2導電型の複数の第4半導体層と、
前記第4半導体層の表面に夫々形成された第1導電型の複数の第5半導体層と、
前記第1半導体層の前記第2面に電気的に接続された第1主電極と、
前記第4半導体層及び前記第5半導体層に電気的に接続された第2主電極と、
前記第5半導体層と前記第2半導体層との間に位置する前記第4半導体層の部分であるチャネル領域に第1絶縁膜を介して対向するゲート電極と、
を具備し、前記第1半導体層は前記第2半導体層よりも第1導電型の不純物の濃度が低く、且つ前記第3半導体層は、基本部分と、前記深さ方向において不純物量が前記基本部分よりも大きくなるように局所的に形成された高不純物量部分と含み、ここで前記不純物量は、前記横方向の断面における第2導電型の不純物の総量で規定され、前記高不純物量部分は、前記第2の主電極から前記第1の主電極に向かう深さ方向で前記第3半導体層の中央よりも前記第1の主電極に近い位置に形成されていることを特徴とする。
更に、本発明に係る実施の形態には種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出され得る。例えば、実施の形態に示される全構成要件から幾つかの構成要件が省略されることで発明が抽出された場合、その抽出された発明を実施する場合には省略部分が周知慣用技術で適宜補われるものである。
図1(a)は、本発明の第1の実施の形態に係る電力用半導体装置(パワーMOSFET)を模式的に示す断面斜視図である。図1(a)に示すように、このMOSFETは、半導体基板内に配設された高抵抗(低不純物濃度)のn−型ドリフト層(第1導電型の第1半導体層)1を有する。n−型ドリフト層1の下側の面(深さ方向の第2面)上には、低抵抗(高不純物濃度)のn+型ドレイン層10が配設される。
図5は、本発明の第2の実施の形態に係る電力用半導体装置(パワーMOSFET)を模式的に示す断面斜視図である。図5に示すように、この装置では、p型ピラー層3の幅が底部に向かって次第に大きくなるように設定される。一方、p型ピラー層3は、深さ方向の全体に亘って実質的に一定のp型不純物濃度を有する。これにより、p型ピラー層3は、深さ方向において不純物量が局所的に大きい所定部分(高不純物量部分)3Hを底部に含むこととなる。ここで「不純物量」とは、前述のように、p型ピラー層3の深さ方向と直交する横方向の断面におけるp型の不純物の総量(断面積×濃度)で規定される。即ち、本実施の形態においては、高不純物量部分3Hを形成するための因子として、p型ピラー層3の深さ方向の実効的な幅のプロファイルを変化させることが利用される。
図6は、本発明の第3の実施の形態に係る電力用半導体装置(パワーMOSFET)を模式的に示す断面斜視図である。図6に示すように、この装置では、p型ピラー層3内に、導電型を有しないノンドープ層11がp型ピラー層3の底部に到達しない長さで深さ方向に延在する。一方、p型ピラー層3自体は、深さ方向の全体に亘って実質的に一定のp型不純物濃度を有する。これにより、p型ピラー層3は、深さ方向において不純物量が局所的に大きい所定部分(高不純物量部分)3Hを底部に含むこととなる。
図7(a)は、本発明の第4の実施の形態に係る電力用半導体装置(パワーMOSFET)を模式的に示す断面斜視図である。図7(b)は、図7(a)に示す装置の深さ方向の不純物濃度Cimpのプロファイルを示す図である。図7(a)に示すように、この装置では、p型ピラー層3が、n型ピラー層2とn−型ドリフト層1との間の境界位置Int12を越えてn−型ドリフト層1内に延在する延長底部3Jを含む。一方、図7(a)、(b)に示すように、p型ピラー層3は、深さ方向の全体に亘って実質的に一定の幅及び実質的に一定のp型不純物濃度を有する。ここで、n型ピラー層2の濃度Cn2及びp型ピラー層3のp型不純物濃度Cp3の値は実質的に等しい。
図8(a)は、本発明の第5の実施の形態に係る電力用半導体装置(パワーMOSFET)を模式的に示す断面斜視図である。図8(b)は、図8(a)に示す装置の深さ方向の不純物濃度Cimpのプロファイルを示す図である。図8(a)に示すように、この装置では、p型ピラー層3が、n型ピラー層2とn−型ドリフト層1との間の境界位置Int12を越えてn−型ドリフト層1内に延在する延長底部3JHを含む。また、図8(b)に示すように、p型ピラー層3は、基本部分3Fのp型不純物濃度CP3に比べて、延長底部3JHの濃度がΔCpsだけ高くなるように設定される。一方、図8(a)に示すように、p型ピラー層3は、深さ方向の全体に亘って実質的に一定の幅を有する。即ち、本実施の形態は、第1及び第4の実施の形態を組み合わせた構成を有する。
図9(a)は、本発明の第6の実施の形態に係る電力用半導体装置(パワーMOSFET)を模式的に示す断面斜視図である。図9(b)は、図9(a)に示す装置の深さ方向の不純物濃度Cimpのプロファイルを示す図である。図9(b)において、Cn1、Cn2、及びCp3rは、夫々、n−型ドリフト層1のn型不純物濃度、n型ピラー層2のn型不純物濃度、及びp型ピラー層3の基本部分3Fのp型不純物濃度を示す。ここで、第1乃至第5の実施の形態とは異なり、p型ピラー層3の基本部分3Fの濃度Cp3rは、n型ピラー層2の濃度Cn2よりも低い。
図10(a)は、本発明の第7の実施の形態に係る電力用半導体装置(パワーMOSFET)を模式的に示す断面斜視図である。図10(b)は、図10(a)に示す装置の深さ方向の不純物濃度Cimpのプロファイルを示す図である。図10(a)、(b)に示すように、第7の実施の形態は、第4及び第6の実施の形態を組み合わせた構成を有する。
図11(a)は、本発明の第8の実施の形態に係る電力用半導体装置(パワーMOSFET)を模式的に示す断面斜視図である。図11(b)は、図11(a)に示す装置の深さ方向の不純物濃度Cimpのプロファイルを示す図である。図11(a)、(b)に示すように、第8の実施の形態は、第5及び第6の実施の形態を組み合わせた構成を有する。
第1乃至第8の実施の形態において、スーパージャンクション構造は種々の方法で形成することができる。例えば、実施の形態において説明したように、イオン注入と埋め込みエピタキシャル成長とを繰り返すマルチエピタキシャル法や、トレンチ内を結晶成長により埋め戻す方法などを採用することができる。その他、トレンチの側壁に斜め方向からのイオン注入を用いる方法を採用することができる。装置の半導体材料は、シリコン(Si)に限らず、他の材料、例えばシリコンカーバイト(SiC)や窒化ガリウム(GaN)等の化合物半導体や、ダイアモンドなどのワイドバンドギャップ半導体を用いることができる。
Claims (4)
- 深さ方向の上下に第1面及び第2面を有する第1導電型の第1半導体層と、
前記第1半導体層の前記第1面上に、前記深さ方向と直交する横方向において間隔をおいて配設された、第1導電型の複数の第2半導体層と、
前記第2半導体層間に夫々配設された第2導電型の複数の第3半導体層と、
前記第2半導体層間で前記第3半導体層の上部と夫々接するように配設された第2導電型の複数の第4半導体層と、
前記第4半導体層の表面に夫々形成された第1導電型の複数の第5半導体層と、
前記第1半導体層の前記第2面に電気的に接続された第1主電極と、
前記第4半導体層及び前記第5半導体層に電気的に接続された第2主電極と、
前記第5半導体層と前記第2半導体層との間に位置する前記第4半導体層の部分であるチャネル領域に第1絶縁膜を介して対向するゲート電極と、
を具備し、前記第1半導体層は前記第2半導体層よりも第1導電型の不純物の濃度が低く、且つ前記第3半導体層は、基本部分と、前記深さ方向において不純物量が前記基本部分よりも大きくなるように局所的に形成された高不純物量部分と含み、ここで前記不純物量は、前記横方向の断面における第2導電型の不純物の総量で規定され、前記高不純物量部分は、前記第2の主電極から前記第1の主電極に向かう深さ方向で前記第3半導体層の中央よりも前記第1の主電極に近い位置に形成されていることを特徴とする電力用半導体装置。 - 前記高不純物量部分は、前記基本部分と比較して、前記不純物量の値が1倍より大きく、1.35倍以下であることを特徴とする請求項1に記載の電力用半導体装置。
- 前記第2半導体層と前記第1半導体層との合計の厚さtBに対する、前記第1半導体層の厚さtAの比(tA/tB)が、0<tA/tB≦0.4であることを特徴とする請求項1または2に記載の電力用半導体装置。
- 前記基本部分内の第2導電型の不純物の濃度は、前記第2半導体層内の第1導電型の不純物の濃度よりも低いことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の電力用半導体装置。
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