JP4871435B1 - 膜厚測定装置及び膜厚測定方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
前記分光センサは、基材上に塗布された膜の分光データを測定し、前記データ処理部は、測定された分光データから測定色特性変数を求め、該測定色特性変数を、膜の厚さ及び屈折率の複数の組の値について求めた複数の組の理論色特性変数と比較して、該測定色特性変数との差が最も小さい理論色特性変数に対応する組の値を使用して該膜の屈折率を定め、該膜の該屈折率を使用して該膜の厚さを定める。
過率Tiを考えなければならない。内部透過率はランベルトの法則から
T=(1−R0)2Ti/(1−Ti 2R0 2) (3)
ただし、
R0={(n1−n2)2+k2 2}/{(n1+n2)2+k2 2} (4)
である。ここで、基材の複素屈折率を n2-ik2 とする。
R=2 R0/(1+R0) (5)
T=(1−R0)/(1+R0) (6)
ただし、
R0={(n1−n2)/( n1+n2)}2 (7)
である。ここでn1は基材の周囲の媒質の屈折率である。
ただし
R0=(n0-nm)2/(n0+nm)2 (13)
式(13)においてn0=1.0として、以下の式が成立する。
R0=(1-nm)2/(1+nm)2 (14)
Rv.nm=(R0+Rv(d,n,nm)−2 R0Rv(d,n,nm))/(1−R0Rv(d,n,nm))(15)
このように、基材(屈折率nm、厚さD)上に透明な薄膜(屈折率n、膜厚d)が成膜されている場合の反射率は、基材屈折率nm、塗工材(膜)屈折率n及び膜厚dにしたがって大きく変化する。
nm=1.68
n=1.46
nm=1.60
n=2.10
Claims (8)
- 分光センサと、データ処理部と、を備えた膜厚測定装置であって、
前記分光センサは、基材上に塗布された膜の分光データを測定し、前記データ処理部は、測定された分光データから測定色特性変数を求め、該測定色特性変数を、それぞれが、膜の厚さの複数の値の一つ及び屈折率の複数の値の一つからなる、複数の組に対応する理論色特性変数と比較して、該測定色特性変数との差が最も小さい理論色特性変数に対応する組の膜の厚さの値を使用して該膜の屈折率を定め、該膜の該屈折率を使用して該膜の厚さを定める膜厚測定装置。 - 前記分光センサは、基材上に塗布された膜の透過率分布を測定し、前記データ処理部は、測定された透過率分布から反射率分布を求め、さらに該反射率分布から前記測定色特性変数を求める請求項1に記載の膜厚測定装置。
- 前記複数の組に対応する理論色特性変数を記憶した記憶部をさらに備える請求項1または2に記載の膜厚測定装置。
- 色特性変数が反射色三刺激値である請求項1から3のいずれかに記載の膜厚測定装置。
- 分光センサと、データ処理部と、を備えた膜厚測定装置によって基材上に塗布された膜の厚さを測定する膜厚測定方法であって、
前記分光センサによって、該基材上に塗布された該膜の分光データを測定するステップと、
前記データ処理部によって、測定された分光データから測定色特性変数を求めるステップと、
該測定色特性変数を、それぞれが、膜の厚さの複数の値の一つ及び屈折率の複数の値の一つからなる、複数の組に対応する理論色特性変数と比較して、該測定色特性変数との差が最も小さい理論色特性変数に対応する組の膜の厚さの値を使用して該膜の屈折率を定めるステップと、
該膜の該屈折率を使用して該膜の厚さを定めるステップと、を含む膜厚測定方法。 - 前記測定するステップにおいて、前記分光センサは、基材上に塗布された膜の透過率分布を測定し、前記測定色特性変数を求めるステップにおいて、前記データ処理部は、測定された透過率分布から、反射率分布を求め、さらに該反射率分布から前記測定色特性変数を求める請求項5に記載の膜厚測定方法。
- 前記測定するステップにおいて、前記分光センサは、基材上に塗布された膜の分光データを複数の点において測定し、前記測定色特性変数を求めるステップにおいて、前記データ処理部は、該複数の点に対応する複数の測定色特性変数を求め、前記屈折率を定めるステップにおいて、前記データ処理部は、該複数の測定色特性変数を使用して該膜の屈折率を定める請求項5または6に記載の膜厚測定方法。
- 色特性変数が反射色三刺激値である請求項5から7のいずれかに記載の膜厚測定方法。
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