JP4502116B2 - 高密度プラズマ表面被覆処理方法および装置 - Google Patents
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Description
(実施例1)図1に従来型のイオン化蒸着法による非晶質被膜被覆装置を示した。この装置の被覆処理室1内の2ヶ所(基材4とプラズマ発生電極(イオン化銃)2の間および基材の上側)に、図2に示すように複数の永久磁石を円筒状に配置することにより、プラズマ収束用の磁場を作用させる新たな本発明装置を作製した。本発明による磁石配置の一例を図3に示す。このとき磁場の方向は、イオン発生源であるイオン化銃から基材への方向と一致させた。また磁場の磁束密度は1.0Tとした。
2 プラズマ発生電極
3 発生プラズマの流れ
4 基材
5 基材取付電極
6 直流バイアス電圧電源
7 ガス導入路
8 ガス排気路
9 プラズマ収束用磁石
10 磁石
11 固定板
12 ラマンスペクトルにおけるDピーク
13 ラマンスペクトルにおけるGピーク
14 パルスバイアス電圧電源
Claims (6)
- 被覆処理室内に配置した永久磁石または磁気コイルによる1.0Tの磁場の作用によりプラズマを収束させ、基材の直径1〜10mmの小内径孔内壁またはこれに準ずる凹部を持つ複雑形状の基材表面に非晶質被膜を被覆することを特徴とする高密度プラズマ表面被覆処理方法。
- 上記磁場の磁束線の方向がプラズマ発生源から基材への方向と一致していることを特徴とする、請求項1に記載の高密度プラズマ表面被覆処理方法。
- 被覆処理時に、基材にパルスバイアス電圧を印加することを特徴とする、請求項1または2に記載の高密度プラズマ表面被覆処理方法。
- 被覆処理室内にプラズマ収束用の1.0Tの磁場を作用させ、基材の直径1〜10mmの小内径孔内壁またはまたはこれに準ずる凹部を持つ複雑形状の基材表面に非晶質被膜を 被覆することを特徴とする高密度プラズマ表面被覆処理装置。
- 上記磁場の磁束線の方向がプラズマ発生源から基材への方向と一致していることを特徴とする、請求項4に記載の高密度プラズマ表面被覆処理装置。
- パルスバイアス電源を接続し、基材にパルスバイアス電圧を印加することを特徴とする、請求項4または5に記載の高密度プラズマ表面被覆処理装置。
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