JP4695148B2 - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
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- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/12—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
- H01L2224/13—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/13001—Core members of the bump connector
- H01L2224/13099—Material
- H01L2224/131—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
- H01L2224/13138—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
- H01L2224/13144—Gold [Au] as principal constituent
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- H01L2224/12—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
- H01L2224/13—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/13001—Core members of the bump connector
- H01L2224/13099—Material
- H01L2224/131—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
- H01L2224/13138—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
- H01L2224/13147—Copper [Cu] as principal constituent
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- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
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- H01L2224/28—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
- H01L2224/29—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
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- H01L2224/28—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
- H01L2224/29—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
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- H01L2224/28—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
- H01L2224/29—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/29001—Core members of the layer connector
- H01L2224/2902—Disposition
- H01L2224/29034—Disposition the layer connector covering only portions of the surface to be connected
- H01L2224/29036—Disposition the layer connector covering only portions of the surface to be connected covering only the central area of the surface to be connected
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- H01L2224/28—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
- H01L2224/29—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/29001—Core members of the layer connector
- H01L2224/29099—Material
- H01L2224/291—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
- H01L2224/29101—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of less than 400°C
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- H01L2224/29001—Core members of the layer connector
- H01L2224/29099—Material
- H01L2224/2919—Material with a principal constituent of the material being a polymer, e.g. polyester, phenolic based polymer, epoxy
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- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/28—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
- H01L2224/29—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/29001—Core members of the layer connector
- H01L2224/29099—Material
- H01L2224/29198—Material with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials in the form of a matrix with a filler, i.e. being a hybrid material, e.g. segmented structures, foams
- H01L2224/29199—Material of the matrix
- H01L2224/2929—Material of the matrix with a principal constituent of the material being a polymer, e.g. polyester, phenolic based polymer, epoxy
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- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/28—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
- H01L2224/29—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/29001—Core members of the layer connector
- H01L2224/29099—Material
- H01L2224/29198—Material with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials in the form of a matrix with a filler, i.e. being a hybrid material, e.g. segmented structures, foams
- H01L2224/29298—Fillers
- H01L2224/29299—Base material
- H01L2224/293—Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
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- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/28—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
- H01L2224/30—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of a plurality of layer connectors
- H01L2224/3001—Structure
- H01L2224/3003—Layer connectors having different sizes, e.g. different heights or widths
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- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/28—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
- H01L2224/30—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of a plurality of layer connectors
- H01L2224/301—Disposition
- H01L2224/3012—Layout
- H01L2224/3015—Mirror array, i.e. array having only a reflection symmetry, i.e. bilateral symmetry
- H01L2224/30151—Mirror array, i.e. array having only a reflection symmetry, i.e. bilateral symmetry being uniform, i.e. having a uniform pitch across the array
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- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/28—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
- H01L2224/30—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of a plurality of layer connectors
- H01L2224/301—Disposition
- H01L2224/3012—Layout
- H01L2224/3015—Mirror array, i.e. array having only a reflection symmetry, i.e. bilateral symmetry
- H01L2224/30154—Mirror array, i.e. array having only a reflection symmetry, i.e. bilateral symmetry covering only portions of the surface to be connected
- H01L2224/30156—Covering only the central area of the surface to be connected, i.e. central arrangements
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- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L2224/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/321—Disposition
- H01L2224/32151—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/32221—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/32225—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
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- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/731—Location prior to the connecting process
- H01L2224/73101—Location prior to the connecting process on the same surface
- H01L2224/73103—Bump and layer connectors
- H01L2224/73104—Bump and layer connectors the bump connector being embedded into the layer connector
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- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73201—Location after the connecting process on the same surface
- H01L2224/73203—Bump and layer connectors
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- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73201—Location after the connecting process on the same surface
- H01L2224/73203—Bump and layer connectors
- H01L2224/73204—Bump and layer connectors the bump connector being embedded into the layer connector
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- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
- H01L2224/7525—Means for applying energy, e.g. heating means
- H01L2224/753—Means for applying energy, e.g. heating means by means of pressure
- H01L2224/75301—Bonding head
- H01L2224/75314—Auxiliary members on the pressing surface
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- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
- H01L2224/7525—Means for applying energy, e.g. heating means
- H01L2224/753—Means for applying energy, e.g. heating means by means of pressure
- H01L2224/75301—Bonding head
- H01L2224/75314—Auxiliary members on the pressing surface
- H01L2224/75317—Removable auxiliary member
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- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
- H01L2224/756—Means for supplying the connector to be connected in the bonding apparatus
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- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
- H01L2224/757—Means for aligning
- H01L2224/75743—Suction holding means
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Description
前記フリップチップ実装では、半導体チップを所定の温度に加熱しながら加圧することにより、加熱された半導体チップを接着剤に押し付ける。すると、接着剤は急激に加熱されて粘度が低下し、流動性が高まるため、半導体チップの全面に押し拡げられる。また、このとき、同時に熱硬化が進行し硬化する。そして、硬化した接着剤の接着力及び硬化収縮により、半導体チップ側の電極パッド上に形成されたバンプが、基板側に形成されたボンディング端子に圧接された状態で保持されて接続される。
なお、前記接着剤としては、フィルム状、ペースト状など、いずれの形状のものでも使用することができるが、フィルム状の接着剤では、流動性が殆どないため、基板に接着剤を貼付する際に凹凸のある基板との界面に気泡を多数含んでしまうことがあり、ペースト状の接着剤に比して、基板界面近傍にて気泡がより発生し易い。
本発明の半導体装置の製造方法は、複数のバンプを有する電子部品と、該バンプに対応した複数のボンディングパッドを有する基板との間であって前記基板上の少なくとも一部に、該電子部品と該基板とを接着させる接着剤を供給する供給工程と、
前記基板上に供給された前記接着剤における前記基板との接触総面積をS0とし、流延後の前記接着剤における前記基板との接触総面積をS1としたとき、次式、S1/S0>1、を充たすように流延手段により前記接着剤を流延する流延工程と、
前記バンプを前記ボンディングパッドに当接させた状態で、前記接着剤を前記電子部品と前記基板とに接触させつつ、該接着剤を硬化させる硬化工程とを少なくとも含むことを特徴とする。
該半導体装置の製造方法では、前記供給工程において、複数のバンプを有する電子部品と、該バンプに対応した複数のボンディングパッドを有する基板との間であって前記基板上の少なくとも一部に、該電子部品と該基板とを接着させる接着剤が供給される。前記流延工程において、前記基板上に供給された前記接着剤における前記基板との接触総面積をS0とし、流延後の前記接着剤における前記基板との接触総面積をS1としたとき、次式、S1/S0>1、を充たすように前記流延手段により前記接着剤が流延される。このとき、前記供給工程において供給された前記接着剤が、前記基板上で流動して前記バンプと前記ボンディングパッドとの接合部領域まで流し延ばされ(押し拡げられ)、前記接着剤と前記基板面に存在する凹凸との間隙に生ずる気泡が排出される。このため、前記基板面に前記接着剤を隙間なく確実に存在させることができる。前記硬化工程において、前記バンプが前記ボンディングパッドに当接された状態で、前記接着剤が前記電子部品と前記基板とに接触(充填)されつつ、該接着剤が硬化される。その結果、前記電子部品を前記基板に実装(例えばフリップチップ実装)する際に、前記基板界面近傍における前記接着剤内部の気泡の発生が抑制され、高性能かつ信頼性の高い半導体装置が、低コストで高効率に製造される。
該半導体装置においては、本発明の前記半導体装置の製造方法により製造されるので、接着剤を用いて電子部品が基板に実装(例えば、フリップチップ実装)される際、該接着剤内部における気泡の発生が低減される。このため、接着剤部での膨れや剥がれによるバンプ接合部での導通不良、気泡内の水分や不純物イオン等の影響による隣接バンプ間での電流リークの発生などが防止され、高性能かつ信頼性が高い。
本発明の半導体装置の製造方法(以下、「電子部品の実装方法」と称することがある)は、供給工程と、流延工程と、硬化工程とを少なくとも含み、更に必要に応じて適宜選択した、その他の工程を含む。
本発明の半導体装置は、本発明の前記半導体装置の製造方法により製造される。
以下、本発明の半導体装置の製造方法の説明を通じて、本発明の半導体装置の詳細も明らかにする。
前記供給工程は、電子部品と基板との間であって前記基板上の少なくとも一部に、該電子部品と該基板とを接着させる接着剤を供給する工程である。
前記電子部品は、複数のバンプを少なくとも有してなり、更に必要に応じて適宜選択した、その他の部材を有してなる。
前記電子部品としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、半導体チップ、半導体パッケージなどが好適に挙げられる。
前記バンプとしては、導体である限り特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、金、銅、半田などからなるものが挙げられる。
前記バンプの形成方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ワイヤボンディング法、めっき法、転写法、などにより形成することができる。
前記バンプの間隔(バンプピッチ)としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、ワイヤボンディング法により形成された金バンプ、銅バンプの場合は、通常35〜120μm程度であり、めっき法により形成された金バンプ、銅バンプの場合は、通常20〜80μm程度であり、めっき法又は転写法により形成された半田バンプの場合は、通常35〜300μm程度であるが、いずれの場合においても40μm以下が好ましい。
前記バンプピッチが40μm以下になると、気泡の発生が顕著となり、バンプ接合部での導通不良や隣接バンプ間での電流リーク等による半導体装置の特性劣化の問題が顕在化するが、本発明の半導体装置の製造方法により製造された(前記電子部品が前記基板上に実装された)本発明の半導体装置では、前記バンプピッチが40μm以下と極めて微細な場合にも、前記接着剤内部における気泡の発生が低減されるため、高性能かつ信頼性が高い。
前記基板は、前記バンプに対応した複数のボンディングパッドを少なくとも有してなり、更に必要に応じて適宜選択した、その他の部材を有してなる。
前記基板としては、特に制限はなく、その材料、形状、構造、厚みなどについては公知のものの中から適宜選択することができるが、絶縁性を有するものが好ましい。
前記絶縁性を有する基板としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、有機基板、無機基板などが挙げられる。
前記有機基板としては、例えば、ガラスBT(ビスマレイミドトリアジン)基板、ガラスエポキシ基板、ポリイミド基板などが挙げられ、前記無機基板としては、例えば、セラミック基板、ガラス基板、シリコン基板などが挙げられる。
前記ボンディングパッドとしては、導体である限り特に制限はなく、例えば、銅、アルミニウム、金、ニッケル、銀などからなるものが挙げられる。
なお、前記ボンディングパッドは、該ボンディングパッド上に前記バンプを有し、該バンプを介して前記電子部品におけるバンプと接続されてもよい。
前記接着剤は、前記電子部品と前記基板との間に介在されて、該電子部品と該基板とを接着させる機能を有する。
前記接着剤としては、特に制限はなく、その材料、形状などについては、適宜選択することができる。
前記材料としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、熱硬化型の絶縁性樹脂が好適に挙げられ、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、シアネート樹脂などが好ましい。これらは1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
なお、前記接着剤には、必要に応じて、無機フィラー、金属フィラー、カップリング剤、分散剤、着色剤、離型剤などを添加してもよい。
前記接着剤がフィルム状である場合には、後述する流延工程により前記接着剤が押し拡げられることを考慮して、フィルム状接着剤の貼付面の面積が、前記基板上の前記電子部品の実装部位の面積よりも小さくなるように設けておくのが好ましい。
前記接着剤の供給位置としては、前記基板上の少なくとも一部である限り特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、後述する流延工程において、前記接着剤を前記基板の四方に、容易かつ均一に流し延ばす(押し拡げる)ことができる点で、前記基板における前記電子部品の実装部位の中心を少なくとも含む領域であるのが好ましい。
前記接着剤の前記基板に対する供給形状としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、連続形状であってもよいし、不連続形状であってもよい。
前記連続形状としては、前記接着剤の存在領域が1つで形成される(点在していない)形状が挙げられ、例えば、円形状、多角形状、不定形状、これらが結合した形状などの任意の形状が挙げられる。
前記不連続形状としては、前記接着剤の存在領域が複数点在して形成される模様が挙げられ、例えば、複数の前記連続形状からなる模様、水玉模様などの任意の模様が挙げられる。
前記貼付は、フィルム状の前記接着剤が、タック性を有する材料で形成されている場合には、常温で行うことができるが、前記基板界面に存在する凹凸部に隙間ができることがあるため、前記基板及び前記接着剤の少なくともいずれかを加熱させながら貼付するのが好ましい。この場合、フィルム状の前記接着剤が軟化してタック性を生じ、前記凹凸部への前記接着剤の埋め込み性が向上する。
前記流延工程は、前記基板上に供給された前記接着剤における前記基板との接触総面積をS0とし、流延後の前記接着剤における前記基板との接触総面積をS1としたとき、次式、S1/S0>1、を充たすように、流延手段により前記接着剤を流延する工程である。
なお、前記接着剤における前記基板との接触総面積S0及びS1は、前記基板上に存在する接着剤の総面積を意味し、前記接着剤の前記基板に対する供給形状が、前記連続形状である場合には、該形状の面積を表し、前記不連続形状の場合には、該不連続形状(模様)を構成する総ての接着剤の面積を表す。
前記流延手段としては、前記接着剤を流し延ばす(押し拡げる)こと、即ち、前記式、S1/S0>1、を達成することができるものであれば、その形状、構造などについては特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、前記形状としては、例えば、球状、棒状、板状などが好適に挙げられる。この場合、前記接着剤を前記基板面に対して均一に延ばし拡げることができる。
前記構造としては、中空構造であってもよいし、中実構造であってもよい。
前記中空構造である場合、例えば、前記流延部材を弾性材料で形成し、その内部に、空気等の気体、水等の流体などを充填して用いてもよい。この場合、前記流延部材は、例えば、風船のような形態を有し、前記接着剤を流延する際に、その内部に流体等が徐々に充填されることにより流延機能を有し、前記接着剤の流延後に、前記流体等を回収することにより、元の状態に戻すことができる。
なお、前記流延手段における、少なくとも接着剤との接触面がフッ素樹脂で形成されていればよく、前記流延手段はフッ素樹脂製のものであってもよいし、フッ素樹脂以外の材料で形成された部材の表面がフッ素樹脂コーティングされているものであってもよい。
前記フッ素樹脂としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、PTFE(四フッ化エチレン樹脂)、ETFE(エチレン・四フッ化エチレン共重合体樹脂)、PFA(四フッ化エチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合樹脂)、FEP(四フッ化エチレン・六フッ化プロピレン共重合体樹脂)などが挙げられる。これらの中でも、前記流延手段を構成する場合、加工成形性及び製造コストの点で、ETFEが好ましく、またコーティング用としては、ピンホールの少ない連続被膜を得ることができる点で、PFAが好ましい。
なお、前記噴出ノズルの数は、1つであってもよいし、複数であってもよい。
前記圧縮気体は、加熱されたホットジェットであるのが好ましい。この場合、前記接着剤の粘度を低下させ、流動性を向上させることができる。
前記ホットジェットの温度としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、前記接着剤が熱硬化しない温度であるのが好ましく、例えば、50〜120℃程度が好ましい。
前記材質としては、ノズル口径(加工精度)、使用温度、寿命、使用圧力、コスト等により適宜選択され、例えば、ステンレス鋼、アルミ合金、銅亜鉛合金、チタン等の金属、ABSやPPS等の樹脂などが挙げられる。
前記形状としては、例えば、シングルノズル(単穴)、筒状形状、スリット型の噴出部形状などが挙げられる。また、ノズルの噴出部は、前記基板に対して垂直方向に前記圧縮気体を噴出するように設けてもよいし、先端を前記基板の外側に向かって湾曲させることにより、前記圧縮気体を前記基板に対して斜め方向から噴出するように設けてもよい。
前記ノズル口径としては、前記接着剤の材料物性(粘度やチキソ性)、前記基板への前記接着剤の供給形状、前記基板の表面パターンなどにより適宜選択されるが、例えば、0.05〜1.0mmが好ましい。
前記圧縮気体の噴出が連続噴出である場合、前記圧縮気体の噴出圧力を変化させて前記圧縮気体を噴出させるのが好ましい。この場合、例えば、前記圧縮気体の噴出圧力を、噴出開始から所定の圧力に達するまで徐々に、あるいは段階的に増加させると、前記圧縮気体の噴出開始直後に前記接着剤が不用意に飛散することを抑制し、製造歩留まりを向上させることができる。
前記距離としては、例えば、0.2〜3.0mmが好ましい。
前記噴出圧力としては、前記連続噴出の場合には、例えば、0.02〜0.5MPaの範囲内で変化させるのが好ましく、前記パルス噴出の場合には、該範囲内の所定の圧力に設定するのが好ましい。
なお、噴出ノズルが複数ある場合、該噴出ノズル毎に噴出圧力を制御してもよく、前記噴出圧力は、各噴出ノズルで同一であってもよいし、異なっていてもよい。
また、前記噴出ノズルからの前記圧縮気体の噴出は、前記基板面に対して垂直に行ってもよいし、斜めから行ってもよい。
前記流延手段の配設位置としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、前記基板上の前記電子部品の実装領域を囲む部位に枠状に配置するのが好ましい。この場合、前記接着剤が前記基板上の前記電子部品の実装領域よりも拡がらないようにすることができる。
また、このとき、より確実に前記接着剤の流延を停止することができる点で、前記流延手段としての噴出ノズルと前記流延停止手段としての噴出ノズルとを、互いに独立して前記圧縮気体を噴出させ、前記噴出圧力の制御を行うことができるように設けるのが好ましい。例えば、前記流延手段としての噴出ノズルからの前記圧縮気体の噴出に先立ち、前記流延停止手段としての噴出ノズルからの前記圧縮気体の噴出を行い、該噴出圧力を、前記流延停止手段からの前記圧縮気体の噴出圧力よりも高く設定すると、前記電子部品の実装領域外への前記接着剤の不用意な流動を効果的に停止することができる。
前記加熱は、例えば、前記接着剤がペースト状である場合には、前記接着剤を塗布するための装置をヒーター等により加熱することにより行ったり、前記基板を載置又は吸着保持するステージを、ヒーター等により加熱することにより行うことができる。
前記加熱温度としては、前記接着剤の粘度を低下させる温度であって、熱硬化させない温度であるのが好ましく、例えば、30〜120℃が好ましい。
前記硬化工程は、前記接着剤を硬化させる工程である。
前記硬化工程においては、前記接着剤の硬化が、前記バンプを前記ボンディングパッドに当接させた状態で、前記接着剤を前記電子部品と前記基板とに接触(充填)させつつ行われる。
この場合、加圧は、前記バンプと前記ボンディングパッドとの当接の際に、同時に行われる。
前記加圧の際の圧力としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、ワイヤボンディング法により形成した金バンプを用いる場合には、40〜300mN/bumpが好ましい。
前記圧力が、40mN/bump未満であると、前記接着剤の充填が充分に行われなかったり、前記バンプと前記ボンディングパッドとを確実に接続できないことがあり、300mN/bumpを超えると、前記電子部品または前記基板の内部に破損が生じてしまったり、前記接着剤の前記電子部品と前記基板との間からのはみ出し量が過大となって、前記基板上に不用意に流動したり、ボンディングツールに付着してしまうことがある。
前記ボンディングツールの加熱温度としては、特に制限はなく、前記接着剤の特性により適宜選択することができるが、例えば、150〜250℃が好ましい。
また、前記接着剤の硬化は、前記基板乃至該基板を載置又は吸着保持するステージを、ヒーター等により加熱して行ってもよい。この場合、前記基板の加熱温度としては、例えば、30〜120℃程度である。
前記電子部品の吸着保持は、例えば、前記ボンディングツールに設けられた吸着孔により行われる。
前記材質としては、前記接着剤に対して非接着性のものであれば特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、フッ素樹脂が好適に挙げられる。
前記フッ素樹脂としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、PTFE(四フッ化エチレン樹脂)、ETFE(エチレン・四フッ化エチレン共重合体樹脂)、PFA(四フッ化エチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合樹脂)、FEP(四フッ化エチレン・六フッ化プロピレン共重合体樹脂)などが挙げられる。これらの中でも、加工成形性及び製造コストの点で、ETFEが好ましい。
前記形状としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、フィルム状、シート状、などが挙げられる。また、フィルム状である場合には、円筒状の巻芯に巻き取ってロール状にして使用してもよい。
前記構造としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、単層構造であってもよいし、積層構造であってもよい。
なお、前記その他の工程として、前記硬化工程(前記ボンディング)の後に、前記接着剤の硬化率を高めるため、更に加熱工程(ポストキュア)を行ってもよい。
前記ポストキュアの温度としては、150〜200℃が好ましく、時間としては、30〜60分間が好ましい。
まず、図1Aに示すように、基板10表面に、バンプ接合部11を有するボンディングパッド12と配線パターン14とを形成し、図1Bに示すように、基板10に対して、電子部品を実装する領域の中心部(基板10の中心部)に向かって、吐出ノズル20からペースト状の接着剤22を吐出する。このとき、接着剤22内部に気泡Aが巻き込まれ、図1B及び図1Cに示すように、接着剤22内部における、基板10及び配線パターン14間に存在する凹部16や、配線パターン14上に、気泡Aが発生する。以上が、前記供給工程である。
次いで、例えば、図2Aに示すような断面形状を有する、前記流延手段としての噴出ノズル30を用い、図2Bに示すように、接着剤22に対して垂直方向から圧縮気体32を噴出し、接着剤22を基板10に対して押圧する。すると、気泡Aも押圧されて、接着剤22内を流動し、接着剤22の外側に向かって移動する。このとき、基板10上に供給された接着剤22の基板10との接触総面積をS0(図1C参照)とし、図3に示すように、流延後の接着剤22の基板10との接触総面積をS1としたとき、S0及びS1が、次式、S1/S0>1、を充たすように前記接着剤を流延すると、ボンディングパッド12を被覆するように、接着剤22の存在領域が増大され、気泡Aは接着剤22外部に排出され、接着剤22内の気泡Aの存在が低減される。以上が、前記流延工程である。
そして、図4Aに示すように、ボンディングツール40に設けられた吸着孔42により、前記電子部品としての半導体チップ50を吸着させて、ボンディングツール40に半導体チップ50を保持させる。また、ボンディングツール40により、半導体チップ50に形成されボンディングパッド12に対応した複数のバンプ52を、ボンディングパッド12との当接部位に位置合わせする。次いで、位置合わせした状態で、図4Bに示すように、ボンディングパッド12とバンプ52とを当接させる。そして、ボンディングツール40を加熱し、加熱したボンディングツール40により、接着剤22を加圧して、接着剤22を半導体チップ50と基板10とに接触(充填)させつつ、接着剤22を硬化させる。以上が前記硬化工程である。
以上により、複数のバンプ52を有する半導体チップ50が、該バンプ52に対応した複数のボンディングパッド12を有する基板10上に、バンプ52とボンディングパッド12とを対向させて接続された状態にて実装(フリップチップ実装)されて、図5に示すような本発明の半導体装置が製造される。
前記半導体装置における、前記バンプの間隔(バンプピッチ)としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、ワイヤボンディング法により形成した金バンプを用いる場合には、通常、35〜120μm程度であり、40μm以下が好ましい。
前記バンプピッチが40μm以下になると、気泡の発生が顕著となり、バンプ接合部での導通不良や隣接バンプ間での電流リーク等による半導体装置の特性劣化の問題が顕在化するが、本発明の半導体装置の製造方法により製造された(前記電子部品が前記基板上に実装された)本発明の半導体装置では、前記バンプピッチが40μm以下と極めて微細な場合にも、前記接着剤内部における気泡の発生が低減されるため、高性能かつ信頼性が高い。
なお、前記気泡の存在率は、前記半導体チップが2以上ある場合には、個々の半導体チップにおける前記気泡の存在率を意味する。
本発明の半導体装置は、接着剤を用いて電子部品が基板に実装(例えば、フリップチップ実装)される際、該接着剤内部における気泡の発生が低減されるので、接着剤部での膨れや剥がれによるバンプ接合部での導通不良、気泡内の水分や不純物イオン等の影響による隣接バンプ間での電流リークの発生などがなく、高性能かつ信頼性が高い。
−半導体装置の製造−
まず、図1Aに示すように、ガラス−BT(ビスマレイミドトリアジン)材からなる、前記基板としての2層基板10表面に、バンプ接合部11を有する392個のボンディングパッド12と配線パターン14とを形成した後、図1Bに示すように、2層基板10に対して、電子部品(図4Aにおける半導体チップ50)を実装する領域の中心部(基板10の中心部)に向かって、吐出ノズル20から、前記接着剤としてのペースト状の熱硬化型絶縁性エポキシ樹脂22を吐出した。このとき、接着剤22内部に気泡Aが巻き込まれ、図1B及び図1Cに示すように、接着剤22内部における、2層基板10及び配線パターン14間に存在する凹部16や、配線パターン14上に、気泡Aが発生した。以上が、本発明の前記半導体装置の製造方法における前記供給工程である。
また、2層基板10上に供給された接着剤22における2層基板10との接触総面積をS0(図1C参照)とし、図3に示すように、押圧後の接着剤22における2層基板10との接触総面積をS1としたとき、S0及びS1が、次式、S1/S0>1、を充たすように接着剤22を流延したところ、ボンディングパッド12を被覆するように、接着剤22の存在領域が増大した。すると、気泡Aが接着剤22外部に排出され、接着剤22内の気泡Aの存在が低減された。以上が、本発明の前記半導体装置の製造方法における前記流延工程である。
また、この際にボンディングツール40を、予め一定の温度を維持するように加熱しておき、半導体チップ50を、ボンディングツール40に吸着させて加熱した。なお、加熱温度は225℃とした。
また、この際に図示しないボンディングステージを、予め一定の温度を維持するように加熱しておき、2層基板10を、ボンディングステージに吸着させて加熱した。なお、加熱温度は40℃とした。
次いで、位置合わせした状態で、図4Bに示すように、ボンディングパッド12とバンプ52とを当接させた。そして、加熱したボンディングツール40により、接着剤22を加圧して、接着剤22を半導体チップ50と2層基板10とに接触(充填)させつつ、接着剤22を硬化させた。また、同時に加熱したボンディングツール40により、バンプ52を加圧して、バンプ40を塑性変形させた。なお、加熱温度215℃、圧力160mN/bump、ボンディング時間(加熱及び加圧時間)5秒間で行った。この加熱温度215℃は、ボンディング中における接着剤22部の温度である。以上が本発明の前記半導体装置の製造方法における前記硬化工程である。
−半導体装置の製造−
実施例1において、前記流延工程を行わなかった以外は、実施例1と同様にして、半導体チップを基板上に実装(フリップチップ実装)し、半導体装置を製造した。
−半導体装置の製造−
実施例1において、基板におけるボンディングパッド上にもバンプを形成した以外は、実施例1と同様にして、半導体チップを基板上に実装(フリップチップ実装)し、半導体装置を製造した。
また、シリコン基板70上に供給された接着剤22におけるシリコン基板70との接触総面積をS0(図7B参照)とし、図9に示すように、押圧後の接着剤22におけるシリコン基板70との接触総面積をS1としたとき、S0及びS1が、次式、S1/S0>1、を充たすように接着剤22を流延したところ、ボンディングパッド72及びバンプ74を被覆するように、接着剤22の存在領域が増大した。すると、気泡Aが接着剤22外部に排出され、接着剤22内の気泡Aの存在が低減された。以上が、本発明の前記半導体装置の製造方法における前記流延工程である。
また、この際にボンディングツール40を、予め一定の温度を維持するように加熱しておき、半導体チップ80を、ボンディングツール40に吸着させて加熱した。なお、加熱温度は220℃とした。
また、この際に図示しないボンディングステージを、予め一定の温度を維持するように加熱しておき、シリコン基板70を、ボンディングステージに吸着させて加熱した。なお、加熱温度は60℃とした。
次いで、位置合わせした状態で、図10Bに示すように、バンプ74とバンプ82とを当接させた。そして、加熱したボンディングツール40により、接着剤22を加圧して、接着剤22を半導体チップ80とシリコン基板70とに接触(充填)させつつ、接着剤22を硬化させた。また、同時に加熱したボンディングツール40により、バンプ74を加圧して、バンプ74及びバンプ82を塑性変形させた。なお、加熱温度215℃、圧力140mN/bump、ボンディング時間(加熱及び加圧時間)5秒間で行った。この加熱温度215℃は、ボンディング中における接着剤22部の温度である。以上が本発明の前記半導体装置の製造方法における前記硬化工程である。
−半導体装置の製造−
実施例2において、前記流延工程を行わなかった以外は、実施例2と同様にして、半導体チップを基板上に実装(フリップチップ実装)し、半導体装置を製造した。
即ち、基板と接着剤との界面近傍部の断面を平面研磨した後、該研磨面を走査型電子顕微鏡(SEM)により観察し、基板と接着剤との界面に発生したボイドを測定し、半導体チップ面積に対するボイドの占有率をボイド発生率として評価した。なお、評価は、実施例1〜2及び比較例1〜2の半導体装置の製造方法により、それぞれサンプルを5個製造し、該5個のサンプルについて、それぞれ行った。結果を表1に示す。
実施例1〜2及び比較例1〜2の半導体装置のそれぞれについて、温度30℃、相対湿度80%の環境下、72時間にわたって吸湿した後、赤外リフロー装置を用いてピーク温度250℃の加熱処理を行った。この一連の吸湿リフロー処理を2回繰り返して行い、実施例1〜2及び比較例1〜2の半導体装置について、それぞれ10個のサンプルを作製し、得られたサンプルについて下記方法に基づいて、外観及び内部外観を検査し、導通抵抗調査を行った。
外観検査は、実体顕微鏡を用いて、倍率20倍にて外観を観察し、異常があるかどうかを確認した。
−内部外観検査−
内部外観検査は、超音波探傷計を用いて内部外観検査を行い、半導体装置内部の接着剤と半導体チップ界面との間、及び接着剤と基板界面との間において剥離が生じていないかどうかを確認した。
−導通抵抗調査−
前記導通抵抗調査は、バンプを介してデイジーチェーン接続された半導体チップと基板との接続信頼性について、デイジーチェーンの抵抗値を測定することにより、該抵抗値の変動を調査した。ここで、抵抗値が組立初期の値から10%上昇した場合に不良であると判断した。
<信頼性試験>
信頼性試験として、得られたサンプルについて、下記温度サイクル試験及び恒温恒湿試験を行い、下記外観検査及び導通抵抗調査を行った。
温度サイクル試験は、低温側として、−55℃にて25分間の環境に、高温側として、125℃にて25分間の環境に、それぞれサンプルを連続的に繰り返し置くことにより行った。
−恒温恒湿試験−
恒温恒湿試験は、温度121℃、相対湿度85%の環境に、それぞれサンプルを放置することにより行った。
−外観検査−
外観検査は、実体顕微鏡を用いて、倍率20倍にて外観を観察し、異常があるかどうかを確認した。
−導通抵抗調査−
前記導通抵抗調査は、バンプを介してデイジーチェーン接続された半導体チップと基板との接続信頼性について、デイジーチェーンの抵抗値を測定することにより、該抵抗値の変動を調査した。ここで、抵抗値が組立初期の値から10%上昇した場合に不良であると判断した。
恒温恒湿試験後のサンプルについては、実施例1では、672時間まで、実施例2では、504時間まで、比較例1では、504時間まで、比較例2では、336時間まで、それぞれ不良発生はなかった。
これらのことより、ボイドの発生により、比較例の半導体装置では、実施例の半導体装置に比して、接着剤部での膨れや剥がれによるバンプ接合部での導通不良や、気泡内の水分や不純物イオン等の影響により隣接バンプ間で電流リークが発生する可能性が高いと認められる。
実施例1において、基板を、図12に示す多面取り基板に代えた以外は、実施例1と同様にして、半導体チップを多面取り基板に実装(フリップチップ実装)し、半導体装置を製造した。
実施例3では、図12に示す多面取り基板(図12では、10面)100に対して、実施例1と同様にして、前記接着剤の前記供給工程、前記流延工程及び前記硬化工程を行ったので、多面取り基板における10面それぞれに、半導体チップが同時に実装され、製造効率が向上した。
実施例1において、前記供給工程における前記接着剤の前記基板に対する供給形状を変えた以外は、実施例1と同様にして、半導体チップを基板に実装(フリップチップ実装)し、半導体装置を製造した。
実施例4では、図13Aに示すように、接着剤22を前記連続形状としての略十字状に供給した。また、図13Bに示すように、前記不連続形状としての水玉模様に供給した。接着剤22の供給形状が、図13A及び図13Bのいずれの態様であっても、前記流延工程において、図13Cに示すように、バンプ接合部11(図1A参照)を覆うように接着剤22を流し延ばす(押し拡げる)ことができ、気泡の発生が低減された半導体装置が製造された。
実施例1において、前記流延工程を、下記方法により行った以外は、実施例1と同様にして、半導体チップを基板に実装(フリップチップ実装)し、半導体装置を製造した。
実施例5では、前記流延工程の第1の態様として、5個の噴出孔を有し、該噴出孔が図14Aに示すように配置された、前記流延手段としてのノズル110を使用した。図14Bに示すように、ノズル110を、2層基板10に対して平行方向に揺動させながら、接着剤22に対して垂直方向から、圧縮気体(空気)32を噴出し、接着剤22を2層基板10に対して押圧した。また、このとき、圧縮気体32の噴出圧力を変化させながら揺動させた。なお、ノズル110において外周部に位置するノズルの先端は、外側に湾曲していてもよく、接着剤22に対して斜め方向から圧縮気体32を噴出してもよい。
実施例1において、前記供給工程及び前記流延工程を、下記方法により行った以外は、実施例1と同様にして、半導体チップを基板に実装(フリップチップ実装)し、半導体装置を製造した。
まず、図17Aに示すように、2層基板10上に、該2層基板10を加熱しながら、フィルム状の接着剤150を貼付した。接着剤150が、2層基板10により加熱されて軟化することにより、タック性が生じ、2層基板10上の凹部(基板10と配線パターン14とにより形成される凹凸部)16への埋め込み性が向上した。なお、フィルム状の接着剤150は、貼付面の面積が、半導体チップ実装領域の面積よりも小さくなるように形成した。
次いで、2層基板10を加熱することにより、接着剤150を加熱しながら、図17Bに示すように、前記流延手段としての板状の流延部材160を、2層基板10に対して垂直方向から押し付けることにより、接着剤22を押圧した。なお、流延部材160は、表面がフッ素樹脂コーティングされている。
実施例1において、前記流延工程の後に、更に前記供給工程を行うことにより、前記接着剤の基板への供給を2回に分けて行った以外は、実施例1と同様にして、半導体チップを基板に実装(フリップチップ実装)し、半導体装置を製造した。
実施例7では、まず、図18Aに示すように、前記供給工程において、実施例1よりも少量の接着剤22を供給した。次いで、図18Bに示すように、前記流延工程において、接着剤22を押圧して流し延ばし(押し拡げ)、実施例1よりも厚みの薄い接着剤層を形成した。次いで、図18Cに示すように、更に前記供給工程(2回目の供給工程)を行い、接着剤22を供給した。その後、前記流延工程及び前記硬化工程を行い、半導体装置を製造した。なお、前記2回目の供給工程により供給した接着剤22については、流延工程を省略してもよい。
実施例1において、前記硬化工程を、下記方法により行った以外は、実施例1と同様にして半導体チップを基板に実装(フリップチップ実装)し、半導体装置を製造した。
実施例8では、前記硬化工程において、まず、図19Aに示すように、開口部202を有するフッ素樹脂フィルム200を介して、半導体チップ50を、ボンディングツール40に吸着保持させた。ここで、半導体チップ50は、吸着孔42及び開口部202によりボンディングツール40に吸着保持された。次いで、図19Bに示すように、バンプ52をボンディングパッド12との当接部位に位置合わせした状態で、ボンディングパッド12とバンプ52とを当接させた。そして、ボンディングツール40を加熱し、加熱したボンディングツール40により、フッ素樹脂フィルム200を介して接着剤22を加圧し、接着剤22を半導体チップ50と2層基板10とに接触(充填)させつつ、接着剤22を硬化させた。その後、図19Cに示すように、ボンディングツール40及びフッ素樹脂フィルム200を、半導体チップ50から退避させた。なお、フッ素樹脂フィルム200は、1回のボンディング毎に、開口部202が1つずれるように巻き取られ、次のボンディングの際には、フッ素樹脂フィルム200の清浄な面に半導体チップ50が接触するようになっている。
(付記1) 複数のバンプを有する電子部品と、該バンプに対応した複数のボンディングパッドを有する基板との間であって前記基板上の少なくとも一部に、該電子部品と該基板とを接着させる接着剤を供給する供給工程と、
前記基板上に供給された前記接着剤における前記基板との接触総面積をS0とし、流延後の前記接着剤における前記基板との接触総面積をS1としたとき、次式、S1/S0>1、を充たすように、流延手段により前記接着剤を流延する流延工程と、
前記バンプを前記ボンディングパッドに当接させた状態で、前記接着剤を前記電子部品と前記基板とに接触させつつ、該接着剤を硬化させる硬化工程とを少なくとも含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
(付記2) 供給工程が、基板上に連続形状及び不連続形状のいずれかの態様で接着剤を供給する付記1に記載の半導体装置の製造方法。
(付記3) 流延手段が、圧縮気体を噴出する付記1から2のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
(付記4) 圧縮気体の噴出が、連続噴出及びパルス噴出のいずれかにより行われる付記3に記載の半導体装置の製造方法。
(付記5) 流延手段が、圧縮気体の噴出圧力を変化させる付記4に記載の半導体装置の製造方法。
(付記6) 接着剤が基板上の電子部品の実装領域よりも拡がらないように、流延停止手段により前記接着剤の流延を停止する付記1から5のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
(付記7) 圧縮気体が加熱された付記3から6のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
(付記8) 流延手段が、球状、棒状、及び板状のいずれかである付記1から2のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
(付記9) 流延手段における、少なくとも接着剤との接触面がフッ素樹脂で形成されてなる付記8に記載の半導体装置の製造方法。
(付記10) 流延手段が、基板面に対して平行方向に揺動可能である付記1から9のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
(付記11) 供給工程及び流延工程の少なくともいずれかにおいて、接着剤を加熱することを含む付記1から10のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
(付記12) 流延工程の後に、更に供給工程を含む付記1から11のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
(付記13) 接着剤の硬化が、該接着剤を加熱することにより行われる付記1から12のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
(付記14) バンプとボンディングパッドとの当接が、電子部品を吸着保持したボンディングツールが、前記バンプを前記ボンディングパッドとの当接部位に位置合わせして行われる付記1から13のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
(付記15) ボンディングツールが、接着剤に対して非接着性の部材を介して電子部品を吸着保持し、かつ該非接着性の部材を介して前記接着剤を加圧する付記14に記載の半導体装置の製造方法。
(付記16) 非接着性の部材が、フッ素樹脂からなるフィルムである付記15に記載の半導体装置の製造方法。
(付記17) バンプピッチが40μm以下である付記1から16のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
(付記18) 付記1から17のいずれかに記載の半導体装置の製造方法により製造されたことを特徴とする半導体装置。
(付記19) バンプピッチが40μm以下である付記18に記載の半導体装置。
本発明の半導体装置は、接着剤を用いて電子部品が基板に実装(例えば、フリップチップ実装)される際、該接着剤内部における気泡の発生が低減されるので、接着剤部での膨れや剥がれによるバンプ接合部での導通不良、気泡内の水分や不純物イオン等の影響による隣接バンプ間での電流リークの発生などがなく、高性能かつ信頼性が高い。
Claims (5)
- 複数のバンプを有する電子部品と、該バンプに対応した複数のボンディングパッドを有する基板との間であって前記基板上の少なくとも一部に、該電子部品と該基板とを接着させる接着剤を供給する供給工程と、
前記基板上に供給された前記接着剤に、前記基板の上方であって実装領域の中心部に位置する流延手段により圧縮気体を噴き付け、前記接着剤を、前記複数のボンディングパッドを覆うように流延させると共に、前記接着剤が前記基板上の前記電子部品の実装領域よりも拡がらないように、前記基板の上方であって、前記実装領域の外周部位に枠状に配置した流延停止手段により圧縮気体を噴出し、前記接着剤の流延を停止させる流延工程と、
前記バンプを前記ボンディングパッドに当接させた状態で、前記接着剤を前記電子部品と前記基板とに接触させつつ、該接着剤を硬化させる硬化工程とを少なくとも含み、
前記流延手段からの前記圧縮気体の噴出圧力よりも、前記流延停止手段からの前記圧縮気体の噴出圧力の方が高いことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 流延手段が、基板面に対して平行方向に揺動可能である請求の範囲第1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 供給工程及び流延工程の少なくともいずれかにおいて、接着剤を加熱することを含む請求の範囲第1項から第2項のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 流延工程の後に、更に供給工程を含む請求の範囲第1項から第3項のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- バンプとボンディングパッドとの当接が、電子部品を吸着保持したボンディングツールが、前記バンプを前記ボンディングパッドとの当接部位に位置合わせして行われ、前記ボンディングツールが、前記接着剤に対して非接着性の部材を介して前記電子部品を吸着保持し、かつ該非接着性の部材を介して前記接着剤を加圧する請求の範囲第1項から第4項のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
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