JP4623297B2

JP4623297B2 - 温調装置

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Publication number: JP4623297B2
Application number: JP2005314715A
Authority: JP
Inventors: 正生財賀; 隆之原田; 貴弘小野
Original assignee: SMC Corp
Current assignee: SMC Corp
Priority date: 2005-10-28
Filing date: 2005-10-28
Publication date: 2011-02-02
Anticipated expiration: 2025-10-28
Also published as: KR100786127B1; US7607471B2; DE102006050981B4; US20070095516A1; CN1955871A; DE102006050981A1; CN100578417C; JP2007120879A; KR20070045992A

Description

本発明は、槽内の液の温調手段を備えた液槽と、該液槽内に設けられた上記液の循環流路と、該循環流路内に設けられた伝熱チューブとを備え、該伝熱チューブを介してその内部を流れる薬液を上記液と熱交換させて該薬液を温調する温調装置に関する。

従来から、対象物を一定温度に保つための液槽を備えた温調装置が広く利用され、近年では、それらの液槽にペルチェ効果により温調するサーモ・モジュールを備えた熱交換器も用いられている（例えば、特許文献１参照）。このサーモ・モジュールを用いた熱交換器では、電流の供給方向を変更するだけで加熱と冷却とを行うことができるので、温度の制御が簡易で小型になり、小型の液槽には極めて適している。

上記特許文献１に記載された温調装置は、サーモ・モジュールを備えた熱交換器により槽内に充填された熱交換媒体液の温調を行う液槽と、該液槽内に設けられたコイルチューブとを備え、該コイルチューブの内部を流れる薬液を上記熱交換媒体液と熱交換させて温調し、底部に撹拌子を設けて熱交換媒体液を撹拌し、液温の恒温化を図っている。
しかしながら、上記温調装置では、コイルチューブを熱交換媒体液が充填された温液槽内に浸漬して熱交換媒体液を撹拌子で撹拌しているだけであり、コイルチューブの内部を流れる薬液と熱交換媒体液との熱交換は効率的なものではない。

また、上記サーモ・モジュールを備えた熱交換器により槽内の液の温調を行う温調装置において、上記液を貯留する外槽と、上記外槽の内部に間隙を介して設置され、側壁に外槽から上記液が流入する流路を有すると共に、底部の中央に開孔を有する内槽と、該内槽内の上記液に浸漬された温調対象である薬液を収容した容器と、上記外槽と内槽間の底部中央に配置された回転翼により、内槽の底部の開孔から流入した上記液を内外槽の側壁間を通してその上方に導く撹拌機とを備え、上記熱交換器におけるサーモ・モジュールを上記外槽の側壁外面に装着し、液温を検知する温度センサの出力に基づいて内外槽間を流れる上記液を設定された温度に制御する温調装置は、例えば、特許文献２に示すように、従来公知である。
しかし、この温調装置は、温調対象である薬液を収容した容器を内槽内に収容し、内槽内の温調された液から容器を介して薬液に伝熱しているため、薬液の温度の安定までに時間がかかるという問題があった。

特開２０００−７５９３５号公報特開２００５−１２７６０８号公報

本発明は、従来の温調装置におけるこのような問題を解決するためになされたものであり、その技術的課題は、温調された液と温調対象である薬液とを省スペースで効率よく熱交換することができ、薬液の温度調整及び恒温化を容易且つ迅速に行える温調装置を提供することにある。
また、本発明の他の技術的課題は、流路長さが長い省スペースの循環流路を液槽内に簡単に設置できるようにした温調装置を提供することにある。

上記課題を解決するための本発明の温調装置は、槽内の液の温調手段を備えた液槽と、該液槽内に設けられた上記液の循環流路と、該循環流路内に設けられた伝熱チューブとを備え、該伝熱チューブを介してその内部を流れる薬液を上記液と熱交換させて該薬液を温調する温調装置において、上記伝熱チューブにより、単層または複数層の相互に連結された伝熱コイル部が形成され、上記循環流路が、液槽の中心軸線の周りに配置した同心異径の複数の遮蔽筒で仕切られて同心の層状になっている複数の隣り合う空間同士を、交互に反対側の軸方向端で連通させ、それらにより、液槽の底部中央から放射方向に延びる流路と該底部中央から中心軸線に沿って延びる流路とが連結された１つの連続する流路として形成され、上記循環流路の層状になった空間内に、上記伝熱コイル部を収容し、上記液槽の底部中央に、上記液を循環流路に沿って循環させるポンプを備えていることを特徴とするものである。

本発明の温調装置の好ましい実施形態においては、上記液槽の底壁との間に間隔を置いて、該液槽の底部中央から放射方向に延びる流路を形成するための遮蔽板が配設され、上記同心異径の複数の遮蔽筒による循環流路が、上記遮蔽板上に立設されてその上端が液槽内の液面下で開放された遮蔽筒と、上記液槽の上蓋に一体的に取付けられて該上蓋から垂下し、その下端が上記遮蔽板上で開放された遮蔽筒とを、交互に同心に配置することにより形成される。

本発明の温調装置の他の好ましい実施形態においては、上記遮蔽板が円環状でその内外縁に上記遮蔽筒の一対が立設され、上記上蓋から垂下した遮蔽筒が、上記遮蔽板上の一対の遮蔽筒の間に配設され、上記遮蔽板と上記液槽の底壁との間、該遮蔽板の外縁に立設した遮蔽筒と液槽の側壁との間、該遮蔽筒と上蓋から垂下した遮蔽筒との間、遮蔽板の内縁に立設した遮蔽筒と上蓋から垂下した遮蔽筒との間、及び上記遮蔽板の内縁に立設した遮蔽筒の内側の各空間によって、上記循環流路が形成される。

本発明の温調装置の他の好ましい実施形態においては、上記ポンプが、上記遮蔽板の中央の開口を通して流下する液を、上記遮蔽板と液槽の底壁との間に向けて流出させる回転翼を有しているものとし、また、上記液の温調手段がサーモ・モジュールを備えた熱交換器を有し、それが上記液槽の側壁に設けられたものとすることができる。

また、本発明の温調装置の他の好ましい実施形態においては、上記伝熱チューブにおける上記薬液が流出入する両端部が、該伝熱チューブの伝熱コイル部が上蓋に取付けられた遮蔽筒と平行になるようにして、該上蓋に取付けられる。この場合に、上記遮蔽板の内縁に立設した遮蔽筒内に、該遮蔽筒内面との間に間隙を置いて上記薬液を収容した容器を配置し、上記伝熱チューブの上記薬液が流入する側の端部を該容器内の薬液と連通させることができる。

上記構成を有する温調装置は、上記循環流路が、液槽内の限られた空間でありながら熱交換に関係する循環流路の流路長さを長くすることができると共に、上記液槽が上記液を上記循環流路に沿って循環させるポンプを備えていることとも関係して循環流路内の伝熱チューブのまわりを流れる熱交換媒体液の流速を増大させることができ、そのため、伝熱チューブ内を流れる薬液と省スペースで効率よく熱交換することができ、薬液の温度調整及び恒温化を容易且つ迅速に行うことができる。

また、上記温調装置では、上記液槽の底壁との間に間隔を置いて配設した遮蔽板上に上端が液槽内の液面下で開放する遮蔽筒を設けると共に、液槽の上蓋に一体的に取付けられて該上蓋から垂下し、その下端が上記遮蔽板上で開放された遮蔽筒を設け、これらの遮蔽筒を交互に同心に配置することにより循環流路を形成しているので、省スペースで層状になった複数の空間を１つの連続した流路として流路長さを長くした循環流路を液槽内に簡単に形成することができる。

更に、上記温調装置においては、一部の遮蔽筒及び上記伝熱チューブの両端部を上蓋に取付けたものとすることができ、この場合、上記液槽に上蓋を取付けるだけで、所期の循環流路が形成されると共に、伝熱チューブが上記循環流路内に組立てられるから、装置の組立てが簡単になる。
また、上記遮蔽板の内縁に立設した遮蔽筒内に、該遮蔽筒内面との間に間隙を置いて上記薬液を収容した容器を配置し、上記伝熱チューブの上記薬液が流入する側の端部を該容器内の薬液と連通させておくと、該容器内の薬液を予備温調することができるから、更に効率のよい温度管理が可能となる。

上述した本発明によれば、温調された液と温調対象である薬液とを省スペースで効率よく熱交換することができ、薬液の温度調整及び恒温化を容易且つ迅速に行え、流路長さが長い省スペースの循環流路を液槽内に簡単に設置することができる。

以下に、本発明に係る温調装置を、図に示す実施例に基づいて詳細に説明する。
図１〜図４は、本発明に係る温調装置の第１実施例を示すものであり、該温調装置１は、サーモ・モジュール３１を備えた熱交換器３０により槽内の熱交換媒体液の温調を行う液槽３と、該液槽３内に設けられた上記液の循環流路４と、該循環流路４内に設けられた螺旋状の伝熱コイル部５ａ，５ｂを有する伝熱チューブ５と、該液槽３を収容したケーシング２と、上記液槽３の底壁３ａの中央に設けた上記液を上記循環流路４に沿って循環させるポンプ２１とを備えている。

なお、図１においては、伝熱チューブ５の内部を流れる薬液の流れの向きを矢印で示し、循環流路における循環液の流れを白抜き矢印で示している。伝熱チューブ５の内部に流す薬液としては、例えば、ＭＯ−ＣＶＤ（有機金属気相成長法）装置の薬液等があるが、それに限るものではない。

上記温調装置１について更に詳述すると、図１、図３及び図４に示すように、上記液槽３は上方が開放された有底円筒状をなしていて、上記ケーシング２内に保持させ、上蓋１１を該ケーシング２の上壁部２ａに着脱自在に取付けている。
上記伝熱チューブ５は、図１及び図２に示すように、同心で径が異なる２つの螺旋状の伝熱コイル部５ａ，５ｂを有し、該伝熱コイル部５ａ，５ｂの下端側を互いに連結して１つの連続した２層の螺旋状チューブとし、該伝熱コイル部５ａ，５ｂの上端側の端部５ｃ，５ｄを上記薬液が流入及び流出する直線状チューブとしている。該端部５ｃ，５ｄは、上記上蓋１１を貫通してその上方に突出するように該上蓋１１に取付けられている。

上記熱交換器３０は、ペルチェ効果により温調するサーモ・モジュール３１と、上記液槽３の側壁３ｂを通して熱を供給する伝熱板３３と、内部を冷却水等が流れる放熱部３２とを積層して構成され、また、液槽３内の液温を検知する温度センサ３６を設け、サーモ・モジュール３１及び該温度センサ３６が、該温度センサ３６の出力に基づいて液槽３内の液温を所定の設定温度に制御する制御装置に接続されている。
そして、上記熱交換器３０、温度センサ３６、及びサーモ・モジュール３１の制御装置が、上記液槽３内の液の温調手段を構成している。
上記熱交換器３０におけるサーモ・モジュール３１は、この実施例では、液槽３の側壁３ｂの外面に４個装着され、該側壁３ｂの上下方向のほぼ全体に亘って装着しているが、この装着態様は、温調条件に応じて適宜設定することができるものである。

上記循環流路４は、図１に示すように、液槽３の中心軸線の周りに配置した同心異径の複数の遮蔽筒７ａ〜７ｃで仕切られて同心の層状になっている複数の隣り合う空間８ａ〜８ｄ同士を、交互に反対側の軸方向端で互いに連通させ、それらにより、液槽３の底部中央から底壁３ａに沿って放射方向に延びる流路と、該底部中央から中心軸線に沿って延びる流路との間が連結された１つの連続する流路として形成されている。そして、上記循環流路４の層状になった空間８ｂ，８ｃ内に、上記伝熱チューブ５の伝熱コイル部５ａ，５ｂがそれぞれ収容されている。

上記空間８ｂ及び８ｃ内に収容された上記伝熱コイル部５ａ及び５ｂは、上記空間８ｂ及び８ｃを構成する遮蔽筒７ａ，７ｂ及び遮蔽筒７ｂ，７ｃの各壁面との間にそれぞれほぼ一定の隙間を有しているが、これらの隙間の大きさは、該隙間を通って流れる熱交換媒体液の流速に影響し、伝熱コイル部５ａ，５ｂのまわりを流れる熱交換媒体液の流速は伝熱性能に影響するので、ポンプ２１により生じる流量と上記隙間との関係で、伝熱コイル部５ａ，５ｂのまわりを流れる熱交換媒体液の流速が所要の流速になるように、上記空間８ａ〜８ｄを構成する壁面間の距離や、上記上記伝熱チューブ５の管径、上記隙間の大きさ等を適宜設定する必要がある。

また、上記複数の遮蔽筒７ａ〜７ｃは、図１，図３，図４に示すように、上記液槽３の底壁３ａとの間に一定の間隔を置いて配設した遮蔽板１２上に立設されてその上端が液槽３内の液面下で開放する遮蔽筒７ａ，７ｃと、上記液槽３の上蓋１１に一体的に取付けられて該上蓋１１から垂下し、その下端が上記遮蔽板１２上で開放された遮蔽筒７ｂとを交互に同心に配置している。

更に詳述すると、上記遮蔽板１２は中央に開口１２ａを有する円環状で、その内外縁に上端が液槽３内の液面下で開放する同心異径の上記遮蔽筒７ａ，７ｃの一対が立設され、また、上記上蓋から垂下してその下端が遮蔽板１２との間に間隔を置いて開放する遮蔽筒７ｂが、上記遮蔽板１２上の一対の遮蔽筒７ａ，７ｂの間に同心に配設されている。
そして、上記遮蔽板１２と上記液槽３の底壁３ａとの間の間隙１３、該遮蔽板１２の外縁に立設した遮蔽筒７ｃと液槽３の側壁３ｂとの間の空間８ｄ、該遮蔽筒７ｃと上蓋１１から垂下した遮蔽筒７ｂとの間の空間８ｃ、遮蔽板１２の内縁に立設した遮蔽筒７ａと上蓋１１から垂下した遮蔽筒７ｂとの間の空間８ｂ、及び上記遮蔽板１２の内縁に立設した遮蔽筒７ａの内側の空間８ａによって、上記循環流路４が形成されている。

上記ポンプ２１は、上記液槽３の底部中央における上記遮蔽板１２の中央の開口１２ａの下方に位置させた回転翼２２を有している。該ポンプ２１は、該回転翼２２により、遮蔽筒７ａの内部の空間８ａから上記遮蔽板１２の中央の開口１２ａを通って間隙１３に流下する液を、該遮蔽板１２と液槽３の底壁３ａとの間の間隙１３に向けて流出させるものであり、その液流は最外側に位置する上記遮蔽筒７ｃと液槽３の側壁３ｂとの間の空間８ｄを通して上方に導かれ、上記遮蔽筒７ｃの上端から前記空間８ｃを下降し、上記遮蔽筒７ｂの下端を迂回して空間８ｂに至り、該空間８ｂを通って上方に導かれたのちに遮蔽筒７ａの上端を迂回して該遮蔽筒７ａの内側の空間８ａに導かれ、再び上記ポンプ２１により間隙１３に送り出される。

上記伝熱チューブ５における上記薬液が流出入する両端部５ｃ，５ｄは上蓋１１に取付けられているが、該伝熱チューブ５は、その伝熱コイル部５ａ，５ｂが、上蓋１１に取付けられた遮蔽筒７ｂを間に置いて、該遮蔽筒７ｂと平行になるように配設され、伝熱チューブ５の両端部５ｃ，５ｄが上記上蓋１１を貫通して突出するように該上蓋１１に取付けられている。
そのため、上記上蓋１１を上記液槽３に取付けるだけで、上記液槽３内に立設された遮蔽筒７ａ，７ｃと上記上蓋１１に取付けられた遮蔽筒７ｂとにより、層状になった複数の空間８ｂ〜８ｄを形成することができると共に、上記伝熱チューブ５の螺旋状の伝熱コイル部５ａ，５ｂを層状の空間８ｂ，８ｃに収容することができる。

図５は、本発明に係る温調装置の第２実施例を示すものであり、この第２実施例では、上記第１実施例における遮蔽板１２の内縁に立設した最内側の遮蔽筒７ａ内に、該遮蔽筒７ａ内面との間に間隙を置いて、薬液３８を収容した容器３７を配置し、上記伝熱チューブ５の薬液３８が流入する側の端部５ｃを、吸出チューブ５ｅを介して該容器３７内の薬液３８と連通させている。
また、液槽３の上蓋１１は、上記容器３７が通る貫通孔３９を有し、上記容器３７は、上記貫通孔３９を通してその下端が上記遮蔽筒７ａ内の下端付近まで挿入され、その挿入状態で、該容器３７の上端が上記上蓋１１の上方の大気側に開放するようにしている。

上記上蓋１１に取付けられた上記伝熱チューブ５の端部５ｃ，５ｄは、薬液が流入する側の端部５ｃと接続された上記チューブ５ｅが上記容器３７内の底部付近まで挿入され、薬液が流出する側の端部５ｄは、薬液を吸出するポンプ４１を備えた配管に接続されている。
この第２実施例の場合、遮蔽筒７ａ内に収容した容器３７内の薬液を予備温調することができるから、更に効率のよい温度管理が可能となる。
なお、この第２実施例のその他の構成及び作用は、図１に示す第１実施例の場合と実質的に変わるところがないので、図の対応箇所に同一の符号を付して、それらの詳細な説明は省略する。

図６は、本発明の温調装置の第３実施例を示すものである。
この第３実施例は、上記遮蔽筒７ａ〜７ｃにより上記液槽３内に上記層状の空間８ａ〜８ｄを形成し、それらにより循環流路４が形成される点では第１実施例と同じであるが、伝熱チューブ５が第１実施例とは相違している。
すなわち、前記第１実施例では、伝熱チューブ５が２つの螺旋状の伝熱コイル部５ａ，５ｂを有しているが、この第３実施例における伝熱チューブ５は、単一の螺旋状の伝熱コイル部５ｂを有し、該伝熱コイル部５ｂを遮蔽筒７ｂの外側の空間８ｃ内に収容し、該伝熱コイル部５ｂの薬液が流出する端部５ｄを該空間８ｃから上蓋１１を貫通してその上方に突出させ、また、上記伝熱コイル部５ｂの下端に接続した上記薬液が流入する直線状チューブ５ｆの上端を、遮蔽筒７ｂの内側の空間８ｂから上蓋１１を貫通して上方に突出させている。

この第３実施例の場合、伝熱チューブ５が螺旋状の伝熱コイル部５ｂを有する１層の螺旋状チューブであるため、第１実施例の場合に比べると伝熱面積が少なくなるが、液槽３内に形成される循環流路４が第１実施例の場合と同じであるため、要求される温調能力に応じて共通の装置を利用することができる。
なお、上記第３実施例のその他の構成及び作用は、図１に示す第１実施例の場合と実施的に変わるところがないので、図の対応箇所に同一の符号を付して、それらの詳細な説明は省略する。

図７は、本発明に係る温調装置の第４実施例を示すものである。
この第４実施例は、循環流路４内に収容される伝熱チューブ５が、軸方向に延びる螺旋状の伝熱コイル部５ａを有する１層の螺旋状チューブである点で、第３実施例の場合と似ているが、第３実施例では、伝熱チューブ５の螺旋状の伝熱コイル部５ｂを上記循環流路４の空間８ｃ内に収容し、伝熱チューブ５の薬液が流入する直線状チューブ５ｆを上記循環流路４の空間８ｂ内に収容しているのに対し、第４実施例では、伝熱チューブ５の螺旋状の伝熱コイル部５ａを上記循環流路４の空間８ｂ内に収容し、伝熱チューブ５の薬液が流出する直線状チューブ５ｇを上記循環流路４の空間８ｃ内に収容している点で相違している。
上記第４実施例の他の構成及び作用は、図６に示す第３実施例と同じであるから、図の対応箇所に同一の符号を付して、それらの詳細な説明は省略する。

上記構成を有する温調装置１は、上記循環流路４が、液槽３内の限られた空間でありながら熱交換に関係する循環流路４の流路長さを長くすることができると共に、上記液槽３が上記液を上記循環流路４に沿って循環させるポンプ２１を備えていることとも関係して循環流路４内の伝熱チューブ５の周りを流れる液の流速を増大させることができ、そのため、伝熱チューブ５内を流れる薬液と省スペースで効率よく熱交換することができ、薬液の温度調整及び恒温化を容易且つ迅速に行うことができる。

また、上記温調装置１では、上記液槽３の底壁３ａとの間に間隔を置いて配設した遮蔽板１２上に、上端が液槽３内の液面下で開放する遮蔽筒７ａ，７ｃを設けると共に、液槽３の上蓋１１に一体的に取付けられて該上蓋１１から垂下し、その下端が上記遮蔽板１２上で開放された遮蔽筒７ｂを設け、これらの遮蔽筒７ａ〜７ｃを交互に同心に配置することにより循環流路４を形成しているので、省スペースで層状になった複数の空間８ａ〜８ｄを１つの連続した流路として、流路長さを長くした循環流路４を液槽３内に簡単に形成することができる。しかも、上記液槽３に上蓋１１を取付けるだけで、同心異径の複数の遮蔽筒７ａ〜７ｃで仕切られた複数の空間８ａ〜８ｄを簡単に形成することができると共に、それらの空間８ｂ，８ｃを、上記伝熱チューブ５の伝熱コイル部５ａ，５ｂを収容する空間として、上記上蓋１１に取付けられた上記伝熱チューブ５の伝熱コイル部５ａ，５ｂを所要の空間８ｂ，８ｃ等に簡単に収容することができる。

以上において、本発明の温調装置の実施の形態について詳述したが、本発明は、ここで説明した実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載の発明の精神を逸脱しない範囲で、設計において種々の変更ができるものである。
例えば、上記第１〜第４の実施例では、伝熱チューブ５を、１つまたは２つの螺旋状の伝熱コイル部を有するものとしているが、３つ以上の伝熱コイル部を有するものにすることもできる。
また、伝熱チューブ５が３層以上の伝熱コイル部を有する場合には、上記液槽内に立設される遮蔽筒と上記液槽の上蓋から垂下する遮蔽筒の数を増やして、それらで仕切られる空間の数を増やすことにより、増加分の伝熱コイル部を収容することができる。

本発明に係る温調装置の第１実施例の要部を示す縦断面図である。上記第１実施例において用いられる伝熱チューブを示す部分破断正面図である。上記第１実施例において用いられる上蓋を示す縦断面図である。上記第１実施例に用いられる液槽とケーシングの構成を示す縦断面図である。本発明に係る温調装置の第２実施例の要部を示す縦断面図である。本発明に係る温調装置の第３実施例の要部を示す縦断面図である。本発明に係る温調装置の第４実施例の要部を示す縦断面図である。

符号の説明

１温調装置
２ケーシング
３液槽
３ａ液槽の底壁
３ｂ液槽の側壁
４循環流路
５伝熱チューブ
５ａ，５ｂ伝熱コイル部
５ｃ，５ｄ伝熱チューブの端部
７ａ〜７ｃ遮蔽筒
８ａ〜８ｄ層状になった空間
１１上蓋
１３隙間
２１ポンプ
２２回転翼
３６温度センサ
３７容器

Claims

槽内の液の温調手段を備えた液槽と、該液槽内に設けられた上記液の循環流路と、該循環流路内に設けられた伝熱チューブとを備え、該伝熱チューブを介してその内部を流れる薬液を上記液と熱交換させて該薬液を温調する温調装置において、
上記伝熱チューブにより、単層または複数層の相互に連結された伝熱コイル部が形成され、
上記循環流路が、液槽の中心軸線の周りに配置した同心異径の複数の遮蔽筒で仕切られて同心の層状になっている複数の隣り合う空間同士を、交互に反対側の軸方向端で連通させ、それらにより、液槽の底部中央から放射方向に延びる流路と該底部中央から中心軸線に沿って延びる流路とが連結された１つの連続する流路として形成され、
上記循環流路の層状になった空間内に、上記伝熱コイル部を収容し、
上記液槽の底部中央に、上記液を循環流路に沿って循環させるポンプを備えている、
ことを特徴とする温調装置。
上記液槽の底壁との間に間隔を置いて、該液槽の底部中央から放射方向に延びる流路を形成するための遮蔽板が配設され、
上記同心異径の複数の遮蔽筒による循環流路が、上記遮蔽板上に立設されてその上端が液槽内の液面下で開放された遮蔽筒と、上記液槽の上蓋に一体的に取付けられて該上蓋から垂下し、その下端が上記遮蔽板上で開放された遮蔽筒とを、交互に同心に配置することにより形成されている、
ことを特徴とする請求項１に記載の温調装置。
上記遮蔽板が円環状でその内外縁に上記遮蔽筒の一対が立設され、
上記上蓋から垂下した遮蔽筒が、上記遮蔽板上の一対の遮蔽筒の間に配設され、
上記遮蔽板と上記液槽の底壁との間、該遮蔽板の外縁に立設した遮蔽筒と液槽の側壁との間、該遮蔽筒と上蓋から垂下した遮蔽筒との間、遮蔽板の内縁に立設した遮蔽筒と上蓋から垂下した遮蔽筒との間、及び上記遮蔽板の内縁に立設した遮蔽筒の内側の各空間によって、上記循環流路が形成されている、
ことを特徴とする請求項２に記載の温調装置。
上記ポンプが、上記遮蔽板の中央の開口を通して流下する液を、上記遮蔽板と液槽の底壁との間に向けて流出させる回転翼を有している、
ことを特徴とする請求項２または３に記載の温調装置。
上記液の温調手段がサーモ・モジュールを備えた熱交換器を有し、それが上記液槽の側壁に設けられている、
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の温調装置。
上記伝熱チューブにおける上記薬液が流出入する両端部が、該伝熱チューブの伝熱コイル部が上蓋に取付けられた遮蔽筒と平行になるようにして、該上蓋に取付けられている、
ことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の温調装置。
上記遮蔽板の内縁に立設した遮蔽筒内に、該遮蔽筒内面との間に間隙を置いて上記薬液を収容した容器を配置し、上記伝熱チューブの上記薬液が流入する側の端部を該容器内の薬液と連通させた、
ことを特徴とする請求項６に記載の温調装置。