JP2008205188A - 膜厚計測方法及びその装置ならびに薄膜製造システム - Google Patents
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- 239000010408 film Substances 0.000 title claims abstract description 245
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 26
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims description 41
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 53
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims abstract description 47
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 38
- 239000012788 optical film Substances 0.000 claims abstract description 30
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 7
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims description 5
- 238000005286 illumination Methods 0.000 abstract description 13
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 32
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 12
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 11
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 7
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 7
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 7
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 6
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 5
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 5
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 5
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 3
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- TVEXGJYMHHTVKP-UHFFFAOYSA-N 6-oxabicyclo[3.2.1]oct-3-en-7-one Chemical compound C1C2C(=O)OC1C=CC2 TVEXGJYMHHTVKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000047875 Pica hudsonia Species 0.000 description 1
- DIZPMCHEQGEION-UHFFFAOYSA-H aluminium sulfate (anhydrous) Chemical compound [Al+3].[Al+3].[O-]S([O-])(=O)=O.[O-]S([O-])(=O)=O.[O-]S([O-])(=O)=O DIZPMCHEQGEION-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910021424 microcrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 1
- 238000001782 photodegradation Methods 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 238000002230 thermal chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
- G01B11/0625—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating with measurement of absorption or reflection
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
- H01L31/20—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof such devices or parts thereof comprising amorphous semiconductor materials
- H01L31/206—Particular processes or apparatus for continuous treatment of the devices, e.g. roll-to roll processes, multi-chamber deposition
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
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Abstract
【解決手段】ライン照明器3により、基板W上に製膜された透明導電膜または透明光学膜にライン照明光を照射し、透明導電膜または透明光学膜で反射されたライン反射光をカメラで検出し、検出した反射光の色評価値を計測し、色評価値と膜厚とが関連付けられている膜厚特性を用いて、計測した色評価値に対応する膜厚を求める。
【選択図】図1
Description
ここで、タンデム型太陽電池を例に挙げると、トップセルとボトムセルとの間に中間コンタクト層と呼ばれる薄膜を形成してトップセルとボトムセルの発電電流のバランスを適正化することがある。トップセルは、例えば、アモルファスシリコンからなる光電変換層であり、中間コンタクト層は、例えば、透明導電膜であり、ボトムセルは、例えば、結晶質シリコンからなる光電変換層である。
また、透明導電膜や透明光学膜は、上述したタンデム型太陽電池の中間コンタクト層に限らず、薄膜型太陽電池、多接合型の薄膜太陽電池、更には、薄膜トランジスタなど半導体デバイスの電極、液晶パネルの液晶駆動電極等の様々な分野で利用されており、必要に応じて膜厚検査が実施されている。
従って、試験片を切り取った基板は、商品として取り扱えなくなり、歩留まりが低下する。また、作業員が試験片を切り出し、検査装置に設置しなければならないため、作業員の負担が大きいという問題があった。更に、全ての基板を検査することができず、評価結果が出るまで時間を要し、製造ラインへの結果のフィードバックが出来ずに生産の安定性を低下し歩留まりが低下する要因になっていた。
また、製造ラインにおいては簡単に膜厚をオンライン評価できる手法が望まれている。
本発明は、透明導電膜および透明光学膜の少なくともいずれか一方の膜厚計測が可能な膜厚計測方法であって、製造ラインを搬送される基板上に製膜された透明導電膜または透明光学膜に膜面側から光を照射し、前記透明導電膜または前記透明光学膜で反射された反射光を検出し、検出した反射光の色評価値を計測し、色評価値と膜厚とが関連付けられている膜厚特性を用いて、計測した前記色評価値に対応する膜厚を求める膜厚計測方法を提供する。
そこで、本発明では、このスペクトル変化を捉えて、色評価値(色味)として定量化することで、膜厚計測を可能としている。計測対象の下地基材の平滑性に応じて、反射状態は、正反射と拡散反射の混ざり具合が変わるが、基材の平滑性に依らず、膜厚に応じて干渉条件が変化して、色評価値(色味)が変化することは実験的にも観察確認することができた。さらに、膜厚に応じた干渉条件の変化に起因する反射スペクトルの変化の様子は、一般的な市販の光学薄膜計算ソフトを用いた薄膜多重干渉計算によっても、妥当性が確認できた。
更に、上記方法によれば、製造ラインを搬送される基板上に製膜された透明導電膜や透明光学膜に対して光を照射するので、干渉式膜厚計測装置等の専用の測定装置を用いることなく、容易に膜厚計測を行うことが可能となる。上記方法によれば、全数の製造基板の非破壊検査が可能となり、歩留まりが向上する。製造ラインからラインアウトした基板からの試験片の切り出しを不要にでき、作業員の負担を軽減することができる。
上記色評価値としては、例えば、色差またはRGBの光強度等を用いることが可能である。また、上記色差としては、例えば、L*a*b*表色系におけるa*及びb*等を用いることが可能である。
これにより、膜厚計測時においては、この膜厚特性を用いることで、膜厚を容易に求めることができる。
例えば、上記膜厚特性は、図4に示すように、横軸にa*、縦軸にb*が示されたa*b*座標軸上に、所定の膜厚刻みで(a*,b*)の点をプロットし、これらの点(a*,b*)を直線、あるいは最小二乗法などによる近似関数で結んでグラフ化したものである。
このような方法によれば、評価する反射光として、単に反射光強度を計測するのではなく、色評価に適したa*及びb*と膜厚との相関関係を用いることで、計測対象膜の膜厚を精度よく計測することができる。
このように光照射手段を配置することで、薄膜デバイスに用いられる透明導電膜や透明光学膜の膜厚を容易に計測することが可能となる。
本発明は、上記膜厚計測装置を用いて製造した薄膜デバイスを提供する。
本発明によれば、膜厚変動を監視できるので、デバイス性能を高く、歩留まりを向上し、製造効率を向上させるという効果を奏する。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る膜厚計測装置の全体構成を示した図である。
図1に示した膜厚計測装置において、基板Wは、搬送コンベア1により搬送方向(図中Y方向)に搬送される。この基板Wは、透明ガラス基板の上に、熱CVD装置で透明電極膜、プラズマCVD装置でアモルファスシリコン膜の光電変換層であるトップセル、スパッタリング装置で中間コンタクト層がこの順で製膜されたものである。中間コンタクト層は例えば、GZO(GaドープZnO)を10nm〜150nmスパッタリング装置により製膜したものである。図1では基板Wの搬送コンベア1側が透明ガラス基板で、搬送コンベア1の反対側に透明導電膜、薄膜シリコンによる光電変換層が積層されている。
搬送コンベア1の上方には、カメラ(光検出手段)2とライン照明器(光照射手段)3とが配置されている。カメラ2には、例えば、カラーラインセンサカメラ、カラーエリアカメラ、いわゆるCCDカメラ等を適用することが可能である。本実施形態では、カメラ2として、撮像素子(例えば、CCD素子)と撮像用レンズ系とで構成されるものを採用している。
また、搬送コンベア1の下方には、上記ライン照明光L1が照射される位置に基準白色板20が設けられている。この基準白色板20は、基準となる色の情報を取得するために用いられるものである。基準白色板は特に材料の指定はなく、画像撮影の技術分野において、白色とみなせるものであれば使用可能である。例えば、分光計測用で常用される白板(硫酸アルミニウム粉末をペレット状に固めたもの)や、白色の紙、市販の色差計で常用される白色基準等が使用可能である。
コンピュータ(色計測手段および膜厚計測手段)7は、カメラ2からのカラー画像信号Cを受信すると、これらのカラー画像信号Cをメモリ上で二次元的に配列することにより、基板Wの表面画像を示す二次元画像を作成する。
まず、コンピュータ7は、ライン照明器3を点灯させた状態において、搬送コンベア1上に載置された基板Wを搬送方向Yに搬送させる。これにより、ライン照明器3から射出されたライン照明光L1(図2参照)は、基板Wの表面に形成されている中間コンタクト層上において反射される。また、この基板Wの移動に応じてエンコーダ6からパルス信号Pがコンピュータ7に送られる。コンピュータ7は、このパルス信号Pを受信する毎に、トリガ信号Tをカメラ2に送る。これにより、基板Wの移動に応じてカメラ2によりライン反射光L2(図2参照)が受光され、カラー画像信号Cが次々とコンピュータ7に送られることとなる。コンピュータ7は、カメラ2からの多数ラインのカラー画像信号Cを受信すると、これらを二次元配置することにより、二次元画像を作成する。
このようにして二次元画像が作成されると、コンピュータ7は、次に示す膜厚計測処理を実行することにより、膜厚計測を行う。以下、膜厚計測処理について具体的に説明する。
この膜厚特性は、中間コンタクト層の膜厚と、中間コンタクト層に光を照射したときの反射光の色味(以下「色評価値」という。)との相関関係を示したものである。
色評価値としては、色味を表す各種パラメータを用いることが可能である。例えば、RGBにおける各色の光強度、CIE−XYZ表色系におけるXYZの値、或いは、CIE−L*a*b*表色系におけるL*a*b*の値等を用いることが可能である。L*a*b*は、JIS Z 8729において規定されるL*a*b*(エルスター・エイスター・ビースター)表色系であり、色差を表す。L*:明度(輝度)、a*:赤−緑色相のクロマティックネス指数、b*:黄−青色相のクロマティックネス指数をそれぞれ表している。
膜厚の評価にあたっては、単なる反射光強度ではなく、色評価に適したパラメータ(a*、b*)と膜厚との相関関係を見出して、これを利用したものである。
まず、別途干渉式膜厚計測装置などにより計測・評価して、互いに異なる既知の膜厚を持ち評価対象膜の基板と略同一構造のサンプルを所定の膜厚刻みで用意し、これらサンプルを図1に示した搬送ライン1上に載置し、ライン照明器3から照明光を照射し、反射光をカメラ2で取り込み、コンピュータ7で画層処理をする。このときの反射光の光評価値、つまり、CIE−L*a*b*表色系におけるa*及びb*の値を計測する(図3のステップSA1)。
この結果、図4に示すように、各膜厚と各色評価値とを対応付ける膜厚特性が作成される。作成した膜厚特性は、コンピュータ7が備える所定のメモリエリアに格納され(図3のステップSA4)、後述する膜厚計測処理において用いられることとなる。
なお、図4は、一定の膜厚刻みで用意した既知の膜厚を持つ8個のサンプルX1〜X8の(a*,b*)の点をプロットし、これらを近似関数で結ぶことで得られた厚膜特性の一例を示している。
ここで、膜厚の評価になる膜内多重干渉は下地膜、たとえば太陽電池における透明導電膜の凹凸やトップ層が影響するために膜内多重干渉状況が変わることがある。このためサンプル膜厚に基づく図4のような膜厚特性を作成する際は、実際に評価する下地膜と膜厚に近い状況にあることが、より好ましい。
まず、コンピュータ7では、カメラ2からのカラー画像信号Cに基づいて作成した二次元画像に対して画像処理を施すことにより、色評価値を計測する。具体的には、コンピュータ7は、RGB画像データからCIE−XYZ表色系に変換し(図5のステップSB1)、更に、CIE−XYZ表色系をCIE−L*a*b*表色系に変換することで、色差データを求める(ステップSB2)。なお、これら変換は、公知の手法を用いることで容易に行うことができる。
またスパッタリング装置自体が感知できないトラブルで膜形成が不良となった場合も即刻に判断がつき、素早い修復対応が可能となる。すなわち、管理目標とする平均膜厚と膜厚分布の基準値に対して評価し、製膜状況をオンラインで監視することで、発電効率が高い生産状況を維持し、不良発生時には極めて短時間で判断が付くので、製膜形成の品質が安定し歩留まりが向上する。これにより製造効率が向上する。
なお、本実施形態においては、画素毎に膜厚を検出していたが、これに代えて、所定の領域ごとに平均膜厚を求めることとしてもよい。例えば、図5のステップSB1において、2次元画像を所定の領域ごとに分割し、各領域におけるRGBのデータ値の平均を算出し、その後は、この平均値を用いて処理を進めることにより、領域毎に平均膜厚を求めることとしてもよい。このように領域毎に膜厚を求めることにより、処理を軽減させることができる。
例えば、コンピュータ7に、膜厚や膜厚分布の適正範囲を登録しておき、膜厚が適正範囲外である面積を求め、基板全体の面積に対する当該面積の割合が予め設定されている基準値を超えた場合や、膜厚分布が予め設定されている基準値を超えた場合に、不具合品であると判定し、その旨を表示装置8に表示することとしてもよい。
次に、本発明の第2の実施形態に係る膜厚計測装置について説明する。本実施形態に係る膜厚計測装置は、上述した第1の実施形態に係る膜厚計測装置と略同じであるが、カメラ2とライン照明器3の配置が異なる。
以下、第1の実施形態に係る膜厚計測装置と異なる点について主に説明する。
このように配置することで、ライン照明器の位置調整、すなわち、照度分布調整が容易となる。
次に、本発明の第3の実施形態に係る膜厚計測装置について説明する。本実施形態に係る膜厚計測装置は、上述した第1の実施形態に係る膜厚計測装置と略同じであるが、カメラ2とライン照明器3の配置が異なる。
以下、第1の実施形態に係る膜厚計測装置と異なる点について主に説明する。
このように配置することで、正反射光を受光することが可能となるので、光の受光レベルが高くなり、迷光等の外乱に強くなるという効果が得られる。
また、裏面電極において、第二透明導電膜と金属電極膜で構成した場合に、この第二透明導電膜の膜厚計測に用いることが可能である。
なお、上述した薄膜太陽電池において、結晶質シリコン系とは、アモルファスシリコン系すなわち非晶質シリコン系以外のシリコン系を意味するものであり、微結晶シリコン系や多結晶シリコン系も含まれる。
2 カメラ
3 ライン照明器
4 光源用電源
5 光電スイッチ
6 ロータリエンコーダ
7 コンピュータ
8 表示装置
W 基板
Claims (7)
- 透明導電膜および透明光学膜の少なくともいずれか一方の膜厚計測が可能な膜厚計測方法であって、
製造ラインを搬送される基板上に製膜された透明導電膜または透明光学膜に膜面側から光を照射し、
前記透明導電膜または前記透明光学膜で反射された反射光を検出し、
検出した反射光の色評価値を計測し、
色評価値と膜厚とが関連付けられている膜厚特性を用いて、計測した前記色評価値に対応する膜厚を求める膜厚計測方法。 - 互いに異なる既知の膜厚を有する複数のサンプルについて、前記色評価値をそれぞれ計測し、計測した該色評価値と前記膜厚とを関連付けることにより前記膜厚特性を作成する請求項1に記載の膜厚計測方法。
- 透明導電膜および透明光学膜の少なくともいずれか一方の膜厚計測が可能な膜厚計測装置であって、
製造ラインを搬送される基板上に製膜された透明導電膜または透明光学膜に膜面側から光を照射する光照射手段と、
前記透明導電膜または前記透明光学膜で反射された反射光を検出する光検出手段と、
検出した反射光の色評価値を計測する色計測手段と、
色評価値と膜厚とが関連付けられている膜厚特性を用いて、計測した前記色評価値に対応する膜厚を求める膜厚計測手段と
を具備する膜厚計測装置。 - 前記膜厚特性は、互いに異なる既知の膜厚を有する複数のサンプルについて、前記色評価値をそれぞれ計測し、計測した該色評価値と前記膜厚とを関連付けることにより作成される請求項3に記載の膜厚計測装置。
- 前記光照射手段が、薄膜デバイス製造ラインを搬送される薄膜デバイス用基板上に製膜された前記透明導電膜または前記透明光学膜に対して光を照射可能な位置に設置されている請求項3または請求項4に記載の膜厚計測装置。
- 請求項5に記載の膜厚計測装置を備える薄膜製造装置であって、薄膜形成状況を監視する薄膜デバイスの製造システム。
- 請求項5に記載の膜厚計測装置を用いて製造した薄膜デバイス装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007039595A JP2008205188A (ja) | 2007-02-20 | 2007-02-20 | 膜厚計測方法及びその装置ならびに薄膜製造システム |
PCT/JP2007/071180 WO2008114471A1 (ja) | 2007-02-20 | 2007-10-31 | 膜厚計測方法及びその装置ならびに薄膜デバイスの製造システム |
CN2007800476073A CN101568796B (zh) | 2007-02-20 | 2007-10-31 | 膜厚计测方法及其装置、以及薄膜设备的制造系统 |
US12/517,110 US8184303B2 (en) | 2007-02-20 | 2007-10-31 | Film-thickness measurement method and apparatus therefor, and thin-film device fabrication system |
EP07830914A EP2124016A1 (en) | 2007-02-20 | 2007-10-31 | Film thickness measuring method, its apparatus, and manufacturing system for thin-film device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007039595A JP2008205188A (ja) | 2007-02-20 | 2007-02-20 | 膜厚計測方法及びその装置ならびに薄膜製造システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008205188A true JP2008205188A (ja) | 2008-09-04 |
Family
ID=39765590
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007039595A Pending JP2008205188A (ja) | 2007-02-20 | 2007-02-20 | 膜厚計測方法及びその装置ならびに薄膜製造システム |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8184303B2 (ja) |
EP (1) | EP2124016A1 (ja) |
JP (1) | JP2008205188A (ja) |
CN (1) | CN101568796B (ja) |
WO (1) | WO2008114471A1 (ja) |
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---|---|---|---|---|
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- 2007-02-20 JP JP2007039595A patent/JP2008205188A/ja active Pending
- 2007-10-31 WO PCT/JP2007/071180 patent/WO2008114471A1/ja active Application Filing
- 2007-10-31 CN CN2007800476073A patent/CN101568796B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2007-10-31 EP EP07830914A patent/EP2124016A1/en not_active Withdrawn
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8184303B2 (en) | 2012-05-22 |
US20100177326A1 (en) | 2010-07-15 |
CN101568796B (zh) | 2013-03-27 |
CN101568796A (zh) | 2009-10-28 |
WO2008114471A1 (ja) | 2008-09-25 |
EP2124016A1 (en) | 2009-11-25 |
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Legal Events
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---|---|---|---|
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|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
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|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
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