JP4690417B2 - 半導体ウエハのダイシング方法及びダイシング装置 - Google Patents
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Description
十個の直径125mm、厚さ180μmのシリコンウエハを標準的なフォトレジストでコーティングした。ウエハは表1に示されているように2つのグループに分け、5つのウエハはレーザダイシング処理し、5つのウエハは機械的ソーによるダイシング処理した。
Claims (8)
- 主表面上に動作層を有する半導体ウエハをダイシングする方法であって、
a.前記半導体ウエハを、前記動作層をキャリアから離した状態でキャリアの上に搭載するステップと、
b.前記キャリア上の前記半導体ウエハを、前記半導体ウエハの前記主表面から少なくとも途中までダイシングすることにより、少なくとも途中までダイシングした半導体ウエハを形成するステップと、
c.前記キャリア上の前記少なくとも途中までダイシングした半導体ウエハを、二フッ化キセノンの自然エッチング剤を用いて、外部エネルギー源を使わずに、エッチングチャンバ内で前記主表面から、少なくとも前記ダイの側壁をエッチングすることにより、前記少なくとも途中までダイシングされた半導体ウエハから製造されるダイから十分な半導体材料を除去し、前記ダイのたわみ曲げ強度を向上させ、該エッチングでは、前記ダイの側壁をエッチングし、前記ダイの残りの部分はダイ上の前記動作層の部分によって前記自然エッチング剤からマスクされているステップと、からなり、
前記半導体ウエハを少なくとも途中までダイシングするステップにおいては、
前記半導体ウエハを完全に貫くようにダイシングする、又は、前記半導体ウエハをダイシングレーンに沿って途中までダイシングして半導体物質の前記ダイシングレーンを橋渡しする部分を残し、
前記半導体ウエハをエッチングするステップにおいては、
前記半導体ウエハをダイシングレーンに沿って途中までダイシングしている場合、前記ダイシングレーンの側壁をエッチングし、また、ダイシングレーンを橋渡しする半導体物質の前記部分をエッチングにより取り除くことにより、ダイを単離する、
ことを特徴とする半導体ウエハのダイシング方法。 - 請求項1に記載のダイシング方法であって、前記半導体ウエハがシリコンウエハであることを特徴とするダイシング方法。
- 請求項1に記載のダイシング方法であって、
前記エッチングチャンバ内で自然エッチング剤を用いてエッチングするステップは、前記チャンバへの自然エッチング剤の供給と、前記エッチングチャンバからの自然エッチング剤の排出とからなるサイクルを、複数のサイクル回数にわたり実行する、
ことを特徴とするダイシング方法。 - 請求項1に記載のダイシング方法であって、
前記エッチングチャンバ内で自然エッチング剤を用いてエッチングするステップは、連続的なプロセスとして実行されることを特徴とするダイシング方法。 - 主表面上に動作層を有する半導体ウエハをダイシングするためのダイシング装置であって、
a.前記半導体ウエハを搭載することのできるキャリア手段で、前記動作層を前記キャリア手段から離して搭載することができるキャリア手段と、
b.前記キャリア手段上の前記半導体ウエハを前記半導体ウエハの前記主表面から少なくとも途中までダイシングして、少なくとも途中までダイシングした半導体ウエハを形成するように配列されたレーザあるいは機械的ソー手段と、
c.前記キャリア手段上の前記少なくとも途中までダイシングされた半導体ウエハを、外部エネルギー源を用いることなく、二フッ化キセノンの自然エッチング剤を用いて、外部エネルギー源を使わずに、前記主表面から、少なくとも前記ダイの側壁をエッチングするエッチングチャンバであって、該エッチングでは、前記ダイの残りの部分はダイ上の前記動作層の部分によって前記自然エッチング剤からマスクされて前記ダイの側壁がエッチングされることにより、前記少なくとも途中までダイシングされた半導体ウエハから製造されるダイから十分な半導体材料を除去し、前記ダイのたわみ曲げ強度を向上するように配列されたエッチングチャンバと、を有し、
前記レーザあるいは機械的ソー手段は、
前記半導体ウエハを完全に貫くようにダイシングする、又は、前記半導体ウエハをダイシングレーンに沿って途中までダイシングして半導体物質の前記ダイシングレーンを橋渡しする部分を残し、
前記エッチングチャンバは、
前記半導体ウエハをダイシングレーンに沿って途中までダイシングしている場合、前記ダイシングレーンの側壁をエッチングし、また、ダイシングレーンを橋渡しする半導体物質の前記部分をエッチングにより取り除くことにより、ダイを単離する、
ことを特徴とするダイシング装置。 - 請求項5に記載のダイシング装置であって、前記ダイシング装置はシリコンウエハをダイシングするように配列されていることを特徴とするダイシング装置。
- 請求項5、6のいずれか一項に記載のダイシング装置であって、前記エッチングチャンバは、巡回的に前記チャンバに自然エッチング剤を供給する供給手段と、前記エッチングチャンバから自然エッチング剤を排出する排出手段と、をさらに有し、前記供給手段および前記排出手段による、前記自然エッチング剤の供給および排出のサイクルを、複数のサイクル回数にわたり実行することを特徴とするダイシング装置。
- 請求項5〜7のいずれか一項に記載のダイシング装置であって、
前記エッチング手段は、連続的なプロセスとしてエッチングを実行するように配列することを特徴とするダイシング方法。
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