JP6290637B2 - 膜厚計測方法及び膜厚計測装置 - Google Patents
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Description
図1は、第1実施形態による膜厚計測方法及び膜厚計測装置の計測対象物100の構成を示す断面図である。図1に示されるように、計測対象物100は、基材101と、第1の膜(表面膜)102と、第2の膜(裏面膜)103とを有している。基材101は、表面101aと裏面101bとを有する板状若しくはフィルム状の部材であって、例えば樹脂やガラス、半導体ウエハ等によって構成される。基材101の厚さは例えば100μm以上である。第1の膜102は、基材101の表面101a上に形成されている。第2の膜103は、基材101の裏面101b上に形成されている。第1の膜102及び第2の膜103は、例えば真空成膜などの成膜や塗布、エッチングなどの工程により形成される。計測対象物100の一例としては、タッチパネル、半導体デバイス、二次電池、太陽電池、FPD(フラットパネルディスプレイ)、光学フィルム等が挙げられる。計測対象物100がタッチパネル用途の透明導電性フィルムである場合、第1の膜102は光学調整層、接着層、透明導電膜(ITO)といった複数の層を含み、第2の膜103はクリアハードコート剤の層からなる。
第1実施形態では第1の膜102及び第2の膜103が単層からなる場合を例示したが、第1の膜102及び第2の膜103の一方または双方が複数の層を含む場合であっても、各層の層厚を求めることが可能である。本変形例の理論分光反射率としては、第1の膜102に含まれる複数の層の屈折率や層厚に依存する表面101a側における反射率(第1の表面反射率)と、第2の膜103に含まれる複数の層の屈折率や層厚に依存する裏面101b側における反射率(裏面反射率)とが加味されたものが用いられる。
図11は、第2実施形態による膜厚計測装置1Bの構成を模式的に示す図である。膜厚計測装置1Bは、図1に示された計測対象物100の膜厚を計測する装置である。図11に示されるように、膜厚計測装置1Bは、光照射部10、光検出部20B、膜厚算出部30B、制御部40、表示部50、及び入力装置60を備えている。光照射部10、制御部40、表示部50、及び入力装置60の構成は、第1実施形態と同様である。なお、計測対象物100は、図に示されるようにローラー110によって搬送されている状態であってもよく、或いは静止状態であってもよい。
数式(11)に示されるように、理論分光透過率Ttheoryでは、表面101a側における透過率(表面透過率)T012(λ)に加えて、裏面101b側における透過率(裏面透過率)T230(λ)が考慮されている。また、この理論分光透過率Ttheoryでは、基材101内での多重反射成分が考慮されている。すなわち、数式(19)右辺のΣ項が基材101内での多重反射成分を示しており、この多重反射成分は、基材101側から見た裏面101bでの反射率(裏面反射率)R230(λ)と、基材101側から見た表面101aでの反射率(表面反射率)R210(λ)とに基づいている。
そこで、膜厚算出部30Bは、実測分光透過率Tsig(λ)に最も近い(フィットする)理論分光透過率Ttheoryにおける表面透過率Ttheory012(λ)及び表面反射率Rtheory210(λ)に基づいて、数式(21)〜(23)及び数式(24)〜(26)を用いて膜厚d1の値を算出し、それらの平均値を計測対象物100の第1の膜102の膜厚として出力する。
そこで、膜厚算出部30Bは、実測分光透過率Tsig(λ)に最も近い(フィットする)理論分光透過率Ttheoryにおける裏面透過率Ttheory230(λ)及び裏面反射率Rtheory230(λ)に基づいて、数式(27)〜(29)及び数式(30)〜(32)を用いて膜厚d3の値を算出し、それらの平均値を計測対象物100の第2の膜103の膜厚として出力する。
第2実施形態では第1の膜102及び第2の膜103が単層からなる場合を例示したが、第1の膜102及び第2の膜103の一方または双方が複数の層を含む場合であっても、各層の層厚を求めることが可能である。本変形例の理論分光透過率としては、第1の膜102に含まれる複数の層の屈折率や層厚に依存する表面101a側における透過率(表面透過率)及び反射率(表面反射率)と、第2の膜103に含まれる複数の層の屈折率や層厚に依存する裏面101b側における透過率(裏面透過率)及び反射率(裏面反射率)とが加味されたものが用いられる。
Claims (21)
- 表面及び裏面を有する基材と、前記表面上に形成された第1の膜と、前記裏面上に形成された第2の膜とを備える計測対象物の膜厚を計測する方法であって、
前記計測対象物の前記表面側に光を照射する光照射ステップと、
前記計測対象物の前記表面側における反射光の波長毎の強度を検出する光検出ステップと、
前記光検出ステップにおける検出結果に基づいて得られる波長毎の反射率(以下、実測分光反射率という)と、前記表面側における反射率(以下、表面反射率という)、前記表面側における透過率(以下、表面透過率という)、及び、前記第2の膜の屈折率及び膜厚に依存する前記裏面側における反射率(以下、裏面反射率という)が加味された理論上の波長毎の反射率(以下、理論分光反射率という)とを比較することにより前記第1の膜の膜厚を決定する膜厚特定ステップと、
を備え、
前記膜厚特定ステップにおいて、前記表面反射率の値、前記表面透過率の値、及び前記裏面反射率の値を変化させて得られる複数の理論分光反射率と前記実測分光反射率とを比較し、該実測分光反射率に最も近い前記理論分光反射率に基づいて前記第1の膜の膜厚を決定することを特徴とする、膜厚計測方法。 - 前記膜厚特定ステップにおいて、前記第1の膜の膜厚の値及び前記第2の膜の膜厚の値に対する前記表面反射率の値、前記表面透過率の値、及び前記裏面反射率の値を算出し、前記第1の膜の膜厚の値及び前記第2の膜の膜厚の値を変化させることによって、前記複数の理論分光反射率を取得することを特徴とする、請求項1に記載の膜厚計測方法。
- 前記膜厚特定ステップにおいて、前記実測分光反射率に最も近い前記理論分光反射率の前記表面反射率の値及び前記表面透過率の値の少なくともいずれか一方の値に基づいて前記第1の膜の膜厚の値を求めることを特徴とする、請求項1または2に記載の膜厚計測方法。
- 前記第1の膜が複数の層を含み、
前記膜厚特定ステップにおいて、前記実測分光反射率に最も近い前記理論分光反射率に基づいて前記第1の膜の前記複数の層それぞれの層厚を決定することを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の膜厚計測方法。 - 前記膜厚特定ステップにおいて、前記実測分光反射率に最も近い前記理論分光反射率に基づいて前記第2の膜の膜厚を更に決定することを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載の膜厚計測方法。
- 前記膜厚特定ステップにおいて、前記実測分光反射率に最も近い前記理論分光反射率の前記裏面反射率の値に基づいて前記第2の膜の膜厚の値を求めることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載の膜厚計測方法。
- 前記第2の膜が複数の層を含み、
前記膜厚特定ステップにおいて、前記実測分光反射率に最も近い前記理論分光反射率に基づいて前記第2の膜の前記複数の層それぞれの層厚を決定することを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一項に記載の膜厚計測方法。 - 表面及び裏面を有する基材と、前記表面上に形成された第1の膜と、前記裏面上に形成された第2の膜とを備える計測対象物の膜厚を計測する方法であって、
前記計測対象物の前記表面側に光を照射する光照射ステップと、
前記計測対象物の前記裏面側における透過光の波長毎の強度を検出する光検出ステップと、
前記光検出ステップにおける検出結果に基づいて得られる波長毎の透過率(以下、実測分光透過率という)と、前記表面側における透過率(以下、表面透過率という)及び反射率(以下、表面反射率という)、並びに、前記第2の膜の屈折率及び膜厚に依存する前記裏面側における透過率(以下、裏面透過率という)及び反射率(以下、裏面反射率という)が加味された理論上の波長毎の透過率(以下、理論分光透過率という)とを比較することにより前記第1の膜の膜厚を決定する膜厚特定ステップと、
を備え、
前記膜厚特定ステップにおいて、前記表面透過率の値及び前記表面反射率の値、並びに前記裏面透過率の値及び前記裏面反射率の値をそれぞれ変化させて得られる複数の理論分光透過率と前記実測分光透過率とを比較し、該実測分光透過率に最も近い前記理論分光透過率に基づいて前記第1の膜の膜厚を決定することを特徴とする、膜厚計測方法。 - 前記第1の膜が複数の層を含み、
前記膜厚特定ステップにおいて、前記実測分光透過率に最も近い前記理論分光透過率に基づいて前記第1の膜の前記複数の層それぞれの層厚を決定することを特徴とする、請求項8に記載の膜厚計測方法。 - 前記膜厚特定ステップにおいて、前記実測分光透過率に最も近い前記理論分光透過率に基づいて前記第2の膜の膜厚を更に決定することを特徴とする、請求項8または9に記載の膜厚計測方法。
- 前記第2の膜が複数の層を含み、
前記膜厚特定ステップにおいて、前記実測分光透過率に最も近い前記理論分光透過率に基づいて前記第2の膜の前記複数の層それぞれの層厚を決定することを特徴とする、請求項8〜10のいずれか一項に記載の膜厚計測方法。 - 表面及び裏面を有する基材と、前記表面上に形成された第1の膜と、前記裏面上に形成された第2の膜とを備える計測対象物の膜厚を計測する装置であって、
前記計測対象物の前記表面側に光を照射する光照射部と、
前記計測対象物の前記表面側における反射光の波長毎の強度を検出する光検出部と、
前記光検出部における検出結果に基づいて得られる波長毎の反射率(以下、実測分光反射率という)と、前記表面側における反射率(以下、表面反射率という)及び透過率(以下、表面透過率という)、並びに、前記第2の膜の屈折率及び膜厚に依存する前記裏面側における反射率(以下、裏面反射率という)が加味された理論上の波長毎の反射率(以下、理論分光反射率という)とを比較することにより前記第1の膜の膜厚を決定する膜厚算出部と、
を備え、
前記膜厚算出部は、前記表面反射率の値及び前記表面透過率の値、並びに前記裏面反射率の値をそれぞれ変化させて得られる複数の理論分光反射率と前記実測分光反射率とを比較し、該実測分光反射率に最も近い前記理論分光反射率に基づいて前記第1の膜の膜厚を決定することを特徴とする、膜厚計測装置。 - 前記膜厚算出部が、前記第1の膜の膜厚の値及び前記第2の膜の膜厚の値に対する前記表面反射率の値、前記表面透過率の値、及び前記裏面反射率の値を算出し、前記第1の膜の膜厚の値及び前記第2の膜の膜厚の値を変化させることによって、前記複数の理論分光反射率を取得することを特徴とする、請求項12に記載の膜厚計測装置。
- 前記膜厚算出部が、前記実測分光反射率に最も近い前記理論分光反射率の前記表面反射率の値及び前記表面透過率の値の少なくともいずれか一方の値に基づいて前記第1の膜の膜厚の値を求めることを特徴とする、請求項12または13に記載の膜厚計測装置。
- 前記第1の膜が複数の層を含み、
前記膜厚算出部が、前記実測分光反射率に最も近い前記理論分光反射率の値に基づいて前記第1の膜の前記複数の層それぞれの層厚を決定することを特徴とする、請求項12〜14のいずれか一項に記載の膜厚計測装置。 - 前記膜厚算出部が、前記実測分光反射率に最も近い前記理論分光反射率の値に基づいて前記第2の膜の膜厚を更に求めることを特徴とする、請求項12〜15のいずれか一項に記載の膜厚計測装置。
- 前記第2の膜が複数の層を含み、
前記膜厚算出部が、前記実測分光反射率に最も近い前記理論分光反射率の値に基づいて前記第2の膜の前記複数の層それぞれの層厚を決定することを特徴とする、請求項12〜16のいずれか一項に記載の膜厚計測装置。 - 表面及び裏面を有する基材と、前記表面上に形成された第1の膜と、前記裏面上に形成された第2の膜とを備える計測対象物の膜厚を計測する装置であって、
前記計測対象物の前記表面側に光を照射する光照射部と、
前記計測対象物の前記裏面側における透過光の波長毎の強度を検出する光検出部と、
前記光検出部における検出結果に基づいて得られる波長毎の透過率(以下、実測分光透過率という)と、前記表面側における透過率(以下、表面透過率という)及び反射率(以下、表面反射率という)、並びに、前記第2の膜の屈折率及び膜厚に依存する前記裏面側における透過率(以下、裏面透過率という)及び反射率(以下、裏面反射率という)が加味された理論上の波長毎の透過率(以下、理論分光透過率という)とを比較することにより前記第1の膜の膜厚を決定する膜厚算出部と、
を備え、
前記膜厚算出部は、前記表面透過率の値及び前記表面反射率の値、並びに前記裏面透過率の値及び前記裏面反射率の値をそれぞれ変化させて得られる複数の理論分光透過率と前記実測分光透過率とを比較し、該実測分光透過率に最も近い前記理論分光透過率に基づいて前記第1の膜の膜厚を決定することを特徴とする、膜厚計測装置。 - 前記第1の膜が複数の層を含み、
前記膜厚算出部が、前記実測分光透過率に最も近い前記理論分光透過率に基づいて前記第1の膜の前記複数の層それぞれの層厚を決定することを特徴とする、請求項18に記載の膜厚計測装置。 - 前記膜厚算出部が、前記実測分光透過率に最も近い前記理論分光透過率に基づいて前記第2の膜の膜厚を更に決定することを特徴とする、請求項18または19に記載の膜厚計測装置。
- 前記第2の膜が複数の層を含み、
前記膜厚算出部が、前記実測分光透過率に最も近い前記理論分光透過率に基づいて前記第2の膜の前記複数の層それぞれの層厚を決定することを特徴とする、請求項18〜20のいずれか一項に記載の膜厚計測装置。
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