JP2005127608A - 恒温液槽 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ペルチェ効果により温調するサーモ・モジュール31を備えた熱供給装置9により槽内の液の温調を行う恒温液槽1Aにおいて、上記液を貯留する外槽3と、外槽の内部に間隙17を介して設置され、側壁19に外槽から液が流入する通孔21を有すると共に、底部23の中央に開孔25を有する内槽5と、外槽と内槽間の底部中央に配置された回転翼11により、内槽の底部の開孔から流入した液を内外槽の側壁間を通してその上方に導く撹拌機7とを備え、上記サーモ・モジュール31を外槽の側壁15外面に装着して、内外槽間を流れる液を設定された温度に制御する。
【選択図】 図1
Description
しかしながら、上記撹拌では円周方向の撹拌が主体であって、上下方向の撹拌が積極的ではなく、恒温液槽内に一定温度に保持するための対象物が容器(ビン)に収容されて浸漬されるような場合には、その対象物によって液の上下の流れが著しく阻害され、槽の上部での撹拌効果が予測範囲を逸脱し、槽内の温度分布が極端に悪くなって、槽の上部と下部とで温度差が生じてしまうと云う問題がある。具体的には、上記容器が浸漬されていないときには、温度分布が0.1℃の範囲に収まるが、容器を浸漬すると0.5℃程度になる。
そのため、サーモ・モジュールを用いた恒温液槽においても、恒温液槽中に浸漬物があってもサーモ・モジュールの伝熱面に常に同様な液流が生じ、しかも、その液流が槽内の全体に流れて槽内の液が全体的に撹拌されることが望まれる。
また、本発明の恒温液槽の他の好ましい実施形態においては、上記内槽の側壁の流路が上記外槽の側壁より低く形成された内槽の頂部のオーバーフロー縁上に形成される。
更に、上記内槽の側壁の流路は、上記サーモ・モジュールに対面する部分またはその上部に偏寄させて形成されたものとし、液がサーモ・モジュールの部分を流れる機会を高めることができる。
上記外槽と内槽とは、円筒形で同心円状に設置されたものとし、あるいは、外槽が多角形状で、内槽が円筒形であり、外槽の中心に外内槽が設置されたものとすることができるが、必ずしもそれに限るものではない。
この実施例は、MO−CVD(有機金属気相成長法)装置の薬液を容器(ビン)に収容してその温調を行うなど、槽内に液の流れを阻害する対象物を浸漬させる場合に適したもので、図1及び図2に示すように、その全体を符号1Aで示す恒温液槽は、ケーシング2内に、液を貯留する外槽3と、外槽3の内部に設置された内槽5とを備え、更に、外槽3と内槽5の間の底部中央に配置された回転翼11をもつ攪拌機7、及び外槽3の外側面にサーモ・モジュール31を装着して、内外槽3,5間を流れる液を設定された温度に制御する熱供給装置9を備えている。
また、前述したように、内槽5の底部23には、上記回転翼室12を通して外槽3に液を流入させる開孔25を形成している。
上記熱供給装置9におけるサーモ・モジュール31は、この第1実施例では、外槽3の側壁15の外面に90度の間隔で4個装着され、また、該側壁の上下方向のほぼ全体に亘って装着しているが、この装着態様は、温調条件に応じて適宜設定することができるものである。
熱供給装置9を動作させ、サーモ・モジュール31において温度制御しながら、モータ13により回転翼11を回転させると、その回転に伴って内槽5の底部23に設けた開孔25から内槽内の液が回転翼室12に吸入され、一方、該回転翼室12から出る液が円周方向に撹拌されると同時に、間隙17を通じて上昇する流れが生成される。そして、この水流は比較的速いものとなるため、液が上昇を行う間にサーモ・モジュール31との間で効率的な熱交換が行われ、その後、内槽5の側壁19に設けた多数の通孔21を通して内槽5内に流入し、内槽内を流下する。そして、内槽5の底板の開孔25を通して再び回転翼室12内に流入し、このようにして図1に矢印で示すように、外槽3及び内槽5を循環する水流が形成される。そして、上記循環する水流により上記熱交換を絶えず行うことにより外槽3及び内槽5を含めた槽内の液温が恒温化される。
なお、このオーバーフロー縁45aにも部分的に高低差を持たせ、上記サーモ・モジュール31に対面する部分の上部を低くして、液が該サーモ・モジュール31の近辺を流れる機会を高め、温調効果を高めることができる。
その他の構造は第1実施例と同様であり、作用・効果も同様であるため、それらの説明を省略する。
3 外槽
5 内槽
7 撹拌機
8 底部
9 熱供給装置
11 回転翼
15 側壁
17 間隙
19 側壁
21 通孔
23 底部
25 開孔
31 サーモ・モジュール
45a オーバーフロー縁
Claims (7)
- ペルチェ効果により温調するサーモ・モジュールを備えた熱供給装置により槽内の液の温調を行う恒温液槽において、
上記液を貯留する外槽と、
上記外槽の内部に間隙を介して設置され、側壁に外槽から液が流入する流路を有すると共に、底部の中央に開孔を有する内槽と、
上記外槽と内槽間の底部中央に配置された回転翼により、内槽の底部の開孔から流入した液を内外槽の側壁間を通してその上方に導く撹拌機と、
を備え、
上記熱供給装置におけるサーモ・モジュールを上記外槽の側壁外面に装着し、液温を検知する温度センサの出力に基づいて内外槽間を流れる液を設定された温度に制御する、
ことを特徴とする恒温液槽。 - 上記内槽の側壁の流路が、全周に亘って開口した多数の通孔によって形成されている、ことを特徴とする請求項1に記載の恒温液槽。
- 上記通孔が、内槽の側壁の高さ方向の複数段であることを特徴とする請求項2に記載の恒温液槽。
- 上記内槽の側壁の流路が、上記外槽の側壁より低く形成された内槽の頂部のオーバーフロー縁上に形成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の恒温液槽。 - 上記内槽の側壁の流路が、上記サーモ・モジュールに対面する部分またはその上部に偏寄させて形成されている、
ことを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の恒温液槽。 - 上記外槽と内槽とが、円筒形で同心円状に設置されていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の恒温液槽。
- 上記外槽が多角形状で、内槽が円筒形であり、外槽の中心に外内槽が設置されていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の恒温液槽。
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