JP7331652B2 - 超音波デバイス及び流体検出装置 - Google Patents
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Description
Z3<Z2<Z1
の関係を満たす。音響インピーダンスは、以下の式で定義される。
音響インピーダンスZ=物質の密度P×物質固有の音速C
Claims (8)
- 圧電素子と、
前記圧電素子が収容されている収容空間を形成しているケースと、
前記ケースの前記収容空間に充填されている充填部材と、
前記圧電素子に接続されている配線部材と、を備え、
前記ケースは、互いに対向している第1主面及び第2主面を有している底部と、前記第1主面と共に前記収容空間を形成している側部と、を有する有底筒状のマッチング部を有し、
前記圧電素子は、前記底部の前記第1主面に配置されており、
前記圧電素子と前記底部の前記第1主面とは、接合部材によって接合されており、
前記圧電素子の音響インピーダンスをZ1、前記接合部材の音響インピーダンスをZ2、前記マッチング部の音響インピーダンスをZ3とした場合、
Z3<Z2<Z1
の関係を満たし、
前記圧電素子は、
互いに対向している一対の主面と、一対の前記主面を連結している側面と、を有している素体と、
前記底部の前記第1主面と対向して配置されている第1電極及び当該第1電極と対向して配置されている第2電極と、を有し、
前記第1電極の表面には凹凸が形成されており、
前記接合部材は、前記第1電極の前記凹凸に沿って形成されており、
第1主面の表面粗さRa1は、前記圧電素子の前記第1電極の表面粗さRa2よりも大きい、超音波デバイス。 - 圧電素子と、
前記圧電素子が収容されている収容空間を形成しているケースと、
前記ケースの前記収容空間に充填されている充填部材と、
前記圧電素子に接続されている配線部材と、を備え、
前記ケースは、互いに対向している第1主面及び第2主面を有している底部と、前記第1主面と共に前記収容空間を形成している側部と、を有する有底筒状のマッチング部を有し、
前記圧電素子は、前記底部の前記第1主面に配置されており、
前記圧電素子と前記底部の前記第1主面とは、接合部材によって接合されており、
前記圧電素子の音響インピーダンスをZ1、前記接合部材の音響インピーダンスをZ2、前記マッチング部の音響インピーダンスをZ3とした場合、
Z3<Z2<Z1
の関係を満たし、
前記圧電素子は、
互いに対向している一対の主面と、一対の前記主面を連結している側面と、を有している素体と、
前記底部の前記第1主面と対向して配置されている第1電極及び当該第1電極と対向して配置されている第2電極と、を有し、
前記第1電極の表面には凹凸が形成されており、
前記接合部材は、前記第1電極の前記凹凸に沿って形成されており、
前記接合部材は、前記圧電素子の前記第1電極が配置されている前記主面及び前記側面にわたって配置されている、超音波デバイス。 - 圧電素子と、
前記圧電素子が収容されている収容空間を形成しているケースと、
前記ケースの前記収容空間に充填されている充填部材と、
前記圧電素子に接続されている配線部材と、を備え、
前記ケースは、互いに対向している第1主面及び第2主面を有している底部と、前記第1主面と共に前記収容空間を形成している側部と、を有する有底筒状のマッチング部を有し、
前記圧電素子は、前記底部の前記第1主面に配置されており、
前記圧電素子と前記底部の前記第1主面とは、接合部材によって接合されており、
前記圧電素子の音響インピーダンスをZ1、前記接合部材の音響インピーダンスをZ2、前記マッチング部の音響インピーダンスをZ3とした場合、
Z3<Z2<Z1
の関係を満たし、
前記充填部材は、前記圧電素子を覆うように配置されている第1充填部を有し、
前記第1充填部と前記接合部材とは、同じ材料で形成されている、超音波デバイス。 - 前記底部は、前記第1主面側よりも前記第2主面側の密度が低い、請求項1~3のいずれか一項に記載の超音波デバイス。
- 前記底部は、
前記第1主面を構成している第1層と、
前記第2主面を構成している第2層と、
前記第1層と前記第2層との間に配置されており、複数の空孔を含んでいる第3層と、を含んで構成されている、請求項1~4のいずれか一項に記載の超音波デバイス。 - 前記接合部材は、
前記第1主面と前記圧電素子とを接合している接合部分と、
前記第1主面と前記圧電素子とを接合していない非接合部分と、を含む、請求項1~5のいずれか一項に記載の超音波デバイス。 - 前記第1主面には凹凸が形成されており、
前記接合部材は、前記第1主面の前記凹凸に沿って形成されている、請求項1~6のいずれか一項に記載の超音波デバイス。 - 請求項1~7のいずれか一項に記載の超音波デバイスと、
前記超音波デバイスを制御する制御装置と、を備え、
前記超音波デバイスは、被検出流体の流れ方向において、上流側に配置されている第1の超音波デバイスと、前記第1の超音波デバイスよりも下流側で且つ前記第1の超音波デバイスと対向する位置に配置されている第2の超音波デバイスと、を含み、
前記制御装置は、前記第1の超音波デバイスと前記第2の超音波デバイスとの間の超音波の伝搬時間に基づいて、前記被検出流体を検出する、流体検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2019207050A JP7331652B2 (ja) | 2019-11-15 | 2019-11-15 | 超音波デバイス及び流体検出装置 |
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JP2019207050A JP7331652B2 (ja) | 2019-11-15 | 2019-11-15 | 超音波デバイス及び流体検出装置 |
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JP2021082884A JP2021082884A (ja) | 2021-05-27 |
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ID=75965444
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004349973A (ja) | 2003-05-21 | 2004-12-09 | Murata Mfg Co Ltd | 超音波センサ |
JP2010268262A (ja) | 2009-05-15 | 2010-11-25 | Panasonic Corp | 音響整合体およびそれを備えた超音波送受波器 |
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WO2016136365A1 (ja) | 2015-02-27 | 2016-09-01 | 株式会社日立製作所 | 超音波探触子及びそれを用いた超音波診断装置 |
JP2017031283A (ja) | 2015-07-30 | 2017-02-09 | 株式会社日立製作所 | 傾斜機能層形成品および傾斜機能層形成品の製造方法 |
JP2017220844A (ja) | 2016-06-09 | 2017-12-14 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 積層体、超音波送受波器および超音波流量計 |
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