JPH04305149A - 蛍光ｘ線スペクトルの同定解析装置および方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、蛍光Ｘ線分析におい
て、蛍光Ｘ線スペクトルのスペクトル線を同定する同定
解析装置および方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】蛍光Ｘ線分析は、試料に放射線を照射し
て、試料から発生する蛍光Ｘ線をＸ線検出器で測定し、
このＸ線検出器での測定値に基づいて試料の元素分析を
行うものである。かかる分析に用いる測定器の一例を図
５に示す。

【０００３】図５において、Ｘ線管５０は、一次Ｘ線Ｂ
１を出射して、試料５１に一次Ｘ線Ｂ１を照射する。照
射された一次Ｘ線Ｂ１は試料５１の原子を励起して、そ
の元素固有の蛍光Ｘ線Ｂ２を発生させる。試料５１から
の蛍光Ｘ線Ｂ２は、軽元素用および重元素用の分光結晶
５２，　５３に、それぞれ異なる入射角θで入射し、下
記のブラッグの式を満足する所定の波長の蛍光Ｘ線Ｂ２
のみが、入射角θと同一の角度の回折角θで回折される
。 ２ｄｓｉｎ　θ＝ｎλ ｄ：結晶の面間隔 λ：蛍光Ｘ線の波長 ｎ：反射の次数

【０００４】上記回折された蛍光Ｘ線Ｂ３は、プロポー
ショナルカウンタのような軽元素用のＸ線検出器５４と
、シンチレーションカウンタのような重元素用のＸ線検
出器５５に入射して検出される。一方、図示しないゴニ
オメータを駆動して、分光結晶５２，５３およびＸ線検
出器５４，　５５を１：２の角度比で矢印Ａのように回
転させて、所定の分光角度２θごと（たとえば、０，０
２°ごと）　に、蛍光Ｘ線Ｂ３のＸ線強度を測定する。

【０００５】図６は、測定した蛍光Ｘ線のＸ線強度を、
分光角度２θの成分、つまり見掛けの波長成分（ｎλ）
に分けた蛍光Ｘ線スペクトルを示す。上記Ｘ線強度の測
定は、（ｂ）　の重元素　（Ｕ〜Ｔｉ）　領域において
は、単一の分光結晶５２　（たとえばＬｉＦ）を用いて
連続的になされる。 一方、（ａ）　の軽元素　（Ｃａ〜Ｆ）領域では、目的
とするスペクトル線の波長の付近だけを不連続的に測定
して、測定時間の短縮を図っている。また、軽元素は、
検出されるＸ線強度が一般に小さいので、波長に応じた
最適の３種類の分光結晶５３を用いている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】同定解析においては、
（ｂ）　の重元素領域についてスペクトル名を同定した
後、（ａ）　の軽元素領域についてスペクトル名を同定
する。ここで、（ｂ）　の重元素領域においては、連続
的にＸ線強度を測定しているので、同一元素の各スペク
トル線　（Ｋα，Ｋβ１　…Ｌα，Ｌβ１　…）および
その高次線（ｎが２以上）が同一のチャート上に表れる
ので、各スペクトル間および次数間の強度比から、正確
に同定することができる。

【０００７】しかし、（ａ）　の軽元素領域においては
、同一のチャート上にない重元素のＬ線、Ｍ線または高
次線が検出されるので、同一の領域ＣＡ〜Ｆに複数のス
ペクトル線が現れる。その一方で、前述のように、目的
とするスペクトル線の波長の付近だけを、重元素用の分
光結晶５２　（ＬｉＦ）とは異なる軽元素用の分光結晶
５３　（たとえば、ＰＥＴ）を用いて検出しているので
、これらのスペクトル線を同定するためには、各スペク
トル間　（Ｋα，Ｋβ１　，Ｌα，Ｌβ１　…間）の強
度比および次数（ｎ＝１，２，３，…）　間の強度比の
他に、分光結晶５２，　５３の相違による強度比を考慮
する必要がある。さらに、分析する元素によっては、Ｘ
線管やスリットも変えるので、これらの測定条件を考慮
して同定する必要がある。そのため、スペクトルの波長
とピークのみから、スペクトル名を決定することができ
ず、測定して得られたスペクトルから、正確にスペクト
ル名を同定するのは、熟練者でも容易でなく、かつ、時
間を要する。特に、初心者では極めて困難であり、同定
することができない。

【０００８】この発明は上記従来の課題に鑑みてなされ
たもので、測定した蛍光Ｘ線スペクトルから、初心者で
も、迅速かつ簡単に、スペクトル名を正確に同定しうる
蛍光Ｘ線スペクトルの同定解析装置および方法を提供す
ることを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
のこの発明の構成を、実施例を示す図１に基づいて説明
する。図１において、測定器１０は、少なくとも２種以
上の分光結晶５２，　５３　（図５）で重元素領域と軽
元素領域について蛍光Ｘ線のＸ線強度を測定し、分光角
度２θとＸ線強度からなる測定値信号ａを測定値データ
メモリ１１に出力する。測定値データメモリ１１は、測
定した蛍光Ｘ線のＸ線強度を見掛けの波長　（分光角度
）　成分に分けた蛍光Ｘ線スペクトル（図６）として記
憶する。記憶したデータは、必要に応じて２つのデータ
バス３１，　３２を通じて、それぞれ、重元素同定手段
１２およびピーク検出手段１５に読み出される。

【００１０】重元素同定手段１２は、それぞれ、データ
バス３１，　３４を通じて、測定値データメモリ１１お
よびスペクトル表データメモリ１３のデータを読み出す
。スペクトル表データメモリ１３には、図２のように、
見掛けの波長に対して、スペクトル名、反射の次数ｎお
よび相対Ｘ線強度のデータが、予め入力されており、図
１の上記スペクトル表データメモリ１３は、これらのデ
ータを記憶している。重元素同定手段１２は、測定値デ
ータメモリ１１の測定値に基づいて、図６の各ピークＳ
ｐ１，Ｓｐ２　…Ｓｐｎの波長およびＸ線強度を検出し
、この波長およびＸ線強度と、スペクトル表データメモ
リ１３からの相対Ｘ線強度　（図２）　によってスペク
トル名を同定する。この重元素領域における同定は、Ｘ
線強度の大きいピークから順次、スペクトル間および次
数間の強度比の判定を行いながらなされる。同定したス
ペクトル線については、スペクトル名とそのＸ線強度が
、図１の同定元素信号ｈとして、重元素同定手段１２か
ら同定済元素データメモリ１４に出力されて、同定済元
素データメモリ１４に記憶される。

【００１１】ピーク検出手段１５は、軽元素領域におい
て、見掛けの波長の短い順に測定値データメモリ１１で
記憶した波長とＸ線強度から、図６のピークＳｐ１１，
　Ｓｐ１２…Ｓｐｎ　の波長を検出し、ピークの波長を
図１のピーク波長信号ｂとして同定済元素検索手段１６
に出力する。同定済元素検索手段１６は、上記検出した
ピークの波長に対して、同定済元素のスペクトル線のう
ちほぼ同一の波長にピークがあるか否かを検索する。つ
まり、同定済元素検索手段１６は、スペクトル表データ
メモリ１３および同定済元素データメモリ１４からデー
タバス３５，　３６を通じて、検出したピークの波長に
対して同定済元素のスペクトル線のうちに、ほぼ同一の
波長のピークがあるか否かを検索する。この同定済元素
検索手段１６は検索したスペクトル線の波長、スペクト
ル名、次数をスペクトル信号ｃとして強度換算手段１７
に出力する。

【００１２】強度換算手段１７は検索した同定済元素の
スペクトル線のＸ線強度に換算係数を乗算して、同定済
元素の換算強度を演算する。上記換算係数は、図３のよ
うに、分光結晶ＬｉＦ，　ＰＥＴの相違による測定条件
およびスペクトル線の相違から定められるもので、図１
の換算テーブルメモリ１８に、予め入力して記憶してあ
り、換算テーブルメモリ１８からデータバス３７を通じ
て強度換算手段１７に読み出される。なお、換算係数は
、予め既知の試料で測定して得ることができるが、Ｘ線
管５０　（図５）　やスリット　（図示せず）　を複数
有する分析装置では、これらの要因も考慮に入れた値を
測定して得ておき、予め換算テーブルメモリ１８に入力
して記憶させる。

【００１３】比較手段１９は、ピーク検出手段１５から
のピーク強度信号ｄと、強度換算手段１７からの換算強
度信号ｅを入力とし、換算強度に対する測定値の割合、
つまり、換算強度と測定値の強度比を演算し、強度比信
号ｆとして判定手段２０に出力する。

【００１４】判定手段２０は、強度比信号ｆを入力とし
、強度比の大きさで、そのスペクトル線であるか否かを
判定するマップを備えており、強度比の大きさに基づい
て、検出したピークが未同定元素のスペクトル線または
同定済元素のスペクトル線のいずれか一方か、あるいは
、双方かを判定する。この判定手段２０は、同定したス
ペクトル線のスペクトル名、波長およびＸ線強度を同定
元素信号ｇとして、同定済元素データメモリ１４に出力
する。同定済元素データメモリ１４は、入力されたスペ
クトル名、波長およびＸ線強度を新たな同定済元素のス
ペクトル線のデータとして記憶する。

【００１５】記憶したデータは、表示器２１に読み出さ
れて、データバス３８を通じて表示器２１に出力され、
図７のように、スペクトル名がスペクトルとともに表示
される。なお、図１の重元素同定手段１２は、軽元素領
域と同様なピーク検出手段１５および同定済元素検索手
段１６を備えており、軽元素領域と同じものを兼用して
もよい。また、重元素同定手段１２はスペクトル表デー
タメモリ１３から、つまり図２のスペクトル表から、ス
ペクトル間および次数間の強度比を検索してもよいが、
この強度比を元素ごとに検索できる強度比チェックテー
ブルを設けて、検索速度を高速にするのが好ましい。

【００１６】つぎに、この発明の同定方法を図４のフロ
ーチャートを用いて説明する。まず、ステップＳ１にお
いて開始すると、ステップＳ２に進み、図５の測定器１
０で、重元素領域と軽元素領域について蛍光Ｘ線のＸ線
強度を測定する。つづいて、図４のステップＳ３に進み
、重元素領域においてスペクトル名を同定した後、ステ
ップＳ４に進む。ステップＳ４では、図６（ａ）　の軽
元素領域において、ピーク検出手段１５　（図１）　が
、上記波長の短い順に、目的とするスペクトルごとに分
割した領域ＣＡ，　Ｋ…Ｆに、ピークＳｐｎ　があるか
否かを判断し、ピークＳｐｎの波長を検出する。この検
出の結果、ピークＳｐｎ　がなければ、図４のステップ
Ｓ９に進む。一方、ピークＳｐｎ　があれば、ステップ
Ｓ５に進む。

【００１７】ステップＳ５では、図１の同定済元素検索
手段１６が、上記検出したピークＳｐｎ　の波長に対し
て、同定済元素のスペクトル線のうちに、ほぼ同一の波
長のピークがあるか否かをスペクトル表　（図２）　か
ら検索する。 この検索の結果、同定済元素についてのピークがある場
合は、図４のステップＳ６に進み、同定済元素のスペク
トルのＸ線強度に、測定条件およびスペクトル線の種類
により定まる換算係数を乗算することで、同定済元素の
換算強度を演算して、ステップＳ７に進む。一方、ステ
ップＳ５の検索の結果、同定済元素についてのピークが
ない場合は、そのままステップＳ７に進む。

【００１８】ステップＳ７では、同定済元素検索手段１
６　（図１）が、上記検出したピークＳｐｎの波長に対
応する未同定元素のスペクトル名を、スペクトル表　（
図２）　から検索した後、ステップＳ８に進む。ステッ
プＳ８では、上記換算強度と上記測定した測定値との強
度比から、上記検出したピークＳｐｎ　が、未同定元素
もしくは同定済元素のスペクトルのいずれか一方か、ま
たは、双方かを判定する。この判定後、ステップＳ９に
進み、図６（ａ）　の全ての領域ＣＡ，　Ｋ…Ｆについ
て、スペクトル線の同定が完了したか否かを判断する。 この判断の結果、全ての同定が完了していなければ図４
のステップＳ４に戻り、全ての同定が完了していればス
テップＳ１０　に進み終了する。

【００１９】

【作用】この発明によれば、予め、分光結晶、Ｘ線管、
スリットなどの測定条件の相違に基づく換算係数を測定
し、この換算係数を、同定済元素のスペクトル線のＸ線
強度に乗算するから、同定済元素のスペクトルの高次線
等による影響を正確に把握できる。

【００２０】

【実施例】以下、この発明の同定解析装置および方法を
具体的に説明する。まず、図５の測定器１０において、
分光角度２θを徐々に変化させつつ、蛍光Ｘ線Ｂ３の測
定を行い、図６に示す蛍光Ｘ線スペクトルを得る。重元
素領域についてはＬｉＦ　の分光結晶を用い、軽元素領
域については、領域ＣＡ〜ＰをＧｅの分光結晶で、領域
ＳＩ，　ＡＬをＰＥＴ　の分光結晶で、領域ＭＧ〜Ｆを
ＴＡＰ　の分光結晶で、それぞれ測定する。

【００２１】ついで、重元素同定手段１２　（図１）　
が、最もＸ線強度の大きいスペクトル線から、順次、ス
ペクトル名の同定検索を行う。この重元素領域のスペク
トル線はＫα線、Ｌα線またはＬβ１　線のいずれかで
あり、かつ、１次線であることより、スペクトル表デー
タメモリ１３　（図２のスペクトル表）　の内容から、
可能性のあるスペクトル名を少なく限定することができ
る。

【００２２】つづいて、重元素同定手段１２　（図１）
　は、上記スペクトル名のペア（ペアはＫαとＫβ１　
またはＬαとＬβ１　）のピークを検索し、ペアのピー
クがあれば、その元素の微小スペクトルおよび高次線の
スペクトル名を同定する。この同定は、スペクトル間の
強度比、ならびに、１次線と高次線間の強度比に基づい
て行う。 こうして、重元素同定手段１２は、Ｕ〜Ｔｉの元素を対
象として、スペクトル名の同定を行う。重元素の同定解
析で同定された元素は、図７（ｂ）　に示すように、Ｒ
ｈ，Ｍｏ，　Ｚｒ，　Ａｓ，　Ｎｉ，　Ｃｕ，　Ｃｏ，
　Ｆｅ，　Ｍｎ，　Ｃｒ，　Ｔｉの１１元素である。

【００２３】つぎに、軽元素領域の同定解析方法につい
て、図６の領域ＳＩを例にとって説明する。領域ＳＩは
、　ＳｉＫα付近のスペクトル、つまり、分光角度２θ
が１０９．２２°付近のスペクトルを示す。この領域Ｓ
Ｉには、２つのピークＳｐ１５，　Ｓｐ１６があるので
、ピーク検出手段１５　（図１）　がこれらのピークＳ
ｐ１５，　Ｓｐ１６の分光角度２θ＝１０３．６１°，
　１０９．１９°を検出する。

【００２４】図１の同定済元素検索手段１６は、まず、
上記分光角度２θをブラッグの式に基づいて見掛けの波
長ｎλ（６．８７１Å，　　７．１２５Å）　に変換す
る。つづいて、同定済元素検索手段１６は、１次線のＫ
線として現れるスペクトル線をスペクトル表データメモ
リ１３から、つまり図２のスペクトル表から検索する。

【００２５】スペクトル表データメモリ１３　（図１）
　には、１次線から１０次線までの全てのスペクトル線
が入力してあり、ｎ次線のスペクトル線に対してはｎ・
λ（見掛けの波長）として、見掛けの波長毎に、スペク
トル名、反射の次数（ｎ）および相対Ｘ線強度が入力さ
れて、記憶されている。

【００２６】上記検索の結果、図２のスペクトル表から
分かるように、ピークＳｐ１５（６．８７１Å）　につ
いては、対応する１次線のＫ線に該当するものがない。 一方、ピークＳｐ１６（７．１２５Å）　については、
　ＳｉＫα線（７．１２６Å）　が該当する。一方、同
定済元素検索手段１６　（図１）　は、重元素で同定さ
れた元素について、上記２つのピークＳｐ１５，　Ｓｐ
１６の付近にスペクトル線があるか否かをスペクトル表
から検索する。この検索の結果、ピークＳｐ１５（６．
８７１Å）　については、　ＣｒＫα−３ｒｄ（　６．
８７３Å）　が検索される。一方、ピークＳｐ１６（７
．１２５Å）　については、　ＺｒＫα−９ｔｈ（７．
０８６Å）　と、　ＭｏＫα−１０ｔｈ（７．１０７Å
）　とが検索される。この検索後、図１の同定済元素検
索手段１６は、上記各スペクトル線　ＣｒＫα、　Ｚｒ
Ｋα、　ＭｏＫαのＸ線強度２９６．１ｋｃｐｓ，　４
１２．０ｋｃｐｓ，　４．０ｋｃｐｓ　をスペクトル信
号ｃとして、強度換算手段１７に出力する。

【００２７】強度換算手段１７は、これらのスペクトル
線　ＣｒＫα、　ＺｒＫα、　ＭｏＫαの高次線の強度
が、ＰＥＴ　の分光結晶５２でどれだけの値になるかを
換算　（推定）する。この換算は換算テーブルメモリ１
８に格納された図３の換算表に基づいてなされる。この
換算表には、分光結晶および波長ごとに相対Ｘ線強度が
格納されている。たとえば、図３（ａ）　の真の波長λ
が２．２９１０Åのスペクトル線は、分光結晶　ＬｉＦ
を用いた場合の１次線の相対強度を１．０　としたとき
、図３（ｂ）　の分光結晶　ＰＥＴを用いた場合の３次
線については、０．００３１の相対強度を有すると推定
される。この相対強度は、予め、既知の標準物質を用い
て実際に測定して得られた値を換算テーブルメモリ１８
　（図１）　に入力しておく。

【００２８】ＣｒＫα（６．８７３Å）　−３ｒｄの真
の波長は、　２．２９１Åであり、図３（ａ），（ｂ）
　から、その換算係数が０．００３１であることが分か
り、Ｘ線強度２９６．１Ｋｃｐｓ　に換算係数０．００
３１を乗算して、換算強度０．９２Ｋｃｐｓを得る。こ
の換算後、図１の強度換算手段１７は、比較手段１９に
換算強度０．９２Ｋｃｐｓを換算強度信号ｅとして出力
する。

【００２９】一方、比較手段１９には、上記ピーク検出
手段１５からピークＳｐ１５の実際のＸ線強度　（測定
値）　が、ピーク強度信号ｄとして入力される。比較手
段１９は、ピークＳｐ１５の測定値０．６２１Ｋｃｐｓ
　を換算強度０．９２Ｋｃｐｓで除して、強度比０．６
７を得、この強度比を判定手段２０に強度比信号ｆとし
て出力する。

【００３０】上記換算による推定が正確であれば、強度
比は１．０　となり、したがって、強度比が１．０　を
越える大きな値になるときは、換算強度よりも測定値が
遙かに大きいので、そのスペクトル線ではないことを意
味する。 判定手段２０は、この上限値を判定値としたマップを有
しており、強度比が判定値以下のときに、そのスペクト
ル線であると同定し、一方、判定値よりも大きいときに
そのスペクトル線でないと判断する。この判定値はたと
えば４．０程度の値が用いられ、この場合、強度比０．
６７が４．０　よりも小さいので、ピークＳｐ１５は　
ＣｒＫα−３ｒｄであると同定される。この同定後、判
定手段２０は、ピークＳｐ１５の波長、Ｘ線強度および
スペクトル名を同定元素信号ｇとして、同定済元素デー
タメモリ１４に出力する。

【００３１】図６のピークＳｐ１６については、図３（
ｂ）　の換算表から、　ＺｒＫα９ｔｈ　（真の波長０
．７８７３Å）　の換算係数が０．００００であり、ま
た、　ＭｏＫα−１０ｔｈ　（真の波長０．７１０７Å
）　の換算係数が０．００００であることが分かり、そ
のため換算強度が０になり、強度比が無限大となる。ゆ
えに、判定手段２０がピークＳｐ１６には、　ＺｒＫα
−９ｔｈおよびＭｏＫα−１０ｔｈが含まれていないと
判定する。したがって、ピークＳｐ１６は重元素の高次
線等を含んでおらず、図２のスペクトル表から検索され
た　ＳｉＫαであると同定される。

【００３２】以上の動作を図６（ａ）　の領域ＣＡ〜Ｆ
まで行うことにより、図７（ａ）　のように、軽元素領
域についても、スペクトルが同定される。

【００３３】ところで、ステップＳ８　（図４）　の判
定において、１つのピークに２つ以上のスペクトル線の
可能性がある場合は、上記強度比＝（測定値／換算強度
）が最も小さいもの、つまり、最も可能性の高いスペク
トル線のみを同定する。但し、表示器２１　（図１）　
の表示としては、２番目に可能性の高いものまで米印や
アンダーラインなどでマークして表示する。以上の同定
解析において、分光結晶の他にＸ線管、スリットおよび
アッテネータなどの測定条件が異なる場合は、これらに
ついての換算も行う。

【００３４】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
、分光結晶、Ｘ線管、スリットなどの測定条件の相違に
基づく換算係数を予め測定し、この換算係数を同定済の
スペクトル線のＸ線強度に乗算して、軽元素領域のスペ
クトル線を判定して同定するので、同定済のスペクトル
線の影響を正確に把握できるから、初心者でも迅速かつ
簡単に、スペクトル名を正確に同定することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の同定解析装置の一実施例を示す概略
構成図である。

【図２】スペクトル表の内容を省略して示す図表である
。

【図３】換算表の内容を省略して示す図表である。

【図４】同定解析方法を示すフローチャートである。

【図５】測定装置を示す概略構成図である。

【図６】測定したスペクトルを示す特性図である。

【図７】同定解析の結果を表示器で表示した状態を示す
特性図である。

【符号の説明】

１０…測定器、１１…測定値データメモリ、１２…重元
素同定手段、１３…スペクトル表データメモリ、１５…
ピーク検出手段、１６…同定済元素検索手段、１７…強
度換算手段、１８…換算テーブルメモリ、１９…比較手
段、２０…判定手段、５２，　５３…分光結晶。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　少なくとも２種以上の分光結晶で重元
   素領域と軽元素領域について蛍光Ｘ線のＸ線強度を測定
   する測定器と、測定した蛍光Ｘ線のＸ線強度を見掛けの
   波長成分に分けた蛍光Ｘ線スペクトルとして記憶する測
   定値データメモリと、重元素領域において、スペクトル
   名を同定する重元素同定手段と、上記波長に対して、ス
   ペクトル名、反射の次数および相対Ｘ線強度のデータを
   記憶したスペクトル表データメモリと、少なくとも分光
   結晶の相違による測定条件およびスペクトル線の相違に
   よる相対Ｘ線強度の換算係数を記憶した換算テーブルメ
   モリと、軽元素領域においてピークの波長を検出するピ
   ーク検出手段と、上記検出したピークの波長に対して、
   上記重元素同定手段により同定された同定済元素のスペ
   クトル線のうちに、ほぼ同一の波長のピークがあるか否
   かを検索する同定済元素検索手段と、検索した同定済元
   素のスペクトル線のＸ線強度に上記換算係数を乗算して
   、同定済元素の換算強度を演算する強度換算手段と、上
   記検出したピークについての測定値と上記換算強度との
   強度比を演算する比較手段と、上記強度比から、検出し
   たピークが未同定元素のスペクトル線か同定済元素のス
   ペクトル線かを判定する判定手段とを備えた蛍光Ｘ線ス
   ペクトルの同定解析装置。
2. 【請求項２】　　少なくとも２種以上の分光結晶で重元
   素領域と軽元素領域について蛍光Ｘ線のＸ線強度を測定
   し、重元素領域において、スペクトル名を同定し、軽元
   素領域においてピークの波長を検出し、この検出したピ
   ークの波長に対して、同定済元素のスペクトル線のうち
   に、ほぼ同一の波長のピークがあるか否かをスペクトル
   表から検索し、この検索の結果、同定済元素についての
   ピークがある場合は、同定済元素のスペクトル線のＸ線
   強度に、測定条件およびスペクトル線の相違による換算
   係数を乗算して、同定済元素の換算強度を演算し、上記
   検出したピークの波長に対し、未同定元素のスペクトル
   名をスペクトル表から検索し、上記換算強度と上記測定
   した測定値との強度比から、上記検出したピークが、未
   同定元素のスペクトル線か同定済元素のスペクトル線か
   を判定する蛍光Ｘ線スペクトルの同定解析方法。