JP4537323B2 - 基板冷却装置 - Google Patents
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Description
基板を一方向に搬送する搬送路と、前記搬送路を搬送されている基板に冷却媒体を接触させて基板を冷却する冷却機構とを具備し、前記搬送路は、一方向に複数配列されたコロ部材の回転によって基板をコロ搬送し、複数の前記コロ部材の少なくとも一部は、その内部から冷却され、前記冷却媒体として機能することを特徴とする基板冷却装置を提供する。
図1は、本発明の一実施形態に係る基板冷却装置が搭載された、FPD用のガラス基板(以下、単に「基板」と記す)へのレジスト膜の形成および露光処理後のレジスト膜の現像処理を行うレジスト塗布・現像処理システムの概略平面図である。
図2は冷却ユニット(COL)25(基板冷却装置)を示す平面方向の断面図であり、図3はその側面方向の断面図である。
図6は基板冷却装置での基板の冷却処理を説明するための図である。
図7は基板冷却装置に設けられた予備冷却部7aおよび主冷却部7bの変更例を示す図である。
5…コロ搬送機構
6…ケーシング
7…冷却機構
50a、50b…コロ部材
71a、71b…ノズル
72a、72b…供給口
73a…エア供給源
73b…温調エア供給源
75a…ファン
104…ユニットコントローラ(制御部)
105…温度センサー(温度検出部)
G…基板
Claims (12)
- 基板を冷却する基板冷却装置であって、
基板を一方向に搬送する搬送路と、
前記搬送路を搬送されている基板に冷却媒体を接触させて基板を冷却する冷却機構と
を具備し、
前記搬送路は、一方向に複数配列されたコロ部材の回転によって基板をコロ搬送し、
複数の前記コロ部材の少なくとも一部は、その内部から冷却され、前記冷却媒体として機能することを特徴とする基板冷却装置。 - 前記冷却媒体は冷却流体を含み、
前記冷却機構は、基板に冷却流体を供給して基板を冷却することを特徴とする請求項1に記載の基板冷却装置。 - 基板を冷却する基板冷却装置であって、
基板を一方向に搬送する搬送路と、
前記搬送路を搬送されている基板を収容するように設けられたケーシングと、
前記ケーシング内において基板に冷却流体を供給して基板を冷却する冷却機構と
を具備し、
前記搬送路は、一方向に複数配列されたコロ部材の回転によって基板をコロ搬送し、
複数の前記コロ部材の少なくとも一部は、その内部から冷却され、前記冷却媒体として機能することを特徴とする基板冷却装置。 - 基板を冷却する基板冷却装置であって、
基板を一方向に搬送する搬送路と、
前記搬送路を搬送されている基板を収容するように設けられたケーシングと、
前記ケーシング内において基板に冷却流体を供給して基板を冷却する冷却機構と、
基板が所定の温度になるように前記冷却機構を制御する制御機構と
を具備し、
前記搬送路は、一方向に複数配列されたコロ部材の回転によって基板をコロ搬送し、
複数の前記コロ部材の少なくとも一部は、その内部から冷却され、前記冷却媒体として機能することを特徴とする基板冷却装置。 - 前記制御機構は、前記ケーシング内に設けられた温度検出部の温度検出信号に基づいて、基板が所定の温度になるように前記冷却機構からの冷却流体の流量および温度の少なくとも一方を制御することを特徴とする請求項4に記載の基板冷却装置。
- 前記冷却機構は、基板に冷却流体を供給するノズルを有することを特徴とする請求項3から請求項5のいずれか1項に記載の基板冷却装置。
- 前記ノズルは、冷却流体を、基板の主面に交差するように前記搬送路の搬送方向上流側に向かって供給することを特徴とする請求項6に記載の基板冷却装置。
- 前記ノズルは、前記搬送路の幅方向に延びるように、前記搬送路の幅方向に対向する前記ケーシングの内壁部に設けられており、冷却流体の供給口を前記搬送路の幅方向に間隔をあけて複数有していることを特徴とする請求項6または請求項7に記載の基板冷却装置。
- 前記ノズルは前記搬送路の搬送方向に複数配列されており、
隣り合う前記ノズル同士間では、前記搬送路の幅方向における前記供給口の位置が異なっていることを特徴とする請求項8に記載の基板冷却装置。 - 前記搬送路は、一方向に複数配列されたコロ部材の回転によって基板をコロ搬送し、
複数の前記ノズルの少なくとも一部はそれぞれ、前記コロ部材同士の間に設けられていることを特徴とする請求項9に記載の基板冷却装置。 - 前記ノズルは、前記搬送路を搬送される基板の両面側にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項6から請求項10のいずれか1項に記載の基板冷却装置。
- 前記冷却機構は、前記搬送路を搬送される基板の主面と対向する前記ケーシングの壁部に設けられたファンを有し、前記ファンによって冷却流体を供給することを特徴とする請求項3から請求項5のいずれか1項に記載の基板冷却装置。
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