JP2010268262A - 音響整合体およびそれを備えた超音波送受波器 - Google Patents
音響整合体およびそれを備えた超音波送受波器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010268262A JP2010268262A JP2009118321A JP2009118321A JP2010268262A JP 2010268262 A JP2010268262 A JP 2010268262A JP 2009118321 A JP2009118321 A JP 2009118321A JP 2009118321 A JP2009118321 A JP 2009118321A JP 2010268262 A JP2010268262 A JP 2010268262A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- porous body
- acoustic matching
- side wall
- wall member
- dense layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
【解決手段】前記多孔質体13における表面に積層され、熱硬化性樹脂および流動抑制粒子からなる緻密層12を有する整合部材と、前記音波放射面3および前記多孔質体13の外周壁面に密着された側壁部材15とを有し、前記緻密層12および前記側壁部材15により前記多孔質体13が封止されるとともに、前記側壁部材15は音波放射方向に向かって径方向の厚みをほぼ均一設定したものである。したがって、超音波を送信する特性が安定化し、高温高湿環境下、あるいは温度の変化などによる結露環境化においても、安定して動作することができるため計測制度を向上できる。
【選択図】図2
Description
いる(例えば、特許文献1参照)。
安定して動作することができるため計測制度を向上でき、かつ、生産性に優れた超音波流れ測定装置とすることができる。
図1において、音響整合体2は、超音波送受波器1は、超音波を発生する本体2と、発生した超音波を流体に伝えるために本体2の音波放射面3に設けられた音響整合体4とからなり、前記音響整合体4および本体2のケース5は撥水膜6で被覆されている。
音響インピーダンスは圧電体7と流体とでは大きく異なる。このように、音響インピーダンスの異なる境界面上では音波の伝播に反射を生じて、透過する音波の強さが弱くなる。そこで、圧電体7の音響インピーダンスZ1と、流体の音響インピーダンスZ2とに対して、両者の間に次式(2)の関係を有する音響インピーダンスを持つ物質を挿入することで、音波の反射を軽減して音波の透過する強度を高める方法が知られている。
この音響インピーダンスを満たす物質は、前記の式(2)から分かるように、固体で密度が小さく音速の遅いものであることが要求される。
ストを加熱し、焼き付けて形成する。この圧電体3はケース7と導電ゴム8を挿入した端子板9とフランジ部10で密閉された構成となっており、電極5と端子板9の端子11とは電気的に接続されて。また、圧電体3の電極6と端子12とは導電ゴム9とで電気的に接続された構成となっている。
以下、音響整合体2について説明し、さらに、音響整合体2を形成する多孔質体13について説明する。
図3は、音響整合体4に用いたセラミック多孔質体の製造工程フローを示している。難焼成性セラミックを粉砕する工程と、セラミックの粉末に添加剤を加えスラリー化し、気泡を導入する工程と、スラリーを型に流し込み成型する工程と、焼成する工程よりなる。以下詳細に説明する。
セラミックの粉砕は、ボールミルやポットミル等で混合、粉砕等することにより得られる。
セラミックスラリーにおいて、セラミック粉末を懸濁する媒体は、水、有機溶媒、これらの混合溶媒等を使用することができる。好ましくは水を使用する。
ラリーに添加することが好ましい。
以上のようにして作製したスラリーに気泡を導入する。この気泡導入工程において、ゲル化材料として重合性材料を用いる場合には、重合性材料とともに、重合開始剤、あるいは重合開始剤と重合触媒とを添加することが好ましい。
このようにして調製した含気泡セラミックスラリーを、成形型等に注入して、ゲル化させ、ゲル状多孔質成形体を形成する。
次に、乾燥体から有機分を除去するために、さらに高温で加熱する。脱脂のための温度と時間は、使用した有機分の量および種類によって調整する。
ただし、かさ密度=試料の重量/試料のかさ体積である。真密度は、例えば、極めて微粉化した試料の任意量をピクノメータに投入し、所定の容積に至るまで水を注入して煮沸等してボイドを排除した上で、その重さと容積との関係から求めることができる。
加圧し、必要に応じて加熱あるいは光照射することで硬化させる。その後、基材19をはがすことで(d)、音響整合体4を形成することができる(e)。
子からなり、表面が平坦に形成されたシート状に成形している。
図6は超音波送受波器1の製造工程を示している。
図7は実施の形態1,2で述べたにおいて超音波送受波器1を用いた流体の流れ計測装置を示すものである。
t1=L/(C+Vcosθ) (4)
となる。
t2= L/(C−Vcosθ) (5)
となる。
V=L/2cosθ[(1/t1)−(1/t2)] (6)
となる。
2 ケース
3 音波放射面
4 音響整合体
6 撥水膜
7 圧電体
8 導電ゴム
10 端子板
12 緻密層
13 多孔質体
15 側壁部材
16 多孔質体
Claims (10)
- 音波放射面に密着する多孔質体と、前記多孔質体における表面に積層され、熱硬化性樹脂および流動抑制粒子からなる緻密層とを備える整合部材と、前記音波放射面および前記多孔質体の外周壁面に密着された側壁部材とを有し、前記緻密層および前記側壁部材により前記多孔質体が封止されるとともに、前記側壁部材は音波放射方向に向かって径方向の厚みをほぼ均一設定した音響整合体。
- 棒状多孔質体の側壁面に側壁部材を形成したから、前記多孔質体をスライス加工することで形成した請求項1記載の音響整合体。
- 多孔質体のスライス加工切断面の一方の面に緻密層を形成し、この緻密層を計測流体に接触する音波放射面に配置した請求項1または2記載の音響整合体。
- 多孔質体のスライス加工切断面の両面に緻密層を形成し、一方の面を計測流体に接触する音波放射面に、他方の面を音波発生源側の面に配置した請求項1〜3いずれか1項記載の音響整合体。
- 棒状多孔質体を軸回転させながら粘体を供給し、前記粘体を硬化させて側壁部材を形成した請求項1〜4いずれか1項記載の音響整合体。
- 棒状多孔質体に離型基材にシート状に調整した未硬化状態の側壁部材を接合し、前記側壁部材を硬化させて側壁部材とした請求項1〜4いずれか1項記載の音響整合体。
- 側壁部材に流動抑制粒子を混入した請求項1〜6いずれか1項記載の音響整合体。
- 流動抑制粒子が無機フィラーであることを特徴とする請求項7記載の音響整合体。
- 請求項1〜8いずれか1項記載の音響整合体を音波送受側に配置した超音波送受波器。
- 請求項9記載の超音波送受波器を流体流路の上、下流側に配置して、音波の流体中の伝搬時間にもとづき前記流体流路を流れる流体の流速および/または流量を計測するようにした流体の流れ計測装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009118321A JP2010268262A (ja) | 2009-05-15 | 2009-05-15 | 音響整合体およびそれを備えた超音波送受波器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009118321A JP2010268262A (ja) | 2009-05-15 | 2009-05-15 | 音響整合体およびそれを備えた超音波送受波器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010268262A true JP2010268262A (ja) | 2010-11-25 |
Family
ID=43364871
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009118321A Pending JP2010268262A (ja) | 2009-05-15 | 2009-05-15 | 音響整合体およびそれを備えた超音波送受波器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010268262A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019075646A (ja) * | 2017-10-13 | 2019-05-16 | 株式会社日立製作所 | 超音波送受信装置および超音波トランスデュ−サ |
JP2021082884A (ja) * | 2019-11-15 | 2021-05-27 | Tdk株式会社 | 超音波デバイス及び流体検出装置 |
WO2021200925A1 (ja) | 2020-04-03 | 2021-10-07 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 超音波送受波器並びに超音波流量計、超音波流速計、超音波濃度計、及び製造方法 |
JP7455691B2 (ja) | 2020-07-21 | 2024-03-26 | 株式会社フェローテックマテリアルテクノロジーズ | 音響整合部材および超音波探触子 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61287469A (ja) * | 1985-06-12 | 1986-12-17 | Three Bond Co Ltd | 光硬化樹脂雲成物によるコ−テイング装置 |
JPH0422463A (ja) * | 1990-05-16 | 1992-01-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 接着剤定量転写装置 |
JP2008261732A (ja) * | 2007-04-12 | 2008-10-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波送受波器とそれを使用した超音流速流量計 |
JP2009105709A (ja) * | 2007-10-24 | 2009-05-14 | Panasonic Corp | 超音波送受波器とそれを使用した超音波流れ測定装置 |
-
2009
- 2009-05-15 JP JP2009118321A patent/JP2010268262A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61287469A (ja) * | 1985-06-12 | 1986-12-17 | Three Bond Co Ltd | 光硬化樹脂雲成物によるコ−テイング装置 |
JPH0422463A (ja) * | 1990-05-16 | 1992-01-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 接着剤定量転写装置 |
JP2008261732A (ja) * | 2007-04-12 | 2008-10-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波送受波器とそれを使用した超音流速流量計 |
JP2009105709A (ja) * | 2007-10-24 | 2009-05-14 | Panasonic Corp | 超音波送受波器とそれを使用した超音波流れ測定装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019075646A (ja) * | 2017-10-13 | 2019-05-16 | 株式会社日立製作所 | 超音波送受信装置および超音波トランスデュ−サ |
JP2021082884A (ja) * | 2019-11-15 | 2021-05-27 | Tdk株式会社 | 超音波デバイス及び流体検出装置 |
JP7331652B2 (ja) | 2019-11-15 | 2023-08-23 | Tdk株式会社 | 超音波デバイス及び流体検出装置 |
WO2021200925A1 (ja) | 2020-04-03 | 2021-10-07 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 超音波送受波器並びに超音波流量計、超音波流速計、超音波濃度計、及び製造方法 |
JP7455691B2 (ja) | 2020-07-21 | 2024-03-26 | 株式会社フェローテックマテリアルテクノロジーズ | 音響整合部材および超音波探触子 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7389569B2 (en) | Method for manfacturing an acoustic matching member | |
JP4702349B2 (ja) | 超音波送受波器とそれを使用した超音波流れ測定装置 | |
JP2010268262A (ja) | 音響整合体およびそれを備えた超音波送受波器 | |
CN108605186B (zh) | 层叠体、超声波收发器和超声波流量计 | |
JP3219041U (ja) | 音響インピーダンス整合層 | |
JP2008261732A (ja) | 超音波送受波器とそれを使用した超音流速流量計 | |
JP4857296B2 (ja) | 音響整合体 | |
JP2013192113A (ja) | 超音波探触子及びその製造方法 | |
JP2008263419A (ja) | 音響整合体、超音波送受波器、および超音波流速流量計 | |
JP4702345B2 (ja) | 超音波送受波器とそれを使用した流体の流れ計測装置 | |
JP4014940B2 (ja) | 音響整合部材、超音波送受波器、超音波流量計およびこれらの製造方法 | |
CN102143423A (zh) | 超声换能器超声阻抗匹配层及其制作方法、超声换能器 | |
JP2002135895A (ja) | 超音波送受信器 | |
JP2010093315A (ja) | 音響整合体およびその製造方法 | |
KR20060125686A (ko) | 음향 정합체 및 그 제조 방법, 및 초음파 센서 및 초음파 송수신 장치 | |
WO2001037609A1 (fr) | Materiau d'adaptation acoustique, son procede de fabrication, et emetteur utilisant ce materiau | |
JP2008167147A (ja) | 超音波送受波器および超音波流量計 | |
US20140130607A1 (en) | Manufacturing method of acoustic matching member, acoustic matching member, ultrasonic transmitter/ receiver unit incorporating acoustic matching member, and ultrasonic flow meter device | |
JP4704447B2 (ja) | 音響整合体、超音波送受波器および超音波流量計 | |
JP2004045389A (ja) | 音響整合部材、超音波送受波器、超音波流量計およびこれらの製造方法 | |
CN104529513A (zh) | 一种泡沫压电陶瓷及其制备方法 | |
JP2008193294A (ja) | 音響整合層および超音波送受波器 | |
JP2000119063A (ja) | 多孔質誘電体シ―ト、及び圧電振動子 | |
JP6751898B2 (ja) | 積層体、超音波送受波器および超音波流量計 | |
JP4983282B2 (ja) | 音響整合部材 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110307 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120924 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121002 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121126 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20121217 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130409 |