JP7412142B2 - ウェーハの加工方法 - Google Patents
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Description
本発明の実施形態に係るウェーハ10の加工方法について、図面に基づいて説明する。まず、実施形態の加工対象のウェーハ10の構成について説明する。図1は、実施形態に係るウェーハ10の加工方法の加工対象のウェーハ10の一例を示す斜視図である。
図3は、図2に示された研削ステップST1の一例を一部断面で示す側面図である。図4は、図3の研削ステップST1後の一状態を示す第1のウェーハ10-1の要部の断面図である。図3および図4に示すように、研削ステップST1は、表面12側に保護部材30が貼着された第1のウェーハ10-1の裏面15全面を平坦に研削するステップである。
図5は、図2に示された第1エッチングステップST2の一例を模式的に示す断面図である。図6は、図5の第1エッチングステップST2後の一状態を示す第1のウェーハ10-1の要部の断面図である。図5および図6に示すように、第1エッチングステップST2は、第1のウェーハ10-1の裏面15にプラズマ状態のガス60を供給して第1のウェーハ10-1の裏面15全面をエッチングし、研削ステップST1で形成された研削歪みの層である破砕層18を除去するステップである。
傾斜面測定ステップST3は、第1エッチングステップST2のエッチングレートの面内ばらつきで発生した、第1のウェーハ10-1の裏面15側の傾斜面19の、図6に示す幅Wと高低差Hとを測定するステップである。傾斜面19の幅W(例えば約20mm)は、第1のウェーハ10-1の径方向における中心側端部と外周縁17との水平方向の距離である。傾斜面19の高低差H(例えば約10μm)は、第1のウェーハ10-1の裏面15の傾斜面19に囲まれた領域と外周縁17との厚み方向の距離である。傾斜面測定ステップST3での傾斜面19の幅Wおよび高低差Hの測定方法は特に限定されない。
逆傾斜面設定ステップST4は、傾斜面測定ステップST3で測定した傾斜面19の幅Wと高低差Hとに対応して、エッチング前の第2のウェーハ10-2の裏面15に形成する、外周縁17に向かって厚くなる逆傾斜面20の幅Wと高低差Hとを設定するステップである(図8参照)。すなわち、逆傾斜面設定ステップST4では、変則研削ステップST5において形成する逆傾斜面20の幅Wと高低差Hとを設定する。逆傾斜面設定ステップST4で設定する逆傾斜面20の幅Wおよび高低差Hは、傾斜面測定ステップST3で測定した第1のウェーハ10-1の傾斜面19の幅Wおよび高低差Hに等しい。すなわち、第2のウェーハ10-2は、傾斜面測定ステップST3で測定された第1のウェーハ10-1の加工結果である傾斜面19の幅Wおよび高低差Hから得られ、かつ逆傾斜面設定ステップST4で設定された加工条件である逆傾斜面20の幅Wおよび高低差Hにより加工されるものである。
図7は、図2に示された変則研削ステップST5の一例を一部断面で示す側面図である。図8は、図7の変則研削ステップST5後の一状態を示す第2のウェーハ10-2の要部の断面図である。図7および図8に示すように、変則研削ステップST5は、表面12側に保護部材30が貼着された第2のウェーハ10-2の裏面15を研削し、外周縁17に沿って逆傾斜面20を形成するとともに逆傾斜面20に囲まれた領域を所定の厚さに薄くするステップである。
図9は、図2に示された第2エッチングステップST6の一例を模式的に示す断面図である。図10は、図9の第2エッチングステップST6後の一状態を示す第2のウェーハ10-2の要部の断面図である。図9および図10に示すように、第2エッチングステップST6は、変則研削ステップST5の実施後に、第2のウェーハ10-2の裏面15にプラズマ状態のガス60を供給して第2のウェーハ10-2の裏面15全面をエッチングし、変則研削ステップST5で形成された研削歪みの層である破砕層18を除去するステップである。
歪み層形成ステップST7は、第2エッチングステップST6の実施後に、第2のウェーハ10-2の裏面15全面にプラズマ化した不活性ガスのイオンを供給して歪み層を形成するステップである。歪み層形成ステップST7では、プラズマ化した不活性ガスのイオンを供給するプラズマ装置によって、第2のウェーハ10-2の裏面15全面に微細な凹凸やクラック等の歪み層を形成する。プラズマ装置は、第1エッチングステップST2および第2エッチングステップST6で用いたプラズマ装置と同じものでもよいし、別のものでもよい。同じプラズマ装置を用いる場合、プラズマ装置は、反応性の高いガス60および不活性ガスのいずれも選択的に供給可能な装置である。すなわち、歪み層形成ステップST7の手順は、第2エッチングステップST6と比較して、第2のウェーハ10-2の裏面15全面を、プラズマ状態のガス60によってエッチングする代わりに、プラズマ化した不活性ガスのイオンでプラズマ加工する点を除いて類似する。
10-1 第1のウェーハ
10-2 第2のウェーハ
12 表面
14 デバイス
15 裏面
17 外周縁
18 破砕層
19 傾斜面
20 逆傾斜面
30 保護部材
40、70 研削ユニット
50、80 保持テーブル
60 ガス
W 幅
H 高低差
Claims (3)
- 表面にデバイスが形成されたウェーハの加工方法であって、
表面側に保護部材が貼着された第1のウェーハの裏面全面を平坦に研削した後、第1のウェーハの裏面にプラズマ状態のガスを供給して第1のウェーハの裏面全面をエッチングし、研削で形成された研削歪みを除去する第1エッチングステップと、
該第1エッチングステップのエッチングレートの面内ばらつきで発生する、外周縁に向かって第1のウェーハが薄くなる第1のウェーハの裏面側の傾斜面の、幅と高低差とを測定する傾斜面測定ステップと、
第1のウェーハで測定した該傾斜面の該幅と該高低差とに対応して、該第1のウェーハとは別でかつ製品として用いられるチップに分割される第2のウェーハについて、エッチング前の第2のウェーハの裏面に形成する、外周縁に向かって第2のウェーハが厚くなる逆傾斜面の幅と高低差とを設定する逆傾斜面設定ステップと、
表面側に保護部材が貼着された第2のウェーハの裏面を研削し、第2のウェーハの裏面の外周縁に沿って該逆傾斜面を形成するとともに該逆傾斜面に囲まれた領域を所定の厚さに薄くする変則研削ステップと、
該変則研削ステップ実施後、第2のウェーハの裏面にプラズマ状態のガスを供給して第2のウェーハの裏面全面をエッチングし、該変則研削ステップで形成された研削歪みを除去しつつ裏面全面を平坦にする第2エッチングステップと、
を備えるウェーハの加工方法。 - 前記第1エッチングステップでは、表面側に保護部材が貼着された第1のウェーハの表面側を保持面で保持する保持テーブルと、下面に研削砥石が装着され該保持面に直交する回転軸で回転する研削ホイールと、を該保持面に沿う水平方向に相対的に移動させることによって、第1のウェーハの裏面全面を該研削砥石で平坦に研削した後、第1のウェーハの裏面にプラズマ状態のガスを供給して第1のウェーハの裏面全面をエッチングし、研削で形成された研削歪みを除去し、
前記変則研削ステップでは、表面側に保護部材が貼着された第2のウェーハの表面側を保持面で保持する保持テーブルと、下面に研削砥石が装着され該保持面に直交する回転軸で回転する研削ホイールと、を該逆傾斜面に沿って相対的に移動させることによって、第2のウェーハの裏面を該研削砥石で研削して外周縁に沿う該逆傾斜面を形成するとともに、該保持テーブルと該研削ホイールとを該保持面に沿う水平方向に相対的に移動させることによって、該逆傾斜面に囲まれた領域を所定の厚さに薄く研削する、
請求項1に記載のウェーハの加工方法。 - 該第2エッチングステップ実施後に、第2のウェーハの裏面全面にプラズマ化した不活性ガスのイオンを供給して歪み層を形成する歪み層形成ステップを備える
請求項1または2に記載のウェーハの加工方法。
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