JP4523252B2 - 半導体ウエーハの加工方法および加工装置 - Google Patents
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Description
また、本発明によれば、表面に格子状に配列されたストリートによって多数の矩形領域が区画され、この区画された矩形領域に回路が形成されたシリコン基板からなる半導体ウエーハの加工方法であって、該半導体ウエーハの裏面を研削して所定の厚さに形成する研削工程と、該研削工程で所定の厚さに形成された該半導体ウエーハの裏面をポリッシングしてマイクロクラックを除去するポリッシング工程と、該ポリッシング工程を実施した該半導体ウエーハを洗浄する洗浄工程と、該洗浄工程で洗浄された該半導体ウエーハを乾燥する乾燥工程と、該乾燥工程を実施した後に所定の厚さに形成された該半導体ウエーハの裏面に厚さが10〜50オングストロームの酸化被膜を形成する酸化被膜形成工程と、を含む、ことを特徴とするシリコン基板からなる半導体ウエーハの加工方法が提供される。
該研削工程の前に、該半導体ウエーハの表面に形成されたストリートに沿って仕上がり厚さに相当する所定の深さの分割溝を形成する分割溝形成工程を実施する、ことが好ましい。
また、本発明によれば、表面に回路が形成されたシリコン基板からなる半導体ウエーハを裏面を上にして保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに裏面を上にして保持された該半導体ウエーハの裏面を研削する研削手段と、該研削手段によって研削された該半導体ウエーハの研削面に厚さが10〜50オングストロームの酸化被膜を形成する酸化被膜形成手段と、を具備している、ことを特徴とする加工装置が提供される。
また、本発明によれば、表面に回路が形成されたシリコン基板からなる半導体ウエーハを裏面を上にして保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに裏面を上にして保持された該半導体ウエーハの裏面を研削する研削手段と、該研削手段によって研削された該半導体ウエーハの研削面をポリッシングしてマイクロクラックを除去するポリッシング手段と、マイクロクラックが除去された該半導体ウエーハを洗浄する洗浄手段と、該洗浄手段によって洗浄された該半導体ウエーハを乾燥する乾燥手段と、乾燥手段によって乾燥された該半導体ウエーハの研削面に厚さが10〜50オングストロームの酸化被膜を形成する酸化被膜形成手段と、を具備している、ことを特徴とする加工装置が提供される。
本発明に従って構成された加工装置においては、研削工程を実施して無垢面が露出された直後に酸化被膜形成手段によって酸化被膜形成工程が実施されるので、上記金属イオンや不純物の影響を極力抑えることができる。
図示の実施形態における加工装置は、略直方体状の装置ハウジング2を具備している。装置ハウジング2の図1において右上端には、静止支持板4が立設されている。この静止支持板4の内側面には、上下方向に延びる2対の案内レール6、6および8、8が設けられている。一方の案内レール6、6には研削手段としての研削ユニット10が上下方向に移動可能に装着されており、他方の案内レール8、8にはポリッシング手段としてのポリッシングユニット12が上下方向に移動可能に装着されている。
図示の実施形態における洗浄兼酸化被膜形成手段40は、研削または研削およびポリッシング加工後の半導体ウエーハWを吸引保持するスピンナーテーブル41と、該スピンナーテーブル41を回転駆動する電動モータ42と、スピンナーテーブル41に保持された半導体ウエーハWに洗浄水を供給する洗浄水ノズル43と、スピンナーテーブル41に保持された半導体ウエーハWに乾燥用エアーを供給するエアーノズル44と、スピンナーテーブル41に保持された半導体ウエーハWに酸化液を供給する酸化液ノズル45とを具備している。なお、洗浄水ノズル43は図示しない洗浄水供給手段に接続され、エアーノズル44は図示しないエアー供給手段に接続されており、酸化液ノズル45は図示しない例えば過酸化水素水(H2 O2 )供給手段に接続されている。図示の実施形態における洗浄兼酸化被膜形成手段40は、上記スピンナーテーブル41と洗浄水ノズル43、エアーノズル44および酸化液ノズル45の上方を覆う天井壁46と一方(図2において左方)の側部を覆う側壁47を備えており、また、一方(図2において左方)の側部以外の側部を必要に応じて覆うシャッター48を備えている。
図示の実施形態における加工装置は以上のように構成されており、以下その作動について説明する。
表面にテープTを貼着した加工前の半導体ウエーハWは、保護テープTを下側に即ち裏面を上側にして加工前ウエーハ用カセット31に収容される。加工前ウエーハ用カセット31に収容された加工前の半導体ウエーハWは被加工物搬送手段35の上下動作および旋回動作により搬送され、仮り置きテーブル32に載置される。仮り置きテーブル32に載置された加工前の半導体ウエーハWは、例えば6本のピンの中心に向かう径方向運動により中心合わせされる。仮り置きテーブル32に載置され中心合わせされた半導体ウエーハWは、被加工物搬入手段36の上下動作および旋回動作によって被加工物搬入・搬出域Aに位置付けられたチャックテーブル20上に保護テープTを下側即ち裏面を上側にして載置される。チャックテーブル20上に加工前の半導体ウエーハWが載置されたならば、図示しない吸引手段を作動することにより、加工前の半導体ウエーハWを吸着保持チャック22上に吸引保持することができる。そして、ターンテーブル15を図示しない回転駆動機構によって矢印15aで示す方向に120度回動せしめて、研削前の半導体ウエーハWを載置したチャックテーブル20を研削加工域Bに位置付ける。
図4に示すエッチング兼酸化被膜形成手段50は、密閉空間510を形成するハウジング51を具備している。このハウジング51は、底壁511と上壁512と左右側壁513、514と後側が側壁515および前側側壁(図示せず)とからなっており、右側側壁514には被加工物搬出入用の開口514aが設けられている。開口514aの外側には、開口514aを開閉するためのゲート52が上下方向に移動可能に配設されている。このゲート52は、ゲート作動手段53によって作動せしめられる。ゲート作動手段53は、エアシリンダ531と該エアシリンダ531内に配設された図示しないピストンに連結されたピストンロッド532とからなっており、エアシリンダ531がブラケット533を介して上記ハウジング51の底壁511に取り付けられており、ピストンロッド532の先端(図において上端)が上記ゲート52に連結されている。このゲート作動手段53によってゲート52が開けることにより、被加工物としての半導体ウエーハWを開口514aを通して搬出入することができる。また、ハウジング51を構成する底壁511には排気口511aが設けられており、この排気口511aがガス排出手段54に接続されている。
下部電極55は、導電性の材料によって形成されており、円盤状の被加工物保持部551と、該被被加工物保持部551の下面中央部から突出して形成された円柱状の支持部552とからなっている。このように被加工物保持部551と円柱状の支持部552とから構成された下部電極55は、支持部552がハウジング51の底壁511に形成された穴511bを挿通して配設された絶縁体57を介して底壁511にシールされた状態で支持されている。このようにハウジング51の底壁511に支持された下部電極55は、支持部552を介して高周波電源58に電気的に接続されている。
表面に保護テープTが貼着された加工前の半導体ウエーハWの裏面を荒研削ユニット10aによって研削する工程は、上述した第1の実施形態と同様である。荒研削ユニット10aによって荒研削された半導体ウエーハWを第2の実施形態においては、仕上げ研削ユニット12aによって仕上げ研削する仕上げ研削工程を実施する。従って、第2の実施形態においては、荒研削と仕上げ研削とからなる研削工程によって半導体ウエーハWを所定の厚さに研削する。
4:静止支持板
10:研削ユニット
10a:荒研削ユニット
12:ポリッシングユニット
12a:仕上げ研削ユニット
15:ターンテーブル
20:チャックテーブル
31:加工前ウエーハ用カセット
32:仮り置きテーブル
34:加工後ウエーハ用カセット
35:被加工物搬送機構
36:被加工物搬入機構
37:被加工物搬出機構
40:洗浄兼酸化被膜形成手段
40a:洗浄手段
41:スピンナーテーブル
42:電動モータ
43:洗浄水ノズル
44:エアーノズル
45:酸化液ノズル
48:シャッター
50:エッチング兼酸化被膜形成手段
52:ゲート
53:ゲート作動手段
54:ガス排出手段
55:下部電極
56:上部電極
58:高周波電源
59:吸引手段
60:冷媒供給手段
62:昇降駆動手段
63:ガス供給手段
64:オゾン供給手段
65:制御手段
Claims (5)
- 表面に格子状に配列されたストリートによって多数の矩形領域が区画され、この区画された矩形領域に回路が形成されたシリコン基板からなる半導体ウエーハの加工方法であって、
該半導体ウエーハの裏面を研削して所定の厚さに形成する研削工程と、
所定の厚さに形成された該半導体ウエーハの裏面に厚さが10〜50オングストロームの酸化被膜を形成する酸化被膜形成工程と、を含む、
ことを特徴とするシリコン基板からなる半導体ウエーハの加工方法。 - 表面に格子状に配列されたストリートによって多数の矩形領域が区画され、この区画された矩形領域に回路が形成されたシリコン基板からなる半導体ウエーハの加工方法であって、
該半導体ウエーハの裏面を研削して所定の厚さに形成する研削工程と、
該研削工程で所定の厚さに形成された該半導体ウエーハの裏面をポリッシングしてマイクロクラックを除去するポリッシング工程と、該ポリッシング工程を実施した該半導体ウエーハを洗浄する洗浄工程と、該洗浄工程で洗浄された該半導体ウエーハを乾燥する乾燥工程と、該乾燥工程を実施した後に所定の厚さに形成された該半導体ウエーハの裏面に厚さが10〜50オングストロームの酸化被膜を形成する酸化被膜形成工程と、を含む、
ことを特徴とするシリコン基板からなる半導体ウエーハの加工方法。 - 該研削工程の前に、該半導体ウエーハの表面に形成されたストリートに沿って仕上がり厚さに相当する所定の深さの分割溝を形成する分割溝形成工程を実施する、請求項1又は請求項2に記載のシリコン基板からなる半導体ウエーハの加工方法。
- 表面に回路が形成されたシリコン基板からなる半導体ウエーハを裏面を上にして保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに裏面を上にして保持された該半導体ウエーハの裏面を研削する研削手段と、該研削手段によって研削された該半導体ウエーハの研削面に厚さが10〜50オングストロームの酸化被膜を形成する酸化被膜形成手段と、を具備している、
ことを特徴とする加工装置。 - 表面に回路が形成されたシリコン基板からなる半導体ウエーハを裏面を上にして保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに裏面を上にして保持された該半導体ウエーハの裏面を研削する研削手段と、該研削手段によって研削された該半導体ウエーハの研削面をポリッシングしてマイクロクラックを除去するポリッシング手段と、マイクロクラックが除去された該半導体ウエーハを洗浄する洗浄手段と、該洗浄手段によって洗浄された該半導体ウエーハを乾燥する乾燥手段と、乾燥手段によって乾燥された該半導体ウエーハの研削面に厚さが10〜50オングストロームの酸化被膜を形成する酸化被膜形成手段と、
を具備している、ことを特徴とする加工装置。
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