JP2973803B2 - 光記録媒体の検査方法および製造方法 - Google Patents
光記録媒体の検査方法および製造方法Info
- Publication number
- JP2973803B2 JP2973803B2 JP5290703A JP29070393A JP2973803B2 JP 2973803 B2 JP2973803 B2 JP 2973803B2 JP 5290703 A JP5290703 A JP 5290703A JP 29070393 A JP29070393 A JP 29070393A JP 2973803 B2 JP2973803 B2 JP 2973803B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- protective layer
- recording medium
- optical recording
- optical
- film thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光記録媒体の検査方法
および製造方法に関するものである。
および製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】光記録媒体は、基板上に保護層、記録層
などの各層が順次形成されたものである。各層の中で保
護層の膜厚が最も厚いので、保護層の膜厚の管理は光記
録媒体の性能を管理する上で非常に重要なことである。
従来は、基板上に保護層、記録層等の各層を形成するプ
ロセスにおいて、光記録媒体の一片を取りだし、分光光
度計により基板からの反射光を任意の一波長において測
定し反射率を検出することにより、保護層の光学的膜厚
を求め、その光学的膜厚の値が設定値に対して正しいか
を確認していた。また、保護層の膜厚が異なると基板側
から光記録媒体を見た場合に色相が変わることを利用し
て、色相を目視で調べ光学的膜厚が設定値に対して正し
いかを確認していた。
などの各層が順次形成されたものである。各層の中で保
護層の膜厚が最も厚いので、保護層の膜厚の管理は光記
録媒体の性能を管理する上で非常に重要なことである。
従来は、基板上に保護層、記録層等の各層を形成するプ
ロセスにおいて、光記録媒体の一片を取りだし、分光光
度計により基板からの反射光を任意の一波長において測
定し反射率を検出することにより、保護層の光学的膜厚
を求め、その光学的膜厚の値が設定値に対して正しいか
を確認していた。また、保護層の膜厚が異なると基板側
から光記録媒体を見た場合に色相が変わることを利用し
て、色相を目視で調べ光学的膜厚が設定値に対して正し
いかを確認していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来技
術で保護層の膜厚の管理を行う場合、光記録媒体の反射
率測定を生産ラインで実行することは非常に手数がかか
るという難点があった。また、膜厚に対応する反射率変
化が小さく、例えば、２００ｎｍ程度第１保護層の膜厚
が変わっても反射率はほぼ変わらないため、反射率と膜
厚の対応がとれにくく、膜厚の精密な管理が難しいとい
う難点もあった。さらに、光記録媒体の色相から膜厚の
管理を行う場合、色の判定を目視で行うため個人差が生
じ易く、知覚的な違いを定量的に表すことができないた
め、保護層の膜厚の管理は困難であった。
術で保護層の膜厚の管理を行う場合、光記録媒体の反射
率測定を生産ラインで実行することは非常に手数がかか
るという難点があった。また、膜厚に対応する反射率変
化が小さく、例えば、２００ｎｍ程度第１保護層の膜厚
が変わっても反射率はほぼ変わらないため、反射率と膜
厚の対応がとれにくく、膜厚の精密な管理が難しいとい
う難点もあった。さらに、光記録媒体の色相から膜厚の
管理を行う場合、色の判定を目視で行うため個人差が生
じ易く、知覚的な違いを定量的に表すことができないた
め、保護層の膜厚の管理は困難であった。
【０００４】本発明は、これらの諸欠点に鑑み創案され
たものであって、光記録媒体の保護層の光学的膜厚に基
づく色相の変化を定量的に管理することにより、光記録
媒体製造時の保護層の膜厚の補正ならびに管理が可能な
光記録媒体の検査方法および製造方法を提供することを
目的とする。
たものであって、光記録媒体の保護層の光学的膜厚に基
づく色相の変化を定量的に管理することにより、光記録
媒体製造時の保護層の膜厚の補正ならびに管理が可能な
光記録媒体の検査方法および製造方法を提供することを
目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】かかる本発明の目的は、
基板上に少なくとも保護層と記録層を順次積層した光記
録媒体の検査方法において、波長の異なる複数の光を照
射し、基板からの反射光を測定することにより保護層の
光学的膜厚を検査することを特徴とする光記録媒体の検
査方法により達成される。
基板上に少なくとも保護層と記録層を順次積層した光記
録媒体の検査方法において、波長の異なる複数の光を照
射し、基板からの反射光を測定することにより保護層の
光学的膜厚を検査することを特徴とする光記録媒体の検
査方法により達成される。
【０００６】また、本発明の目的は、基板上に少なくと
も保護層と記録層を積層した光記録媒体の製造方法にお
いて、波長の異なる複数の光を照射し、基板からの反射
光を測定することにより前記保護層の光学的膜厚を検査
し、保護層の膜厚形成条件を修正することを特徴とする
光記録媒体の製造方法により達成される。
も保護層と記録層を積層した光記録媒体の製造方法にお
いて、波長の異なる複数の光を照射し、基板からの反射
光を測定することにより前記保護層の光学的膜厚を検査
し、保護層の膜厚形成条件を修正することを特徴とする
光記録媒体の製造方法により達成される。
【０００７】本発明の光記録媒体の製造方法において
は、下記の（１）〜（４）の工程順で行うことが、特に
好ましい。
は、下記の（１）〜（４）の工程順で行うことが、特に
好ましい。
【０００８】（１）基板上に保護層を形成する第一工
程。
程。
【０００９】（２）保護層上に記録層を形成する第二工
程。
程。
【００１０】（３）波長の異なる複数の光を照射し、基
板からの反射光を測定することにより前記保護層の光学
的膜厚を検査する第三工程。
板からの反射光を測定することにより前記保護層の光学
的膜厚を検査する第三工程。
【００１１】（４）前記第三工程で得られた保護層の光
学的膜厚に関する情報を、前記第一工程にフィードバッ
クし、保護層の膜厚形成条件を修正する第四工程。
学的膜厚に関する情報を、前記第一工程にフィードバッ
クし、保護層の膜厚形成条件を修正する第四工程。
【００１２】本発明における光記録媒体は、基板上に少
なくとも保護層と記録層を順次積層したものであり、好
ましくは、基板上に、保護層、記録層、反射層を順次積
層したものであり、より好ましくは、図１に示されるよ
うに、基板１上に、第一保護層２、記録層３、第二保護
層４、反射層５を順次積層したものである。通常、膜厚
は、第一保護層：１００〜５００ｎｍ、記録層：１０〜
３０ｎｍ、第二保護層：１０〜３０ｎｍ、反射層：１０
〜２００ｎｍ程度である。各層の材質としては、基板：
ガラス、ポリカーボネート、ポリメチル・メタクリレー
ト、ポリオレフィン樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹
脂、保護層：ＺｎＳ、ＳｉＯ2 、窒化シリコン、酸化ア
ルミニウムなどの無機薄膜、ＺｎＳとＳｉＯ2 の混合
膜、ＺｎＳとＳｉＯ2 と炭素の混合膜、記録層：Ｐｄ−
Ｇｅ−Ｓｂ−Ｔｅ合金、Ｎｂ−Ｇｅ−Ｓｂ−Ｔｅ合金、
Ｐｔ−Ｇｅ−Ｓｂ−Ｔｅ合金、Ｎｉ−Ｇｅ−Ｓｂ−Ｔｅ
合金、Ｇｅ−Ｓｂ−Ｔｅ合金、Ｃｏ−Ｇｅ−Ｓｂ−Ｔｅ
合金、Ｉｎ−Ｓｂ−Ｔｅ合金、Ｉｎ−Ｓｅ合金、反射
層：Ａｌ、Ａｕなどの金属、およびこれらを主成分とす
る合金、より具体的にはＡｌにＳｉ、Ｍｇ、Ｃｕ、Ｐ
ｄ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｍｎなどの少なく
とも一種の元素を合計で５原子％以下１原子％以上加え
た合金、あるいは、ＡｕにＣｒ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｐｄ、Ｐ
ｔ、Ｎｉなどの少なくとも一種の元素を合計で２０原子
％以下１原子％以上加えた合金などが例としてあげられ
るが、これらに限定されない。
なくとも保護層と記録層を順次積層したものであり、好
ましくは、基板上に、保護層、記録層、反射層を順次積
層したものであり、より好ましくは、図１に示されるよ
うに、基板１上に、第一保護層２、記録層３、第二保護
層４、反射層５を順次積層したものである。通常、膜厚
は、第一保護層：１００〜５００ｎｍ、記録層：１０〜
３０ｎｍ、第二保護層：１０〜３０ｎｍ、反射層：１０
〜２００ｎｍ程度である。各層の材質としては、基板：
ガラス、ポリカーボネート、ポリメチル・メタクリレー
ト、ポリオレフィン樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹
脂、保護層：ＺｎＳ、ＳｉＯ2 、窒化シリコン、酸化ア
ルミニウムなどの無機薄膜、ＺｎＳとＳｉＯ2 の混合
膜、ＺｎＳとＳｉＯ2 と炭素の混合膜、記録層：Ｐｄ−
Ｇｅ−Ｓｂ−Ｔｅ合金、Ｎｂ−Ｇｅ−Ｓｂ−Ｔｅ合金、
Ｐｔ−Ｇｅ−Ｓｂ−Ｔｅ合金、Ｎｉ−Ｇｅ−Ｓｂ−Ｔｅ
合金、Ｇｅ−Ｓｂ−Ｔｅ合金、Ｃｏ−Ｇｅ−Ｓｂ−Ｔｅ
合金、Ｉｎ−Ｓｂ−Ｔｅ合金、Ｉｎ−Ｓｅ合金、反射
層：Ａｌ、Ａｕなどの金属、およびこれらを主成分とす
る合金、より具体的にはＡｌにＳｉ、Ｍｇ、Ｃｕ、Ｐ
ｄ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｍｎなどの少なく
とも一種の元素を合計で５原子％以下１原子％以上加え
た合金、あるいは、ＡｕにＣｒ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｐｄ、Ｐ
ｔ、Ｎｉなどの少なくとも一種の元素を合計で２０原子
％以下１原子％以上加えた合金などが例としてあげられ
るが、これらに限定されない。
【００１３】本発明の光記録媒体の検査方法は、波長の
異なる複数の光を照射し、基板からの反射光を測定する
ことにより、保護層の光学的膜厚を検査することを特徴
とする。
異なる複数の光を照射し、基板からの反射光を測定する
ことにより、保護層の光学的膜厚を検査することを特徴
とする。
【００１４】基板からの反射光は、図１に示されるよう
に、保護層の先の記録層の手前で反射されたものである
ので、基板からの反射光を測定することにより検出され
る反射率は保護層の膜厚と相関関係がある。上述した通
り、２０ｎｍ程度膜厚が変化しても反射率はほぼ変わら
ないが、反射率と保護層の膜厚との相関関係は測定波長
に依存するので、本発明のように波長の異なる複数の光
を照射し反射率を検出すれば、反射率の微小な変化から
正確な光学的膜厚の管理が可能となる。ここで、光学的
膜厚とは、以上のような反射率の測定から求められる保
護層の膜厚のことをさし、実際の保護層の膜厚と一対一
に対応しているものである。
に、保護層の先の記録層の手前で反射されたものである
ので、基板からの反射光を測定することにより検出され
る反射率は保護層の膜厚と相関関係がある。上述した通
り、２０ｎｍ程度膜厚が変化しても反射率はほぼ変わら
ないが、反射率と保護層の膜厚との相関関係は測定波長
に依存するので、本発明のように波長の異なる複数の光
を照射し反射率を検出すれば、反射率の微小な変化から
正確な光学的膜厚の管理が可能となる。ここで、光学的
膜厚とは、以上のような反射率の測定から求められる保
護層の膜厚のことをさし、実際の保護層の膜厚と一対一
に対応しているものである。
【００１５】波長の異なる複数の光を照射し、基板から
の反射光を測定することにより保護層の光学的膜厚を検
査する方法として、最も好ましいのは、色彩色差計を用
いる方法である。色彩色差計とは、波長の異なる複数の
光を照射し、測定試料からの反射光を測定し反射率を検
出する手段と、該反射率の値から測定試料の色相、彩
度、明度に基づく三刺激値を求める手段とを備えるもの
である。
の反射光を測定することにより保護層の光学的膜厚を検
査する方法として、最も好ましいのは、色彩色差計を用
いる方法である。色彩色差計とは、波長の異なる複数の
光を照射し、測定試料からの反射光を測定し反射率を検
出する手段と、該反射率の値から測定試料の色相、彩
度、明度に基づく三刺激値を求める手段とを備えるもの
である。
【００１６】測定原理の一例について簡単に述べる。す
なわち、人間の目の分光感度（国際照明委員会（ＣＩ
Ｅ）１９３１）等色関数である可視領域に相当する等色
関数ｘ2 λ（Ｘの長波長側ピーク）、ｙλ、ｚλの感度
をもつセンサにより測定試料からの反射光を測定すると
共に、ｘ2 λ、ｙλ、ｚλ、の感度をもつセンサで照明
光源を直接測定して、試料の三刺激値Ｘ、Ｙ、Ｚを算出
し各種の色度を演算する。三刺激値Ｘ、Ｙ、Ｚは、色
相、彩度、明度の３つの独立変数に基づくものであり、
これらから各種の色度（表色系色度）を算出する。表色
系色度は、ＣＩＥに基づきＸＹＺ表色系（ＪＩＳ Ｚ８
７１）やＬ* ａ* ｂ* 表色系（ＪＩＳ Ｚ８７２９）や
ＵＣＳ（ＪＩＳ Ｚ８７２９）、などがある。このよう
に基板からの反射光を色度という数値で管理することに
より、保護層の光学的膜厚を間接的に数値で管理・検査
できる。色彩色差計としては、反射物体色ＣＩＥ表色系
デジタル色彩色差計ＣＲ−３００（ミノルタ（株）製）
などが挙げられる。
なわち、人間の目の分光感度（国際照明委員会（ＣＩ
Ｅ）１９３１）等色関数である可視領域に相当する等色
関数ｘ2 λ（Ｘの長波長側ピーク）、ｙλ、ｚλの感度
をもつセンサにより測定試料からの反射光を測定すると
共に、ｘ2 λ、ｙλ、ｚλ、の感度をもつセンサで照明
光源を直接測定して、試料の三刺激値Ｘ、Ｙ、Ｚを算出
し各種の色度を演算する。三刺激値Ｘ、Ｙ、Ｚは、色
相、彩度、明度の３つの独立変数に基づくものであり、
これらから各種の色度（表色系色度）を算出する。表色
系色度は、ＣＩＥに基づきＸＹＺ表色系（ＪＩＳ Ｚ８
７１）やＬ* ａ* ｂ* 表色系（ＪＩＳ Ｚ８７２９）や
ＵＣＳ（ＪＩＳ Ｚ８７２９）、などがある。このよう
に基板からの反射光を色度という数値で管理することに
より、保護層の光学的膜厚を間接的に数値で管理・検査
できる。色彩色差計としては、反射物体色ＣＩＥ表色系
デジタル色彩色差計ＣＲ−３００（ミノルタ（株）製）
などが挙げられる。
【００１７】このように色彩色差計を用いて光記録媒体
の検査を行うと、短時間で精度良く検査することができ
る。また、光学的膜厚に関するデータの管理、光記録媒
体の品質の管理を容易に行うことができる。この場合に
コンピュータを用いれば、さらに管理は容易になる。
の検査を行うと、短時間で精度良く検査することができ
る。また、光学的膜厚に関するデータの管理、光記録媒
体の品質の管理を容易に行うことができる。この場合に
コンピュータを用いれば、さらに管理は容易になる。
【００１８】本発明の光記録媒体の製造方法は、基板上
に保護層を形成し、該保護層上に記録層を形成した後、
上述の光記録媒体の検査方法により検査し、それによっ
て得られた保護層の光学的膜厚に関する情報を、保護層
形成工程にフィードバックし、保護層の膜厚形成条件
（例えば、スパッタリングで形成する場合にはその条
件）を修正することを特徴とする。すなわち、あらかじ
め、最良の光記録媒体の検査結果または最初に製造した
光記録媒体の検査結果を設定値として定めておき、その
値からずれた場合に膜厚形成条件を修正する。厚い方向
にずれていれば薄くなるように、薄い方向にずれていれ
ば厚くなるように条件を修正する。このような修正を行
いながら光記録媒体を製造すれば、一定品質の光記録媒
体を安定して製造できるので生産性が向上する。
に保護層を形成し、該保護層上に記録層を形成した後、
上述の光記録媒体の検査方法により検査し、それによっ
て得られた保護層の光学的膜厚に関する情報を、保護層
形成工程にフィードバックし、保護層の膜厚形成条件
（例えば、スパッタリングで形成する場合にはその条
件）を修正することを特徴とする。すなわち、あらかじ
め、最良の光記録媒体の検査結果または最初に製造した
光記録媒体の検査結果を設定値として定めておき、その
値からずれた場合に膜厚形成条件を修正する。厚い方向
にずれていれば薄くなるように、薄い方向にずれていれ
ば厚くなるように条件を修正する。このような修正を行
いながら光記録媒体を製造すれば、一定品質の光記録媒
体を安定して製造できるので生産性が向上する。
【００１９】つまり、従来は一波長における反射率の測
定を分光光度計によって行っていたので、保護層の光学
的膜厚の検査を生産ラインで行うことは困難であった
が、本発明の検査方法、特に色彩色差計を用いた検査方
法を使用することにより、保護層の光学的膜厚の検査を
生産ラインで行うことが可能となる。
定を分光光度計によって行っていたので、保護層の光学
的膜厚の検査を生産ラインで行うことは困難であった
が、本発明の検査方法、特に色彩色差計を用いた検査方
法を使用することにより、保護層の光学的膜厚の検査を
生産ラインで行うことが可能となる。
【００２０】
【実施例】以下に本発明を実施例に基づいて説明する。
【００２１】実施例１ 光記録媒体の各層の膜厚は、水晶振動子式膜厚計により
モニターした。
モニターした。
【００２２】透明基板上にスパッタリング装置によって
第１保護層は70.6ＺｎＳ26.4ＳｉＯ2 3.0 Ｃ（ａｔ％）
混合膜を１８６．５〜３９２．９ｎｍ任意に変えて形成
し、記録層は0.08Ｐｄ0.5 Ｎｂ19.0Ｇｅ25.4Ｓｂ55.0Ｔ
ｅ（ａｔ％）合金を２４ｎｍ形成し、第２保護層は72.8
ＺｎＳ27.2ＳｉＯ2 （ａｔ％）混合膜を２６ｎｍ形成
し、反射層は0.2 Ｐｄ1.4 Ｈｆ98.3Ａｌ（ａｔ％）合金
を１２０〜１４０ｎｍ形成し、スピンコートによってア
クリル酸エステル系紫外線硬化樹脂を８μｍ形成し、光
記録媒体を得た。
第１保護層は70.6ＺｎＳ26.4ＳｉＯ2 3.0 Ｃ（ａｔ％）
混合膜を１８６．５〜３９２．９ｎｍ任意に変えて形成
し、記録層は0.08Ｐｄ0.5 Ｎｂ19.0Ｇｅ25.4Ｓｂ55.0Ｔ
ｅ（ａｔ％）合金を２４ｎｍ形成し、第２保護層は72.8
ＺｎＳ27.2ＳｉＯ2 （ａｔ％）混合膜を２６ｎｍ形成
し、反射層は0.2 Ｐｄ1.4 Ｈｆ98.3Ａｌ（ａｔ％）合金
を１２０〜１４０ｎｍ形成し、スピンコートによってア
クリル酸エステル系紫外線硬化樹脂を８μｍ形成し、光
記録媒体を得た。
【００２３】得られた光記録媒体を反射物体色ＣＩＥ表
色系デジタル色彩色差計ＣＲ−３００（ミノルタ（株）
製）によって、基板側の表色系色度を測定した。表１に
第１保護層膜厚を変えた時の光記録媒体のＬ* ａ* ｂ*
表色の結果を示す。図２に色度図を示す。
色系デジタル色彩色差計ＣＲ−３００（ミノルタ（株）
製）によって、基板側の表色系色度を測定した。表１に
第１保護層膜厚を変えた時の光記録媒体のＬ* ａ* ｂ*
表色の結果を示す。図２に色度図を示す。
【００２４】第１保護層の膜厚を１８６．５ｎｍの赤色
から膜厚を厚くしていくと、赤紫−紫−青紫−青−緑−
黄緑の３９２．９ｎｍまで順に色の変化が色度図から確
認でき色相を数値で管理することができた。また、第１
保護層の膜厚差が１０ｎｍになると、実際にこの差を段
差計あるいはエリプソメータにより膜厚を測定しても手
間と、１検体あたりの測定時間が３０〜６０分かかり、
膜厚差が明確でないこともある。しかし、色彩色差計を
用いると、図２に示すように第１保護層の膜厚差が１０
〜２０ｎｍであっても非常に簡単に測定ができ、３秒で
精度良い膜厚値が得られた。
から膜厚を厚くしていくと、赤紫−紫−青紫−青−緑−
黄緑の３９２．９ｎｍまで順に色の変化が色度図から確
認でき色相を数値で管理することができた。また、第１
保護層の膜厚差が１０ｎｍになると、実際にこの差を段
差計あるいはエリプソメータにより膜厚を測定しても手
間と、１検体あたりの測定時間が３０〜６０分かかり、
膜厚差が明確でないこともある。しかし、色彩色差計を
用いると、図２に示すように第１保護層の膜厚差が１０
〜２０ｎｍであっても非常に簡単に測定ができ、３秒で
精度良い膜厚値が得られた。
【００２５】以上に述べてきたように従来技術では、目
視で色の判別をする際個人差が生じ、また知覚的な違い
を表すことができず色合わせのための第１保護層膜厚の
決定が困難であったが、本発明によると、短時間で検査
を行うことができ、かつ色を数値化して色相の判別をす
るので保護層の光学的膜厚の管理・検査が容易になる。
視で色の判別をする際個人差が生じ、また知覚的な違い
を表すことができず色合わせのための第１保護層膜厚の
決定が困難であったが、本発明によると、短時間で検査
を行うことができ、かつ色を数値化して色相の判別をす
るので保護層の光学的膜厚の管理・検査が容易になる。
【００２６】
【表１】 実施例２ 実施例１において、第１保護層の膜厚を２００ｎｍと固
定した以外同様にして、光記録媒体の製造および検査を
行った。それと同時に、検査によって得られた保護層の
光学的膜厚に関する情報を、保護層形成工程にフィード
バックし、保護層形成のスパッタリング条件を修正し
た。その結果、光記録媒体は安定した性能のものが得ら
れ、生産の収率が向上した。
定した以外同様にして、光記録媒体の製造および検査を
行った。それと同時に、検査によって得られた保護層の
光学的膜厚に関する情報を、保護層形成工程にフィード
バックし、保護層形成のスパッタリング条件を修正し
た。その結果、光記録媒体は安定した性能のものが得ら
れ、生産の収率が向上した。
【００２７】
【発明の効果】本発明の光記録媒体の検査方法によれ
ば、保護層の形成状態を短時間で精度よく検査すること
ができ、保護層の光学的膜厚の管理・検査も容易にな
る。この検査を公知の自動測定可能な色彩色差計を用い
て行えば、さらに短時間で精度よく検査ができ、かつ光
学的膜厚のデータ管理、品質管理が容易に行える。この
場合、コンピュータを用いてデータ管理、品質管理がで
きる。この検査方法を光記録媒体の製造方法に適用し、
保護層形成工程へフィードバックすることによって生産
の収率が向上する。
ば、保護層の形成状態を短時間で精度よく検査すること
ができ、保護層の光学的膜厚の管理・検査も容易にな
る。この検査を公知の自動測定可能な色彩色差計を用い
て行えば、さらに短時間で精度よく検査ができ、かつ光
学的膜厚のデータ管理、品質管理が容易に行える。この
場合、コンピュータを用いてデータ管理、品質管理がで
きる。この検査方法を光記録媒体の製造方法に適用し、
保護層形成工程へフィードバックすることによって生産
の収率が向上する。
【図１】本発明にかかる光記録媒体の一例を表す概略断
面図である。
面図である。
【図２】本発明にかかる光記録媒体の検査結果の一例を
表す色度図である。
表す色度図である。
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G11B 7/26 G01B 11/06 G11B 23/00
Claims (5)
- 【請求項１】基板上に少なくとも保護層と記録層を順次
積層した光記録媒体の検査方法において、波長の異なる
複数の光を照射し、基板からの反射光を測定することに
より保護層の光学的膜厚を検査することを特徴とする光
記録媒体の検査方法。 - 【請求項２】波長の異なる複数の光を照射し、測定試料
からの反射光を測定し反射率を検出する手段と、該反射
率の値から測定試料の色相、彩度、明度に基づく三刺激
値を求める手段とを備える色彩色差計を用いて、保護層
の光学的膜厚を検査することを特徴とする請求項１記載
の光記録媒体の検査方法。 - 【請求項３】基板上に少なくとも保護層と記録層を積層
した光記録媒体の製造方法において、波長の異なる複数
の光を照射し、基板からの反射光を測定することにより
前記保護層の光学的膜厚を検査し、保護層の膜厚形成条
件を修正することを特徴とする光記録媒体の製造方法。 - 【請求項４】下記の（１）〜（４）の工程を含むことを
特徴とする請求項３記載の光記録媒体の製造方法。 （１）基板上に保護層を形成する第一工程。 （２）保護層上に記録層を形成する第二工程。 （３）波長の異なる複数の光を照射し、基板からの反射
光を測定することにより前記保護層の光学的膜厚を検査
する第三工程。 （４）前記第三工程で得られた保護層の光学的膜厚に関
する情報を、前記第一工程にフィードバックし、保護層
の膜厚形成条件を修正する第四工程。 - 【請求項５】前記保護層の光学的膜厚を検査する工程に
おいて、波長の異なる複数の光を照射し、測定試料から
の反射光を測定し反射率を検出する手段と、該反射率の
値から測定試料の色相、彩度、明度に基づく三刺激値を
求める手段とを備える色彩色差計を用いて、保護層の光
学的膜厚を検査することを特徴とする請求項３または４
記載の光記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5290703A JP2973803B2 (ja) | 1993-11-19 | 1993-11-19 | 光記録媒体の検査方法および製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5290703A JP2973803B2 (ja) | 1993-11-19 | 1993-11-19 | 光記録媒体の検査方法および製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07141703A JPH07141703A (ja) | 1995-06-02 |
| JP2973803B2 true JP2973803B2 (ja) | 1999-11-08 |
Family
ID=17759424
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5290703A Expired - Fee Related JP2973803B2 (ja) | 1993-11-19 | 1993-11-19 | 光記録媒体の検査方法および製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2973803B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1760423A1 (en) | 2005-09-06 | 2007-03-07 | Ricoh Company, Ltd. | Method of inspecting optical recording medium |
| JP4871435B1 (ja) * | 2011-04-12 | 2012-02-08 | 株式会社ニレコ | 膜厚測定装置及び膜厚測定方法 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008205188A (ja) | 2007-02-20 | 2008-09-04 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 膜厚計測方法及びその装置ならびに薄膜製造システム |
| WO2010013325A1 (ja) * | 2008-07-30 | 2010-02-04 | 株式会社ニレコ | 分光測光装置 |
-
1993
- 1993-11-19 JP JP5290703A patent/JP2973803B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1760423A1 (en) | 2005-09-06 | 2007-03-07 | Ricoh Company, Ltd. | Method of inspecting optical recording medium |
| JP4871435B1 (ja) * | 2011-04-12 | 2012-02-08 | 株式会社ニレコ | 膜厚測定装置及び膜厚測定方法 |
| WO2012140693A1 (ja) * | 2011-04-12 | 2012-10-18 | 株式会社ニレコ | 膜厚測定装置及び膜厚測定方法 |
| US8736851B2 (en) | 2011-04-12 | 2014-05-27 | Nireco Corporation | Film thickness measuring device and film thickness measuring method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07141703A (ja) | 1995-06-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100624542B1 (ko) | 막 두께 측정 방법 및 장치 | |
| US6511363B2 (en) | Polishing end point detecting device for wafer polishing apparatus | |
| US6091485A (en) | Method and apparatus for optically determining physical parameters of underlayers | |
| CN103140750B (zh) | 反射率测定装置、反射率测定方法、膜厚测定装置及膜厚测定方法 | |
| US20070086009A1 (en) | Process for the colour measurement of printed samples including brighteners | |
| JPH0791921A (ja) | 膜厚測定方法 | |
| JP2008145225A (ja) | 光学特性測定方法及び光学特性測定装置 | |
| JPH03501059A (ja) | 歯科補綴物等の物体の色の決定方法 | |
| JP2006220525A (ja) | 膜厚測定方法および膜厚測定プログラム | |
| JP2973803B2 (ja) | 光記録媒体の検査方法および製造方法 | |
| CN112595673A (zh) | 一种单晶金刚石衬底光学常数测量方法 | |
| JP2003282507A (ja) | 光学測定による残膜の判定方法 | |
| TW448078B (en) | Method for regulating a coating process | |
| JPH04301506A (ja) | 真空蒸着装置に於ける光学定数と膜厚の測定方法及び測定装置 | |
| JPH11230719A (ja) | 光記録媒体の検査方法および製造方法 | |
| JP2001165628A (ja) | 膜厚測定装置 | |
| US4988203A (en) | Device for inspecting an interference filter for a projection television display tube | |
| US20080013176A1 (en) | Method for designing gratings | |
| EP1719971B1 (en) | Optical stacked structure inspecting method and optical stacked structure inspecting apparatus | |
| JP2001126324A (ja) | 光記録媒体の製造方法 | |
| JP3706989B2 (ja) | 蛍光ｘ線を用いた膜厚測定方法 | |
| JPH0634523A (ja) | 偏光解析方法およびこれによるエリプソメータ | |
| JPH06331323A (ja) | 磁気記録媒体の保護層の膜厚測定方法 | |
| JPH10253324A (ja) | 多層薄膜の膜厚測定方法と光学情報記録媒体の製造方法及び製造装置 | |
| JPH1186350A (ja) | 光記録媒体の検査方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |