JPH06331323A - 磁気記録媒体の保護層の膜厚測定方法 - Google Patents
磁気記録媒体の保護層の膜厚測定方法Info
- Publication number
- JPH06331323A JPH06331323A JP12223593A JP12223593A JPH06331323A JP H06331323 A JPH06331323 A JP H06331323A JP 12223593 A JP12223593 A JP 12223593A JP 12223593 A JP12223593 A JP 12223593A JP H06331323 A JPH06331323 A JP H06331323A
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- Japan
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- recording medium
- magnetic recording
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- Pending
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 強磁性金属薄膜からなる磁性層上に保護膜を
有する磁気記録媒体の保護層の膜厚測定方法に関し、４
００〜７００ｎｍの波長域に吸光特性を有する保護層の
膜厚を、精度良く、かつ短時間に測定することができる
磁気記録媒体の保護層の膜厚測定方法を提供する。 【構成】 磁気記録媒体の非磁性基板１上の強磁性金属
膜からなる磁性層４の上に形成され、４００〜７００ｎ
ｍの波長域に吸光特性をもつ保護層５に、キセノンラン
プ光を照射し、前記磁気記録媒体からの反射光の４００
〜７００ｎｍの波長域を分光して、該反射光の強度を測
定し、該反射光の強度から算出されたＣＩＥ１９７６Ｌ
* ａ* ｂ* 表色系の明度指数Ｌ* 及びマクロネス指数ｂ
* のうち少なくともいずれかにより前記保護層５の膜厚
を求める。
有する磁気記録媒体の保護層の膜厚測定方法に関し、４
００〜７００ｎｍの波長域に吸光特性を有する保護層の
膜厚を、精度良く、かつ短時間に測定することができる
磁気記録媒体の保護層の膜厚測定方法を提供する。 【構成】 磁気記録媒体の非磁性基板１上の強磁性金属
膜からなる磁性層４の上に形成され、４００〜７００ｎ
ｍの波長域に吸光特性をもつ保護層５に、キセノンラン
プ光を照射し、前記磁気記録媒体からの反射光の４００
〜７００ｎｍの波長域を分光して、該反射光の強度を測
定し、該反射光の強度から算出されたＣＩＥ１９７６Ｌ
* ａ* ｂ* 表色系の明度指数Ｌ* 及びマクロネス指数ｂ
* のうち少なくともいずれかにより前記保護層５の膜厚
を求める。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は強磁性金属薄膜からなる
磁性層上に保護膜を有する磁気記録媒体の保護層の膜厚
測定方法に関する。
磁性層上に保護膜を有する磁気記録媒体の保護層の膜厚
測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、磁気記録媒体の保護層の膜厚を測
定する方法としてＸ線蛍光分析法が一般的である。これ
は、１次Ｘ線で保護層を構成する原子を励起し、放射さ
れる２次Ｘ線をＸ線分光計にかけて蛍光Ｘ線スペクトル
を測定し、そのピーク強度から膜厚を算出するものであ
る。
定する方法としてＸ線蛍光分析法が一般的である。これ
は、１次Ｘ線で保護層を構成する原子を励起し、放射さ
れる２次Ｘ線をＸ線分光計にかけて蛍光Ｘ線スペクトル
を測定し、そのピーク強度から膜厚を算出するものであ
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の上記Ｘ
線蛍光分析法によれば、原子番号が２０以上のエネルギ
の低い蛍光を放出する元素の場合、測定精度が落ちるこ
と、測定に時間がかかること等の問題がある。
線蛍光分析法によれば、原子番号が２０以上のエネルギ
の低い蛍光を放出する元素の場合、測定精度が落ちるこ
と、測定に時間がかかること等の問題がある。
【０００４】本発明はかかる従来例の問題点に鑑み創作
されたものであり、４００〜７００ｎｍの波長域に吸光
特性を有する保護層の膜厚を、精度良く、かつ短時間に
測定することができる磁気記録媒体の保護層の膜厚測定
方法の提供を目的とする。
されたものであり、４００〜７００ｎｍの波長域に吸光
特性を有する保護層の膜厚を、精度良く、かつ短時間に
測定することができる磁気記録媒体の保護層の膜厚測定
方法の提供を目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題は、磁気記録媒
体の非磁性基板上の強磁性金属膜からなる磁性層の上に
形成され、４００〜７００ｎｍの波長域に吸光特性をも
つ保護層に、キセノンランプ光を照射し、前記磁気記録
媒体からの反射光の４００〜７００ｎｍの波長域を分光
して、該反射光の強度を測定し、該反射光の強度から算
出されたＣＩＥ１９７６Ｌ* ａ* ｂ* 表色系の明度指数
Ｌ* 及びマクロネス指数ｂ* のうち少なくともいずれか
により前記保護層の膜厚を求めることを特徴とする磁気
記録媒体の保護層の膜厚測定方法によって達成される。
体の非磁性基板上の強磁性金属膜からなる磁性層の上に
形成され、４００〜７００ｎｍの波長域に吸光特性をも
つ保護層に、キセノンランプ光を照射し、前記磁気記録
媒体からの反射光の４００〜７００ｎｍの波長域を分光
して、該反射光の強度を測定し、該反射光の強度から算
出されたＣＩＥ１９７６Ｌ* ａ* ｂ* 表色系の明度指数
Ｌ* 及びマクロネス指数ｂ* のうち少なくともいずれか
により前記保護層の膜厚を求めることを特徴とする磁気
記録媒体の保護層の膜厚測定方法によって達成される。
【０００６】
【作用】本発明に係る膜厚測定方法によれば、４００〜
７００ｎｍの波長域に吸光特性を有する炭素保護層にキ
セノンランプ光（ＣＩＥ標準Ｃ光）を照射し、磁気記録
媒体表面からの正反射を含む反射光を、分光センサによ
り、４００〜７００ｎｍの波長域において、例えば１０
ｎｍピッチで分光する。これにより測定された光の強度
から三刺激値を求め、次の式からＬ* 値，ａ* 値，ｂ*
値がそれぞれ算出できる。
７００ｎｍの波長域に吸光特性を有する炭素保護層にキ
セノンランプ光（ＣＩＥ標準Ｃ光）を照射し、磁気記録
媒体表面からの正反射を含む反射光を、分光センサによ
り、４００〜７００ｎｍの波長域において、例えば１０
ｎｍピッチで分光する。これにより測定された光の強度
から三刺激値を求め、次の式からＬ* 値，ａ* 値，ｂ*
値がそれぞれ算出できる。
【０００７】 Ｌ* ＝１１６（Ｙ／Ｙ0 ）1/3 −１６ …（１） ａ* ＝５００〔（Ｘ／Ｘ0 ）1/3 −（Ｙ／Ｙ0 ）1/3 〕 …（２） ｂ* ＝２００〔（Ｙ／Ｙ0 ）1/3 −（Ｚ／Ｚ0 ）1/3 〕 …（３） （Ｘ／Ｘ0 ，Ｙ／Ｙ0 ，Ｚ／Ｚ0 ＞０．０１） 但し、Ｘ0 ，Ｙ0 （＝１００），Ｚ0 は三刺激値であ
る。
る。
【０００８】この３つのパラメータのうち、Ｌ* 及びｂ
* は保護層の膜厚に依存することが本願発明者の実験に
より確かめられた。また、測定の再現性も良いことが確
かめられた。
* は保護層の膜厚に依存することが本願発明者の実験に
より確かめられた。また、測定の再現性も良いことが確
かめられた。
【０００９】これにより、分光センサにより反射光の強
度を測定し、かつＬ* 及びｂ* 値のうち少なくともいず
れかを算出することで、４００〜７００ｎｍの波長域に
吸光特性を有する保護層の膜厚を精度良く、かつ短時間
に求めることができる。
度を測定し、かつＬ* 及びｂ* 値のうち少なくともいず
れかを算出することで、４００〜７００ｎｍの波長域に
吸光特性を有する保護層の膜厚を精度良く、かつ短時間
に求めることができる。
【００１０】
【実施例】以下に、本発明の実施例について図面を参照
しながら説明する。図１は、本発明の実施例に係る炭素
保護層（保護層）の膜厚測定に用いられる磁気記録媒体
の断面図である。
しながら説明する。図１は、本発明の実施例に係る炭素
保護層（保護層）の膜厚測定に用いられる磁気記録媒体
の断面図である。
【００１１】図１に示すように、表面が微細に荒れたニ
ッケル−リン合金層（Ｎｉ−Ｐ合金層）２で被覆された
アルミニウム合金基板（非磁性基板）１上にマグネトロ
ンスパッタ装置を用いて、クロム（Ｃｒ）下地層３、コ
バルト（Ｃｏ）合金磁性層４が順次形成され、更にその
上に４００〜７００ｎｍの波長域に吸光特性をもつ炭素
保護層５が形成されて、磁気記録媒体となる。なお、炭
素保護膜５の膜厚とｂ* 値又はＬ* 値との相関を求める
ため、炭素保護膜５の膜厚を１１０Åから２３０Åまで
変化させた。膜厚は段差計で測定した。
ッケル−リン合金層（Ｎｉ−Ｐ合金層）２で被覆された
アルミニウム合金基板（非磁性基板）１上にマグネトロ
ンスパッタ装置を用いて、クロム（Ｃｒ）下地層３、コ
バルト（Ｃｏ）合金磁性層４が順次形成され、更にその
上に４００〜７００ｎｍの波長域に吸光特性をもつ炭素
保護層５が形成されて、磁気記録媒体となる。なお、炭
素保護膜５の膜厚とｂ* 値又はＬ* 値との相関を求める
ため、炭素保護膜５の膜厚を１１０Åから２３０Åまで
変化させた。膜厚は段差計で測定した。
【００１２】次に、上記の磁気記録媒体を用いて炭素保
護層５の膜厚を測定する方法について説明する。
護層５の膜厚を測定する方法について説明する。
【００１３】即ち、キセノンランプ光（ＣＩＥ標準Ｃ
光）を照射し、磁気記録媒体表面からの正反射光を含む
反射光を、色彩色差計（分光センサ）により、４００〜
７００ｎｍの波長域において１０ｎｍピッチで分光す
る。その光の強度から三刺激値を算出し、次の式からＬ
* 値，ａ* 値，ｂ* 値（ＪＩＳＺ８７２９−（１９８
０）Ｌ* ａ* ｂ* 表色系）をそれぞれ求めた。
光）を照射し、磁気記録媒体表面からの正反射光を含む
反射光を、色彩色差計（分光センサ）により、４００〜
７００ｎｍの波長域において１０ｎｍピッチで分光す
る。その光の強度から三刺激値を算出し、次の式からＬ
* 値，ａ* 値，ｂ* 値（ＪＩＳＺ８７２９−（１９８
０）Ｌ* ａ* ｂ* 表色系）をそれぞれ求めた。
【００１４】 Ｌ* ＝１１６（Ｙ／Ｙ0 ）1/3 −１６ …（１） ａ* ＝５００〔（Ｘ／Ｘ0 ）1/3 −（Ｙ／Ｙ0 ）1/3 〕 …（２） ｂ* ＝２００〔（Ｙ／Ｙ0 ）1/3 −（Ｚ／Ｚ0 ）1/3 〕 …（３） （Ｘ／Ｘ0 ，Ｙ／Ｙ0 ，Ｚ／Ｚ0 ＞０．０１） 但し、Ｘ0 ，Ｙ0 （＝１００），Ｚ0 は三刺激値であ
る。
る。
【００１５】上記結果から炭素保護層５の膜厚とｂ* 値
の関係を求め、図２に示した。図２に示すように、炭素
保護層５の膜厚が増加するとｂ* 値が単調に増加するこ
とから、ｂ* 値は炭素保護層５の膜厚を算出するパラメ
ータになることがわかる。
の関係を求め、図２に示した。図２に示すように、炭素
保護層５の膜厚が増加するとｂ* 値が単調に増加するこ
とから、ｂ* 値は炭素保護層５の膜厚を算出するパラメ
ータになることがわかる。
【００１６】同様に炭素保護層５の膜厚とＬ* 値の関係
を図３に示す。図３に示すように、炭素保護層５の膜厚
が増加するとＬ* 値が単調に減少することから、Ｌ* 値
は炭素保護層５の膜厚を算出するパラメータになること
がわかる。これにより、Ｌ*及びｂ* 値のうち少なくと
もいずれかを算出することにより、４００〜７００ｎｍ
の波長域に吸光特性をもつ炭素保護層５の膜厚を容易に
求めることができる。
を図３に示す。図３に示すように、炭素保護層５の膜厚
が増加するとＬ* 値が単調に減少することから、Ｌ* 値
は炭素保護層５の膜厚を算出するパラメータになること
がわかる。これにより、Ｌ*及びｂ* 値のうち少なくと
もいずれかを算出することにより、４００〜７００ｎｍ
の波長域に吸光特性をもつ炭素保護層５の膜厚を容易に
求めることができる。
【００１７】次に、炭素保護層５の膜厚を一定（２２５
Å）として測定方法の再現性について調べた。測定には
色彩色差計を用い、上記と同様にして、繰り返し同じ箇
所の光の強度を５回測定した。そして、光の強度から三
刺激値を算出し、上式（１）〜（３）からＬ* 値，ａ*
値，ｂ* 値をそれぞれ求めた。その結果を表１に示す。
Å）として測定方法の再現性について調べた。測定には
色彩色差計を用い、上記と同様にして、繰り返し同じ箇
所の光の強度を５回測定した。そして、光の強度から三
刺激値を算出し、上式（１）〜（３）からＬ* 値，ａ*
値，ｂ* 値をそれぞれ求めた。その結果を表１に示す。
【００１８】
【表１】
【００１９】表１に示すように、各測定間での標準偏差
が小さく、この測定方法の再現性の良いことが確認され
た。
が小さく、この測定方法の再現性の良いことが確認され
た。
【００２０】以上のように、本発明の実施例の磁気記録
媒体の保護層の膜厚測定方法によれば、色彩色差計によ
り反射光の強度を測定し、かつＬ* 及びｂ* 値のうち少
なくともいずれかを算出することにより、保護層の膜厚
を精度良く、かつ短時間に求めることができる。
媒体の保護層の膜厚測定方法によれば、色彩色差計によ
り反射光の強度を測定し、かつＬ* 及びｂ* 値のうち少
なくともいずれかを算出することにより、保護層の膜厚
を精度良く、かつ短時間に求めることができる。
【００２１】なお、上記第１及び第２の実施例では、Ｌ
* 値及びｂ* 値のうちいずれかにより炭素保護層５の膜
厚を求めているが、更に、Ｌ* 値の差ΔＬ* ，ａ* 値の
差Δａ* 及びｂ* 値の差Δｂ* から次の式により求まる
色差ΔＥab * をパラメータにすることもできる。
* 値及びｂ* 値のうちいずれかにより炭素保護層５の膜
厚を求めているが、更に、Ｌ* 値の差ΔＬ* ，ａ* 値の
差Δａ* 及びｂ* 値の差Δｂ* から次の式により求まる
色差ΔＥab * をパラメータにすることもできる。
【００２２】 ΔＥab * ＝〔（ΔＬ* ）2 ＋（Δａ* ）2 ＋（Δｂ* ）2 〕1/2 …（４）
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る磁気
記録媒体の保護層の膜厚測定方法によれば、４００〜７
００ｎｍの波長域に吸光特性をもつ保護層にキセノンラ
ンプ光を照射し、磁気記録媒体からの反射光の４００〜
７００ｎｍの波長域を分光して、その反射光の強度を測
定し、該光の強度から算出されたＣＩＥ１９７６Ｌ* ａ
* ｂ* 表色系の明度指数Ｌ* 及びマクロネス指数ｂ* の
うち少なくともいずれかにより保護層の膜厚を求めてい
る。
記録媒体の保護層の膜厚測定方法によれば、４００〜７
００ｎｍの波長域に吸光特性をもつ保護層にキセノンラ
ンプ光を照射し、磁気記録媒体からの反射光の４００〜
７００ｎｍの波長域を分光して、その反射光の強度を測
定し、該光の強度から算出されたＣＩＥ１９７６Ｌ* ａ
* ｂ* 表色系の明度指数Ｌ* 及びマクロネス指数ｂ* の
うち少なくともいずれかにより保護層の膜厚を求めてい
る。
【００２４】従って、分光センサにより反射光の強度を
測定し、かつＬ* 及びｂ* 値のうち少なくともいずれか
を算出することで、４００〜７００ｎｍの波長域に吸光
特性を有する保護層の膜厚を精度良く、かつ短時間に求
めることができる。
測定し、かつＬ* 及びｂ* 値のうち少なくともいずれか
を算出することで、４００〜７００ｎｍの波長域に吸光
特性を有する保護層の膜厚を精度良く、かつ短時間に求
めることができる。
【図１】本発明の実施例に係る磁気記録媒体の保護層の
膜厚測定に用いられた磁気記録媒体の断面図である。
膜厚測定に用いられた磁気記録媒体の断面図である。
【図２】本発明の実施例に係るマクロネス指数ｂ* と保
護層の膜厚との相関を示す特性図である。
護層の膜厚との相関を示す特性図である。
【図３】本発明の実施例に係る明度指数Ｌ* と保護層の
膜厚との相関を示す特性図である。
膜厚との相関を示す特性図である。
１…アルミニウム合金基板（非磁性基板） ２…ニッケル−リン合金層 ３…クロム下地層 ４…コバルト合金磁性層（磁性層） ５…炭素保護層（保護層）。
Claims (1)
- 【請求項１】 磁気記録媒体の非磁性基板上の強磁性金
属膜からなる磁性層の上に形成され、４００〜７００ｎ
ｍの波長域に吸光特性をもつ保護層に、キセノンランプ
光を照射し、前記磁気記録媒体からの反射光の４００〜
７００ｎｍの波長域を分光して、該反射光の強度を測定
し、該反射光の強度から算出されたＣＩＥ１９７６Ｌ*
ａ* ｂ* 表色系の明度指数Ｌ* 及びマクロネス指数ｂ*
のうち少なくともいずれかにより前記保護層の膜厚を求
めることを特徴とする磁気記録媒体の保護層の膜厚測定
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12223593A JPH06331323A (ja) | 1993-05-25 | 1993-05-25 | 磁気記録媒体の保護層の膜厚測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12223593A JPH06331323A (ja) | 1993-05-25 | 1993-05-25 | 磁気記録媒体の保護層の膜厚測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06331323A true JPH06331323A (ja) | 1994-12-02 |
Family
ID=14830927
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12223593A Pending JPH06331323A (ja) | 1993-05-25 | 1993-05-25 | 磁気記録媒体の保護層の膜厚測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06331323A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012132876A (ja) * | 2010-12-24 | 2012-07-12 | Ihi Corp | カーボン薄膜の膜厚評価方法及びカーボン薄膜の膜厚評価装置 |
| JP2017067702A (ja) * | 2015-10-01 | 2017-04-06 | 日産自動車株式会社 | 膜厚検査装置および膜厚検査方法 |
| JP2017067703A (ja) * | 2015-10-01 | 2017-04-06 | 日産自動車株式会社 | 膜厚検査装置、膜厚検査方法、膜構造体の製造装置、および膜構造体の製造方法 |
-
1993
- 1993-05-25 JP JP12223593A patent/JPH06331323A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012132876A (ja) * | 2010-12-24 | 2012-07-12 | Ihi Corp | カーボン薄膜の膜厚評価方法及びカーボン薄膜の膜厚評価装置 |
| JP2017067702A (ja) * | 2015-10-01 | 2017-04-06 | 日産自動車株式会社 | 膜厚検査装置および膜厚検査方法 |
| JP2017067703A (ja) * | 2015-10-01 | 2017-04-06 | 日産自動車株式会社 | 膜厚検査装置、膜厚検査方法、膜構造体の製造装置、および膜構造体の製造方法 |
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