JP4702345B2 - 超音波送受波器とそれを使用した流体の流れ計測装置 - Google Patents
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Description
ので、これを流れ計測装置に用いれば計測精度の向上が図れるものである。
図1に示す超音波送受波器1は、導電材料として例えばステンレスからなる有天状のケース2と、そのケース2の有天部内側に密着するように配設した圧電振動子となる圧電体3と、前記ケース2の有天部外側に接合材料であるエポキシ接着剤からなる接合手段4で密着接着した音響整合体5とからなる。
逆に、超音波送受波器22を超音波送波器として、超音波送受波器21を超音波受波器として用いたときのシング・アラウンド周期をt2、シング・アラウンド周波数f2とすれば、次式(2)の関係が成立する。
したがって、両シング・アラウンド周波数の周波数差Δfは、次式(3)となり、超音波の伝搬経路の距離Lと周波数差Δfから流体の流速Vを求めることができる。
すなわち、超音波の伝搬経路の距離Lと周波数差Δfから流体の流速Vを求めることができ、その流速Vから流量を調べることができる。
うにしてある。物質中の音速Cと密度ρとで式(4)のように音響インピーダンスZが定義される。
音響インピーダンスは振動手段である圧電体9と超音波の放射媒体である気体とでは大きく異なる。
この条件を満たす音響インピーダンスが整合した時の最適な値は、11×10000kg/m2・s程度となる。この音響インピーダンスを満たす物質は、式(4)からわかるように固体で密度が小さく音速の遅いものであることが要求される。
セラミックの粉砕は、ボールミルやポットミル等で混合、粉砕等することにより得られる。セラミック粉の平均粒径は特に限定しないが、好ましくは、10μm以下である。
セラミックスラリーにおいて、セラミック粉末を懸濁する媒体は、水、有機溶媒、これらの混合溶媒等を使用することができる。好ましくは、水を使用する。
以上のようにして作製したスラリーに気泡を導入する。
このようにして調製した含気泡セラミックスラリーを、成形型等に注入して、ゲル化させ、ゲル状多孔質成形体を形成する。含気泡セラミックスラリーを円筒状の成形型に流し込み、重合反応あるいはゲル化反応を行って、固化させる。
つぎに、乾燥体から有機分を除去するために、さらに高温で加熱する。
アミドを用いたスラリーから調製したゲル状多孔質成形体の場合、700℃で2日間脱脂する。
ただし、かさ密度=試料の重量/試料のかさ体積である。真密度は、例えば、極めて微粉化した試料の任意量をピクノメータに投入し、所定の容積に至るまで水を注入して煮沸等してボイドを排除した上で、その重さと容積との関係から求めることができる。
ると密度ができるだけ小さい方が良いため、その気孔径ができるだけ小さく均一にそろい、かつ、気孔率が高いことが条件となる。このような気孔径が小さく気孔率が高いすなわち気孔部分が多い形状では、毛細管現象による吸引がよくはたらくため、エポキシ樹脂等の熱硬化性の高粘度の樹脂であっても熱硬化するまでの加熱時に粘度が下がり浸透してしまい、浸透した場合、低密度のセラミック多孔体6が浸透した場合、その分密度が高くなってしまい、被測定物流体への音の伝達効率が悪くなってしまううえに、伝達経路まで変わってしまうため、その損失は大きくなってしまう。
硬化した後、接合手段4と抑制層8と音響膜7を後処理加熱硬化工程で同時に完全硬化できるため、加熱硬化工程の短縮および簡素化ができるともに、硬化のための影響を減少させることができるようになるにようになる。
2 有天状のケース
3 圧電体
4 接合手段
5 音響整合体
6 セラミック多孔体
7 音響膜
8 抑制層
Claims (2)
- 有天状のケースと、前記ケースの有天部内側に密着するように配設した圧電体と、前記ケースの有天部外側に接合手段で密着するように配設した多孔質材料からなる音響整合体とを備え、前記音響整合体には前記接合手段の浸透を制御する抑制層を形成するとともに、前記ケースの有天部外側の密着面と反対面に前記抑制層と同一の材質、同一の形状とした音響膜を構成し、前記抑制層と前記音響膜は、エポキシ樹脂等の熱硬化性の樹脂に粘度を上昇させるために炭化珪素等の微粉末を添加した超音波送受波器。
- 請求項1記載の超音波送受波器を被測定流体が流れる流路の上流側と下流側に少なくとも1対配置し、両超音波送受波器間の超音波伝搬時間にもとづいて前記被測定流体の流速および/または流量を測定するようにした流体の流れ計測装置。
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---|---|---|---|---|
JP2002135895A (ja) * | 2000-10-27 | 2002-05-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波送受信器 |
JP2002262394A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-09-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波送受波器、超音波送受波器の製造方法及び超音波流量計 |
JP2003111195A (ja) * | 2001-06-13 | 2003-04-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 音響整合部材、超音波送受波器、超音波流量計およびこれらの製造方法 |
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