JP4482618B2 - 膜厚測定装置及び膜厚測定方法 - Google Patents
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Description
Rv(T)=Rv(Ref)・(V(M)−V(D))/(V(C)−V(D))
によって測定対象面の反射率Rv(T)を求める。
V(C)=V(Ref)+V(D)
と表せる。したがって、
V(Ref)=V(C)−V(D)
と表せる。
V(M)=V(T)+V(D)
V(T)=V(M)−V(D)
と表せる。
Rv(T)=Rv(Ref)・V(T)/V(Ref)・・・(1)
と表せる。
ρ1=(n-nm)/(n+nm)
ただし、n0は、入射側の屈折率(空気の場合はn0=1.0)である。
ただし、δ=(2πnd)/λ (λは入射媒質中の波長)
反射率Rは以下の式で表される。
R=(ρ0 2+ρ1 2+2ρ0ρ1cos2δ)/(1+ρ0 2ρ1 2+2ρ0ρ1cos2δ) ・・・(2)
図8は、式(2)において、入射側媒質が空気(n=1.0)であり、n=1.46、膜厚d=6μmの有機塗工膜が、nm=1.63のPET(polyethylene terephthalate)基板上に形成されていると仮定した場合の反射率分布計算結果を示す図である。
つぎに、膜厚d=112〜155nmの範囲は極値が存在しない。d=156nmで極大値が発生し、このときλ2=455.13nmである。極値波長は、d=223nmまで増大し、このときλ2=651.16nmである。
膜厚d=233nmで極小値波長が発生し、このときλ3=453.6nmである。膜厚d=334nmでλ3=650.2nmとなり、膜厚d=335nmでは極小値は消える。
ここで、Rv.max=6.72(%)は、理論計算で求まる最大反射率である(nm=1.7、n=1.46)。また、 Rv.min=1.27(%)は、理論計算で求まる最小反射率である(nm=1.7、n=1.46)。
rNの単位は、%である。ここで、波長差を±22.5nmとしたが、他の値を使用してもよい。また曲率係数は、曲率を表すものであればどのように定義してもよい。
−1.0<r1<0%
0.86<r2<1.7%
−7.6<r3<−3.7%
グループAは極値が存在しない領域である。具体的には、膜厚d=1〜78nm、膜厚d=112〜156nm、膜厚d=223〜234nmの3領域である。
グループBは極値が1個で、曲率係数が−6<r<0.25の範囲の領域である。具体的には、膜厚d=78nm〜112nm、膜厚d=156nm〜223nm、膜厚d=234〜311nmの3領域である。
グループCは極値が1個で、曲率係数が2<rの範囲の領域及びr<−7の範囲である。具体的に前者は、膜厚d=334nm〜388nmの領域であり、後者は膜厚d=446nm〜466nmの領域である。
グループDは極値が2個の領域である。具体的には、膜厚d=311nm〜334nm、膜厚d=388nm〜446nm、膜厚d=466nm〜500nmの3領域である。
ここで、Rv.t(λ:max)は、図26の最大値(6.72%)である。
Rv0= Rv(550nm)−Rv.t(λ:max)=12.90−6.72=6.19(%)
Rv*(λ)={Rv(λ)−Rv0}×K(λ) ・・・(3)
Claims (5)
- 光源と、分光センサと、プロセッサと、記憶装置と、を備えた膜厚測定装置であって、
前記光源からの光が、膜を備えた測定対象面に垂直に入射し、測定対象面で反射された光が前記分光センサに入射するように構成され、
前記記憶装置は、膜厚ごとの反射率分布の理論値及び膜厚ごとの色の特性変数の理論値を記憶しており、
前記プロセッサが、前記記憶装置に記憶された、膜厚ごとの反射率分布の理論値又は膜厚ごとの色の特性変数の理論値を使用して、測定された反射率分布の極値が無いか又は極値を含む曲線の曲率が極値の位置を特定するには小さい場合に、膜厚ごとの色の特性変数の理論値を使用し、それ以外の場合に反射率分布の理論値を使用して膜厚を求めるように構成された、膜厚測定装置。 - さらに、ビーム・スプリッタを備え、測定時に、前記光源からの光が、前記ビーム・スプリッタを経て測定対象面に垂直に入射し、測定対象面で反射された後、測定対象面に垂直な方向に進行し前記ビーム・スプリッタを経て前記分光センサに至るように構成された、請求項1に記載の膜厚測定装置。
- さらに、開口部を備えた反射率ゼロ点補正用空洞と、反射率校正板と、を備え、
反射率ゼロ点補正時に、前記光源からの光が、前記ビーム・スプリッタを経て前記反射率ゼロ点補正用空洞の前記開口部に入射し、反射された後、測定対象面に垂直な方向に進行し前記ビーム・スプリッタを経て前記分光センサに至るように構成され、
反射率校正時に、前記光源からの光が、前記ビーム・スプリッタを経て前記反射率校正板に垂直に入射し、前記反射率校正板で反射された後、前記反射率校正板に垂直な方向に進行し前記ビーム・スプリッタを経て前記分光センサに至るように構成されており、
測定時の前記分光センサの出力をV(M)とし、反射率ゼロ点補正時の前記分光センサの出力をV(D)とし、反射率校正時の前記分光センサの出力をV(C)とし、反射率校正板の反射率をRv(Ref)として、前記記憶装置は、該反射率校正板の反射率Rv(Ref)を保持しており、前記プロセッサが、式
Rv(T)=Rv(Ref)・(V(M)−V(D))/(V(C)−V(D))
によって測定対象面の反射率Rv(T)を求める、請求項2に記載の膜厚測定装置。 - 分光センサ、膜厚ごとの反射率分布の理論値及び膜厚ごとの色の特性変数の理論値を格納した記憶装置及びプロセッサを備えた膜厚測定装置によって測定対象面の膜の厚さを測定する膜厚測定方法であって、
前記分光センサによって、膜を備えた測定対象面の反射率分布を測定するステップと、
前記プロセッサによって、前記記憶装置に記憶された、膜厚ごとの反射率分布の理論値又は膜厚ごとの色の特性変数の理論値を使用して、測定された反射率分布の極値が無いか又は極値を含む曲線の曲率が極値の位置を特定するには小さい場合に、膜厚ごとの色の特性変数の理論値を使用し、それ以外の場合に反射率分布の理論値を使用して膜厚を求めるステップと、を含む膜厚測定方法。 - 測定された反射率分布を、膜を除いた基材を測定した反射率分布が理論値に一致するように求められた補正係数によって補正した後に使用する、請求項4に記載の膜厚測定方法。
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