JP2017038030A - ウエーハの加工方法及び電子デバイス - Google Patents
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【解決手段】表面に複数のデバイスが分割予定ラインによって区画されて形成されたウエーハの裏面を加工するウエーハの加工方法において、デバイスが表面に形成されたウエーハの裏面を研削して所定の厚さに形成する裏面研削工程と、研削されたウエーハの裏面を研磨して研削歪みを除去する裏面研磨工程と、研磨されたウエーハWFの裏面W’’にダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜を成膜するDLC成膜工程とを少なくとも含む。
【選択図】図4
Description
まず、ウエーハWFの表面W1に、保護テープTを貼着する。この保護テープTは、例えば、ポリ塩化ビニル等からなるシート状基材の表面にアクリル樹脂系の接着層が塗布されて構成されており、その接着層をウエーハWFの表面W1に貼着することにより、表面W1が保護される。
次に、裏面W2が研磨され表面W1に保護テープTが貼着されたウエーハWFを、図3に示す研磨装置8に搬送する。この研磨装置8は、ウエーハWFを保持して回転可能なチャックテーブル80と、回転軸82の下端のマウント83に研磨ホイール84が装着されて構成される研磨手段81とを備えている。研磨ホイール84は、基台85の下面に円形の研磨パッド86が固着されて構成されている。研磨パッド86は、例えば不織布、発砲ウレタン樹脂等により構成され、ウエーハWよりも大径に形成されている。
研磨工程によって裏面の研削歪みが除去されたウエーハWFは、例えば図4に示す成膜装置9に搬送される。この成膜装置9は、ウエーハWFを保持する保持テーブル90と、ガスを噴出するガス噴出ヘッド91と、保持テーブル90及びガス噴出ヘッド91を内部に収容したチャンバ92とを備えている。
また、成膜ガスに含まれる水素の量を制御することにより、DLC膜の硬度を制御することができる。
そして、切削ブレードやレーザ照射等の公知の方法により、図1に示した分割予定ラインLにそって個々のチップに分割してよい。この場合は、切削ブレードやレーザ光を照射して行うフルカットによる切断の他、ハーフカットするか、または、分割予定ラインLに沿ってレーザ光を照射して改質層を形成した後、ウエーハに外力を加え、個々のチップに分割してよい。
(1−1)改質層形成工程
最初に、図5に示すように、ウエーハWFの表面W1に保護テープTを貼着する。そして、レーザ加工装置200の保持テーブル201において、保護テープT側を保持し、ウエーハWの裏面W2を露出させる。
次に、図6に示すように、図2に示した研削装置7のチャックテーブル70において、保護テープT側を保持する。そして、チャックテーブル70をA1方向に回転させるとともに、研削ホイール74をA2方向に回転させながら研削手段71を降下させ、回転する研削砥石76をウエーハWFの裏面W2に接触させて研削する。そうすると、改質層204から表面W1に向けてクラック205が形成されてウエーハWFが分割予定ラインLに沿って個々のチップCに分割される。そして、裏面W2´まで研削されてウエーハW(チップC)が厚さHに形成されると、研削手段71を上昇させて研削を終了する。
裏面研削工程の終了後、図7に示すように、研磨装置8のチャックテーブル80において保護テープT側を保持する。そして、チャックテーブル80をA3方向に回転させるとともに、研磨ホイール84をA4方向に回転させながら研磨手段81を降下させ、チップCの裏面C2を研磨して研削歪みを除去する。
次に、図8に示すように、個々のチップCの研磨後の裏面C2´にDLC膜100を成膜する。成膜の方法は、図4に示したウエーハWFの裏面W2´´に成膜を行う方法と同様である。裏面研削工程によりチップ側壁の改質層が除去され、および/または研磨工程によって結晶歪みが除去され側壁や裏面側のゲッタリング効果が消滅しうるため、DLC膜を成膜してゲッタリング効果を生じさせることは、効果的である。
(2−1)裏面研削工程
最初に、図10に示すように、ウエーハWFの表面W1に保護テープTを貼着し、図2に示した研削装置7のチャックテーブル70において、保護テープT側を保持する。そして、チャックテーブル70をA1方向に回転させるとともに、研削ホイール74をA2方向に回転させながら研削手段71を降下させ、回転する研削砥石76をウエーハWFの裏面W2に接触させて研削する。そして、裏面W2´まで研削されてウエーハWFが所定の厚さHに形成されると、研削手段71を上昇させて研削を終了する。
次に、図11に示すように、レーザ加工装置200の保持テーブル201において、保護テープT側を保持し、ウエーハWの研削された裏面W2´を露出させる。そして、レーザ照射ヘッド202からウエーハWFの裏面W2´に向けて、ウエーハWFに対して透過性を有する波長のレーザビーム203を照射し、図1に示した分割予定ラインLに沿って内部に集光し、改質層207を形成する。このようにして、すべての分割予定ラインLに沿って、ウエーハWFの内部に改質層207を形成する。
次に、図12に示すように、研磨装置8のチャックテーブル80において保護テープT側を保持する。そして、チャックテーブル80をA3方向に回転させるとともに、研磨ホイール84をA4方向に回転させながら研磨手段81を降下させ、ウエーハWの裏面研削された裏面W2´を研磨して研削歪みを除去する。研磨によって改質層207を起点にしてクラック208が形成されると、個々のチップCaに分割される。なお、改質層207は、裏面研磨工程において除去できる位置に形成しておけば、個々のチップCaには改質層207が残存しないため、抗折強度の低下を招かない。また、裏面研磨工程は、研磨パッドによる研磨のみならず、例えば、ハイメッシュ砥石による研削、エッチング等によってもよい。
裏面研磨工程においてクラック208が形成されず、チップCaに分割されなかった場合は、図13に示すエキスパンド工程を実施する。エキスパンド工程では、研磨された裏面W2´´をエキスパンドテープT2に貼着し、エキスパンドテープT2の外周部にフレームFを貼着する。そして、エキスパンド装置300の保持台301にエキスパンドテープT2側を保持するとともに、フレームFをフレーム支持台302に載置して固定する。このフレーム支持台302は、ピストン303に固定されており、シリンダ304がピストン303を昇降させることにより昇降する。
次に、図14に示すように、個々のチップCaの研磨された裏面Ca2にDLC膜101を成膜する。成膜の方法は、図4に示したウエーハWFの裏面W2´´に成膜を行う方法と同様である。裏面研磨工程によって結晶歪みが除去され裏面側のゲッタリング効果が消滅しうるため、DLC膜を成膜してゲッタリング効果を生じさせることは、効果的である。
(3−1)裏面研削工程
最初に、図10に示したように、ウエーハWFの表面W1に保護テープTを貼着し、図2に示した研削装置7のチャックテーブル70において、保護テープT側を保持する。そして、チャックテーブル70をA1方向に回転させるとともに、研削ホイール74をA2方向に回転させながら研削手段71を降下させ、回転する研削砥石76をウエーハWFの裏面W2に接触させて研削する。そして、裏面W2´まで研削されてウエーハWFが所定の厚さHに形成されると、研削手段71を上昇させて研削を終了する。
次に、図15に示すように、表面W1から保護テープTを剥離するとともにテープT3を裏面W2´に貼着し、レーザ加工装置200の保持テーブル201において、テープT3側を保持し、ウエーハWの表面W1を露出させる。そして、レーザ照射ヘッド202からウエーハWFの裏面W2´に向けて、ウエーハWFに対して吸収性を有する波長のレーザビーム210を照射し、図1に示した分割予定ラインLに沿って表面W1に集光し、表面W1に加工溝211を形成する。このようにして、すべての分割予定ラインLに沿って、ウエーハWFの表面W1に加工溝211を形成する。
次に、図17に示すように、裏面W2´からテープT3を剥離するとともに、表面W1に保護テープTを貼着し、研磨装置8のチャックテーブル80において保護テープT側を保持する。そして、チャックテーブル80をA3方向に回転させるとともに、研磨ホイール84をA4方向に回転させながら研磨手段81を降下させ、ウエーハWの裏面研削された裏面W2´を研磨して研削歪みを除去する。研磨によって加工溝211(404)を起点にしてクラック212が形成されると、個々のチップCbに分割される。なお、裏面研磨工程は、研磨パッドによる研磨のみならず、例えば、ハイメッシュ砥石による研削、エッチング等によってもよい。
裏面研磨工程においてウエーハWFが個々のチップCbに分割されなかった場合は、エキスパンド工程を行う。本工程では、図18に示すように、研磨後の裏面W2´´にエキスパンドテープT4を貼着し、エキスパンドテープT4の外周部にフレームFを貼着する。そして、エキスパンド装置300の保持台301にエキスパンドテープT2側を保持するとともに、フレームFをフレーム支持台302に載置して固定する。このフレーム支持台302は、ピストン303に固定されており、シリンダ304がピストン303を昇降させることにより昇降する。
次に、図19に示すように、個々のチップCbの研磨された裏面Cb2にDLC膜102を成膜する。成膜の方法は、図4に示したウエーハWFの裏面W2´´に成膜を行う方法と同様である。隣り合うチップCbの間には間隔があるため、チップCbの側面C5にもDLC膜102が被覆される。側面C5にもDLC膜102が被覆されるため、各チップCbのゲッタリング効果を高めることができる。
ウエーハ:シリコンウエーハ
ウエーハの直径:8インチ
ウエーハの厚み(デバイスの厚み):200μm(裏面研磨後)
デバイスサイズ:10mm×10mm
ウエーハ1枚当たりのデバイス数:61(図5参照)
(ア)DLC成膜ステップ
裏面を研削及び研磨したウエーハを3枚用意し、前記DLC成膜工程により、当該3枚のウエーハの裏面に、膜厚が100[nm],50[nm],10[nm]のシリコン窒化膜をそれぞれ被覆した。そして、これらのすべてのウエーハに対し、以下の(イ)〜(エ)のステップをそれぞれ実行した。
上記すべてのウエーハについて、DLCが成膜された面に、直径8インチのウエーハの当該裏面の面積あたり、1.0×1013[atoms/cm2]のCu標準液(硫酸銅)を塗布し、全デバイスに対して銅による強制汚染を行った。
すべてのウエーハについて、Cu標準液を乾燥させた後、350℃の温度で3時間加熱し、ウエーハ内の銅原子を拡散しやすい状態とした。
すべてのウエーハを冷却し、それぞれについて、Cu標準液を塗布した裏面の逆面(表面)の銅原子量を、TXRF(全反射蛍光X線分析装置:テクノス株式会社製)を用いて測定した。詳細には、ウエーハの表面を15mm×15mmで区画される領域に分割し、それぞれの領域について1箇所ずつ銅原子量を測定し、平均値及び最大値を求めた。なお、強制汚染ステップ前においても、同様の方法により銅原子の検出量を測定した。
図5に示すように、ウエーハWFは、チップ番号1〜61からなる61個のチップによって構成されている。このようなウエーハWFについて、上記DLC成膜ステップを実行した後、個々のチップに分割し、チップごとに抗折強度を測定した。なお、DLC成膜ステップでは、膜厚を100[nm],50[nm],10[nm]とした。また、裏面研削工程のみを施したウエーハと、裏面研削工程及び裏面研磨工程を施したウエーハについても抗折強度を測定した。抗折強度測定の具体的な方法は、以下のとおりである。
株式会社島津製作所製の圧縮試験機(AGI−1kN9)を使用し、各チップの抗折強度を測定した。具体的な測定方法は、以下のとおりである。
(オ)−1
図6に示すように、中央部に円形の孔110が形成された基台111の上に、各チップ1〜61をそれぞれ載置する。このとき、裏面に被覆されたDLC膜が下になるようにする。
(オ)−2
球面を有する球状圧子112によって各チップ1〜61に下方(矢印A5方向)に向けて押圧する。
(オ)−3
各デバイス1〜61が割れた瞬間において、以下の式(1)を用いて抗折強度δを算出する。
∂:抗折強度
W:破壊強度(測定時に得られた値)[kgf]
h:デバイスの厚さ=200[μm]
v:ポアソン比(シリコン)=0.28
a:孔の半径=3.5[mm]
a0:デバイスの半径=5[mm]
v2:ポアソン比(球状圧子)=0.3
ε1:ヤング率(シリコン)=1.31×105[MPa]
ε2:ヤング率(球状圧子)=2.01×104[MPa]
r:球状圧子の半径=3.0[mm]
表1に示したゲッタリング効果試験の結果より、既に述べたとおり、シリコン窒化膜の膜厚を10[nm]以上とすることにより、十分なゲッタリング効果を確保することができる。一方、表2の結果から明らかなように、DLC膜の膜厚を10〜100[nm]とすると、十分な抗折強度を確保することができることがわかった。したがって、十分なゲッタリング効果を得ることができ、かつ、抗折強度も十分とするために、DLC膜の膜厚を、10〜100[nm]にするとよいことが確認された。
W1:表面 L:分割予定ライン
D:デバイス
W2,W2’,W2’’:裏面
T:保護テープ F:フレーム
1〜61:チップ(デバイス)
7:研削装置
70:チャックテーブル 71:研削手段 72:回転軸 73:マウント
74:研削ホイール 75:基台 76:研削砥石
8:研磨装置
80:チャックテーブル 81:研磨手段 82:回転軸 83:マウント
84:研磨ホイール 85:基台 86:研磨パッド
9:成膜装置
90:保持テーブル 900:支持部材 901:電極
91:ガス噴出ヘッド 910:ガス拡散空間 911:ガス導入口
912:ガス吐出口 913:ガス配管
92:チャンバ 93:ガス供給部 94:整合器 95:高周波電源
96:排気管 97:排気装置 98:制御部
110:孔 111:基台 112:球状圧子
Claims (3)
- 表面に複数のデバイスが分割予定ラインによって区画されて形成されたウエーハの裏面を加工するウエーハの加工方法であって、
デバイスが表面に形成されたウエーハの裏面を研削して所定の厚さに形成する裏面研削工程と、
研削されたウエーハの裏面を研磨して研削歪みを除去する裏面研磨工程と、
研磨されたウエーハの裏面にダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜を成膜するDLC成膜工程と、
を少なくとも含む、ウエーハの加工方法。 - 前記DLC膜は、厚さが10〜100nmであるウエーハの加工方法。
- 裏面にDLC膜を形成した電子デバイス。
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